電阻式傳感器

關(guān)于電阻式傳感器第1頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三§2-1

應(yīng)變式傳感器常見用途：

電阻應(yīng)變式測力/稱重傳感器(straingagebasedloadcellorloadcell)，在工程結(jié)構(gòu)試驗(yàn)及材料性能試驗(yàn)中，用于測量施加于結(jié)構(gòu)或材料上的外載荷(力值)；在衡器和自動稱量技術(shù)中，用于測量衡器和自動稱量過程中的物體的質(zhì)量(重量)。

據(jù)國際計量聯(lián)合會(IMEKO)力值和質(zhì)量計量委員會(TC-3)發(fā)表的會議錄文章介紹，在電子衡器和自動稱量系統(tǒng)中，應(yīng)用電阻應(yīng)變式稱重傳感器占90％以上。第2頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三粘貼式應(yīng)變片制成的測力環(huán)和測力棒第3頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三第4頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三材料應(yīng)變的測試斜拉橋上的斜拉繩應(yīng)變測試第5頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三發(fā)展歷史：

1843年由英國物理學(xué)家惠斯頓(SirCharlesWheastone)發(fā)明了惠斯頓電橋電路。1938年，第一只電阻應(yīng)變片誕生。

在1939~1940年間，美國麻省理工學(xué)院的RugeDeforest等人將電阻應(yīng)變片應(yīng)用到了應(yīng)變測量裝置中。1942年完成了酚醛基應(yīng)變片，從而，使電阻應(yīng)變式傳感器性能有了進(jìn)一步的提高。從上世紀(jì)五十年代開始，出現(xiàn)了各類應(yīng)變片，比如當(dāng)時發(fā)明的箔式應(yīng)變片、半導(dǎo)體應(yīng)變片到現(xiàn)在的厚膜應(yīng)變片等等。第6頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三

應(yīng)變式式傳感器是基于金屬電阻的應(yīng)變效應(yīng)制成。金屬材料多為鋁合金材質(zhì)、合金材質(zhì)及不銹鋼材質(zhì)。(一)金屬的電阻應(yīng)變效應(yīng)

金屬導(dǎo)體的電阻隨著機(jī)械變形（伸長或縮短）的大小發(fā)生變化的現(xiàn)象稱為金屬的電阻應(yīng)變效應(yīng)。一、工作原理第7頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三lΔlΔrrFF

設(shè)一根長為l，截面積為S，電阻系數(shù)為ρ的電阻絲，其電阻值R為：導(dǎo)線兩端受到力F作用時第8頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三將上式取對數(shù)再微分，則引起電阻值變化dR：因，由材料力學(xué)可知：（徑向變化），式中泊松比表示電阻絲軸向的相對變化，也就是應(yīng)變。第9頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三令則K——金屬電阻絲的相對靈敏度系數(shù)。金屬電阻絲的相對靈敏度系數(shù)受兩個因素影響：（1）受力后材料的幾何尺寸變化所引起的；即（2）受力后材料的電阻率發(fā)生變化引起的；即項(xiàng)項(xiàng)第10頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三（二）應(yīng)變片的結(jié)構(gòu)

應(yīng)變片由電阻絲（敏感柵）、基底、引線和粘合劑組成。引力應(yīng)變關(guān)系：第11頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三

應(yīng)變片的優(yōu)點(diǎn)：（1）結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，性能穩(wěn)定、可靠，由于有保護(hù)覆蓋層，可工作于各種惡劣環(huán)境；（2）靈敏度高，測量速度快，范圍大、體積小、動態(tài)響應(yīng)好，適合靜態(tài)、動態(tài)測量，如變形可從彈性到塑性，由1～20%變化；分辨率可達(dá)1～2微應(yīng)變（με）；誤差小于1%；（3）可以測量多種物理量;（4）易于實(shí)現(xiàn)測試過程自動化和多點(diǎn)同步測量、遠(yuǎn)距測量和遙測。第12頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三二、應(yīng)變片的類型和材料

敏感柵由很細(xì)的電阻絲（0.01~0.05mm）或箔式金屬片（厚度為3~10μm）或金屬薄膜（0.1μm以下)組成。1.金屬絲式應(yīng)變片（一）關(guān)于應(yīng)變片回線式：制作簡單性能穩(wěn)定，但橫向效應(yīng)比較大短接法：制作工藝要求高2.金屬箔式應(yīng)變片

箔式應(yīng)變片是利用光刻、腐蝕等工藝制成的一種很薄的金屬箔柵。箔片式優(yōu)點(diǎn)：（1）光刻技術(shù)能制作各種復(fù)雜形狀的敏感柵第13頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三（2）橫向效應(yīng)小（3）允許大電流通過，提高靈敏度（4）疲勞壽命長、蠕變?。?）生產(chǎn)效率高缺點(diǎn)：電阻值分散性大3.金屬薄膜應(yīng)變片

薄膜應(yīng)變片是采用真空蒸發(fā)或真空沉淀等方法在薄的絕緣基片上形成0.1μm以下的金屬電阻薄膜的敏感柵,最后再加上保護(hù)層。優(yōu)點(diǎn)：

電阻值比箔式應(yīng)變片高，形狀尺寸更小更精確；應(yīng)變靈敏度系數(shù)大；允許電流密度大；工作范圍廣第14頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三4.厚膜應(yīng)變片

厚膜應(yīng)變片使用高純氧化鋁陶瓷材料制成感壓膜片，是用厚膜應(yīng)變電阻漿料在感壓膜片上以絲網(wǎng)印刷技術(shù)制成應(yīng)變片圖形。優(yōu)點(diǎn)：

使用溫度范圍寬，輸出遠(yuǎn)大于金屬應(yīng)變傳感器；功耗低；穩(wěn)定性好；精度與薄膜應(yīng)變片相當(dāng)，而工藝比薄膜應(yīng)變片簡單經(jīng)濟(jì)；溫漂小。第15頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三（二）粘結(jié)劑和粘貼技術(shù)

粘貼劑形成的膠層必須可靠地將試件或彈性元件產(chǎn)生的應(yīng)變傳遞到應(yīng)變片的敏感柵去。1.粘合劑要求：（1）有一定粘結(jié)強(qiáng)度（2）能準(zhǔn)確傳遞應(yīng)變（3）蠕變、機(jī)械滯后?。?）足夠穩(wěn)定（5）耐濕、耐油、耐老化、耐疲勞2.粘貼技術(shù)（1）應(yīng)變片檢查、阻值檢查（2）試件表面處理（3）定位劃線（4）使粘合劑厚度盡量?。?）粘合劑固化處理（6）引線焊接處固定以及防護(hù)第16頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三第17頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三其中為安裝應(yīng)變片區(qū)域的軸向應(yīng)變。電阻應(yīng)變片的靈敏度系數(shù)定義為：。（電阻絲應(yīng)變片存在橫向效應(yīng)）三、金屬應(yīng)變片的主要特性（一）靈敏系數(shù)

實(shí)驗(yàn)證明，電阻應(yīng)變片的靈敏度系數(shù)恒小于電阻絲應(yīng)變片的靈敏度系數(shù)，即第18頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三l0PP2bar圖4放大的柵狀電阻應(yīng)變片及彎角部分示意圖縱向應(yīng)變造成電阻增加，橫向應(yīng)變造成電阻減少。（二）橫向效應(yīng)第19頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三式中，通?？赏ㄟ^實(shí)驗(yàn)確定出Kx和Ky。令橫向效應(yīng)系數(shù)

由于橫向效應(yīng)，橫向應(yīng)變

也能引起電阻的變化．此時實(shí)際電阻的變化為則第20頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三根據(jù)應(yīng)變片靈敏度K的定義可知：

可見，即應(yīng)變片存在橫向效應(yīng)使應(yīng)變片的靈敏度系數(shù)小于直的電阻絲的應(yīng)變靈敏度系數(shù)。第21頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三（三）機(jī)械滯后在一定溫度下，應(yīng)變片的電阻相對變化?R/R在應(yīng)變加載和卸載時不相同，即在同一機(jī)械應(yīng)變值下，對應(yīng)的?R/R值（即對應(yīng)的指示應(yīng)變）不一致，稱為應(yīng)變片的滯后。第22頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三（四）零漂和蠕變零漂：已經(jīng)粘貼的應(yīng)變片，在溫度保持不變，試件沒有應(yīng)變的情況下，應(yīng)變片的指示應(yīng)變會隨時間的增長而逐漸變化的現(xiàn)象。蠕變：已經(jīng)粘貼的應(yīng)變片，在溫度保持不變，試件承受恒定機(jī)械應(yīng)變長時間的作用，應(yīng)變片的指示應(yīng)變會隨時間的增長而逐漸變化的現(xiàn)象。蠕變中包含零漂，蠕變是加載情況的特例。第23頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三（五）應(yīng)變極限和疲勞壽命應(yīng)變極限：指在一定的溫度下，應(yīng)變片的指示應(yīng)變εi與試件的真實(shí)應(yīng)變εg的相對誤差達(dá)到規(guī)定值(10%)時的真實(shí)應(yīng)變值。疲勞壽命：已經(jīng)安裝的應(yīng)變片，在恒定幅值內(nèi)的交變應(yīng)力作用下，可連續(xù)工作而不產(chǎn)生疲勞損壞的循環(huán)次數(shù)N。疲勞損壞：應(yīng)變片的敏感柵或引線發(fā)生斷路；應(yīng)變片輸出指示應(yīng)變的值為10%；應(yīng)變片輸出信號波形上出現(xiàn)穗狀尖峰。第24頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三（六）絕緣電阻和最大工作電流絕緣電阻：粘貼的應(yīng)變片的引線與被測試件之間的電阻值。50-100M最大工作電流：已安裝的應(yīng)變片，允許通過敏感柵而不影響其工作特性的最大電流。工作電流大，輸出的信號也大，靈敏度高。（七）應(yīng)變片電阻R

應(yīng)變片在未經(jīng)安裝也不受外力情況下，在室溫下測得的電阻值。R越大，輸出信號越大，但敏感柵尺寸也增大。第25頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三（八）動態(tài)響應(yīng)特性

電阻應(yīng)變片在測量頻率較高的動態(tài)應(yīng)變時，應(yīng)該考慮其動態(tài)特性。影響應(yīng)變片頻率響應(yīng)特性的主要因素是應(yīng)變片的基長和應(yīng)變波在試件材料中的傳播速度。

設(shè)應(yīng)變波為正弦波，應(yīng)變波長為，應(yīng)變片基長為，應(yīng)變片中點(diǎn)坐標(biāo)為，其兩端點(diǎn)坐標(biāo)為和，應(yīng)變變化為 ，而，則第26頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三所以應(yīng)變波幅相對誤差為而此時的真實(shí)應(yīng)變?yōu)榈?7頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三四、轉(zhuǎn)換電路根據(jù)電源的不同，電橋分為直流電橋和交流電橋。測量過程力、壓力應(yīng)變變化

電阻變化電壓或電流的變化并顯示和記錄敏感元件

應(yīng)變片

電阻應(yīng)變儀

第28頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三（一）直流電橋1.工作原理ab由戴維南定理，從圖(a)可知，負(fù)載電流為第29頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三當(dāng)IL=0時，電橋平衡，此時的輸出電壓UO=0，電橋平衡的條件為2.不平衡直流電橋的工作原理及靈敏度當(dāng)電橋后接放大器，電橋輸出端可看成開路。應(yīng)變片工作時，電阻R1產(chǎn)生變化?R，電橋不再平衡，于是不平衡電壓輸出為：第30頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三設(shè)橋臂比n=R2/R1=R4/R3,而通常?R1<<R1，略去分母中的?R1/R1，于是可得：將電橋靈敏度定義為于是可得單臂工作應(yīng)變片的電橋電壓靈敏度為第31頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三所以n=1時，即R1=R2,R3=R4時的ku最大，所以當(dāng)電源電壓U及電阻相對值一定時，電橋的輸出電壓及電壓靈敏度與各臂阻值的大小無關(guān)。n=1時的電橋稱為對稱電橋，是目前常常采用的電橋形式。第32頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三（二）直流電橋非線性誤差實(shí)際的電橋輸出電壓（不略去分母上的?R/R）為：所以非線性誤差為當(dāng)n=1第33頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三將1/[1+?R1/(2?R1)]按冪級數(shù)展開：

金屬電阻絲應(yīng)變片的靈敏度比半導(dǎo)體應(yīng)變片小很多，所以前者的?R比后者的?R要小很多，所以前者的非線性誤差可忽略而后者不可忽略。第34頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三

減小非線性誤差的措施：R1+?R1R2-?R2R4R3U半橋差動電橋設(shè)初始時電橋?yàn)閷ΨQ電橋，（1）采用差動電橋此時Uo和?R/R成線性關(guān)系，且電橋靈敏度比單臂時提高了一倍。第35頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三R1+?R1R2-?R2R4+?R4R3-?R3U全橋差動電橋第36頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三（2）采用恒流源電橋R1+?R1R2R4R3I1I2I分母變成了?R/4R，所以利用恒流源比用恒壓源非線性誤差減小了1/2第37頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三（三）交流電橋交流電橋供橋電源為正弦交流電，且四個橋臂不是純電阻，即Z1Z2Z4Z3交流電橋a)1.平衡條件Z1=r1+jx1，Z2=r2+jx2，Z3=r3+jx3，Z4=r4+jx4。所以平衡條件為：設(shè)第38頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三交流電橋平衡條件為：2.交流電橋的輸出特性和預(yù)平衡調(diào)節(jié)設(shè)初始為平衡狀態(tài)，略去分母中的?Z/Z1，第39頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三R1R2R4R3交流電橋b)C1C2當(dāng)電橋初始平衡，C比較小，電源頻率不高，R1=Z1，?R1=?Z1，直流電橋的計算公式可適用于此時的交流電橋。根據(jù)平衡條件第40頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三五、電阻應(yīng)變片溫度誤差及補(bǔ)償理想情況下，，即應(yīng)變片的輸出電阻是應(yīng)變的一元函數(shù)；但實(shí)際上應(yīng)變片輸出電阻還和溫度有關(guān)，即。第41頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三

溫度變化引起電阻變化的原因主要有兩點(diǎn)：（1）電阻絲電阻本身就是溫度的函數(shù)。（2）試件材料與應(yīng)變片材料熱膨脹系數(shù)不同產(chǎn)生附加變形而引起電阻的變化，其電阻增量表達(dá)式為：、——應(yīng)變片靈敏系數(shù)；——分別為試件、電阻絲的熱膨脹系數(shù)。第42頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三所以溫度形成的總的電阻相對變化為相應(yīng)的附加應(yīng)變量就為第43頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三

溫度補(bǔ)償?shù)姆椒?.應(yīng)變片自補(bǔ)償2.電橋補(bǔ)償法（電路實(shí)現(xiàn)）。第44頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三1.應(yīng)變片自補(bǔ)償法（1）單絲自補(bǔ)償法粘貼在被測部位上的是一種特殊應(yīng)變片，當(dāng)溫度變化時，產(chǎn)生的附加應(yīng)變?yōu)榱慊蛳嗷サ窒?，這種特殊應(yīng)變片稱為溫度自補(bǔ)償應(yīng)變片。利用溫度自補(bǔ)償應(yīng)變片來實(shí)現(xiàn)溫度補(bǔ)償?shù)姆椒ǚQ為應(yīng)變片自補(bǔ)償法。優(yōu)點(diǎn)：容易加工、成本低缺點(diǎn)：只能在一種材料上使用、溫度補(bǔ)償范圍比較窄第45頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三（2）組合式自補(bǔ)償法(雙金屬絲柵法)

應(yīng)變片敏感柵絲由兩種不同溫度系數(shù)的金屬絲串接組成，若兩段敏感柵R1和R2由溫度變化產(chǎn)生的電阻變化滿足：

通過調(diào)節(jié)兩種敏感柵的長度來控制應(yīng)變片的溫度自動補(bǔ)償。于是第46頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三R1R2R3R4U若初始電阻。電橋輸出電壓與各橋臂電阻的增量表達(dá)式為：2.電橋補(bǔ)償法（線路補(bǔ)償法）第47頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三

每一個橋臂電阻變化均是兩部分：一部分是應(yīng)變引起的；另一部分是溫度引起的。

若橋臂電阻均在同一溫度場，各橋臂電阻同批制造，材料規(guī)格、工藝均相同，則由溫度變化引起的電阻相對變化相互抵消，且不在電橋輸出中反映。第48頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三工作應(yīng)變片R1安裝在被測試件上，另選一個特性與R1相同的補(bǔ)償片RB，安裝在材料與試件相同的某補(bǔ)償件上，并不承受應(yīng)變。第49頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三而為達(dá)到完全補(bǔ)償，必須滿足以下條件：（1）R1和RB須屬于同一批號的，即它們的電阻溫度系數(shù)a0、線膨脹系數(shù)as、應(yīng)變片靈敏度k都相同，兩片的初始電阻值也相同；（2）用于粘貼補(bǔ)償片的構(gòu)件和粘貼工作片的試件材料必須相同，即要求兩者線膨脹系數(shù)ag相同；（3）兩應(yīng)變片處于同一溫度場中。優(yōu)點(diǎn)：方法簡單易行，能在較大溫度范圍內(nèi)進(jìn)行補(bǔ)償。缺點(diǎn)：三個條件不易滿足，特別是第（3）點(diǎn)，在某些測試條件下，溫度場梯度較大，R1和RB很難出于相同溫度點(diǎn)。第50頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三根據(jù)被測試件承受應(yīng)變的情況，可直接將補(bǔ)償片貼在被測試件上，既能起到溫度補(bǔ)償作用，又能提高靈敏度。RBRBR1和RB變形方向相反，一個受拉，一個受壓，阻值變化量大小相等，符號相反，靈敏度提高了一倍。同時溫度引起的阻值變化大小和符號相同，溫度誤差得到補(bǔ)償。將RB的軸線順著應(yīng)變方向，R1的軸線垂直應(yīng)變方向，接入相鄰橋臂。第51頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三熱敏電阻補(bǔ)償法第52頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三六、應(yīng)變式傳感器舉例（一）應(yīng)變式力傳感器

被測物理量為荷重或力的應(yīng)變式傳感器,統(tǒng)稱為應(yīng)變式力傳感器。其主要用作各種電子稱與材料試驗(yàn)機(jī)的測力元件、發(fā)動機(jī)的推力測試、水壩壩體承載狀況監(jiān)測等。應(yīng)變式力傳感器要求有較高的靈敏度和穩(wěn)定性,當(dāng)傳感器在受到側(cè)向作用力或力的作用點(diǎn)發(fā)生輕微變化時,不應(yīng)對輸出有明顯的影響。第53頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三1.柱（筒）式力傳感器柱式力傳感器可測量大的拉、壓力，最大可達(dá)107N。第54頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三第55頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三2.環(huán)式力傳感器第56頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三

對R/h>5的小曲率圓環(huán),可計算出A、B兩點(diǎn)的應(yīng)變。式中:h——圓環(huán)厚度;b——圓環(huán)寬度;E——材料彈性模量。這樣,測出A、B處的應(yīng)變,即可確定載荷F。

與柱式相比,應(yīng)力分布變化較大,且有正有負(fù)，便于接成差動電橋。第57頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三3.梁式力傳感器力F作用于梁端三角形頂點(diǎn)上，梁內(nèi)各斷面產(chǎn)生的應(yīng)力相等，表面上的應(yīng)變也相等，所以對在l方向上應(yīng)變片位置要求不嚴(yán)。結(jié)構(gòu)簡單，易加工，靈敏度高，適合測量5000N以下的載荷和壓力。第58頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三雙孔梁，載荷可以施加在任何位置，都可以簡化成作用于梁端部的力F及一個力偶M，多用于小量程，如電子秤。雙孔S型彈性元件，適用于較小載荷。第59頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三各種懸梁臂：第60頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三4.剪切式力傳感器

應(yīng)變片安裝在彈性元件剪應(yīng)變最大處的主應(yīng)變方向。剪切式力傳感器的輸出和精度比拉壓式力傳感器高。第61頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三（二）應(yīng)變式壓力傳感器

應(yīng)變式壓力傳感器主要用來測量流動介質(zhì)的動態(tài)或靜態(tài)壓力。如動力管道設(shè)備的進(jìn)出口氣體或液體的壓力、發(fā)動機(jī)內(nèi)部的壓力變化,槍管及炮管內(nèi)部的壓力、內(nèi)燃機(jī)管道壓力等。

應(yīng)變片壓力傳感器大多采用膜片式或筒式彈性元件。第62頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三1.膜片式壓力傳感器如圖所示為膜片式壓力傳感器,應(yīng)變片貼在膜片內(nèi)壁,在壓力p作用下,膜片產(chǎn)生徑向應(yīng)變εr和切向應(yīng)變εt,表達(dá)式分別為:第63頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三式中:p——膜片上均勻分布的壓力;R,h——膜片的半徑和厚度;x——離圓心的徑向距離。

在膜片中心即x=0處切向應(yīng)變和徑向應(yīng)變都達(dá)到最大，在x=R處，

第64頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三

根據(jù)以上特點(diǎn),一般在平膜片圓心處（正應(yīng)變最大區(qū)）切向粘貼R1、R4兩個應(yīng)變片,在邊緣處（負(fù)應(yīng)變最大區(qū)）沿徑向粘貼R2、R3兩個應(yīng)變片,然后接成全橋測量電路。四、應(yīng)變式加速度傳感器

應(yīng)變式加速度傳感器主要用于物體加速度的測量。其基本工作原理是:物體運(yùn)動的加速度與作用在它上面的力成正比,與物體的質(zhì)量成反比,即a=F/m。

應(yīng)變片加速度傳感器不適用于頻率較高的振動和沖擊,一般適用頻率為10～60Hz范圍。

第65頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三建議選用的測力傳感器彈性元件形式第66頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三七、實(shí)際工程應(yīng)用舉例舉例1：橋梁固有頻率測量原理在橋中設(shè)置一三角形障礙物，利用汽車礙時的沖擊對橋梁進(jìn)行激勵，再通過應(yīng)變片測量橋梁動態(tài)變形，得到橋梁固有頻率。第67頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三舉例2：電子稱原理將物品重量通過懸臂梁轉(zhuǎn)化結(jié)構(gòu)變形再通過應(yīng)變片轉(zhuǎn)化為電量輸出。第68頁，講稿共77頁，2023年5月2日，星期三§2-3壓阻式傳感器壓阻式傳感器——利用硅的壓阻效應(yīng)和微電子技術(shù)制成。特