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文檔簡介
英飛凌各代IGBT模塊技術(shù)詳解IGBT是絕緣門極雙極型晶體管(IsolatedGateBipolarTransistor)的英文縮寫。它是八十年代末,九十年代初迅速發(fā)展起來的新型復合器件。由于它將MOSFET和GTR的優(yōu)點集于一身,既有輸入阻抗高,速度快,熱穩(wěn)定性好,電壓驅(qū)動(MOSFET的優(yōu)點,克服GTR缺點);又具有通態(tài)壓降低,可以向高電壓、大電流方向發(fā)展(GTR的優(yōu)點,克服MOSFET的缺點)等綜合優(yōu)點,因此IGBT發(fā)展很快,在開關(guān)頻率大于1KHz,功率大于5KW的應(yīng)用場合具有優(yōu)勢。隨著以MOSFET、IGBT為代表的電壓控制型器件的出現(xiàn),電力電子技術(shù)便從低頻迅速邁入了高頻電力電子階段,并使電力電子技術(shù)發(fā)展得更加豐富,同時為高效節(jié)能、省材、新能源、自動化及智能化提供了新的機遇。
英飛凌/EUPECIGBT芯片發(fā)展經(jīng)歷了三代,下面將具體介紹。
一、IGBT1-平面柵穿通(PT)型IGBT(19881995)
西門子第一代IGBT芯片也是采用平面柵、PT型IGBT工藝,這是最初的IGBT概念原型產(chǎn)品。生產(chǎn)時間是1990年-1995年。西門子第一代IGBT以后綴為“DN1”來區(qū)分。如BSM150GB120DN1。
圖1.1PT-IGBT結(jié)構(gòu)圖PT型IGBT是在厚度約為300-500μm的硅襯底上外延生長有源層,在外延層上制作IGBT元胞。PT-IGBT具有類GTR特性,在向1200V以上高壓方向發(fā)展時,遇到了高阻、厚外延難度大、成本高、可靠性較低的障礙。因此,PT-IGBT適合生產(chǎn)低壓器件,600V系列IGBT有優(yōu)勢。
二、IGBT2-第二代平面柵NPT-IGBT
西門子公司經(jīng)過了潛心研究,于1989年在IEEE功率電子專家會議(PESC)上率先提出了NPT-IGBT概念。由于隨著IGBT耐壓的提高,如電壓VCE≥1200V,要求IGBT承受耐壓的基區(qū)厚度dB>100μm,在硅襯底上外延生長高阻厚外延的做法,不僅成本高,而且外延層的摻雜濃度和外延層的均勻性都難以保證。1995年,西門子率先不用外延工藝,采用區(qū)熔單晶硅批量生產(chǎn)NPT-IGBT產(chǎn)品。西門子的NPT-IGBT在全電流工作區(qū)范圍內(nèi)具有飽和壓降正溫度系數(shù),具有類MOSFET的輸出特性。
圖1.2NPT-IGBT結(jié)構(gòu)圖西門子/EUPECIGBT2最典型的代表是后綴為“DN2”系列。如BSM200GB120DN2?!癉N2”系列最佳適用頻率為15KHz-20KHz,飽和壓降VCE(sat)=2.5V?!癉N2”系列幾乎適用于所有的應(yīng)用領(lǐng)域。西門子在“DN2”系列的基礎(chǔ)上通過優(yōu)化工藝,開發(fā)出“DLC”系列。“DLC”系列是低飽和壓降,(VCE(sat)=2.1V),最佳開關(guān)頻率范圍為1KHz-8KHz?!癉LC”系列是適用于變頻器等頻率較低的應(yīng)用場合。后來Infineon/EUPEC又推出短拖尾電流、高頻“KS4”系列?!癒S4”系列是在“DN2”的基礎(chǔ)上,開關(guān)頻率得到進一步提高,最佳使用開關(guān)頻率為15KHz-30KHz。最適合于逆變焊機,UPS,通信電源,開關(guān)電源,感應(yīng)加熱等開關(guān)頻率比較高(fK≥20KHz)的應(yīng)用場合。在這些應(yīng)用領(lǐng)域,將逐步取代“DN2”系列。EUPEC用“KS4”芯片開發(fā)出H—橋(四單元)IGBT模塊,
圖1.5NPT/FSIGBT芯片主要優(yōu)點四、EUPECIGBT模塊中IGBT及續(xù)流二極管芯片特征參數(shù)
EUPECIGBT模塊全部采用西門子/InfineonIGBT芯片,從型號中的后綴來區(qū)分,用戶應(yīng)根據(jù)不同的開關(guān)頻率范圍來選用相應(yīng)的IGBT模塊。EUPEC
1、EUPEC600V系列IGBT模塊芯片特征參數(shù)
圖1.6EUPEC600V系列IGBT模塊芯片特征參數(shù)注:①600V“DLC”和“KE3”是高頻器件,可工作在20KHz;
②“KE3”最高結(jié)溫可達175℃。EUPEC
2、EUPEC1200VIGBT模塊芯片特征參數(shù):
圖1.7EUPEC1200VIGBT模塊芯片特征參數(shù)注:①晶川公司將逐步推廣“KS4”芯片以替代“DN2”芯片,用于逆變電焊機,UPS,通信電源,開關(guān)電源等開關(guān)頻率大于15KHz的應(yīng)用領(lǐng)域;
②晶川公司已完成在變頻器等開關(guān)頻率fK≤10KHz的應(yīng)用領(lǐng)域,用“KE3”代替“DLC”系列;
③對于fK≤15KHz的應(yīng)用場合,我們將逐步推廣EUPEC“KT3”系列,來取代”KE3“系列;
④后綴為“KF4”或“KL4C”是指EUPECIHM的芯片分類標志。
3、EUPEC1700VIGBT模塊芯片特征:
圖1.8EUPEC1700VIGBT模塊芯片特征注:①隨著器件耐壓的增高,IGBT的開關(guān)頻率相應(yīng)下降,推薦表中僅僅是最佳使用頻率范圍,若選擇額定電流大一些的器件,也可在較高頻率中使用;
②1700V系列,根據(jù)電流不同,可提供“DN2”;“DLC”/“KF6CB2”;“KE3”等三種芯片的IGBT模塊;
③“KF4”或“KF6CB2”是指EUPEC大功率(IHM)模塊后綴。EUPEC
4、EUPEC3300VIGBT
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