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第2章傳感器概述2.1傳感器的組成和分類2.2傳感器的基本特性第2章傳感器概述2.1傳感器的組成和分類12.1傳感器的組成和分類傳感器是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定的規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。在有些學(xué)科領(lǐng)域,傳感器又稱為敏感元件、檢測(cè)器、轉(zhuǎn)換器等。這些不同提法,反映了在不同的技術(shù)領(lǐng)域中,只是根據(jù)器件用途對(duì)同一類型的器件使用著不同的技術(shù)術(shù)語而已。如在電子技術(shù)領(lǐng)域,常把能感受信號(hào)的電子元件稱為敏感元件,如熱敏元件、磁敏元件、光敏元件及氣敏元件等,在超聲波技術(shù)中則強(qiáng)調(diào)的是能量的轉(zhuǎn)換,如壓電式換能器等。這些提法在含義上有些狹窄,因此傳感器一詞是使用最為廣泛而概括的用語。2.1傳感器的組成和分類傳感器是能感受規(guī)2傳感器輸出信號(hào)通常是電量,它便于傳輸、轉(zhuǎn)換、處理、顯示等。電量有很多形式,如電壓、電流、電容、電阻等,輸出信號(hào)的形式由傳感器的原理確定。通常,傳感器由敏感元件和轉(zhuǎn)換元件組成(如圖2-1所示)。其中,敏感元件是指?jìng)鞲衅髦心苤苯痈惺芑蝽憫?yīng)被測(cè)量的部分;轉(zhuǎn)換元件是指?jìng)鞲衅髦心軐⒚舾性惺芑蝽憫?yīng)的被測(cè)量轉(zhuǎn)換成適于傳輸或測(cè)量的電信號(hào)部分。由于傳感器輸出信號(hào)一般都很微弱,需要有信號(hào)調(diào)理與轉(zhuǎn)換電路,進(jìn)行放大、運(yùn)算調(diào)制等,此外信號(hào)調(diào)理轉(zhuǎn)換電路以及傳感器的工作必須有輔助的電源,因此信號(hào)調(diào)理轉(zhuǎn)換電路以及所需的電源都應(yīng)作為傳感器組成的一部分。隨著半導(dǎo)體器件與集成技術(shù)在傳感器中的應(yīng)用,傳感器的信號(hào)調(diào)理轉(zhuǎn)換電路與敏感元件一起集成在同一芯片上,安裝在傳感器的殼體里。傳感器輸出信號(hào)通常是電量,它便于傳輸、轉(zhuǎn)換、3圖2-1傳感器組成方框圖圖2-1傳感器組成方框圖4傳感器技術(shù)是一門知識(shí)密集型技術(shù)。傳感器的原理有各種各樣,它與許多學(xué)科有關(guān),其種類十分繁多,分類方法也很多,但目前一般采用兩種分類方法:一種是按被測(cè)參數(shù)分類,如溫度、壓力、位移、速度等;另一種是按傳感器的工作原理分類,如應(yīng)變式、電容式、壓電式、磁電式等。本書是按后一種分類方法來介紹各種傳感器的,而傳感器的工程應(yīng)用則是根據(jù)工程參數(shù)進(jìn)行敘述的。對(duì)于初學(xué)者和應(yīng)用傳感器的工程技術(shù)人員來說,先從工作原理出發(fā),了解各種各樣傳感器,而對(duì)工程上的被測(cè)參數(shù),應(yīng)著重于如何合理選擇和使用傳感器。傳感器技術(shù)是一門知識(shí)密集型技術(shù)。傳感器的原理52.2傳感器的基本特性2.2.1傳感器的靜態(tài)特性傳感器的靜態(tài)特性是指被測(cè)量的值處于穩(wěn)定狀態(tài)時(shí)的輸出與輸入的關(guān)系。如果被測(cè)量是一個(gè)不隨時(shí)間變化,或隨時(shí)間變化緩慢的量,可以只考慮其靜態(tài)特性,這時(shí)傳感器的輸入量與輸出量之間在數(shù)值上一般具有一定的對(duì)應(yīng)關(guān)系,關(guān)系式中不含有時(shí)間變量。對(duì)靜態(tài)特性而言,傳感器的輸入量x與輸出量y之間的關(guān)系通??捎靡粋€(gè)如下的多項(xiàng)式表示:y=a0+a1x+a2x2+…+anxn

(2-1)2.2傳感器的基本特性2.2.1傳感器的靜態(tài)特性y=a6式中:a0——輸入量x為零時(shí)的輸出量;

a1,a2,…,an——非線性項(xiàng)系數(shù)。各項(xiàng)系數(shù)決定了特性曲線的具體形式。傳感器的靜態(tài)特性可以用一組性能指標(biāo)來描述,如靈敏度、遲滯、線性度、重復(fù)性和漂移等。式中:a0——輸入量x為零時(shí)的輸出量;各項(xiàng)系數(shù)決定了特性7

1.靈敏度靈敏度是傳感器靜態(tài)特性的一個(gè)重要指標(biāo)。其定義是輸出量增量Δy與引起輸出量增量Δy的相應(yīng)輸入量增量Δx之比。用S表示靈敏度,即它表示單位輸入量的變化所引起傳感器輸出量的變化,很顯然,靈敏度S值越大,表示傳感器越靈敏。(2-2)1.靈敏度它表示單位輸入量的變化所引起傳感8圖2-2傳感器的靈敏度圖2-2傳感器的靈敏度9

2.線性度傳感器的線性度是指?jìng)鞲衅鞯妮敵雠c輸入之間數(shù)量關(guān)系的線性程度。輸出與輸入關(guān)系可分為線性特性和非線性特性。從傳感器的性能看,希望具有線性關(guān)系,即理想輸入輸出關(guān)系。但實(shí)際遇到的傳感器大多為非線性。在實(shí)際使用中,為了標(biāo)定和數(shù)據(jù)處理的方便,希望得到線性關(guān)系,因此引入各種非線性補(bǔ)償環(huán)節(jié),如采用非線性補(bǔ)償電路或計(jì)算機(jī)軟件進(jìn)行線性化處理,從而使傳感器的輸出與輸入關(guān)系為線性或接近線性,但如果傳感器非線性的方次不高,輸入量變化范圍較小時(shí),可用一條直線(切線或割線)近似地代表實(shí)際曲線的一段,使傳感器輸入輸出特性線性化,所采用的直線稱為擬合直線。2.線性度10傳感器的線性度是指在全量程范圍內(nèi)實(shí)際特性曲線與擬合直線之間的最大偏差值ΔLmax與滿量程輸出值YFS之比。線性度也稱為非線性誤差,用γL表示,即式中:ΔLmax——最大非線性絕對(duì)誤差;

YFS——滿量程輸出值。(2-3)傳感器的線性度是指在全量程范圍內(nèi)實(shí)際特性曲線11圖2-3幾種直線擬合方法(a)理論擬合;(b)過零旋轉(zhuǎn)擬合;(c)端點(diǎn)連線擬合;(d)端點(diǎn)平移擬合圖2-3幾種直線擬合方法12圖2-4線性度圖2-4線性度13

3.遲滯傳感器在輸入量由小到大(正行程)及輸入量由大到?。ǚ葱谐蹋┳兓陂g其輸入輸出特性曲線不重合的現(xiàn)象稱為遲滯(如圖2-5所示)。也就是說,對(duì)于同一大小的輸入信號(hào),傳感器的正反行程輸出信號(hào)大小不相等,這個(gè)差值稱為遲滯差值。傳感器在全量程范圍內(nèi)最大的遲滯差值ΔHmax與滿量程輸出值YFS之比稱為遲滯誤差,用γH表示,即(2-4)3.遲滯(2-4)14產(chǎn)生這種現(xiàn)象的主要原因是由于傳感器敏感元件材料的物理性質(zhì)和機(jī)械另部件的缺陷所造成的,例如彈性敏感元件彈性滯后、運(yùn)動(dòng)部件摩擦、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的間隙、緊固件松動(dòng)等。遲滯誤差又稱為回差或變差。產(chǎn)生這種現(xiàn)象的主要原因是由于傳感器敏感元件材15圖2-5遲滯特性圖2-5遲滯特性16

4.重復(fù)性重復(fù)性是指?jìng)鞲衅髟谳斎肓堪赐环较蜃魅砍踢B續(xù)多次變化時(shí),所得特性曲線不一致的程度(見圖2-6)。重復(fù)性誤差屬于隨機(jī)誤差,常用標(biāo)準(zhǔn)差σ計(jì)算,也可用正反行程中最大重復(fù)差值ΔRmax計(jì)算,即(2-5)或(2-6)4.重復(fù)性(2-5)或(2-6)17圖2-6重復(fù)性圖2-6重復(fù)性18

5.漂移傳感器的漂移是指在輸入量不變的情況下,傳感器輸出量隨著時(shí)間變化,此現(xiàn)象稱為漂移。產(chǎn)生漂移的原因有兩個(gè)方面:一是傳感器自身結(jié)構(gòu)參數(shù);二是周圍環(huán)境(如溫度、濕度等)。最常見的漂移是溫度漂移,即周圍環(huán)境溫度變化而引起輸出的變化。溫度漂移通常用傳感器工作環(huán)境溫度偏離標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境溫度(一般為20℃)時(shí)的輸出值的變化量與溫度變化量之比(ξ)來表示,即(2-7)5.漂移(2-7)19式中:Δt——工作環(huán)境溫度t偏離標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境溫度t20之差,即Δt=t-t20;

yt——傳感器在環(huán)境溫度t時(shí)的輸出;

y20——傳感器在環(huán)境溫度t20時(shí)的輸出。式中:Δt——工作環(huán)境溫度t偏離標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境溫度202.2.2傳感器的動(dòng)態(tài)特性傳感器的動(dòng)態(tài)特性是指輸入量隨時(shí)間變化時(shí)傳感器的響應(yīng)特性。由于傳感器的慣性和滯后,當(dāng)被測(cè)量隨時(shí)間變化時(shí),傳感器的輸出往往來不及達(dá)到平衡狀態(tài),處于動(dòng)態(tài)過渡過程之中,所以傳感器的輸出量也是時(shí)間的函數(shù),其間的關(guān)系要用動(dòng)態(tài)特性來表示。一個(gè)動(dòng)態(tài)特性好的傳感器,其輸出將再現(xiàn)輸入量的變化規(guī)律,即具有相同的時(shí)間函數(shù)。實(shí)際的傳感器,輸出信號(hào)將不會(huì)與輸入信號(hào)具有相同的時(shí)間函數(shù),這種輸出與輸入間的差異就是所謂的動(dòng)態(tài)誤差。2.2.2傳感器的動(dòng)態(tài)特性21為了說明傳感器的動(dòng)態(tài)特性,下面簡(jiǎn)要介紹動(dòng)態(tài)測(cè)溫的問題。當(dāng)被測(cè)溫度隨時(shí)間變化或傳感器突然插入被測(cè)介質(zhì)中,以及傳感器以掃描方式測(cè)量某溫度場(chǎng)的溫度分布等情況時(shí),都存在動(dòng)態(tài)測(cè)溫問題。如把一支熱電偶從溫度為t0℃環(huán)境中迅速插入一個(gè)溫度為t1℃的恒溫水槽中(插入時(shí)間忽略不計(jì)),這時(shí)熱電偶測(cè)量的介質(zhì)溫度從t0突然上升到t1,而熱電偶反映出來的溫度從t0℃變化到t1℃需要經(jīng)歷一段時(shí)間,即有一段過渡過程,如圖2-7所示。熱電偶反映出來的溫度與其介質(zhì)溫度的差值就稱為動(dòng)態(tài)誤差。為了說明傳感器的動(dòng)態(tài)特性,下面簡(jiǎn)要介紹動(dòng)態(tài)測(cè)22造成熱電偶輸出波形失真和產(chǎn)生動(dòng)態(tài)誤差的原因,是溫度傳感器有熱慣性(由傳感器的比熱容和質(zhì)量大小決定)和傳熱熱阻,使得在動(dòng)態(tài)測(cè)溫時(shí)傳感器輸出總是滯后于被測(cè)介質(zhì)的溫度變化。如帶有套管熱電偶其熱慣性要比裸熱電偶大得多。這種熱慣性是熱電偶固有的,它決定了熱電偶測(cè)量快速變化的溫度時(shí)會(huì)產(chǎn)生動(dòng)態(tài)誤差。影響動(dòng)態(tài)特性的“固有因素”任何傳感器都有,只不過它們的表現(xiàn)形式和作用程度不同而已。造成熱電偶輸出波形失真和產(chǎn)生動(dòng)態(tài)誤差的原因,23圖2-7動(dòng)態(tài)測(cè)溫圖2-7動(dòng)態(tài)測(cè)溫24

1.傳感器的基本動(dòng)態(tài)特性方程傳感器的種類和形式很多,但它們的動(dòng)態(tài)特性一般都可以用下述的微分方程來描述:(2-8)式中,a0、a1、…,an,b0、b1、….,bm是與傳感器的結(jié)構(gòu)特性有關(guān)的常系數(shù)。1.傳感器的基本動(dòng)態(tài)特性方程(2-8)式251)零階系統(tǒng)在方程式(2-8)中的系數(shù)除了a0、b0之外,其它的系數(shù)均為零,則微分方程就變成簡(jiǎn)單的代數(shù)方程,即a0y(t)=b0x(t)通常將該代數(shù)方程寫成y(t)=kx(t)式中,k=b0/a0為傳感器的靜態(tài)靈敏度或放大系數(shù)。傳感器的動(dòng)態(tài)特性用方程式(2-9)來描述的就稱為零階系統(tǒng)。1)零階系統(tǒng)a0y(t)=b0x(t)26零階系統(tǒng)具有理想的動(dòng)態(tài)特性,無論被測(cè)量x(t)如何隨時(shí)間變化,零階系統(tǒng)的輸出都不會(huì)失真,其輸出在時(shí)間上也無任何滯后,所以零階系統(tǒng)又稱為比例系統(tǒng)。在工程應(yīng)用中,電位器式的電阻傳感器、變面積式的電容傳感器及利用靜態(tài)式壓力傳感器測(cè)量液位均可看作零階系統(tǒng)。零階系統(tǒng)具有理想的動(dòng)態(tài)特性,無論被測(cè)量x(t272)一階系統(tǒng)若在方程式(2-8)中的系數(shù)除了a0、a1與b0之外,其它的系數(shù)均為零,則微分方程為上式通常改寫成為(2-10)2)一階系統(tǒng)上式通常改寫成為(2-1028式中:τ——傳感器的時(shí)間常數(shù),τ=a1/a0;

k——傳感器的靜態(tài)靈敏度或放大系數(shù),k=b0/a0。時(shí)間常數(shù)τ具有時(shí)間的量綱,它反映傳感器的慣性的大小,靜態(tài)靈敏度則說明其靜態(tài)特性。用方程式(2-10)描述其動(dòng)態(tài)特性的傳感器就稱為一階系統(tǒng),一階系統(tǒng)又稱為慣性系統(tǒng)。如前面提到的不帶套管熱電偶測(cè)溫系統(tǒng)、電路中常用的阻容濾波器等均可看作為一階系統(tǒng)。式中:τ——傳感器的時(shí)間常數(shù),τ=a1/a0293)二階系統(tǒng)二階系統(tǒng)的微分方程為二階系統(tǒng)的微分方程通常改寫為式中:k——傳感器的靜態(tài)靈敏度或放大系數(shù),k=b0/a0;ξ——傳感器的阻尼系數(shù),

ωn——傳感器的固有頻率,3)二階系統(tǒng)二階系統(tǒng)的微分方程通常改寫為式中:k——傳30根據(jù)二階微分方程特征方程根的性質(zhì)不同,二階系統(tǒng)又可分為:①二階慣性系統(tǒng):其特點(diǎn)是特征方程的根為兩個(gè)負(fù)實(shí)根,它相當(dāng)于兩個(gè)一階系統(tǒng)串聯(lián)。②二階振蕩系統(tǒng):其特點(diǎn)是特征方程的根為一對(duì)帶負(fù)實(shí)部的共軛復(fù)根。帶有套管的熱電偶、電磁式的動(dòng)圈儀表及RLC振蕩電路等均可看作為二階系統(tǒng)。根據(jù)二階微分方程特征方程根的性質(zhì)不同,二階31

2.傳感器的動(dòng)態(tài)響應(yīng)特性傳感器的動(dòng)態(tài)特性不僅與傳感器的“固有因素”有關(guān),還與傳感器輸入量的變化形式有關(guān)。也就是說,同一個(gè)傳感器在不同形式的輸入信號(hào)作用下,輸出量的變化是不同的,通常選用幾種典型的輸入信號(hào)作為標(biāo)準(zhǔn)輸入信號(hào),研究傳感器的響應(yīng)特性。

1)瞬態(tài)響應(yīng)特性傳感器的瞬態(tài)響應(yīng)是時(shí)間響應(yīng)。在研究傳感器的動(dòng)態(tài)特性時(shí),有時(shí)需要從時(shí)域中對(duì)傳感器的響應(yīng)和過渡過程進(jìn)行分析,這種分析方法稱為時(shí)域分析法。傳感器在進(jìn)行時(shí)域分析時(shí),用得比較多的標(biāo)準(zhǔn)輸入信號(hào)有階躍信號(hào)和脈沖信號(hào),傳感器的輸出瞬態(tài)響應(yīng)分別稱為階躍響應(yīng)和脈沖響應(yīng)。2.傳感器的動(dòng)態(tài)響應(yīng)特性32(1)一階傳感器的單位階躍響應(yīng)一階傳感器的微分方程為設(shè)傳感器的靜態(tài)靈敏度k=1,寫出它的傳遞函數(shù)為對(duì)初始狀態(tài)為零的傳感器,若輸入一個(gè)單位階躍信號(hào),即t≤0t>0(1)一階傳感器的單位階躍響應(yīng)一33輸入信號(hào)x(t)的拉氏變換為一階傳感器的單位階躍響應(yīng)拉氏變換式為(2-13)對(duì)式(2-13)進(jìn)行拉氏反變換,可得一階傳感器的單位階躍響應(yīng)信號(hào)為(2-14)輸入信號(hào)x(t)的拉氏變換為一階傳感器的單位階躍響應(yīng)拉氏變34相應(yīng)的響應(yīng)曲線如圖2-8所示。由圖可見,傳感器存在慣性,它的輸出不能立即復(fù)現(xiàn)輸入信號(hào),而是從零開始,按指數(shù)規(guī)律上升,最終達(dá)到穩(wěn)態(tài)值。理論上傳感器的響應(yīng)只在t趨于無窮大時(shí)才達(dá)到穩(wěn)態(tài)值,但通常認(rèn)為t=(3~4)τ時(shí),如當(dāng)t=4τ時(shí)其輸出就可達(dá)到穩(wěn)態(tài)值的98.2%,可以認(rèn)為已達(dá)到穩(wěn)態(tài)。所以,一階傳感器的時(shí)間常數(shù)τ越小,響應(yīng)越快,響應(yīng)曲線越接近于輸入階躍曲線,即動(dòng)態(tài)誤差小。因此,τ值是一階傳感器重要的性能參數(shù)。相應(yīng)的響應(yīng)曲線如圖2-8所示。由圖可見,傳感35圖2-8一階傳感器單位階躍響應(yīng)圖2-8一階傳感器單位階躍響應(yīng)36(2)二階傳感器的單位階躍響應(yīng)二階傳感器的微分方程為設(shè)傳感器的靜態(tài)靈敏度k=1,其二階傳感器的傳遞函數(shù)為(2-15)傳感器輸出的拉氏變換為(2-16)(2)二階傳感器的單位階躍響應(yīng)二階傳感器的微分37圖2-9二階傳感器單位階躍響應(yīng)圖2-9二階傳感器單位階躍響應(yīng)38圖2-9為二階傳感器的單位階躍響應(yīng)曲線,二階傳感器對(duì)階躍信號(hào)的響應(yīng)在很大程度上取決于阻尼比ξ和固有角頻率ωn。ξ=0時(shí),特征根為一對(duì)虛根,階躍響應(yīng)是一個(gè)等幅振蕩過程,這種等幅振蕩狀態(tài)又稱為無阻尼狀態(tài);ξ>1時(shí),特征根為兩個(gè)不同的負(fù)實(shí)根,階躍響應(yīng)是一個(gè)不振蕩的衰減過程,這種狀態(tài)又稱為過阻尼狀態(tài);ξ=1時(shí),特征根為兩個(gè)相同的負(fù)實(shí)根,階躍響應(yīng)也是一個(gè)不振蕩的衰減過程,但是它是一個(gè)由不振蕩衰減到振蕩衰減的臨界過程,故又稱為臨界阻尼狀態(tài);0<ξ<1時(shí),特征根為一對(duì)共軛復(fù)根,階躍響應(yīng)是一個(gè)衰減振蕩過程,在這一過程中ξ值不同,衰減快慢也不同,這種衰減振蕩狀態(tài)又稱為欠阻尼狀態(tài)。圖2-9為二階傳感器的單位階躍響應(yīng)曲線,二階39阻尼比ξ直接影響超調(diào)量和振蕩次數(shù),為了獲得滿意的瞬態(tài)響應(yīng)特性,實(shí)際使用中常按稍欠阻尼調(diào)整,對(duì)于二階傳感器取ξ=0.6~0.7之間,則最大超調(diào)量不超過10%,趨于穩(wěn)態(tài)的調(diào)整時(shí)間也最短,約為(3~4)/(ξω)。固有頻率ωn由傳感器的結(jié)構(gòu)參數(shù)決定,固有頻率ωn也即等幅振蕩的頻率,ωn越高,傳感器的響應(yīng)也越快。阻尼比ξ直接影響超調(diào)量和振蕩次數(shù),為了獲得滿40(3)傳感器的時(shí)域動(dòng)態(tài)性能指標(biāo)時(shí)域動(dòng)態(tài)性能指標(biāo)敘述如下:①時(shí)間常數(shù)τ:一階傳感器輸出上升到穩(wěn)態(tài)值的63.2%所需的時(shí)間,稱為時(shí)間常數(shù)。②延遲時(shí)間td:傳感器輸出達(dá)到穩(wěn)態(tài)值的50%所需的時(shí)間。③上升時(shí)間tr:傳感器輸出達(dá)到穩(wěn)態(tài)值的90%所需的時(shí)間。④峰值時(shí)間tp:二階傳感器輸出響應(yīng)曲線達(dá)到第一個(gè)峰值所需的時(shí)間。⑤超調(diào)量σ:二階傳感器輸出超過穩(wěn)態(tài)值的最大值。⑥衰減比d:衰減振蕩的二階傳感器輸出響應(yīng)曲線第一個(gè)峰值與第二個(gè)峰值之比。(3)傳感器的時(shí)域動(dòng)態(tài)性能指標(biāo)時(shí)域動(dòng)態(tài)性41圖2-10一階傳感器的時(shí)域動(dòng)態(tài)性能指標(biāo)圖2-10一階傳感器的時(shí)域動(dòng)態(tài)性能指標(biāo)42圖2-11二階傳感器的時(shí)域動(dòng)態(tài)性能指標(biāo)圖2-11二階傳感器的時(shí)域動(dòng)態(tài)性能指標(biāo)432)頻率響應(yīng)特性傳感器對(duì)不同頻率成分的正弦輸入信號(hào)的響應(yīng)特性,稱為頻率響應(yīng)特性。一個(gè)傳感器輸入端有正弦信號(hào)作用時(shí),其輸出響應(yīng)仍然是同頻率的正弦信號(hào),只是與輸入端正弦信號(hào)的幅值和相位不同。頻率響應(yīng)法是從傳感器的頻率特性出發(fā)研究傳感器的輸出與輸入的幅值比和兩者相位差的變化。(1)一階傳感器的頻率響應(yīng)將一階傳感器傳遞函數(shù)式(2-12)中的s用jω代替后,即可得如下的頻率特性表達(dá)式:(2-17)2)頻率響應(yīng)特性(2-17)44幅頻特性:(2-18)相頻特性:(2-19)幅頻特性:(2-18)相頻特性:(2-19)45從式(2-18)、(2-19)和圖2-12可看出,時(shí)間常數(shù)τ越小,頻率響應(yīng)特性越好。當(dāng)ωτ<<1時(shí),A(ω)≈1,Φ(ω)≈0,表明傳感器輸出與輸入成線性關(guān)系,且相位差也很小,輸出y(t)比較真實(shí)地反映了輸入x(t)的變化規(guī)律。因此減小τ可改善傳感器的頻率特性。除了用時(shí)間常數(shù)τ表示一階傳感器的動(dòng)態(tài)特性外,在頻率響應(yīng)中也用截止頻率來描述傳感器的動(dòng)態(tài)特性。所謂截止頻率,是指幅值比下降到零頻率幅值比的倍時(shí)所對(duì)應(yīng)的頻率,截止頻率反映傳感器的響應(yīng)速度,截止頻率越高,傳感器的響應(yīng)越快。對(duì)一階傳感器,其截止頻率為1/τ。圖2-12為一階傳感器的頻率響應(yīng)特性曲線。從式(2-18)、(2-19)和圖2-12可46圖2-12一階傳感器頻率響應(yīng)特性(a)幅頻特性;(b)相頻特性圖2-12一階傳感器頻率響應(yīng)特性47(2)二階傳感器的頻率響應(yīng)由二階傳感器的傳遞函數(shù)式(2-15)可寫出二階傳感器的頻率特性表達(dá)式,即(2-20)其幅頻特性、相頻特性分別為(2-21)(2)二階傳感器的頻率響應(yīng)(2-20)其48(2-22)相位角負(fù)值表示相位滯后。由式(2-21)及式(2-22)可畫出二階傳感器的幅頻特性曲線和相頻特性曲線,如圖2-13所示。(2-22)相位角負(fù)值表示相位滯后。由式(49

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