GB/Z 42624-2023真空技術(shù)真空計(jì)放氣率的測(cè)試和報(bào)告程序

ICS23160

CCSJ7.8

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化指導(dǎo)性技術(shù)文件

GB/Z42624—2023/ISO/TS201772018

:

真空技術(shù)真空計(jì)

放氣率的測(cè)試和報(bào)告程序

Vacuumtechnology—Vacuumgauges—

Procedurestomeasureandreportoutgassingrates

ISO/TS201772018IDT

(:,)

2023-05-23發(fā)布2023-05-23實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/Z42624—2023/ISO/TS201772018

:

目次

前言

…………………………Ⅰ

引言

…………………………Ⅱ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語(yǔ)和定義

3………………2

符號(hào)和縮略語(yǔ)

4……………3

測(cè)試系統(tǒng)

5…………………3

一般要求

5.1……………3

應(yīng)用流量法的測(cè)試系統(tǒng)

5.2……………5

累積系統(tǒng)

5.3……………10

測(cè)試方法

6…………………11

概述

6.1…………………11

推薦的樣品制備方式

6.2………………12

測(cè)試的流程和時(shí)間

6.3…………………12

測(cè)試程序

6.4……………13

測(cè)量不確定度

7……………17

概述

7.1…………………17

用作流量比較裝置的連續(xù)膨脹系統(tǒng)

7.2(5.2.2)………18

帶有可計(jì)算流導(dǎo)元件的流量系統(tǒng)

7.3(5.2.3)…………18

帶有可測(cè)有效抽速的流量系統(tǒng)

7.4(5.2.4)……………18

帶有可調(diào)流導(dǎo)元件的流量系統(tǒng)

7.5(5.2.5)……………19

基本累積系統(tǒng)

7.6(5.3.2)………………19

帶有氣體分析系統(tǒng)的累積系統(tǒng)

7.7(5.3.3)……………19

測(cè)試報(bào)告

8…………………22

附錄資料性各種測(cè)試系統(tǒng)的原理圖

A()………………23

附錄資料性不同測(cè)試系統(tǒng)的特征和適用性

B()………28

附錄資料性不同測(cè)量系統(tǒng)對(duì)的可追溯性

C()SI……………………29

參考文獻(xiàn)

……………………30

GB/Z42624—2023/ISO/TS201772018

:

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件等同采用真空技術(shù)真空計(jì)放氣率的測(cè)試和報(bào)告程序

ISO/TS20177:2018《》。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任

。。

本文件由中國(guó)機(jī)械工業(yè)聯(lián)合會(huì)提出

。

本文件由全國(guó)真空技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口

(SAC/TC18)。

本文件起草單位北京衛(wèi)星環(huán)境工程研究所中國(guó)航天科技集團(tuán)有限公司第五研究院第五一〇研究

:、

所上海精密計(jì)量測(cè)試研究所重慶云海機(jī)械制造有限公司沈陽(yáng)匯真真空技術(shù)有限公司湖南維格磁流

、、、、

體股份有限公司合肥工業(yè)大學(xué)沈陽(yáng)真空技術(shù)研究所有限公司

、、。

本文件主要起草人孫立臣趙月帥綦磊袁翠平成永軍趙瀾孫雯君肖寅楓翁俊倪博唐俊聰

:、、、、、、、、、、、

何萬(wàn)飛言繼春言文靜畢海林孫立志潘穎史紀(jì)軍孟冬輝劉興悅鐘亮齊嘉東郭琦汪力喻新發(fā)

、、、、、、、、、、、、、、

董猛張瑞芳宋青竹喬忠路王玲玲

、、、、。

Ⅰ

GB/Z42624—2023/ISO/TS201772018

:

引言

真空室內(nèi)壁及其內(nèi)部組件的放氣限制了真空系統(tǒng)的極限壓力及其清潔度對(duì)于科研設(shè)備如加速

。(

器需確保表面清潔的設(shè)備如分子束外延設(shè)備或在長(zhǎng)時(shí)間無(wú)泵條件下需保持高真空的設(shè)備如含發(fā)

)、()(

射器或射線管的設(shè)備醫(yī)療儀器表面分析儀器或者絕熱板等而言可實(shí)現(xiàn)的極限壓力是一項(xiàng)重要

X、、),

的技術(shù)指標(biāo)在很多工業(yè)應(yīng)用中如鍍膜極紫外光刻催化制藥或食品工業(yè)中的干燥過(guò)程以及加速

。,、、、,

器聚變反應(yīng)器等真空清潔度即完全不含某種特殊氣體或蒸氣或者它們的分壓足夠低也是一個(gè)重

、,(,)

要的技術(shù)指標(biāo)因此在真空技術(shù)中放氣率的測(cè)試是一個(gè)重要的質(zhì)量保證措施本文件詳細(xì)規(guī)定了放

。,,。

氣率的測(cè)試程序使得放氣率的測(cè)量結(jié)果具有可追溯性

,。

附錄列出了各種測(cè)試系統(tǒng)的原理圖

A。

Ⅱ

GB/Z42624—2023/ISO/TS201772018

:

真空技術(shù)真空計(jì)

放氣率的測(cè)試和報(bào)告程序

1范圍

本文件規(guī)定了真空室整體及其組件的放氣率測(cè)試程序本文件適用的放氣率由應(yīng)用于高真空或超

。

高真空的設(shè)備產(chǎn)生在時(shí)小于-53-1-2-1放氣產(chǎn)生的各種氣體

,23℃1×10Pa·m·s(1×10Pa·L·s),

或蒸氣的分子量均小于

300u。

總放氣率的上限-53-1與放氣材料的尺寸總表面積材質(zhì)或者狀態(tài)無(wú)關(guān)如果標(biāo)

1×10Pa·m·s、、。

稱放氣率單位面積放氣率已測(cè)定則該面積采用名義幾何表面積而非包括表面粗糙度的比表面積

(),,。

當(dāng)難以測(cè)定樣品如粉末多孔材料非常粗糙的表面或者復(fù)雜的設(shè)備等的名義幾何表面積時(shí)采用單

(、、),

位質(zhì)量放氣率如每克放氣率

()。

在許多實(shí)際應(yīng)用中只需確定總放氣率如果使用了靈敏度與氣體種類有關(guān)的測(cè)試儀器則總放氣

,。,

率以等效氮?dú)夥艢饴实男问浇o出如果總放氣率很高為了改進(jìn)樣品材料存在需要辨別干擾氣體的種

。,,

類和測(cè)定其放氣率的情況本文件涵蓋上述兩種情況

。。

放氣產(chǎn)生的一些分子能夠被表面吸附且滯留時(shí)間遠(yuǎn)長(zhǎng)于總測(cè)試時(shí)間這些分子不在直接路徑上

。

時(shí)也不能被測(cè)試儀器檢測(cè)到這可認(rèn)為是一種表面效應(yīng)采用表面分析研究遠(yuǎn)比這里考慮的常規(guī)放氣

,。,

率測(cè)量更加行之有效同時(shí)受紫外光或射線照射從表面釋放的分子也不適用于本文件

。,X,。

制定本文件是為了使放氣率的測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)化使得在不同實(shí)驗(yàn)室和采用不同方法獲得的測(cè)試值

,

具有可比性為此對(duì)于本文件中規(guī)定的任一種方法每種方法中最重要的參數(shù)可依據(jù)計(jì)量水平溯源到

。,,

國(guó)際基本單位

(SI)。

質(zhì)量損失法是一種與氣體種類無(wú)關(guān)的放氣率測(cè)試方法主要用于航天器及衛(wèi)星材料的放氣率測(cè)試

,。

在可接受的測(cè)試時(shí)長(zhǎng)范圍內(nèi)質(zhì)量損失法可測(cè)試的放氣率-53-1明顯高于常規(guī)高真

,(>1×10Pa·m·s)

空和超高真空組件的放氣率而且由于天平不適于在真空環(huán)境下應(yīng)用考慮到真空室的重量無(wú)法原

。,,,

位測(cè)試樣品因此本文件未考慮質(zhì)量損失法

。,。

本文件適用于熟悉高真空和超高真空技術(shù)以及相應(yīng)的測(cè)試儀器例如電離真空計(jì)和四極質(zhì)譜儀

(,

等