半導(dǎo)體設(shè)備-中標(biāo)專(zhuān)題（23年7-8月）

1告工業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備中標(biāo)專(zhuān)題(23年7-8月)告工業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備中標(biāo)專(zhuān)題(23年7-8月)華泰研究專(zhuān)題研究增增持(維持)增持(維持)機(jī)械設(shè)備專(zhuān)用設(shè)備23年7-8月晶圓廠(chǎng)招標(biāo)環(huán)比有所提升，關(guān)注晶圓廠(chǎng)招標(biāo)復(fù)蘇我們以長(zhǎng)江存儲(chǔ)、華力集成、華力微電子、福建晉華、華虹無(wú)錫、合肥晶合、上海積塔、中車(chē)時(shí)代、中芯紹興、武漢新芯、燕東微電子11家中國(guó)大陸主要的IDM或代工企業(yè)為統(tǒng)計(jì)樣本，通過(guò)中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)對(duì)上述晶圓廠(chǎng)中標(biāo)情況進(jìn)行梳理。2023年7-8月國(guó)內(nèi)11家主流晶圓廠(chǎng)共開(kāi)標(biāo)50臺(tái)工藝設(shè)備，環(huán)比(23年5-6月32臺(tái))有所上升，但同比(22年3-4月131臺(tái))下降。由于招標(biāo)數(shù)據(jù)僅代表部分半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)訂單情況，結(jié)合2023H1主要半導(dǎo)體設(shè)備公司如北方華創(chuàng)、中微公司、拓荊科技、芯源微、盛美股份等企業(yè)合同負(fù)債等訂單指標(biāo)表現(xiàn)相對(duì)良好，我們認(rèn)為半導(dǎo)體招標(biāo)擴(kuò)產(chǎn)景氣度在逐步復(fù)蘇中，半導(dǎo)體設(shè)備訂單有望進(jìn)一步釋放。爐管、刻蝕、后道測(cè)試設(shè)備為2023年7-8月國(guó)內(nèi)晶圓廠(chǎng)主要開(kāi)標(biāo)設(shè)備2023年7-8月國(guó)內(nèi)11家晶圓廠(chǎng)共開(kāi)標(biāo)50臺(tái)工藝設(shè)備，主要來(lái)自燕東微電子(39臺(tái))、華虹無(wú)錫(6臺(tái))、上海積塔(4臺(tái))、時(shí)代電氣(1臺(tái))等晶圓廠(chǎng)。按照不同工藝設(shè)備開(kāi)標(biāo)數(shù)量從高到低排列，分別為爐管設(shè)備(29臺(tái))、刻蝕設(shè)備(11臺(tái))、后道測(cè)試設(shè)備(3臺(tái))、沉積設(shè)備(3臺(tái))、光刻機(jī)(1臺(tái))、清洗設(shè)備(1臺(tái))、拋光設(shè)備(1臺(tái))、涂膠顯影機(jī)(1臺(tái))。受?chē)?guó)內(nèi)沉積、清洗、爐管等設(shè)備廠(chǎng)家拉動(dòng)，中標(biāo)國(guó)產(chǎn)率持續(xù)提升31臺(tái)，國(guó)產(chǎn)率達(dá)62.0%。國(guó)產(chǎn)率69.2.0%；分設(shè)備看，2023年7-8月國(guó)產(chǎn)率較高的環(huán)節(jié)主要為沉積設(shè)備(國(guó)內(nèi)企業(yè)中標(biāo)3臺(tái))、清洗設(shè)備(國(guó)內(nèi)企業(yè)中標(biāo)1臺(tái))，國(guó)產(chǎn)率均達(dá)100.0%。聚焦7-8月份國(guó)內(nèi)中標(biāo)廠(chǎng)商，北方華創(chuàng)(中標(biāo)26臺(tái))、中微半導(dǎo)體(中標(biāo)2臺(tái))排名靠前，持續(xù)體現(xiàn)國(guó)內(nèi)廠(chǎng)家在刻蝕、爐管等設(shè)備環(huán)節(jié)的強(qiáng)勢(shì)地位。研究員SACNo.S0570522100004SFCNo.BTM566研究員SACNo.S0570523070001正洋nizhengyang@+(86)2128972228云逍yangyunxiao@+(86)2128972228華泰證券研究所分析師名錄行業(yè)走勢(shì)圖機(jī)械設(shè)備(%)機(jī)械設(shè)備(%)滬深300717(5)(11)(17)Sep-22Jan-23May-23Aug-23資料來(lái)源：Wind，華泰研究關(guān)注半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)替代領(lǐng)軍企業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)率低的背景帶來(lái)了較高的國(guó)產(chǎn)替代空間，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備經(jīng)過(guò)多年勵(lì)精圖治，已經(jīng)涌現(xiàn)出多家在關(guān)鍵設(shè)備領(lǐng)域引領(lǐng)國(guó)產(chǎn)替代的廠(chǎng)家，在刻蝕、沉積、爐管、清洗、檢測(cè)測(cè)試、離子注入等多環(huán)節(jié)實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)替代。隨著半導(dǎo)體周期回暖和國(guó)內(nèi)設(shè)備企業(yè)國(guó)產(chǎn)化進(jìn)度加速，設(shè)備商有望率先受益于下游補(bǔ)庫(kù)存帶來(lái)訂單釋放，具有技術(shù)優(yōu)勢(shì)的龍頭設(shè)備公司有望持續(xù)受益。2023年7-8月國(guó)內(nèi)主流晶圓廠(chǎng)開(kāi)標(biāo)50臺(tái)設(shè)備。我們以長(zhǎng)江存儲(chǔ)、華力集成、華力微電子、福建晉華、華虹無(wú)錫、合肥晶合、上海積塔、時(shí)代電氣、中芯紹興、武漢新芯、燕東微電子11家中國(guó)大陸主要的IDM或代工企業(yè)為統(tǒng)計(jì)樣本，通過(guò)中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)對(duì)上述晶圓廠(chǎng)中標(biāo)情況進(jìn)行梳理(詳細(xì)樣本選取規(guī)則見(jiàn)本節(jié)末說(shuō)明)。2023年7-8月國(guó)內(nèi)11家主流晶圓廠(chǎng)共開(kāi)標(biāo)50臺(tái)工藝設(shè)備。2023年1-8月國(guó)內(nèi)11家晶圓廠(chǎng)累計(jì)共開(kāi)標(biāo)182臺(tái)工藝設(shè)備。020年021年022年樣本晶圓廠(chǎng)開(kāi)標(biāo)數(shù)量1819(臺(tái))113685456443250資料來(lái)源：中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)，華泰研究備(單位)樣本晶圓廠(chǎng)開(kāi)標(biāo)數(shù)量(臺(tái))2,000樣本晶圓廠(chǎng)開(kāi)標(biāo)數(shù)量(臺(tái))1,8001,6001,4001,2001,00080060040020002020年2021年2022年2023年1-8月資料來(lái)源：中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)，華泰研究樣本選取規(guī)則：1、工藝設(shè)備定義：由于半導(dǎo)體設(shè)備應(yīng)用的工藝流程和重要性的不同，我們主要統(tǒng)計(jì)光刻、刻蝕、沉積、清洗等涉及核心工藝的關(guān)鍵設(shè)備中標(biāo)情況，并將關(guān)鍵半導(dǎo)體設(shè)備區(qū)分為制程核心設(shè)備(包含光刻、刻蝕、沉積、離子注入設(shè)備)、良率提升設(shè)備(包括前道檢測(cè)設(shè)備、后道測(cè)試設(shè)備、清洗設(shè)備)以及重要輔助設(shè)備(包括爐管設(shè)備、CMP拋光設(shè)備、干法去膠設(shè)備、涂膠顯影設(shè)備)，并排除二手翻新設(shè)備影響。設(shè)備分類(lèi)制程核心設(shè)備良率提升設(shè)備重要輔助設(shè)備設(shè)備名稱(chēng)光刻機(jī)刻蝕設(shè)備薄膜沉積設(shè)備離子注入設(shè)備前道檢測(cè)設(shè)備后道測(cè)試設(shè)備清洗設(shè)備爐管設(shè)備干法去膠設(shè)備CMP拋光設(shè)備涂膠顯影設(shè)備設(shè)備作用將光源把掩膜版上電路結(jié)構(gòu)在涂有光刻膠的硅片進(jìn)行曝光，將圖案復(fù)制到硅片上。是指使用氣態(tài)的化學(xué)刻蝕劑與硅片上未被光刻膠覆蓋的材料發(fā)生物理或化學(xué)反應(yīng)(或兩者均有)，以去除暴露的表面材料的過(guò)程。3pm之后的工藝大多采用干法刻蝕通過(guò)氣體混合的化學(xué)反應(yīng)，或者蒸鍍、濺射等物理反應(yīng)在硅片表面沉積薄膜的工藝通過(guò)高壓離子轟擊將雜質(zhì)引入硅片，能在較低溫度下，準(zhǔn)確控制雜質(zhì)摻入濃度和深度，重復(fù)性好。對(duì)氧化、刻蝕、光刻、離子注入等每道工藝后的晶圓進(jìn)行無(wú)損的檢查和測(cè)量，以保證關(guān)鍵工藝參數(shù)滿(mǎn)足工藝指標(biāo)的要求，從而保證芯片的成品率以及芯片最終出貨的穩(wěn)定性和可預(yù)期性，多用到電鏡、膜厚測(cè)量設(shè)備，套刻對(duì)準(zhǔn)設(shè)備等。對(duì)晶圓制造后或者封裝后芯片功能和電性能的測(cè)試，包括探針臺(tái)、分選機(jī)、測(cè)試機(jī)等設(shè)備在單晶硅片制造階段，在過(guò)程工藝階段的刻蝕、化學(xué)沉積、去膠等關(guān)鍵工藝前后進(jìn)以及封裝工藝中都需要進(jìn)行清洗，減少缺陷、提高良率。IC行業(yè)所用的爐管目前主要是垂直式、按壓力不同可分為常壓和低壓爐管，主要用于熱氧化、熱退火、熱烘烤、合金及部分沉積工藝去除硅片上的光刻膠使用旋涂或CVD法在器件表面形成一層玻璃；然后將硅片放在一種包含有膠質(zhì)的磨料懸浮液和腐蝕劑的堿性膏劑中進(jìn)行機(jī)械研磨，使得金屬和介質(zhì)層的局部或全局平坦化將硅片置于真空吸盤(pán)上，采用旋轉(zhuǎn)涂膠的方法涂上液相光刻膠材料，用顯影液溶解光刻膠可溶區(qū)域，可見(jiàn)圖形出現(xiàn)在硅片上，硅片用去離子水沖洗后甩干資料來(lái)源：《納米集成電路制造工藝(第2版)》，華泰研究2、樣本選擇：統(tǒng)計(jì)范圍以長(zhǎng)江存儲(chǔ)、華力集成、華力微電子、福建晉華、華虹無(wú)錫、合肥晶合、上海積塔、時(shí)代電氣、中芯紹興、武漢新芯、燕東微電子11家中國(guó)大陸主要的IDM或代工企業(yè)為主。以上11家企業(yè)分別覆蓋存儲(chǔ)、邏輯、驅(qū)動(dòng)IC、功率、模擬等多類(lèi)芯片制造，且2020-2023年均有新增招標(biāo)信息，因此結(jié)果具有一定代表性和時(shí)效性。晶圓廠(chǎng)運(yùn)營(yíng)模式產(chǎn)品長(zhǎng)江存儲(chǔ)IDM3DNAND華力微電子(華虹5廠(chǎng))Foundry65/55-28nm邏輯及特色工藝華力集成(華虹6廠(chǎng))Foundry28-14nm邏輯及特色工藝華虹無(wú)錫(華虹7廠(chǎng))Foundry90-65/55nm特色工藝中芯紹興FoundryMEMS/IGBT/MOSFET上海積塔FoundryIGBT/模擬/電源管理/MEMS時(shí)代電氣IDMIGBT福建晉華IDMDRAM合肥晶合Foundry顯示驅(qū)動(dòng)芯片武漢新芯IDM/FoundryNORFlash燕東微電子IDM/Foundry模擬集成電路/數(shù)字三極管/浪涌保護(hù)器資料來(lái)源：各公司官網(wǎng)，華泰研究3、數(shù)據(jù)來(lái)源：數(shù)據(jù)來(lái)源為中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)，統(tǒng)計(jì)單位為設(shè)備中標(biāo)“臺(tái)”數(shù)，為保證中標(biāo)時(shí)間的領(lǐng)先性，我們以設(shè)備評(píng)標(biāo)公示時(shí)間為準(zhǔn)，并結(jié)合后續(xù)中標(biāo)信息對(duì)評(píng)標(biāo)但撤項(xiàng)的設(shè)備進(jìn)。分晶圓廠(chǎng)看，2023年7-8月燕東微電子為主要擴(kuò)產(chǎn)廠(chǎng)家，共開(kāi)標(biāo)39臺(tái)工藝設(shè)備。不同廠(chǎng)家擴(kuò)產(chǎn)及招標(biāo)節(jié)奏不同，因此不同時(shí)間段各廠(chǎng)家擴(kuò)產(chǎn)差異性較大。2023年7-8月開(kāi)標(biāo)的50臺(tái)設(shè)備主要來(lái)自燕東微電子(39臺(tái))、華虹無(wú)錫(6臺(tái))、上海積塔(4臺(tái))、時(shí)代電氣(1臺(tái))，燕東微電子擴(kuò)產(chǎn)貢獻(xiàn)主要增量。2023年1-8月，上海積塔開(kāi)標(biāo)64臺(tái)工藝設(shè)備。2023年1-8月開(kāi)標(biāo)的182臺(tái)設(shè)備主要來(lái)自上海積塔(64臺(tái))、華虹無(wú)錫(53臺(tái))、燕東微電子(49臺(tái))、時(shí)代電氣(14臺(tái))、華力集成(2臺(tái))，上海積塔及華虹無(wú)錫貢獻(xiàn)主要增量。長(zhǎng)江存儲(chǔ)99875800000華力微電子(華虹5廠(chǎng))340000華力集成(華虹6廠(chǎng))322461010華虹無(wú)錫(華虹7廠(chǎng))201203522666中芯紹興322800000上海積塔7930414304時(shí)代電氣57346251福建晉華240000合肥晶合83000000武漢新芯84200000燕東微電子//2040639合計(jì)1819113685456443250資料來(lái)源：中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)，華泰研究分設(shè)備看，爐管設(shè)備、刻蝕設(shè)備貢獻(xiàn)23年7-8月主要擴(kuò)產(chǎn)增量。晶圓廠(chǎng)設(shè)備布局往往以光刻機(jī)為核心，圍繞以多臺(tái)刻蝕、薄膜沉積、清洗等設(shè)備，由于不同招標(biāo)批次對(duì)應(yīng)設(shè)備采購(gòu)種類(lèi)不同，因此不同時(shí)期工藝設(shè)備招標(biāo)種類(lèi)也會(huì)有所不同。2023年7-8月開(kāi)標(biāo)的50臺(tái)設(shè)備中，按照不同工藝設(shè)備開(kāi)標(biāo)數(shù)量從高到低排列，分別為爐管設(shè)備(29臺(tái))、刻蝕設(shè)備(11臺(tái))、后道測(cè)試設(shè)備(3臺(tái))、沉積設(shè)備(3臺(tái))、光刻機(jī)(1臺(tái))、清洗設(shè)備(1臺(tái))、拋光設(shè)備(1臺(tái))、涂膠顯影機(jī)(1臺(tái))。爐管設(shè)備、沉積設(shè)備、后道測(cè)試設(shè)備貢獻(xiàn)23年1-8月主要擴(kuò)產(chǎn)增量。2023年1-8月開(kāi)標(biāo)的182臺(tái)設(shè)備中，按照不同工藝設(shè)備開(kāi)標(biāo)數(shù)量從高到低排列，分別為爐管設(shè)備(50臺(tái))、后道測(cè)試設(shè)備(36臺(tái))、沉積設(shè)備(33臺(tái))、刻蝕設(shè)備(30臺(tái))、前道檢測(cè)設(shè)備(11臺(tái))、光刻機(jī)(9臺(tái))、清洗設(shè)備(5臺(tái))、離子注入機(jī)(4臺(tái))、涂膠顯影設(shè)備(3臺(tái))、CMP拋光 (1臺(tái))。020年021年022年光刻372061刻蝕2092399487沉積2932461423清洗2572640131離子注入5032392200前道檢測(cè)22870317130后道測(cè)試41137615793涂膠顯影44231011CMP拋光8836280001干法去膠5740340000爐管2771396129合計(jì)1819113685456443250資料來(lái)源：中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)，華泰研究半導(dǎo)體設(shè)備中標(biāo)國(guó)產(chǎn)率半導(dǎo)體設(shè)備中標(biāo)國(guó)產(chǎn)率2023年7-8月中國(guó)大陸設(shè)備中標(biāo)數(shù)量為31臺(tái)，國(guó)產(chǎn)率達(dá)62.0%。我們以設(shè)備中標(biāo)臺(tái)數(shù)計(jì)算國(guó)產(chǎn)率(包含擁有翻新業(yè)務(wù)的廠(chǎng)家)，由于不同設(shè)備價(jià)值量不同，因此與實(shí)際市場(chǎng)規(guī)模測(cè)算的國(guó)產(chǎn)率有一定差異。且考慮不同晶圓廠(chǎng)、不同工藝設(shè)備的招標(biāo)批次不同，中國(guó)大陸廠(chǎng)家中標(biāo)頻次分布未必平均，造成國(guó)產(chǎn)率有一定波動(dòng)。近年來(lái)受益于北方華創(chuàng)、中微公司、盛美半導(dǎo)體、芯源微、屹唐半導(dǎo)體、至純科技、華海清科等中國(guó)大陸廠(chǎng)家的不斷發(fā)展，在刻蝕、沉積、清洗、拋光、干法去膠、爐管、涂膠顯影等領(lǐng)域半導(dǎo)體設(shè)備中標(biāo)國(guó)產(chǎn)率較高。從年度數(shù)據(jù)來(lái)看，2022年設(shè)備國(guó)產(chǎn)率達(dá)39.1%，較2021年27.4%有明顯提升。2023年7-8月主流晶圓廠(chǎng)開(kāi)標(biāo)的50臺(tái)設(shè)備中，源自中國(guó)大陸廠(chǎng)家制造的設(shè)備共計(jì)31臺(tái)，占比達(dá)62.0%。2023年1-8月開(kāi)標(biāo)的182設(shè)備中，源自中國(guó)大陸廠(chǎng)家制造的設(shè)備共計(jì)86臺(tái)，占比達(dá)47.25%。50%45%40%35%30%25%20%15%10%5%0%2020年2021年2022年2023年1-8月資料來(lái)源：中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)，華泰研究半導(dǎo)體設(shè)備中標(biāo)國(guó)產(chǎn)16.80%率27.40%46.43%36.36%40.63%62.00%資料來(lái)源：中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)，華泰研究分晶圓廠(chǎng)看，2023年1-8月，時(shí)代電氣設(shè)備國(guó)產(chǎn)率超80%。2023年1-8月開(kāi)標(biāo)的182臺(tái)設(shè)備主要來(lái)自上海積塔(64臺(tái))、華虹無(wú)錫(53臺(tái))、燕東微電子(49臺(tái))。國(guó)產(chǎn)設(shè)備中標(biāo)數(shù)較多的晶圓廠(chǎng)為燕東微電子(33臺(tái))、上海積塔(32臺(tái))、時(shí)代電氣(12臺(tái))。其中時(shí)代電氣國(guó)產(chǎn)率達(dá)到85.7%，燕東微電子國(guó)產(chǎn)化率為67.3%。長(zhǎng)江存儲(chǔ)349900000華力微電子(華虹5廠(chǎng))4000000華力集成(華虹6廠(chǎng))28410000華虹無(wú)錫(華虹7廠(chǎng))365657011中芯紹興304800000上海積塔604622022時(shí)代電氣60255241福建晉華020000合肥晶合8000000武漢新芯0700000燕東微電子//00627合計(jì)3063113342631國(guó)產(chǎn)率16.80%27.40%46.4%36.4%40.6%62.0%資料來(lái)源：中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)，華泰研究長(zhǎng)江存儲(chǔ)13.4%26.3%/////華力微電子(華虹5廠(chǎng))26.7%0.0%0.0%////華力集成(華虹6廠(chǎng))21.2%16.7%16.7%//0.0%/華虹無(wú)錫(華虹7廠(chǎng))17.9%25.0%18.5%46.7%0.0%16.7%16.7%中芯紹興22.7%37.5%/////上海積塔75.9%35.4%46.7%87.5%14.3%50.0%時(shí)代電氣10.5%0.0%73.5%83.3%100.0%80.0%100.0%福建晉華0.0%11.8%41.7%////合肥晶合4.4%//////武漢新芯0.0%16.7%/////燕東微電子//65.0%0.0%/100.0%69.2%合計(jì)國(guó)產(chǎn)率16.8%27.4%46.43%36.4%40.6%62.0%資料來(lái)源：中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)，華泰研究分設(shè)備看：23年1-8月沉積、后道測(cè)試、涂膠顯影設(shè)備國(guó)產(chǎn)率較高。按照國(guó)產(chǎn)設(shè)備中標(biāo)數(shù)量從高到低排序，不同工藝設(shè)備國(guó)內(nèi)廠(chǎng)家中標(biāo)情況如下：爐管設(shè)備(24臺(tái))、沉積設(shè)備(23臺(tái))、后道測(cè)試設(shè)備(17臺(tái))、刻蝕設(shè)備(14臺(tái))、前道檢測(cè)設(shè)備(4臺(tái))、清洗設(shè)備(2臺(tái))、光刻機(jī)(1臺(tái))、涂膠顯影(1臺(tái))。其中國(guó)產(chǎn)率較高的環(huán)節(jié)主要為沉積設(shè)備(國(guó)產(chǎn)化率69.7%)、爐管設(shè)備(國(guó)產(chǎn)化率48.0%)、后道測(cè)試設(shè)備(國(guó)產(chǎn)化率47.2%)。2020年2021年2022年2023年1-2月2023年3-4月2023年5-6月2023年7-8月光刻2011000刻蝕683059211沉積3940399923清洗402543010離子注入4070000前道檢測(cè)563100后道測(cè)試741347190涂膠顯影8270010CMP拋光320000干法去膠27300000爐管632744430合計(jì)3063113342631國(guó)產(chǎn)率16.8%27.4%46.4%36.4%40.6%62.0%資料來(lái)源：中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)，華泰研究2020202120222023年1-2月2023年3-4月2023年5-6月2023年7-8月光刻5.4%0.0%50.0%/0.0%0.0%刻蝕32.5%24.4%59.6%50.0%12.5%14.3%90.9%沉積13.3%16.3%34.2%69.2%60.0%100.0%100.0%清洗32.0%34.7%67.2%/100.0%0.0%100.0%離子注入8.0%0.0%17.9%0.0%0.0%//前道檢測(cè)7.0%18.6%42.7%42.9%100.0%0.0%/后道測(cè)試1.7%37.5%29.6%41.2%14.3%100.0%0.0%涂膠顯影18.2%11.8%30.4%0.0%/100.0%0.0%CMP拋光36.4%41.7%50.0%///0.0%干法去膠47.4%45.0%88.2%////爐管22.7%23.9%22.4%40.0%30.0%0.0%58.6%合計(jì)國(guó)產(chǎn)率16.8%27.4%46.4%36.4%40.6%62.0%資料來(lái)源：中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)，華泰研究根據(jù)中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)數(shù)據(jù)，2023年7-8月份中標(biāo)較多的中國(guó)大陸廠(chǎng)家為北方華創(chuàng)、中微公司、切普電子、悅匠實(shí)業(yè)、吉姆西等(含部分外貿(mào)及翻新業(yè)務(wù)廠(chǎng)家)。北方華創(chuàng)合計(jì)中標(biāo)26臺(tái)：中標(biāo)燕東微電子17臺(tái)爐管設(shè)備、7臺(tái)刻蝕設(shè)備、1臺(tái)沉積設(shè)備；中標(biāo)時(shí)代電氣1臺(tái)沉積設(shè)備。中微公司合計(jì)中標(biāo)2臺(tái)：中標(biāo)燕東微電子2臺(tái)刻蝕設(shè)備。切普電子合計(jì)中標(biāo)1臺(tái)：中標(biāo)上海積塔1臺(tái)沉積設(shè)備。悅匠實(shí)業(yè)合計(jì)中標(biāo)1臺(tái)：中標(biāo)上海積塔1臺(tái)刻蝕設(shè)備。吉姆西合計(jì)中標(biāo)1臺(tái)：中標(biāo)華虹無(wú)錫1臺(tái)清洗設(shè)備。招標(biāo)人項(xiàng)目名稱(chēng)招標(biāo)產(chǎn)品數(shù)量地點(diǎn)中標(biāo)/評(píng)標(biāo)開(kāi)始時(shí)間*中標(biāo)人設(shè)備種類(lèi)設(shè)備商簡(jiǎn)稱(chēng)時(shí)代電氣背面金屬濺射設(shè)備采購(gòu)項(xiàng)目(第二背面金屬濺射設(shè)備1湖南省2023/7/11北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司沉積設(shè)備北方華創(chuàng)上海積塔上海積塔半導(dǎo)體有限公司特色工藝生產(chǎn)線(xiàn)建設(shè)項(xiàng)目高剛性研磨機(jī)1上海市2023/7/18迪思科科技(中國(guó))有限公司拋光設(shè)備DISCO上海積塔上海積塔半導(dǎo)體有限公司特色工藝生產(chǎn)線(xiàn)建設(shè)項(xiàng)目晶背刻蝕機(jī)1上海市2023/7/18LamResearchInternationalSdn.Bhd刻蝕設(shè)備Lam子燕東股份碳膜濺射設(shè)備和高溫退火設(shè)備采購(gòu)碳膜濺射設(shè)備1北京市2023/7/18北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司沉積設(shè)備北方華創(chuàng)子燕東股份碳膜濺射設(shè)備和高溫退火設(shè)備采購(gòu)高溫退火爐設(shè)備2北京市2023/7/18北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司爐管設(shè)備北方華創(chuàng)上海積塔6寸鋁硅銅金屬濺射設(shè)備6寸鋁硅銅金屬濺射設(shè)備1上海市2023/8/15上海切普電子科技有限公司沉積設(shè)備切普電子上海積塔8寸金屬刻蝕機(jī)設(shè)備項(xiàng)目8寸金屬刻蝕機(jī)設(shè)備1上海市2023/8/15上海悅匠實(shí)業(yè)有限公司刻蝕設(shè)備悅匠實(shí)業(yè)華虹無(wú)錫華虹半導(dǎo)體(無(wú)錫)有限公司12英寸集成電路制造項(xiàng)目顯影機(jī)1江蘇省2023/8/24TokyoElectronLimited涂膠顯影機(jī)TEL華虹無(wú)錫華虹半導(dǎo)體(無(wú)錫)有限公司12英寸集成電路制造項(xiàng)目光刻機(jī)1江蘇省2023/8/24阿斯麥(上海)機(jī)電設(shè)備有限公司光刻機(jī)ASML華虹無(wú)錫華虹半導(dǎo)體(無(wú)錫)有限公司12英寸集成電路制造項(xiàng)目濕法清洗設(shè)備1江蘇省2023/8/22吉姆西半導(dǎo)體科技(無(wú)錫)有限公司清洗設(shè)備吉姆西華虹無(wú)錫華虹半導(dǎo)體(無(wú)錫)有限公司12英寸集成電路制造項(xiàng)目自動(dòng)探針臺(tái)3江蘇省2023/8/8株式會(huì)社東京精密備東京精密子燕東科技12吋介質(zhì)膜刻蝕設(shè)備采購(gòu)燕東科技12吋介質(zhì)膜刻蝕設(shè)備采購(gòu)2北京市2023/8/11南昌中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司刻蝕設(shè)備中微半導(dǎo)體子燕東科技12吋擴(kuò)散爐設(shè)備采購(gòu)高溫?cái)U(kuò)散爐9北京市2023/8/10TokyoElectronLimited爐管設(shè)備TEL子燕東科技12吋擴(kuò)散爐設(shè)備采購(gòu)LPCVD(TEOS)擴(kuò)散爐2北京市2023/8/10TokyoElectronLimited爐管設(shè)備TEL子燕東科技12吋擴(kuò)散爐設(shè)備采購(gòu)LPCVD(UPOLY)擴(kuò)散爐1北京市2023/8/10TokyoElectronLimited爐管設(shè)備TEL子燕東科技12吋擴(kuò)散與刻蝕設(shè)備采購(gòu)中溫氧化設(shè)備6北京市2023/8/10北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司爐管設(shè)備北方華創(chuàng)子燕東科技12吋擴(kuò)散與刻蝕設(shè)備采購(gòu)氮化硅擴(kuò)散設(shè)備5北京市2023/8/10北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司爐管設(shè)備北方華創(chuàng)子燕東科技12吋擴(kuò)散與刻蝕設(shè)備采購(gòu)擴(kuò)散合金設(shè)備4北京市2023/8/10北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司爐管設(shè)備北方華創(chuàng)子燕東科技12吋擴(kuò)散與刻蝕設(shè)備采購(gòu)金屬刻蝕設(shè)備4北京市2023/8/10北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司刻蝕設(shè)備北方華創(chuàng)子燕東科技12吋擴(kuò)散與刻蝕設(shè)備采購(gòu)硅刻蝕設(shè)備3北京市2023/8/10北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司刻蝕設(shè)備北方華創(chuàng)注：*官網(wǎng)實(shí)際披露時(shí)間為2023年7-8月資料來(lái)源：中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)，華泰研究半導(dǎo)體周期持續(xù)回暖，國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)度加速，設(shè)備公司有望持續(xù)收益。半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)率低的背景也帶來(lái)了較高的國(guó)產(chǎn)替代空間，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備經(jīng)過(guò)多年勵(lì)精圖治，已經(jīng)涌現(xiàn)出多家在關(guān)鍵設(shè)備領(lǐng)域引領(lǐng)國(guó)產(chǎn)替代的廠(chǎng)家，在刻蝕、沉積、爐管、清洗、檢測(cè)測(cè)試、離子注入等多環(huán)節(jié)實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)替代。隨著半導(dǎo)體周期回暖和國(guó)內(nèi)設(shè)備企業(yè)國(guó)產(chǎn)化進(jìn)度加速，設(shè)備商有望率先受益于下游補(bǔ)庫(kù)存帶來(lái)訂單釋放，具有技術(shù)優(yōu)勢(shì)的龍頭設(shè)備公司有望持續(xù)受益。公司名稱(chēng)中芯國(guó)際中微公司芯源微北方華創(chuàng)拓荊科技盛美上海燕東微電子時(shí)代電氣AMATASMAxcelisLamResearchTELULVAC長(zhǎng)江存儲(chǔ)華力集成華力微電子福建晉華華虹無(wú)錫合肥晶合上海積塔中芯紹興武漢新芯切普電子悅匠實(shí)業(yè)吉姆西代碼688981CH688012CH688037CH002371CH688072CH688082CH688172CH688187CHAMATOASMASACLSOLRCXO8035T6728T------------資料來(lái)源：Wind，華泰研究提示晶圓廠(chǎng)擴(kuò)產(chǎn)不及預(yù)期。受益于半導(dǎo)體行業(yè)景氣度的提升，晶圓廠(chǎng)擴(kuò)產(chǎn)規(guī)模持續(xù)增加，半導(dǎo)體設(shè)備需求旺盛。如果未來(lái)因?yàn)榘雽?dǎo)體行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)或下游需求變化等因素，導(dǎo)致晶圓廠(chǎng)擴(kuò)產(chǎn)不及預(yù)期，將帶來(lái)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)景氣下行風(fēng)險(xiǎn)。設(shè)備公司研發(fā)不及預(yù)期。當(dāng)前部分國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備與進(jìn)口設(shè)備仍存在性能差距較大的問(wèn)題，國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)度具有一定不確定性。若半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)不及預(yù)期，將對(duì)公司業(yè)務(wù)增長(zhǎng)和拓展產(chǎn)生重大影響。中美貿(mào)易摩擦風(fēng)險(xiǎn)。中美貿(mào)易摩擦存在不確定性，警惕中美貿(mào)易摩擦帶來(lái)的市場(chǎng)情緒沖擊和供應(yīng)鏈風(fēng)險(xiǎn)。分析師聲明本人，倪正洋、楊云逍，茲證明本報(bào)告所表達(dá)的觀(guān)點(diǎn)準(zhǔn)確地反映了分析師對(duì)標(biāo)的證券或發(fā)行人的個(gè)人意見(jiàn)；彼以往、現(xiàn)在或未來(lái)并無(wú)就其研究報(bào)告所提供的具體建議或所表迖的意見(jiàn)直接或間接收取任何報(bào)酬。一般聲明及披露本報(bào)告由華泰證券股份有限公司(已具備中國(guó)證監(jiān)會(huì)批準(zhǔn)的證券投資咨詢(xún)業(yè)務(wù)資格，以下簡(jiǎn)稱(chēng)“本公司”)制作。本報(bào)告所載資料是僅供接收人的嚴(yán)格保密資料。本報(bào)告僅供本公司及其客戶(hù)和其關(guān)聯(lián)機(jī)構(gòu)使用。本公司不因接收人收到本報(bào)告而視其為客戶(hù)。本報(bào)告基于本公司認(rèn)為可靠的、已公開(kāi)的信息編制，但本公司及其關(guān)聯(lián)機(jī)構(gòu)(以下統(tǒng)稱(chēng)為“華泰”)對(duì)該等信息的準(zhǔn)確性及完整性不作任何保證。本報(bào)告所載的意見(jiàn)、評(píng)估及預(yù)測(cè)僅反映報(bào)告發(fā)布當(dāng)日的觀(guān)點(diǎn)和判斷。在不同時(shí)期，華泰可能會(huì)發(fā)出與本報(bào)告所載意見(jiàn)、評(píng)估及預(yù)測(cè)不一致的研究報(bào)告。同時(shí)，本報(bào)告所指的證券或投資標(biāo)的的價(jià)格、價(jià)值及投資收入可能會(huì)波動(dòng)。以往表現(xiàn)并不能指引未來(lái)，未來(lái)回報(bào)并不能得到保證，并存在損失本金的可能。華泰不保證本報(bào)告所含信息保持在最新?tīng)顟B(tài)。華泰對(duì)本報(bào)告所含信息可在不發(fā)出通知的情形下做出修改，投資者應(yīng)當(dāng)自行關(guān)注相應(yīng)的更新或修改。本公司不是FINRA的注冊(cè)會(huì)員，其研究分析師亦沒(méi)有注冊(cè)為FINRA的研究分析師/不具有FINRA分析師的注冊(cè)資華泰力求報(bào)告內(nèi)容客觀(guān)、公正，但本報(bào)告所載的觀(guān)點(diǎn)、結(jié)論和建議僅供參考，不構(gòu)成購(gòu)買(mǎi)或出售所述證券的要約或招攬。該等觀(guān)點(diǎn)、建議并未考慮到個(gè)別投資者的具體投資目的、財(cái)務(wù)狀況以及特定需求，在任何時(shí)候均不構(gòu)成對(duì)客戶(hù)私人投資建議。投資者應(yīng)當(dāng)充分考慮自身特定狀況，并完整理解和使用本報(bào)告內(nèi)容，不應(yīng)視本報(bào)告為做出投資決策的唯一因素。對(duì)依據(jù)或者使用本報(bào)告所造成的一切后果，華泰及作者均不承擔(dān)任何法律責(zé)任。任何形式的分享證券投資收益或者分擔(dān)證券投資損失的書(shū)面或口頭承諾均為無(wú)效。除非另行說(shuō)明，本報(bào)告中所引用的關(guān)于業(yè)績(jī)的數(shù)據(jù)代表過(guò)往表現(xiàn)，過(guò)往的業(yè)績(jī)表現(xiàn)不應(yīng)作為日后回報(bào)的預(yù)示。華泰不承諾也不保證任何預(yù)示的回報(bào)會(huì)得以實(shí)現(xiàn)，分析中所做的預(yù)測(cè)可能是基于相應(yīng)的假設(shè)，任何假設(shè)的變化可能會(huì)顯著影響所預(yù)測(cè)的回報(bào)。華泰及作者在自身所知情的范圍內(nèi)，與本報(bào)告所指的證券或投資標(biāo)的不存在法律禁止的利害關(guān)系。在法律許可的情況下，華泰可能會(huì)持有報(bào)告中提到的公司所發(fā)行的證券頭寸并進(jìn)行交易，為該公司提供投資銀行、財(cái)務(wù)顧問(wèn)或者金融產(chǎn)品等相關(guān)服務(wù)或向該公司招攬業(yè)務(wù)。華泰的銷(xiāo)售人員、交易人員或其他專(zhuān)業(yè)人士可能會(huì)依據(jù)不同假設(shè)和標(biāo)準(zhǔn)、采用不同的分析方法而口頭或書(shū)面發(fā)表與本報(bào)告意見(jiàn)及建議不一致的市場(chǎng)評(píng)論和/或交易觀(guān)點(diǎn)。華泰沒(méi)有將此意見(jiàn)及建議向報(bào)告所有接收者進(jìn)行更新的義務(wù)。華泰的資產(chǎn)管理部門(mén)、自營(yíng)部門(mén)以及其他投資業(yè)務(wù)部門(mén)可能獨(dú)立做出與本報(bào)告中的意見(jiàn)或建議不一致的投資決策。投資者應(yīng)當(dāng)考慮到華泰及/或其相關(guān)人員可能存在影響本報(bào)告觀(guān)點(diǎn)客觀(guān)性的潛在利益沖突。投資者請(qǐng)勿將本報(bào)告視為投資或其他決定的唯一信賴(lài)依據(jù)。有關(guān)該方面的具體披露請(qǐng)參照本報(bào)告尾部。本報(bào)告并非意圖發(fā)送、發(fā)布給在當(dāng)?shù)胤苫虮O(jiān)管規(guī)則下不允許向其發(fā)送、發(fā)布的機(jī)構(gòu)或人員，也并非意圖發(fā)送、發(fā)布給因可得到、使用本報(bào)告的行為而使華泰違反或受制于當(dāng)?shù)胤苫虮O(jiān)管規(guī)則的機(jī)構(gòu)或人員。本報(bào)告版權(quán)僅為本公司所有。未經(jīng)本公司書(shū)面許可，任何機(jī)構(gòu)或個(gè)人不得以翻版、復(fù)制、發(fā)表、引用或再次分發(fā)他人(無(wú)論整份或部分)等任何形式侵犯本公司版權(quán)。如征得本公司同意進(jìn)行引用、刊發(fā)的，需在允許的范圍內(nèi)使用，并需在使用前獲取獨(dú)立的法律意見(jiàn)，以確定該引用、刊發(fā)符合當(dāng)?shù)剡m用法規(guī)的要求，同時(shí)注明出處為“華泰證券研究所”，且不得對(duì)本報(bào)告進(jìn)行任何有悖原意的引用、刪節(jié)和修改。本公司保留追究相關(guān)責(zé)任的權(quán)利。所有本報(bào)告中使用的商標(biāo)、服務(wù)標(biāo)記及標(biāo)記均為本公司的商標(biāo)、服務(wù)標(biāo)記及標(biāo)記。中國(guó)香港本報(bào)告由華泰證券股份有限公司制作,在香港由華泰金融控股(香港)有限公司向符合《證券及期貨條例》及其附屬法律規(guī)定的機(jī)構(gòu)投資者和專(zhuān)業(yè)投資者的客戶(hù)進(jìn)行分發(fā)。華泰金融控股(香港)有限公司受香港證券及期貨事務(wù)監(jiān)察委員會(huì)監(jiān)管，是華泰國(guó)際金融控股有限公司的全資子公司，后者為華泰證券股份有限公司的全資子公司。在香港獲得本報(bào)告的人員若有任何有關(guān)本報(bào)告的問(wèn)題,請(qǐng)與華泰金融控股(香港)有限公司聯(lián)系。香港-重要監(jiān)管披露?華泰金融控股(香港)有限公司的雇員或其關(guān)聯(lián)人士沒(méi)有擔(dān)任本報(bào)告中提及的公司或發(fā)行人的高級(jí)人員。?有關(guān)重要的披露信息，請(qǐng)參華泰金融控股(香港)有限公司的網(wǎng)頁(yè).hk/stock_disclosure其他信息請(qǐng)參見(jiàn)下方“美國(guó)-重要監(jiān)管披露”。美國(guó)在美國(guó)本報(bào)告由華泰證券(美國(guó))有限公司向符合美國(guó)監(jiān)管規(guī)定的機(jī)構(gòu)投資者進(jìn)行發(fā)表與分發(fā)。華泰證券(美國(guó))有限公司是美國(guó)注冊(cè)經(jīng)紀(jì)商和美國(guó)金融業(yè)監(jiān)管局(FINRA)的注冊(cè)會(huì)員。對(duì)于其在美國(guó)分發(fā)的研究報(bào)告，華泰證券(美國(guó))有限公司根據(jù)《1934年證券交易法》(修訂版