半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)之芯源微研究報告涂膠顯影設(shè)備國產(chǎn)“破局者”

半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)之芯源微研究報告：涂膠顯影設(shè)備國產(chǎn)“破局者”1.稀缺國產(chǎn)涂膠顯影設(shè)備供應(yīng)商，業(yè)績進(jìn)入高速增長期1.1.本土涂膠顯影設(shè)備龍頭，產(chǎn)品供貨知名半導(dǎo)體客戶芯源微成立于2002年，專業(yè)從事光刻工序涂膠顯影設(shè)備、單片式濕法設(shè)備等半導(dǎo)體專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，并提供半導(dǎo)體裝備與工藝整體解決方案。公司生產(chǎn)的涂膠顯影設(shè)備成功打破國外壟斷，填補(bǔ)國內(nèi)空白。經(jīng)過多年技術(shù)研發(fā)，公司已在集成電路后道先進(jìn)封裝&前道晶圓加工、LED芯片制造等領(lǐng)域取得重要突破，曾承擔(dān)“凸點封裝涂膠顯影、單片濕法刻蝕設(shè)備的開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”和“300mm晶圓勻膠顯影設(shè)備研發(fā)”兩項“02重大專項”。2011年公司被評定為“國家高新技術(shù)企業(yè)”、2013年獲認(rèn)省級企業(yè)技術(shù)中心，并先后榮獲“國家級知識產(chǎn)權(quán)優(yōu)勢企業(yè)”、“2018年中國半導(dǎo)體設(shè)備五強(qiáng)企業(yè)”、“全國第一批專精特新‘小巨人’”等榮譽稱號。公司主營產(chǎn)品包含光刻工序涂膠顯影設(shè)備和單片式濕法設(shè)備兩大類，可用于8/12英寸單晶圓處理（如集成電路制造前道晶圓加工&后道先進(jìn)封裝環(huán)節(jié)）及6英寸及以下單晶圓處理（如化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED芯片制造等環(huán)節(jié)）。①光刻工序涂膠顯影設(shè)備：主要包含涂膠/顯影機(jī)、噴膠機(jī)，可與光刻機(jī)聯(lián)機(jī)/獨立作業(yè)，涵蓋LED芯片制造、集成電路后道先進(jìn)封裝和前道晶圓加工的I-line、KrF、ArF等制程工藝。②單片式濕法設(shè)備：主要包括清洗機(jī)、去膠機(jī)和濕法刻蝕機(jī)，適用于前道晶圓加工的清洗，以及后道先進(jìn)封裝的Bumping制備、WLCSP封裝、Fanout封裝等的清洗、去膠和刻蝕工藝。涂膠顯影設(shè)備為公司主要收入來源，前道訂單占比持續(xù)提升。①若按產(chǎn)品類型劃分：

2020年公司光刻工序涂膠顯影設(shè)備收入占比高達(dá)71.79%，構(gòu)成收入主體；2016-2019年單片式濕法設(shè)備快速放量，對應(yīng)收入占比持續(xù)提升，2019年達(dá)到44.78%，2020年出現(xiàn)較大幅度下滑，主要系去膠機(jī)收入有所下降所致。②若按應(yīng)用領(lǐng)域劃分，后道先進(jìn)封裝仍為公司主要下游，隨著技術(shù)突破&產(chǎn)品體系完善，公司快速導(dǎo)入前道晶圓加工、OLED、化合物半導(dǎo)體、MEMS等領(lǐng)域。特別的，2019H1公司正式切入集成電路前道領(lǐng)域，實現(xiàn)收入724.42萬元，占主營收入比重達(dá)到11.03%。截至2021年Q1，公司在手訂單達(dá)到11.08億元，其中前道清洗&Track在手訂單占比47%，占比提升顯著。受益產(chǎn)品體系日益完善，供貨國內(nèi)外知名半導(dǎo)體客戶。①后道先進(jìn)封裝領(lǐng)域：公司長期綁定臺積電、華為、長電科技、華天科技等集成電路龍頭企業(yè)；②前道晶圓加工領(lǐng)域：1）公司涂膠顯影設(shè)備陸續(xù)取得客戶驗證，已獲得上海華力、長江存儲、武漢新芯、中芯紹興等多個客戶訂單；2）公司前道SpinScrubber清洗機(jī)已通過中芯國際、上海華力、廈門士蘭集科等客戶驗證，并獲得國內(nèi)多家Fab廠批量重復(fù)訂單；③公司正由后道先進(jìn)封裝&LED拓展至MEMS、化合物、功率器件、特種工藝等領(lǐng)域，下游客戶覆蓋華為、華燦光電、廈門士蘭集科、中芯紹興、上海積塔等。1.2.高度重視研發(fā)端投入，夯實公司核心競爭力背靠中科院資源，為公司產(chǎn)品技術(shù)領(lǐng)先性打下堅實基礎(chǔ)。從股權(quán)結(jié)構(gòu)上來看，公司背靠中科院沈自所，無實際控制人，截至2021Q3，中科院沈自所仍直接持有公司12.50%股權(quán)，長期為公司提供科研資源支持。此外，公司董事長&總經(jīng)理宗潤福先生曾于中科院沈自所任職14年，曾獲得國家科技重大專項突出貢獻(xiàn)獎，享受國務(wù)院政府特殊津貼，擁有多年半導(dǎo)體一線研發(fā)經(jīng)歷，仍為公司第一核心技術(shù)人員。公司持續(xù)加大研發(fā)投入，積極進(jìn)行前瞻性研發(fā)布局。①2017-2020年公司研發(fā)費用CAGR高達(dá)31.97%，2021Q1-Q3達(dá)到0.69億元，同比+191.58%，研發(fā)投入加速擴(kuò)張；

②2018-2019年公司研發(fā)費用率明顯高于盛美上海、中微公司、北方華創(chuàng)等本土同行，2020年開始受益規(guī)模效應(yīng)顯現(xiàn)，公司研發(fā)費用率有所下降，但仍常年高于10%。此外，公司高度重視研發(fā)團(tuán)隊建設(shè)&高端人才儲備。截至2021H1，公司研發(fā)人員達(dá)到166人，同比+66%，公司研發(fā)團(tuán)隊正在快速擴(kuò)建，其中碩士及以上學(xué)歷占比高達(dá)46.99%，公司高端人才優(yōu)勢同樣顯著。橫向?qū)Ρ缺就镣校?021H1公司研發(fā)人員占比為34.58%，略低于盛美上海和中微公司，但2019-2020年明顯高于北方華創(chuàng)。為建立長效激勵機(jī)制，2021年公司再次公告股權(quán)激勵計劃，擬向激勵對象授予81.25萬股限制性股票，其中首次授予65萬股，激勵對象多為核心技術(shù)人員，有望充分調(diào)動核心技術(shù)團(tuán)隊積極性，再次反映出公司對技術(shù)團(tuán)隊建設(shè)的高度重視。在持續(xù)性高研發(fā)投入下，公司已在光刻工序涂膠顯影設(shè)備&單片式濕法設(shè)備領(lǐng)域形成了較為完善的技術(shù)儲備，核心技術(shù)包括光刻工藝膠膜均勻涂敷技術(shù)、不規(guī)則晶圓表面噴涂技術(shù)、精細(xì)化顯影技術(shù)、內(nèi)部微環(huán)境精確控制技術(shù)等，其中多項已達(dá)國際先進(jìn)水平。1.3.訂單充足確保短期業(yè)績，產(chǎn)能擴(kuò)充打開成長瓶頸受益半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化浪潮&前道產(chǎn)品拓展，公司收入規(guī)?？焖贁U(kuò)張。2020年起公司收入端進(jìn)入高速增長期，2021Q1-Q3實現(xiàn)營收5.47億元，同比+158.20%，加速擴(kuò)張，主要系：①2020年以來半導(dǎo)體景氣度積極向好，疊加晶圓產(chǎn)能東移&政策扶持，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)入黃金發(fā)展期；②公司積極拓展產(chǎn)品系列，前道涂膠顯影設(shè)備&SpinScrubber清洗機(jī)等陸續(xù)取得客戶認(rèn)證，帶動訂單快速增長，為公司業(yè)績提升提供保障。2016年公司歸母凈利潤僅為0.05億元，2020年達(dá)到0.49億元，期間CAGR高達(dá)77.41%，遠(yuǎn)高于同期收入端增速（22.18%），側(cè)面反映出公司盈利能力提升。2021Q1-Q3公司實現(xiàn)歸母凈利潤0.53億元，同比+18.80%，延續(xù)持續(xù)上升態(tài)勢。進(jìn)一步分析發(fā)現(xiàn)，2016年公司銷售凈利率僅為3.34%，2017年大幅提升，同比+10.49pct，而后保持相對穩(wěn)定，2020年達(dá)到14.85%。2021Q1-Q3公司銷售凈利率出現(xiàn)一定下滑，下面將從毛利率端及費用端進(jìn)行詳細(xì)分析。在毛利率端，收入結(jié)構(gòu)改變&濕法設(shè)備毛利率波動，2020年起公司綜合毛利率有所下滑。分產(chǎn)品來看：①公司光刻工序涂膠顯影設(shè)備毛利率長期穩(wěn)定在40%以上，奠定了公司綜合毛利率中樞；②公司單片式濕法設(shè)備毛利率常年高于涂膠顯影設(shè)備，2018-2019年單片式濕法設(shè)備收入占比提升，是公司綜合毛利率上升的主要原因。2020年起公司綜合毛利率出現(xiàn)一定下滑，一方面系涂膠顯影設(shè)備收入占比提升，另一方面系去膠機(jī)收入下降，疊加前道清洗設(shè)備處于市場導(dǎo)入前期，公司單片式濕法設(shè)備毛利率有所下滑。在費用端，規(guī)模效應(yīng)下公司控費能力明顯提升。2020年以來隨著收入規(guī)?？焖僭鲩L，公司規(guī)模效應(yīng)逐步顯現(xiàn)，2021Q1-Q3公司期間費用率下降至33.30%，同比-4.43pct，與盛美上海、北方華創(chuàng)、中微公司等本土同行基本處于同一水平。特別的，由于2020年公司受地方政府上市補(bǔ)貼，2020年公司營業(yè)外收入高達(dá)0.18億元，2021Q1-Q3大幅減少至17.60萬元，是2021Q1-Q3公司凈利率明顯下降的主要原因之一。短期來看，公司在手訂單充足，將保障2022年業(yè)績繼續(xù)高增長。①截至2021Q3，公司合同負(fù)債與存貨分別達(dá)到2.88億元和8.50億元，分別較2020年底增長117.58%和111.19%；②具體來看，截至202