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第三章

電容式傳感器

以電容器為敏感元件，將機械位移量轉換為電容量變化的傳感器稱為電容式傳感器。電容式傳感器變間隙型變面積型變介質型ε——極板間介質的介電系數(shù)；ε0——真空的介電常數(shù)，ε0=8.854×10-12F/m；εr

——極板間介質的相對介電常數(shù)，對于空氣介質，εr

≈1。3.1電容式傳感器的工作原理及特性3.1.1基本工作原理平行極板電容器的電容量為：+-3.1.2電容式傳感器的類型和特性1.變極距型電容傳感器極板2上移：設動極板未移動時極板間距為δ0初始電容量為：電容的相對變化量為：略去高次項，得：所以變極距型電容傳感器在設計時要考慮滿足Δδ<<δ0的條件。且一般Δδ只能在極小的范圍內變化。

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