半導體制程設備供應鏈及研發(fā)圖表課件

TOEA光電製程丶羋導體製程設備供應鏈與技術研發(fā)地圖TOEA1TOEA光電製程:1.TFT-Array段(1)板受入前洗淨湶洗淨設備踐鍍機件防著板PEP1DenseCleanerPhotoPre-DepoCleaner技鼎A蝕刻機·鋁觸刻祿式觸刻機列車武帆宣(擬開發(fā))TotalPitchCDOverlay量測機回火機CDOVEParticleCounterCDOLMeasurement技鼎能麒資騰杠宇代表該設備·響租件自國外代理或口TOEA2TOEA1.TFT-Array段(2)雷射修補機雷射CvD修補機傅機取片CVDLaserrLasercvd排片/排序榜均素、沛鑫旭束·朋均豪、盟立反射率量怏測機SheetResist/TEGSheetResistance銀朋美巨量檢測機SurfaceProfile孚檢測機/覺檢Macro/Micro均泵·高僑大銀、宏瀨晶彩、由田大銀、音騰杠宇代表該設備·響租件自國外代理或口TOEA31.TFT-Aray段(3)-周邊設備或其他壓電漿清深設備堆蛋式解包設備巨截自動光機零件,乾蝕刻PlasmaCleanDenseUnpackAOISystem由田良率管理系锍真空chamber銲按自動傅送系锍AutomaticTransfer亞智(擬開漢泰(擬開發(fā)輸送帶拍照機離子雲倌入機BCEAPConveyReviewopingSystem羽冠羽冠(擬開發(fā)機宣杠宇代表該設備·響租件自國外代理或口1.TFT-Aray段(3)-周邊設備或其他41TFT-Array段(4)零組件供應澆珠螺稈防菩板·銅板鋁兩板熟器BallScrewBackingPlate(forCVD干附千附重板及網板擰散板EUV172光源EUVExcimerLamp「附G.Motor線性馬幸泉性滑軌LinearmotoLinearGuideway宇代表該設備、響粗件自國外代理或進口1TFT-Array段(4)零組件供應5TOEA2.TFT-Ce-FEOL段(1)P前洗淨設償P|轉高機P烤煜/P烤爐P轉高後檢查機Pre-PICleanerPIInspectionSystem能麒RubbingMachineCUREOVEN智向友波晶脫泡機膠脫泡機框膠塗佈機C/FAnnealovenSealDispenser鞏宣(擬開發(fā))杠宇代表該設備·響租件自國外代理或口TOEA6TOEA2.TFT-Ce-FEOL段(2)液晶注入機SpacerPrebake帆宣·帆宣(擬開強)晶彩(開發(fā))晶彩mPanelUVCure旭束志聖帆直(開發(fā)框膠硬烤爐大基板貼合後PhotoSpac框膠塗佈機SealMainCureoven工檢查機SealDispenserPhotoSpace陽程鞏宣(擬開發(fā))沛鑫·旭車、薊友帆宜·陽程(擬開發(fā)杠宇代表該設備·響租件自國外代理或口TOEA7TOEA2.TFT-Ce-FEOL段(3)光阻塗佈影機帆宜宇代表該設備、響粗件自國外代理或進口TOEA8半導體制程設備供應鏈及研發(fā)圖表課件9半導體制程設備供應鏈及研發(fā)圖表課件10半導體制程設備供應鏈及研發(fā)圖表課件11半導體制程設備供應鏈及研發(fā)圖表課件12半導體制程設備供應鏈及研發(fā)圖表課件13半導體制程設備供應鏈及研發(fā)圖表課件14半導體制程設備供應鏈及研發(fā)圖表課件15半導體制程設備供應鏈及研發(fā)圖表課件16半導體制程設備供應鏈及研發(fā)圖表課件17半導體制程設備供應鏈及研發(fā)圖表課件18半導體制程設備供應鏈及研發(fā)圖表課件19半導體制程設備供應鏈及研發(fā)圖表課件20半導體制程設備供應鏈及研發(fā)圖表課件21半導體制程設備供應鏈及研發(fā)圖表課件22半導體制程設備供應鏈及研發(fā)圖表課件23半導體制程設備供應鏈及研發(fā)圖表課件24半導體制程設備供應鏈及研發(fā)圖表課件25半導體制程設備供應鏈及研發(fā)圖表課件26半導體制程設備供應鏈及研發(fā)圖表課件27半導體制程設備供應鏈及研發(fā)圖表課件28半導體制程設備供應鏈及研發(fā)圖表課件29半導體制程設備供應鏈及研發(fā)圖表課件30半導體制程設備供應鏈及研發(fā)圖表課件31半導體制程設備供應鏈及研發(fā)圖表課件32半導體制程設備供應鏈及研發(fā)圖表課件33半導體制程設備供應鏈及研發(fā)圖表課件34半導體制程設備供應鏈及研發(fā)圖表課件35半導體制程設備供應鏈及研發(fā)圖表課件36半導體制程設備供應鏈及研發(fā)圖表課件37半導體制程設備供應鏈及研發(fā)圖表課件38半導體制程設備供應鏈及研發(fā)圖表課