防靜電檢測規(guī)范

PAGE—————————————————————————————————————————————————————————防靜電檢測規(guī)范—————————————————————————————————————————————————————————目錄TOC\o"1-1"\h\z1、目的： 錯誤!未定義書簽。2、適用范圍： 錯誤!未定義書簽。3、定義 錯誤!未定義書簽。4、職責(zé) 錯誤!未定義書簽。5、程序 26、相關(guān)文件和記錄 127、附錄 125、程序5.1測試方法：5.1.1測試環(huán)境：環(huán)境溫度23±5℃，相對濕度40%～70%。5.1.2測試儀器使用方法5.1.2.1靜電場測試儀（TREK520）靜電場測試儀是感應(yīng)式的，該儀器表面有2個按鍵：“POWER”、“RANGE/ZERO”、“HOLD”,按“POWER”鍵開機/關(guān)機。該儀器有兩個量程：0~2KV、0~20KV,可通過按“RANGE/ZERO”鍵進行切換。當(dāng)顯示3位小數(shù)時，量程范圍為0~2KV；當(dāng)顯示2位小數(shù)時，量程范圍為0～20KV。每次測試時都應(yīng)進行讀數(shù)清零工作，方法為：將sensor對準(zhǔn)一個已知的電壓為0V的導(dǎo)體上，按“RANGE/ZERO”鍵至少3秒鐘。為保證測試值的準(zhǔn)確性，測試時人體必須戴靜電環(huán)或穿防靜電鞋。測試前，先將待測物放置在絕緣的物體上（如干燥的硬紙板），手持干燥并干凈的棉布以每分鐘120次的速度，施加適當(dāng)?shù)膲毫Γ?～4千克力），單向摩擦待測物表面201.沿被測接地極E’使電位探棒P’和電流探棒C’依直線彼此相距20米，且電位探棒P’系在E’和C’之間。2.E端鈕接5m導(dǎo)線，P端鈕接20m導(dǎo)線，C端鈕接40m導(dǎo)線。3.將儀表放置水平后檢查檢流計是否指零，否則可將零位調(diào)正器調(diào)節(jié)零位。4.將“位率標(biāo)度”置于最大倍率慢慢轉(zhuǎn)動發(fā)動的搖把，同時旋動電位器刻度盤，使檢流計指針指“0”。5.當(dāng)檢流計的指針接近平衡時，加快發(fā)電機搖柄轉(zhuǎn)速，使其達到每分鐘150轉(zhuǎn)。再轉(zhuǎn)支電位器刻度盤，使檢流計平衡，此時刻度盤的讀數(shù)乘以倍率檔即為被測接地電阻數(shù)值。6.當(dāng)刻度盤讀數(shù)小于1時應(yīng)將倍率開關(guān)置于較小倍率，重新調(diào)整刻度盤以得正確讀數(shù)。7.當(dāng)測量小于1歐的接地電阻時，應(yīng)將2個E端的聯(lián)結(jié)片打開，分別用導(dǎo)線聯(lián)接到被測接地體上，以消除測量時聯(lián)接導(dǎo)線電阻的附加誤差，操作步驟同上。8.當(dāng)檢流計的靈敏度過高時，可將二根探棒插入土壤中淺一些，當(dāng)檢流計靈敏度過低時，可沿探棒注水使其濕潤。5.1.2.6離子風(fēng)機測試儀（3M-718/3M-718A）打開測試儀（718）電源，將測試儀（718）金屬板一端與靜電產(chǎn)生儀（718A）金屬端相連接，同時按下靜電產(chǎn)生儀“+”按鈕和測試儀“HOLD”鍵，測試儀顯靜電值應(yīng)大于“+1000V”。在離子風(fēng)機下不超過30cm處水平移動靜電測試儀3秒鐘(金屬板向上)，再看測試儀顯示值應(yīng)大于-40V小于+40V。打開測試儀（718）電源，將測試儀（718）金屬板一端與靜電產(chǎn)生儀（718A）金屬端相連接，同時按下靜電產(chǎn)生儀“-”按鈕和測試儀“HOLD”鍵，測試儀顯靜電值應(yīng)小于“-1000V”。離子風(fēng)機下不超過30cm處水平移動靜電測試儀3秒鐘(金屬板向上)，再看測試儀顯示值應(yīng)大于-40V小于+40V。在檢測表中記錄顯示值，注明檢測日期，調(diào)節(jié)后的值。注意：要求平衡電壓為-40≤平衡電壓≤40V5.1.2.7手腕監(jiān)視器電容測試儀（SAML1800）：測試時，開關(guān)旋轉(zhuǎn)至“1801FALL”檔，SALM1801S-I的LED變成紅色，蜂鳴器發(fā)出報警聲響；旋轉(zhuǎn)開關(guān)至“1801PASS”檔，SALM1801S-I的LED變成綠燈，蜂鳴器停止發(fā)出報警聲響。此為合格。5.2測試項目5.2.1靜電接地極每半年使用ZC29B進行一次測試，要求靜電接地極對地電阻小于1Ω,將測試結(jié)果記錄在《ESD點檢記錄表格》中。5.2.2設(shè)備、儀器接地電阻測試每月由ESD專員或指定人員用萬用表測試設(shè)備儀器接地電阻一次（新建工位或工位調(diào)整后要立即測試）測試結(jié)果記錄在《ESD點檢記錄表格》中。設(shè)備儀器接地電阻：設(shè)備儀器外殼與靜電接地線之間的阻抗要小于10Ω。測試頻率：每月。電烙鐵：對使用中的電烙鐵進行接地電阻測試，要求烙鐵頭與靜電接地線之間的阻抗要小于10Ω。測試頻率：每天。5.2.3靜電接地線接地電阻：每半年由廠務(wù)或指定人員對靜電接地線的接地電阻進行檢測。要求每條線都要測。測試方法：在每條靜電接地線上任意找一個點，將萬用表的一端連在這個點上，另一端插在電源地線孔里。要求電阻值小于10Ω。測試結(jié)果記錄在《ESD點檢記錄表格》中。5.2.4防靜電工服PE工程師或指定人員，每季度對員工的工衣用EMI-20780測試儀進行測試，要求表面電阻1×105?≤RS<1×109?（上衣做點對點、袖對袖、片對片測試，褲子做褲腳對褲腳、點對點測試），“每次全檢，測試結(jié)果記錄在《ESD點檢記錄表格》中。如檢測到不合格的情況，在此防靜電服的胸口處蓋上“此防靜電服不合格”章，并郵件通知該員工經(jīng)理讓其當(dāng)天之內(nèi)到庫房更換。IPQA監(jiān)督有無不合格靜電服流入產(chǎn)線。5.2.5防靜電工作臺PE工程師或指定人員負(fù)責(zé)每月使用EMI-20780測試儀測試一次，要求表面電阻在1×105~1×109歐姆和接地電阻在1×106~1×109歐姆。每塊工作臺面測試3個點，將測試結(jié)果平均值記錄在《ESD點檢記錄表格》中。5.2.6地板由ESD專員負(fù)責(zé)每季度使用EMI-20780測試儀測試表面電阻一次，要求地板的表面電阻在1*105~1*109?之間。每100平米地面測5個點（對于面積小于100平方米的獨立區(qū)域如：IQC、RD實驗室、來料倉，每個區(qū)域要測5個點）。測試時兩個電極距離為0.6米～1米，測試結(jié)果記錄在《ESD點檢記錄表格》中。同時由廠務(wù)或指定人員每半年測試地板的接地電阻一次，接地電阻在1*105-1*109Ω之間。測試方法：將EMI-20780的一個電極放在地板上，另一端插入電源地線插孔里。每100平米測試1個點。測試結(jié)果記錄在《ESD點檢記錄表格》中。5.2.7物流器具（如：周轉(zhuǎn)箱、周轉(zhuǎn)車、貨架）5.2.7.1由ESD專員負(fù)責(zé)每半年使用TREK520和EMI-20780測試儀測試一次，要求摩擦電壓小于100V，周轉(zhuǎn)箱表面電阻：1×103?-1×109?，每次每種器具抽檢，每1條線抽檢10Pcs，如果有1Pcs不合格則全檢。測試結(jié)果記錄在《ESD點檢記錄表格》中。5.2.7.2由ESD專員負(fù)責(zé)每季度使用EMI-20780測試儀測試一次，要求周轉(zhuǎn)車，貨架表面電阻小于1×109?，接地電阻在1×103?-1×109?之間。測試結(jié)果記錄在《ESD點檢記錄表格》中。5.2.8腕帶、工鞋性能檢測操作類員工每日進入車間前要進行手環(huán)、工鞋測試，測試結(jié)果由電腦自動保存，產(chǎn)線專門人員進行存檔管理；在車間辦公的職員，每日上班進入車間前要進行工鞋測試，對于有可能接觸產(chǎn)品的職員（如生產(chǎn)主管、工藝、設(shè)備、質(zhì)控人員）每日上班也必須使用人體綜合電阻測試儀，測試記錄由電腦自動保存。如有測試不合格者需立即到IPQA處更換。測試合格后方能進入產(chǎn)線。腕帶系統(tǒng)電阻：800KΩ—10MΩ；工鞋系統(tǒng)電阻：100KΩ--35MΩ。5.2.9靜電場檢測由ESD專員負(fù)責(zé)每季度使用靜電場測試儀（TREK520）對車間各工位的靜電場強進行一次測試，并將測試結(jié)果記錄在《ESD點檢記錄表格》中。測試要求：距工作臺30CM范圍內(nèi)，靜電值要小于+/-100V5.2.10離子風(fēng)機測試由ESD專員負(fù)責(zé)每季度使用 3M-718與3M-718A對車間的離子風(fēng)機性能進行測試，測試內(nèi)容包括“平衡電壓”、“消電時間”，并將結(jié)果記錄在《ESD點檢記錄表格》中測試要求：測試儀器距離離子風(fēng)扇正前方30厘米；合格標(biāo)準(zhǔn):1000V降到100V的消電時間小于3秒，平衡電壓絕對值小于40V。注：CPM要分別在正、負(fù)兩種充電狀態(tài)下測試5.2.11防靜電工作椅子由ESD專員負(fù)責(zé)每月使用EMI-20780測試儀測試一次，要求表面電阻和接地電阻都在1×105-1×109歐姆之間，。將測試結(jié)果平均值記錄在《ESD點檢記錄表格》中。5.2.12傳送帶測試由ESD專員負(fù)責(zé)每季度使用表面阻抗測試儀測試一次，要求表面電阻在1×105-1×109歐姆之間。每條傳送帶測試3個點，將測試結(jié)果平均值記錄在《ESD點檢記錄表格》中。5.2.13手腕監(jiān)視器測試由 ESD專員負(fù)責(zé)每半年使用SAML1800校正儀對手腕監(jiān)視器的電容進行一次。測試不合格立即更換。5.3防靜電包裝材料的測試5.3.1認(rèn)證測試：首先要求供應(yīng)商送樣給PE確認(rèn)，同時附上產(chǎn)品的相關(guān)參數(shù)說明書或產(chǎn)品相關(guān)性能指標(biāo)認(rèn)定書，經(jīng)PE驗證合格后方可采購。防靜電性能測試環(huán)境要求：溫度23±5℃,濕度15±5％測試項目材料表面電阻摩擦電壓屏蔽泄漏電壓高溫環(huán)境模擬測試ESD標(biāo)志PE袋√√√√吸塑盒、物料盒√√√√汽珠袋、泡棉√√有機保護屏√√√緩沖材料√√屏蔽袋√√√√√防靜電膠帶√√√√防靜電防塵布√√打“√”為必測項目高溫測試：在溫度為60℃，濕度為15％的干燥箱內(nèi)烘烤12天或在溫度為70℃，濕度為15％的干燥箱內(nèi)烘烤8天，然后放于室溫存放24小時再進行表面電阻、摩擦電壓測試5.3.2接收測試PE部門對所有無物料代碼的ESD輔料進行來料檢驗。不定期全檢。檢驗要求如下：防靜電性能測試環(huán)境要求：溫度23±5℃,濕度40～70％測試項目材料表面電阻摩擦電壓屏蔽泄漏電壓高溫環(huán)境模擬測試ESD標(biāo)志PE袋√√√吸塑盒、物料盒√√√√汽珠袋、泡棉√√有機保護屏√√。緩沖材料√√。防靜電膠帶√√√√屏蔽袋√√√√防靜電防塵布√√5.3.3點檢測試由ESD小組人員每個月使用表面阻抗測試儀對各條線的防靜電袋、自制容器、防靜電膠、有機玻璃屏進行抽檢。要求表面電阻在1×104-1×1011歐姆之間，摩擦電壓小于100V。每條線測試5Pcs，若有3Pcs不合格則整條線全檢并更換相應(yīng)物料。以上這些物料必須有防靜電標(biāo)識才可投入產(chǎn)線使用，一經(jīng)IPQA發(fā)現(xiàn)將沒收，找替代品或者做防靜電加工。5.4各類防靜電物品、設(shè)施檢測指標(biāo)測試項目摩擦電壓表面電阻系統(tǒng)電阻防靜電工服、工帽1×105?≤RS<1×109?工鞋1×105?≤Rs<1×109?0.1×106?≤R<3.5×107?腕帶內(nèi)面＜1×105Ω外面＞1×107Ω0.8×106?≤R<3.5×107?防靜電地板0.1×106?≤RS<1×109?0.1×106?≤R<1×109?工作臺1×106?≤RS<1×109?0.75×106?≤R<1×109?周轉(zhuǎn)箱、周轉(zhuǎn)盒、托盤、料盒、防靜電刷子、防靜電鑷子、防靜電推車<100V1×103?≤RS<1×109?傳送帶1×106?≤RS<1×109?防靜電工作椅1×105?<RS<1×109?1×106?<R<1×109?PE袋<100V1×104?≤RS<1×1011?吸塑盒<100V1×104?≤RS<1×1011?汽珠袋、泡棉<100V1×104?≤RS<1×1011?緩沖材料<100V1×104?≤RS<1×1011?屏蔽型防靜電袋<100V1×104?≤RS<1×1011?防靜電膠帶<100V1×104?≤RS<1×1011?防靜電有機玻璃板<100V1×104?≤RS<1×1011?防靜電防塵布、手套、指套<100V1×104?≤RS<1×1011?注：1.屏蔽袋要加測“屏蔽泄漏電壓”，要求小于100V；2.為便于包裝材料的接收檢驗，選擇包材時可根據(jù)實際情況選擇表面電阻及體電阻在1×105?～1×1010?的材料。3.對產(chǎn)線自制物料盒需要經(jīng)過PE認(rèn)證檢驗后并貼上防靜電標(biāo)志才能使用。4.膠帶要加測剝離電壓小于100V才能接收。6、7、附錄—各類點檢項目明細點檢項目頻率表面電阻接地電阻摩擦電壓備注烙鐵頭每天——10Ω——設(shè)備儀器每月——10Ω——工作臺面每月1×105?--1×109?1×106?--1×109?——防靜電椅每月1×105?--1×109?1×105?--1×109?——防靜電袋、膠帶、自制器具、有機玻璃屏每月1×104?--1×1011?——＜100V每次月度稽核時ESD組員負(fù)責(zé)檢驗。條線抽檢5Pcs，3Pcs不合格則整條線全檢并更換。防靜電服季度1×