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文檔簡介
鍍膜流程簡介PreparedbyEddy2009/4鍍膜流程排列清洗框入第一面鍍膜排列清洗框入第二面鍍膜FQC鏡片轉出只鍍一面鍍兩面排列將鏡片從托盤中取出一一排入合適的洗藍內,對部分易產生燒蝕不潔的鏡片,排列前增加用酒精手動拋光動作,以減少燒蝕及不潔。超雀聲步波烘清桂洗將柳排攀列確好辜的可鏡膝片止放脹入盟清有洗件機府進寇行爹清狹洗.清滅洗判作裝業(yè)議主看要宇分導三氏部錦分:第擴一最部售分遇洗楚三鴨槽盟藥甩劑剛及屈一斥槽夢市裁水粥,敏主敵要我去弦除裁鏡溉片押表支面嗚臟冤污拾,京油結漬剖等磁;第藥二公部碎分暴洗掙中弊間胳五酸槽絡為納兩釘槽啊市遍水&三嗚槽吹純稠水阿,另主普要坦去露除堅鏡乞片瞇表炕面喪藥信劑母;第贏三產部止分遍對或鏡信片節(jié)脫秋水執(zhí)及舊烘降幹紀。此先扭洗堅三擱槽I厚P扇A脫劣水工槽承再露進辟行里烘蓮乾.每饑槽求清皺洗漢時必間9弊0上s貌,超笑聲糟波通功就率<符2摸A拉.目灣前回主膏要洋使淋用吩的值清敢洗版藥管劑搖為:U博P掏3覆O浸R希D供-祥6涉.丑1肆I它P華A框康入將偶清浙潔蜜乾傅淨滑的截鏡堪片威框陜入堵鍍織膜恭環(huán)荷,蹲在1乎5攝0期W幻擾燈別機墳下探旋辛轉1摩~蜜2圈劣檢球驗印不贏潔匪水贈紋剪傷殖痕喝等售外怪觀究不遞良,用6界0求W臺散燈義確巴認篩青窄燒拉蝕麥膜米欠踩等訂外溫觀架不趙良,然落後屯將本鍍塊膜府環(huán)家放唱入滿傘豪架.框塘入味常搜見純外忠觀澇不最良房誠現(xiàn)編象將有:線僅傷不秀潔點臘傷水星紋破袍邊燒旋蝕其斗他鍍壁膜融鹿藥川的屑條荒件:真先空由度:飾2封E浙-下2死P甜a以拿下主教閥攜打礎開機蹄臺掀達央到抖鍍阿膜露的碗條叢件:真題空冰度:羊2刪E孤-舒3縫P訓a以御下加助熱蠟溫炕度:惰3繭5捏0度A甚R鍍晉膜藏主晨要畏使斬用盆的垃藥低材:H蠻4龍(共L汗a捎T靠i啟O沸3燥)M博g套F鐵2鍍驗膜崗監(jiān)死控之方大式:石套英僵晶游振沖片窯監(jiān)音控利料用續(xù)附堵著船在納石蓄英奏晶襪振亡片災表妙面托膜洗材蜘質貍量蛋之朝增居加片所引蘇發(fā)基石導英嗽晶撲片婆共膛振釋頻儉率譯變牢化莊來錫量皂測擱膜覆層嘩的穴厚揚度.利用捏石博英孫晶償體她振躬動地頻炊率井與陷其帖質呢量升成適反藍比.抽捕氣份加剪熱融汗藥真廚空2歷E屆-正3爬P錢a鍍幟膜洩賢氣清溜潔溝換史料蒸姓鍍M從a派s驗kE家-稈b琴e妻a奧mS汗h躁u伸t爭t鉛e熄rC湯h嗽a總m妥b轟e由rS曉u菜b莫s淘t磚r鑒a慎t膏eH惰o蔽l么d留e刷r光箱學瞇監(jiān)鴿控文系息統(tǒng)&膜聯(lián)厚捕監(jiān)發(fā)控什系敲統(tǒng)鍍非膜禾設流備鍍妙膜棵機叨外榴觀蒼鍍著膜賴機歉內哄部現(xiàn)軌有病鍍掘膜纏設漲備ItemPumpingsystemDepositedprocessothersDepositedMaterialSizeQuantityMakerARcoaterforGlass2MPand1DP1EBPolycold,CrystalmonitorandopticalmonitorH4,Al2O3,MgF2,1,300mm^310setOptorun(JP)ARcoaterforPlastic2MPand1DP1EB+2thermalsourcePolycold,CrystalmonitorandopticalmonitorH4,Al2O3,MgF2,SiO,TiO2,SiO21,300mm^32setOptorun(JP)Filtercoater2MPand1DP2EB+IADPolycold,CrystalmonitorandopticalmonitorTa2O5,Nb2O5,TiO2,SiO2,1,300mm^35setOptorun(JP)Metalcoater2MPand2CP1EB+2thermalsource+IADCrystalmonitorAl,Ag,Au,Ni,H4,Al2O3,TiO2,SiO2,SiO,1,300mm^33setOptorun(JP)※MP=Mechnicalpump;DP=Diffusionpump;CP=Cryopump※EB=Electricbeam;IAD=IonassissteddepositionA泄R制卷程A死R制惱程善為撫減攔少梯鏡裂片績表溫面吸反表射決,鉛一葡般久在1若0層壤內白憲玻蕩反
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