IC行業(yè)特種氣體簡介課件

IC行業(yè)特種氣體簡介主講部門：華特銷售部主講部門負(fù)責(zé)人：張均華主講人：李淵氣丈游魂氯瓢繁郊圾須委很嶼概兄測菜飯斤懶蝸稚販榜鬧肇剩呵式篇貨尊IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介主講部門：華特銷售部氣丈游魂氯瓢繁郊圾須1IC的定義IC即集成電路，是采用半導(dǎo)體制作工藝，在一塊較小的單晶硅片上制作上許多晶體管及電阻器、電容器等元器件，并按照多層布線或遂道布線的方法將元器件組合成完整的電子電路。IC行業(yè)通常包括設(shè)計、制造及封裝三大塊。與我們氣體相關(guān)主要是其制造模塊，另外封裝模塊也涉及很少的一部分。7/24/2023倔存拽仗盤焙奉淋狹傭晌保烽釬航柴魔塵倒胰賞膊啊革吟鑒扮候穴頻憫范IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介IC的定義IC即集成電路，是采用半導(dǎo)體制作工2特氣在IC行業(yè)里面的應(yīng)用電子特氣廣泛應(yīng)用于IC行業(yè)的如下工藝：薄膜沉積；刻蝕；摻雜；鈍化；清洗；或用作載氣、保護(hù)氣氛等等。7/24/2023勘維同囊錳缺琉北歧仿篆諺械忙宿斟活項邯崇貍琳膽籠逼舒填構(gòu)燼家墑?chuàng)PIC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介特氣在IC行業(yè)里面的應(yīng)用電子特氣廣泛應(yīng)用于IC行業(yè)的如下工藝37/24/2023特氣在IC體制造中的應(yīng)用-工藝Wafer-ProbeTest(Frontendorbackend)AssemblyFinalTextShiptoCustomerOtherProcessing:-IonImplantDiffusionCMPPhotolithography-ResistCoat-Bake-ExposureEtchFilm-Plasma-WetEtchingDepositorGrowFilm-Oxidation-Metallization-CVDMaterialPreparation:EpitaxialGrowth(Optional)LPCVDMetalCVDPECVDSACVDAPCVDEPIDryEtch特氣使用捏淤泊蘊適盞嘶孺舷敖撞八扔霉險袋眾焙鳳震魯郴印匹菊葦烈芽疑紫剔濕IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介7/24/2023特氣在IC體制造中的應(yīng)用-工藝Wafer-47/24/2023特氣在IC制造中的應(yīng)用-原理CVDDeposition:SiH4+N2(Carriergas)+NH3plasma&heatSixNy+H2+N2+othervolatilesCVDChamberclean

NF3+SixNyplasmaSiF4+N2+othervolatile摻雜:(如Implant/DOPOS)PH3+H2混氣等刻蝕:

SiO2+CF4*→SiF4↑+CO↑+CO2↑反應(yīng)氣載氣清潔氣體固態(tài)氣態(tài),可被排出腔體固態(tài)刻蝕氣體氣態(tài),可被排出硅片及腔體主要應(yīng)用：反應(yīng)載氣腔體清潔摻雜刻蝕禁憨估迄瓢央村瀑質(zhì)臃懸湃毋黎亞淀琵主屯肖絆坪衰脯移坪紊渙琉加噪嘲IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介7/24/2023特氣在IC制造中的應(yīng)用-原理CVDD57/24/2023特氣在IC制造中的應(yīng)用-分類

大宗氣體N2O2Ar離子注入BF3SF6Xe（紅磷、黃磷、金屬砒霜）

PR（印刷）F2HeKrNe擴散H2POCl3DRYHeCF4C4F8C5F8CHF3CH2F2Cl2HBrBCl3SF6COCVDTEOSTEBTEPOPH3ClF3SiH2Cl2NF3SiH4NH3HeN2OWF6C2F6TiCl4CH4雹寒陷蟻神過攔彎募郵因鮑速憫豆吹唐貫夕蕉紐腎方瞻促避贊及織鹵蝶僥IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介7/24/2023特氣在IC制造中的應(yīng)用-分類大宗氣體雹寒67/24/2023特氣在IC制造中的應(yīng)用-用量一個八寸的芯片廠每年氣體的使用金額約為5千萬元人民幣。感官認(rèn)識：廷骸哎賬轍噪弓耘士顯雇姬敞謄勸持坦恫兵撣首爍脫診功念馮島壇贈澆驗IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介7/24/2023特氣在IC制造中的應(yīng)用-用量一個八寸的芯片7國內(nèi)6寸以上芯片客戶不完全統(tǒng)計所在區(qū)域名稱規(guī)模備注長三角臺積電（中國）8寸已在供應(yīng)中芯國際8寸正在評估華力微電子12寸上海先進(jìn)半導(dǎo)體8寸初試已經(jīng)通過華宏NEC8寸已在供應(yīng)宏力半導(dǎo)體8寸無錫海力士12寸無錫華潤上華8寸、6寸已在供應(yīng)蘇州和艦8寸正在評估珠三角深圳深愛半導(dǎo)體6寸深圳方正微電子6寸深圳中芯國際12寸已報價京津唐及陜西天津中芯國際8寸北京中芯國際8寸西安三星12寸華中武漢中芯國際12寸長沙創(chuàng)芯6寸南車6寸西北成都德州儀器8寸中航微電子8寸已發(fā)樣品重慶渝芯8寸已發(fā)樣品東北大連因特爾12寸7/24/2023評闡揍懼楓虞膝賈刁吭使盔呆滅按兔亡巳嚨已剃晌孕棉伊纖越淳債藥剮廳IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介國內(nèi)6寸以上芯片客戶不完全統(tǒng)計所在區(qū)域名稱規(guī)模備注長三角臺積8芯片廠商對客戶要求合法安全可靠的質(zhì)量管理體系有效的質(zhì)量監(jiān)控手段穩(wěn)定有效的管理團對強大的技術(shù)研發(fā)實力物流能力專用危險品倉儲場所7/24/2023盅則決幢彬洋弱擺款總蘭率廈陸磋捍側(cè)鈉熔畸崗昆賂衰搗巳鈕培菜場令補IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介芯片廠商對客戶要求合法7/24/2023盅則決幢彬洋弱擺款總9芯片廠商對特氣評價流程供應(yīng)廠商的資質(zhì)氣體規(guī)格的確認(rèn)/比較控片/實驗片上基礎(chǔ)數(shù)據(jù)的確認(rèn)小量產(chǎn)品的實驗評價中量產(chǎn)品的實驗評價大量產(chǎn)品的實驗評價品質(zhì)管理體系的審核量產(chǎn)審查通過成為合格供應(yīng)商7/24/2023擒喧口伴濘螞儀籽松厄柴剩答疆嘔鈉漂嘛伶室棍友擎限糜健什鋒株言厚構(gòu)IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介芯片廠商對特氣評價流程供應(yīng)廠商的資質(zhì)7/24/2023擒喧口10IC行業(yè)有競爭力的氣體公司和產(chǎn)品氟碳化合物（C2F6、CF4、SF6等C1-C4產(chǎn)品）日本企業(yè)（昭和、住友以及大陽日酸）綠菱氣體（CF4、C2F6、CHF3等）黎明化工院（SF6、C2F6等）

N02:林德氣體NF3和WF6:718所硅烷：AP7/24/2023忙轟之帶屋僧織聊貶省盅吐帚愚垣耗僳壩貓湯療耿痞戊舅米范鍵減胃菏稗IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)有競爭力的氣體公司和產(chǎn)品氟碳化合物（C2F6、CF411華特氣體在芯片行業(yè)的競爭力國內(nèi)本土廠商:承擔(dān)國家02專項項目（C2F6、CHF3）。產(chǎn)品種類齊全：C2F6、CF4、SF6、CHF3、C3F8、C4F8、NO（3N）、NH3、C02、CO（4N）、SiH4等。良好的品牌效應(yīng)（已經(jīng)供應(yīng)的客戶）性價比高，確實降低客戶的成本快捷的物流配送（交貨期短、應(yīng)急反映迅速）7/24/2023中芯國際（8寸、12寸）抗鋁吊欲拙普哄絮炸繼揉匪譏肛妓楚控杉巧侍樸邱淑套瞅急嫡扁并癌式梢IC行業(yè)特種氣體簡介IC行業(yè)特種氣體簡介華特氣體在芯片行業(yè)的競爭力國內(nèi)本土廠商:承擔(dān)國家02專項項目12如何開發(fā)芯片行業(yè)客戶個人經(jīng)驗，與大家探討。要有信心，相信自己的產(chǎn)品；心態(tài)很重要熟悉自己的產(chǎn)品（規(guī)格、用戶、市場行情）如何開拓客戶

信息收集（統(tǒng)計相關(guān)區(qū)域內(nèi)的所有IC廠商）信息處理（篩選具有價值的客戶）找到相關(guān)聯(lián)系人（關(guān)鍵人：每個公司的情況不一樣）與客戶溝通（了解客戶的使其用情況；成本、性價比、交貨期等；郵件、電話、展會、拜訪）維護(hù)客戶（評估更多的產(chǎn)品；客戶的口碑是最好的廣告）自我總結(jié)、加強學(xué)習(xí)、提升自我7/24/2023鶴豐承