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危險化學(xué)品安全培訓(xùn)1危險化學(xué)品安全培訓(xùn)1危險化學(xué)品安全培訓(xùn)1危險化學(xué)品安全培訓(xùn)1九類危險品8腐蝕品CORROSIVE氧化劑OXIDIZINGAGENT5.1有機過氧化物ORGANICPEROXIDE5.21爆炸品EXPLOSIVE遇濕易燃物品DANGEROUSWHENWET4易燃氣體FLAMMABLEGAS2有毒氣體TOXICGAS2不燃氣體NON-FLAMMABLEGAS22九類危險品8腐蝕品CORROSIVE氧化劑OXIDIZING九類危險品8腐蝕品CORROSIVE氧化劑OXIDIZING危險分類不可燃GoodExamples:N2ArHeBadExamples:HClNF3Cl23危險分類不可燃3危險分類不可燃3危險分類不可不可燃氣體危險性窒息性——取代肺中的氧氣.壓強——單位面積所承受的壓力能量——氣體在狀態(tài)轉(zhuǎn)變過程中產(chǎn)生的能量4不可燃氣體危險性窒息性——取代肺中的氧氣.4不可燃氣體危險性窒息性——取代肺中的氧氣.4不可燃氣體危險氧氣缺乏氧氣被其他氣提所取代:21%大氣中的氧氣濃度19.5% 人類正常生活所需要的最低氧氣濃度極限(OSHA)15-19.5% 工作能力下降，冠狀動脈，肺部和循環(huán)系統(tǒng)出現(xiàn)先期癥狀12-14% 呼吸，脈搏加快，無任何先兆的失去知覺，并失去自我救護的能力.5氧氣缺乏氧氣被其他氣提所取代:5氧氣缺乏氧氣被其他氣提所取代:5氧氣氧氣缺乏10-12% 呼吸，脈搏進一步加快，喪失判斷能力，嘴唇發(fā)紫8-10% 無意識，嘔吐6-8% 8分鐘死亡率100%，6分鐘死亡率50%，4-5分鐘尚可恢復(fù)4%40秒鐘內(nèi)昏迷，抽搐，停止呼吸，直至死亡6氧氣缺乏10-12% 呼吸，脈搏進氧氣缺乏10-12% 呼吸，脈搏進“我可以盡量摒住呼吸，沖進缺氧區(qū)域，把傷員救出來．錯誤:

不可以!!!!!!!50%這樣做的人因此而喪命.絕對不要不帶呼吸器(SCBA)就沖進缺氧區(qū)域.氧氣缺乏的急救措施7氧氣缺乏的急救措施7氧氣缺乏的急救措施7氧氣缺乏的急救措施7壓力8壓力8壓力8壓力8危險分類可燃性例如H2SiH4DCSNH39危險分類可燃性9危險分類可燃性9危險分類與不可燃氣體相同的危險性壓力窒息可燃性爆炸可能性例如H2,SiH4可燃氣體10與不可燃氣體相同的危險性可燃氣體10與不可燃氣體相同的危險性可燃氣體10與不可燃燒過后的不銹鋼氣瓶11燃燒過后的不銹鋼氣瓶11燃燒過后的不銹鋼氣瓶11燃燒過后的不銹鋼氣瓶11危險防護可燃性氣體的危險防護保證空氣的流動，配備排風(fēng)正確的鋼瓶操作流程使用防爆設(shè)備避免任何火化產(chǎn)生的可能12危險防護可燃性氣體的危險防護12危險防護可燃性氣體的危險防護12危險危險分類氧化性例如:O2NOx(如N2O)13危險分類氧化性13危險分類氧化性13危險分危險性氧化危險性助燃高反應(yīng)性過高含氧量14危險性氧化危險性14危險性氧化危險性14危險性氧化危險性14燃燒三角形氧化引燃物燃料15燃燒三角形氧化引燃物燃料15燃燒三角形氧化引燃物燃料15燃燒三角形氧化引燃物燃料15氧化物引燃點沖擊靜電高速沖撞其他引燃物16氧化物引燃點16氧化物引燃點16氧化物引燃點16過高含氧量含氧量等于或高于23.5%燃燒特性發(fā)生改變可燃范圍增大自燃溫度下降通常不會燃燒的物質(zhì)在高氧環(huán)境會燃燒通常會燃燒的物質(zhì)在高氧環(huán)境會極易燃燒，且燃燒速度極快含氧過高的衣服是極為危險的與引燃點隔離用新鮮空氣吹掃30分鐘更換衣服17過高含氧量含氧量等于或高于23.5%17過高含氧量含氧量等于或高于23.5%17過高含氧量含氧量等過高含氧量18過高含氧量18過高含氧量18過高含氧量18過高含氧量19過高含氧量19過高含氧量19過高含氧量19危險分類有毒氣體例如COCl2(光氣,俗稱芥子氣)PH320危險分類有毒氣體20危險分類有毒氣體20危險有毒氣體毒性：對身體有害中毒途徑吸入通常途徑吸收通過皮膚吞食不常見注射通過傷口專業(yè)術(shù)語21有毒氣體毒性：對身體有害21有毒氣體毒性：對身體有害21有毒氣體毒性：對身體有害21有毒氣體到底有多毒??TimeWeightedAverage(TWA)–工人每天8小時，每周40小時，無任何防護措施的情況下允許的最高接觸濃度.ThresholdLimitValue(TLV)-ACGIH（美國政府工業(yè)衛(wèi)生學(xué)家會議）建議的最高接觸濃度PermissibleExposureLimit(PEL)–OSHA（職業(yè)安全與健康標(biāo)準(zhǔn)）建議的最高接觸濃度22有毒氣體到底有多毒??22有毒氣體到底有多毒??22有毒氣體到底有多毒??22危險防護有毒氣體危險防護提供排風(fēng)系統(tǒng)正確操作氣瓶毒氣監(jiān)測系統(tǒng)適當(dāng)?shù)膫€人裝備培訓(xùn)23危險防護有毒氣體危險防護23危險防護有毒氣體危險防護23危險防護有毒氣體危險防護23危險分類腐蝕性低腐蝕性HFNH3高腐蝕性HClDCS(SiH2CL2)24危險分類腐蝕性24危險分類腐蝕性24危險腐蝕性摧毀人的生理組織(DCS)腐蝕設(shè)備(DCSHCLNH3)

25腐蝕性摧毀人的生理組織(DCS)25腐蝕性摧毀人的生理組織(DCS)25腐蝕性摧毀人的生理組織(腐蝕性氣體被腐蝕的瓶口閥26腐蝕性氣體被腐蝕的瓶口閥26腐蝕性氣體被腐蝕的瓶口閥26腐蝕性氣體被腐蝕的瓶口閥26個人防護設(shè)備操作腐蝕性氣體所應(yīng)配備的個人防護設(shè)備橡膠防護服橡膠手套面具(防毒)SCBA(自呼吸面罩)27個人防護設(shè)備操作腐蝕性氣體所應(yīng)配備的個人防護設(shè)備27個人防護設(shè)備操作腐蝕性氣體所應(yīng)配備的個人防護設(shè)備27個人防護危險防護腐蝕性危險的防護提供排風(fēng)系統(tǒng)正確操作氣瓶采用相容的原材料降低含水量適當(dāng)?shù)膫€人防護設(shè)備28危險防護腐蝕性危險的防護28危險防護腐蝕性危險的防護28危險防護腐蝕性危險的防護28低溫氣體低溫液體在常壓下沸點低于-240oF(-151oC)例如液氧 (-183oC)液氬 (-186oC)液氮

(-196oC)液氫 (-253oC)液氦 (-269oC)29低溫氣體低溫液體29低溫氣體低溫液體29低溫氣體低溫液體29低溫液體低溫液體危險性低溫蒸氣擴散低溫液體能引起凍傷(不可逆轉(zhuǎn)的組織壞死)30低溫液體低溫液體危險性30低溫液體低溫液體危險性30低溫液體低溫液體危險性30低溫氣體的其他危險低溫可能會引起周圍物品的損傷危險

危險包括過冷過大的體積膨脹霧31低溫氣體的其他危險低溫可能會引起周圍物品的損傷危險31低溫氣體的其他危險低溫可能會引起周圍物品的損傷危險31低溫氣低溫引起的破裂32低溫引起的破裂32低溫引起的破裂32低溫引起的破裂32低溫引起的破裂33低溫引起的破裂33低溫引起的破裂33低溫引起的破裂33氣瓶操作34氣瓶操作34氣瓶操作34氣瓶操作34氣瓶操作設(shè)備單(雙)瓶運輸車35氣瓶操作設(shè)備單(雙)瓶運輸車35氣瓶操作設(shè)備單(雙)瓶運輸車35氣瓶操作設(shè)備單(雙)瓶運輸車氣瓶操作設(shè)備多瓶運輸車36氣瓶操作設(shè)備多瓶運輸車36氣瓶操作設(shè)備多瓶運輸車36氣瓶操作設(shè)備多瓶運輸車36不正確的操作方式絕對不要通過旋轉(zhuǎn)來移動氣瓶37不正確的操作方式絕對不要通過旋轉(zhuǎn)來移動氣瓶37不正確的操作方式絕對不要通過旋轉(zhuǎn)來移動氣瓶37不正確的操作方pptpres746本項目使用氣體本項目使用的氣體分類---易燃易爆氣體 SiH4(自燃性），H2，CH4，GECH4，TMB---毒性氣體 PH3，TMB，GECH4------惰性氣體 N2，Ar，CO2etc.38pptpres746本項目使用氣體本項目使用的氣體分類38pptpres746本項目使用氣體本項目使用的氣體分類38鋼瓶氣柜VDBVMBTools特氣的工藝流程工藝流程：由鋼瓶氣柜VDBVMB機臺39鋼瓶氣柜VDBVMBTools特氣的工藝流程工藝流程：由鋼鋼瓶氣柜VDBVMBTools特氣的工藝流程工藝流程：由鋼高純特種氣體輸送—氣瓶柜---易燃易爆毒性氣體使用氣瓶柜裝置進行減壓和鋼瓶儲存更換 如：SiH4，CH4，GECH4，TMBetc.---使用氣柜的目的在于安全操作和保證氣體使用的純度---氣瓶柜的操作人員需專業(yè)培訓(xùn)，使用時應(yīng)配備專業(yè)的安全保護裝備40高純特種氣體輸送—氣瓶柜---易燃易爆毒性氣體使用氣瓶柜裝置高純特種氣體輸送—氣瓶柜---易燃易爆毒性氣體使用氣瓶柜裝置高純特種氣體輸送—氣瓶柜--防爆柜體--工藝面板（提供氣體吹掃，抽真空，減壓，置換等功能）--PLC控制系統(tǒng)（高壓，高流量，氣源監(jiān)測，毒氣報警，溫度監(jiān)測，中央控制等）--安全儲存和輸送特種氣體--必須專人按照特定步驟進行操作和維護41高純特種氣體輸送—氣瓶柜--防爆柜體41高純特種氣體輸送—氣瓶柜--防爆柜體41高純特種氣體輸送—氣高純特種氣體輸送—氣瓶架---一般性氣體可使用氣瓶架(即面板)裝置進行減壓和更換操作 如：N2,CF4,SF6,Ar,etc.---使用氣瓶架目的在于方便氣體的更換和置換42高純特種氣體輸送—氣瓶架---一般性氣體可使用氣瓶架(即面板高純特種氣體輸送—氣瓶架---一般性氣體可使用氣瓶架(即面板高純特種氣體輸送—VMB---危險性氣體閥門和控制裝置均應(yīng)安裝在密閉單獨抽風(fēng)的裝置內(nèi)---VMB(ValveManifoldBoxes)含義是氣體閥門分配箱---VMB需要單獨的抽風(fēng)系統(tǒng)43高純特種氣體輸送—VMB---危險性氣體閥門和控制裝置均應(yīng)安高純特種氣體輸送—VMB---危險性氣體閥門和控制裝置均應(yīng)安高純特種氣體輸送—管道系統(tǒng)---輸送系統(tǒng)所有管道管件閥門等部件均應(yīng)采用高純度SS316LEP電拋光系統(tǒng)---管道系統(tǒng)非常潔凈，易于清洗和吹掃，不會對氣體造成二次污染---管道的連接采用自動軌道氬氛焊接，并經(jīng)過專業(yè)的檢測和測試（如氦檢漏可達10-9

atmcc/sec.)---潔凈的施工程序和質(zhì)量保證44高純特種氣體輸送—管道系統(tǒng)---輸送系統(tǒng)所有管道管件閥門等部高純特種氣體輸送—管道系統(tǒng)---輸送系統(tǒng)所有管道管件閥門等部4545454546464646高純特種氣體輸送—報警系統(tǒng)---每種氣體都有相對應(yīng)的氣體探測器---報警系統(tǒng)和氣瓶柜聯(lián)動控制，當(dāng)有狀況時會自動切斷氣源---報警系統(tǒng)必須保證穩(wěn)定準(zhǔn)確的運行---氣體報警系統(tǒng)需定期校驗標(biāo)定---有時會發(fā)生誤報警---報警系統(tǒng)的維護需專業(yè)人員，排除報警狀況時切記攜帶可靠的專業(yè)安全裝備47高純特種氣體輸送—報警系統(tǒng)---每種氣體都有相對應(yīng)的氣體探測高純特種氣體輸送—報警系統(tǒng)---每種氣體都有相對應(yīng)的氣體探測蜂鳴器響/紅燈亮（異常事故發(fā)生，影響生產(chǎn)））黃燈亮（安全警報，不影響生產(chǎn)）綠燈亮（正常運行）48蜂鳴器響/紅燈亮（異常事故發(fā)生，影響生產(chǎn)）蜂鳴器響/紅燈亮（異常事故發(fā)生，影響生產(chǎn)）494949495050505051515151高純特種氣體輸送—緊急反應(yīng)---安全第一，人的生命健康第一！---當(dāng)發(fā)生情況時立即分析原因當(dāng)即立斷！---你應(yīng)該：盡快冷靜有序的遠離事故區(qū)或配備安全設(shè)備排除（必須是受訓(xùn)人員?。?--事故排除后由指定人員勘察后才可繼續(xù)正常工作---安全是每一個員工的職責(zé)，請珍愛你自己！52高純特種氣體輸送—緊急反應(yīng)---安全第一，人的生命健康第一！高純特種氣體輸送—緊急反應(yīng)---安全第一，人的生命健康第一！

謝謝大家！

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謝謝大家！

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謝謝大家！

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53危險化學(xué)品安全培訓(xùn)54危險化學(xué)品安全培訓(xùn)1危險化學(xué)品安全培訓(xùn)54危險化學(xué)品安全培訓(xùn)1九類危險品8腐蝕品CORROSIVE氧化劑OXIDIZINGAGENT5.1有機過氧化物ORGANICPEROXIDE5.21爆炸品EXPLOSIVE遇濕易燃物品DANGEROUSWHENWET4易燃氣體FLAMMABLEGAS2有毒氣體TOXICGAS2不燃氣體NON-FLAMMABLEGAS255九類危險品8腐蝕品CORROSIVE氧化劑OXIDIZING九類危險品8腐蝕品CORROSIVE氧化劑OXIDIZING危險分類不可燃GoodExamples:N2ArHeBadExamples:HClNF3Cl256危險分類不可燃3危險分類不可燃56危險分類不不可燃氣體危險性窒息性——取代肺中的氧氣.壓強——單位面積所承受的壓力能量——氣體在狀態(tài)轉(zhuǎn)變過程中產(chǎn)生的能量57不可燃氣體危險性窒息性——取代肺中的氧氣.4不可燃氣體危險性窒息性——取代肺中的氧氣.57不可燃氣體危氧氣缺乏氧氣被其他氣提所取代:21%大氣中的氧氣濃度19.5% 人類正常生活所需要的最低氧氣濃度極限(OSHA)15-19.5% 工作能力下降，冠狀動脈，肺部和循環(huán)系統(tǒng)出現(xiàn)先期癥狀12-14% 呼吸，脈搏加快，無任何先兆的失去知覺，并失去自我救護的能力.58氧氣缺乏氧氣被其他氣提所取代:5氧氣缺乏氧氣被其他氣提所取代:58氧氧氣缺乏10-12% 呼吸，脈搏進一步加快，喪失判斷能力，嘴唇發(fā)紫8-10% 無意識，嘔吐6-8% 8分鐘死亡率100%，6分鐘死亡率50%，4-5分鐘尚可恢復(fù)4%40秒鐘內(nèi)昏迷，抽搐，停止呼吸，直至死亡59氧氣缺乏10-12% 呼吸，脈搏進氧氣缺乏10-12% 呼吸，脈搏進“我可以盡量摒住呼吸，沖進缺氧區(qū)域，把傷員救出來．錯誤:

不可以!!!!!!!50%這樣做的人因此而喪命.絕對不要不帶呼吸器(SCBA)就沖進缺氧區(qū)域.氧氣缺乏的急救措施60氧氣缺乏的急救措施7氧氣缺乏的急救措施60氧氣缺乏的急救措施7壓力61壓力8壓力61壓力8危險分類可燃性例如H2SiH4DCSNH362危險分類可燃性9危險分類可燃性62危險分與不可燃氣體相同的危險性壓力窒息可燃性爆炸可能性例如H2,SiH4可燃氣體63與不可燃氣體相同的危險性可燃氣體10與不可燃氣體相同的危險性可燃氣體63與不可燃燒過后的不銹鋼氣瓶64燃燒過后的不銹鋼氣瓶11燃燒過后的不銹鋼氣瓶64燃燒過后的不銹鋼氣瓶11危險防護可燃性氣體的危險防護保證空氣的流動，配備排風(fēng)正確的鋼瓶操作流程使用防爆設(shè)備避免任何火化產(chǎn)生的可能65危險防護可燃性氣體的危險防護12危險防護可燃性氣體的危險防護65危險危險分類氧化性例如:O2NOx(如N2O)66危險分類氧化性13危險分類氧化性66危險分危險性氧化危險性助燃高反應(yīng)性過高含氧量67危險性氧化危險性14危險性氧化危險性67危險性氧化危險性14燃燒三角形氧化引燃物燃料68燃燒三角形氧化引燃物燃料15燃燒三角形氧化引燃物燃料68燃燒三角形氧化引燃物燃料15氧化物引燃點沖擊靜電高速沖撞其他引燃物69氧化物引燃點16氧化物引燃點69氧化物引燃點16過高含氧量含氧量等于或高于23.5%燃燒特性發(fā)生改變可燃范圍增大自燃溫度下降通常不會燃燒的物質(zhì)在高氧環(huán)境會燃燒通常會燃燒的物質(zhì)在高氧環(huán)境會極易燃燒，且燃燒速度極快含氧過高的衣服是極為危險的與引燃點隔離用新鮮空氣吹掃30分鐘更換衣服70過高含氧量含氧量等于或高于23.5%17過高含氧量含氧量等于或高于23.5%70過高含氧量含氧量等過高含氧量71過高含氧量18過高含氧量71過高含氧量18過高含氧量72過高含氧量19過高含氧量72過高含氧量19危險分類有毒氣體例如COCl2(光氣,俗稱芥子氣)PH373危險分類有毒氣體20危險分類有毒氣體73危險有毒氣體毒性：對身體有害中毒途徑吸入通常途徑吸收通過皮膚吞食不常見注射通過傷口專業(yè)術(shù)語74有毒氣體毒性：對身體有害21有毒氣體毒性：對身體有害74有毒氣體毒性：對身體有害21有毒氣體到底有多毒??TimeWeightedAverage(TWA)–工人每天8小時，每周40小時，無任何防護措施的情況下允許的最高接觸濃度.ThresholdLimitValue(TLV)-ACGIH（美國政府工業(yè)衛(wèi)生學(xué)家會議）建議的最高接觸濃度PermissibleExposureLimit(PEL)–OSHA（職業(yè)安全與健康標(biāo)準(zhǔn)）建議的最高接觸濃度75有毒氣體到底有多毒??22有毒氣體到底有多毒??75有毒氣體到底有多毒??22危險防護有毒氣體危險防護提供排風(fēng)系統(tǒng)正確操作氣瓶毒氣監(jiān)測系統(tǒng)適當(dāng)?shù)膫€人裝備培訓(xùn)76危險防護有毒氣體危險防護23危險防護有毒氣體危險防護76危險防護有毒氣體危險防護23危險分類腐蝕性低腐蝕性HFNH3高腐蝕性HClDCS(SiH2CL2)77危險分類腐蝕性24危險分類腐蝕性77危險腐蝕性摧毀人的生理組織(DCS)腐蝕設(shè)備(DCSHCLNH3)

78腐蝕性摧毀人的生理組織(DCS)25腐蝕性摧毀人的生理組織(DCS)78腐蝕性摧毀人的生理組織(腐蝕性氣體被腐蝕的瓶口閥79腐蝕性氣體被腐蝕的瓶口閥26腐蝕性氣體被腐蝕的瓶口閥79腐蝕性氣體被腐蝕的瓶口閥26個人防護設(shè)備操作腐蝕性氣體所應(yīng)配備的個人防護設(shè)備橡膠防護服橡膠手套面具(防毒)SCBA(自呼吸面罩)80個人防護設(shè)備操作腐蝕性氣體所應(yīng)配備的個人防護設(shè)備27個人防護設(shè)備操作腐蝕性氣體所應(yīng)配備的個人防護設(shè)備80個人防護危險防護腐蝕性危險的防護提供排風(fēng)系統(tǒng)正確操作氣瓶采用相容的原材料降低含水量適當(dāng)?shù)膫€人防護設(shè)備81危險防護腐蝕性危險的防護28危險防護腐蝕性危險的防護81危險防護腐蝕性危險的防護28低溫氣體低溫液體在常壓下沸點低于-240oF(-151oC)例如液氧 (-183oC)液氬 (-186oC)液氮

(-196oC)液氫 (-253oC)液氦 (-269oC)82低溫氣體低溫液體29低溫氣體低溫液體82低溫氣體低溫液體29低溫液體低溫液體危險性低溫蒸氣擴散低溫液體能引起凍傷(不可逆轉(zhuǎn)的組織壞死)83低溫液體低溫液體危險性30低溫液體低溫液體危險性83低溫液體低溫液體危險性30低溫氣體的其他危險低溫可能會引起周圍物品的損傷危險

危險包括過冷過大的體積膨脹霧84低溫氣體的其他危險低溫可能會引起周圍物品的損傷危險31低溫氣體的其他危險低溫可能會引起周圍物品的損傷危險84低溫氣低溫引起的破裂85低溫引起的破裂32低溫引起的破裂85低溫引起的破裂32低溫引起的破裂86低溫引起的破裂33低溫引起的破裂86低溫引起的破裂33氣瓶操作87氣瓶操作34氣瓶操作87氣瓶操作34氣瓶操作設(shè)備單(雙)瓶運輸車88氣瓶操作設(shè)備單(雙)瓶運輸車35氣瓶操作設(shè)備單(雙)瓶運輸車88氣瓶操作設(shè)備單(雙)瓶運輸車氣瓶操作設(shè)備多瓶運輸車89氣瓶操作設(shè)備多瓶運輸車36氣瓶操作設(shè)備多瓶運輸車89氣瓶操作設(shè)備多瓶運輸車36不正確的操作方式絕對不要通過旋轉(zhuǎn)來移動氣瓶90不正確的操作方式絕對不要通過旋轉(zhuǎn)來移動氣瓶37不正確的操作方式絕對不要通過旋轉(zhuǎn)來移動氣瓶90不正確的操作方pptpres746本項目使用氣體本項目使用的氣體分類---易燃易爆氣體 SiH4(自燃性），H2，CH4，GECH4，TMB---毒性氣體 PH3，TMB，GECH4------惰性氣體 N2，Ar，CO2etc.91pptpres746本項目使用氣體本項目使用的氣體分類38pptpres746本項目使用氣體本項目使用的氣體分類91鋼瓶氣柜VDBVMBTools特氣的工藝流程工藝流程：由鋼瓶氣柜VDBVMB機臺92鋼瓶氣柜VDBVMBTools特氣的工藝流程工藝流程：由鋼鋼瓶氣柜VDBVMBTools特氣的工藝流程工藝流程：由鋼高純特種氣體輸送—氣瓶柜---易燃易爆毒性氣體使用氣瓶柜裝置進行減壓和鋼瓶儲存更換 如：SiH4，CH4，GECH4，TMBetc.---使用氣柜的目的在于安全操作和保證氣體使用的純度---氣瓶柜的操作人員需專業(yè)培訓(xùn)，使用時應(yīng)配備專業(yè)的安全保護裝備93高純特種氣體輸送—氣瓶柜---易燃易爆毒性氣體使用氣瓶柜裝置高純特種氣體輸送—氣瓶柜---易燃易爆毒性氣體使用氣瓶柜裝置高純特種氣體輸送—氣瓶柜--防爆柜體--工藝面板（提供氣體吹掃，抽真空，減壓，置換等功能）--PLC控制系統(tǒng)（高壓，高流量，氣源監(jiān)測，毒氣報警，溫度監(jiān)測，中央控制等）--安全儲存和輸送特種氣體--必須專人按照特定步驟進行操作和維護94高純特種氣體輸送—氣瓶柜--防爆柜體41高純特種氣體輸送—氣瓶柜--防爆柜體94高純特種氣體輸送—氣高純特種氣體輸送—氣瓶架---一般性氣體可使用氣瓶架(即面板)裝置進行減壓和更換操作 如：N2,CF4,SF6,Ar,etc.---使用氣瓶架目的在于方便氣體的更換和置換95高純特種氣