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文檔簡介
2.1
CMOS制造工藝流程簡介
We
will
describe
a
modern
CMOS
process
flow.Process
described
here
requires
16
masksand
>
100
process
steps.1第二章CMOS制備基本流程StagesofICFabrication2?I區(qū)nt顆h械es秋i帝m科p呆l炮e低s童tC匪M抽O瀉St跌e歪c漿h貍n臭o蛾l煤o喂g瞎i壓e運(yùn)s耽,w網(wǎng)en棋e靠e伴dt假or化e也a持l法i體z瀉e祥s扮i心m櫻p病l苗yN橋M倦O榮Sa曬n轟dP彈M慣O襯St適r柔a沸n獎s使i捷s驢t動o貌r聲sf追o況r腥c恨i亦r坦c奪u派i否t罷sl泰i尚k刮et欣h銹o州s滋ei智l謝l弱u財(cái)s企t吳r谷a允t制e柳db有e控l迎o醫(yī)w態(tài).C葡M盤O父SD餡i怖g仿i鬧t束a喜lG飼a綁t謀e脅s反勢相匹電竹路或捧非皺門臥:填同油時亡輸努入技低循電葵平夫時遣才槐能偉獲蹲得胖高嫌電莊平爭輸姜出3P旬M腳O掏Sa氧n委dN突M逼O滿Sw剃a炊f巷e牙rc讓r影o貝s鍋s渾s市e太c才t送i毯o鉗na睡f汪t瞧e返r添f燙a折b翻r阿i承c尤a貪t麥i訓(xùn)o墓n2疑-德L刷e合v天e乖lM策e岸t睡a俘lC泰M賽O隆S兩去層悲互恰連奧布鍋線剪的C甲M殼O鉆S4有今源俯器臟件鵝(M柴O悟S、B譽(yù)J矛T等礎(chǔ)類噴似淹器短件鍬)脈,所必嚼須晃在妹外滲加適竟當(dāng)牽的拘偏羨置退電沖壓情狗況美下遺,方器鞠件嶄才違能興正拖常政工玻作拜。對迅于M劃O戚S管城,齒有礎(chǔ)源濾區(qū)奴分煎為爪源去區(qū)燭和絲式漏論區(qū)峽,解在榴進(jìn)賭行探互漢聯(lián)慚之亞前團(tuán),廣兩現(xiàn)者后沒秒有睡差登別辦。????????C施h客o科o繞s蹄i稍n召gaS慚u閱b杜s鉗t加r做a潛t滾eA晚c起t雜i葉v夸eR時e剝g災(zāi)i姿o逮nNa虹n萄dPW姓e個l限lG唐a爪t打eT吩i住po立rE億x些t牢e棒n盒s臺i像o載nS盒o踐u堅(jiān)r膊c家ea合n動dD珠r懲a灶i除nC右o雙n禮t扛a否c總ta炮n日dL吉o有c講a療lI輩n過t勝e琴r穿c友o側(cè)n貨n掩e別c破tM鍛u猛l炒t行i膏l(xiāng)泛e塔v礙e富lM污e若t他a較l毫i光z糖a挪t旅i序o生nP呈r愛o暈c烏e陷s娛s犯i桂n恒gP裳h很a忽s模e系s51μ顫m麥P合h芳o(jì)燭t爭o葉r吸e湖s這i蟻s鴉t4疤0n啞m爹S兄i濫O2C魚h康o年o壤s荒et表h臭es粥u纏b量s曬t拆r虹a冰t堤e狠(頭t素y碼p翁e腔,o井r堅(jiān)i逐e磁n槐t幅a疫t協(xié)i裙o父n為,溝r戀e部s撒i稠s勻t濫i旨v爬i汁t勻y富,w額a盲f束e問rs吉i遲z制e津)?I烘n頓i期t雅i裕a妨lp遮r版o廚c歐e衫s蠻s恥i默n五g此:-W甜a聲f繁e揮rc線l櫻e眉a榮n嘆i津n矛g-t喬h老e砌r孫m要a權(quán)l(xiāng)o尼x取i是d糖a找t德i啟o赴n,H2O(區(qū)≈4擾0n掙m腔,1秋5m賠i勤n調(diào).@9嫩0樓0毛o蠟C涂)-n忌i客t勒r士i穩(wěn)d為eL蠢P低C內(nèi)V窄D(低渡壓俗化僑學(xué)受氣鋤相撫沉礙積)(充≈8甩0n薄m臉@8損0括0叛o競C掏)?S聰u擦b嶼s騰t責(zé)r勿a朵t禾es能e絕l附e卵c患t優(yōu)i掃o邊n搶:-m納o碰d酒e榨r頃a傾t疾e鈔l礙yh賽i劍g給hr究e蠶s岸i盲s蟻t反i政v蒸i絹t旬y鎖(置2王5丑-待5醋0o旁h錦m耳-筍c端m盤)-(傳1淚0謊0牽)o乏r莖i饑e近n僚t作a醬t去i課o贈n-P絕-t放y苦p執(zhí)e櫻.8畏0n市m甚S鉤i3N4C挎h棟o亭o盡s伍i鈔n繼gaS候u婚b旨s楊t鞠r質(zhì)a遍t速eS承i跌,劇(絲式1晨0潮0己)宮,剪P份T脫y敲p垮e蹦,件2河5貪~扶5豬0Ωc骨m1把s盼tM量a如s謹(jǐn)kP起h場o波t臺o賄r奧e醒s看i何s份t?s孩p榨i番n累n烘i議n啊ga融n掀db食a恥k織i事n豪g幣@10永0墾o書C搏(廈≈0榴.路5-1軟.北0μ呈m諸)62拉.敗2有閘源攝區(qū)姑的封形誓成?P圓h話o故t以o崖l訴i吉t矩h醫(yī)o魂g狀r圓a流p班h漠y-M墨a獎s閃k#集1p亞a揭t園t臭e斥r耐na站l雹i很g蒙n值m蝦e溫n耍t約a胡n勝dU爪Ve圾x膨p產(chǎn)o齊s貓u旱r古e-R士i基n鋼s閥ea淋w傅a搜yn兇o移n亦-僅p寇a神t黎t踩e艱r悶nP辭R-D墓r奔ye礎(chǔ)t鍵c委ht問h膚eN袋i懶t部r負(fù)i絨d酸el越a貼y塌e析r-換-P按l武a豬s討m傳ae進(jìn)t蛋c敵hw羅i藥t禍hF途l發(fā)u掉o瓣r激i授n溫eC銳F4o椅rN撫F4P晴l息a正s膀m渴a-S改t臨r偽i扣pP框h暴o蒸t洽o鐘r廟e葬s斑i貓s找t違(惑H2S擊O4或O2p棒l畜a刃s驢m林a貸)A交c旋t膚i股v掩eA稼r享e抗aD醉e通f濱i藏n立i引t見i梅o種n耗(主鉗動扭區(qū))S浴i舞O2S秩i3N4P四h李o洪t歷o捧r父e蒙s頭i薪s蔬t7?W帶e醒tO屢x蕉i果d豪e(胡t姐h寧i父c繞kS促i乎O2)-H2O(某≈5耽0拌0n糠m充,9臉0m摔i炕n累.@陽1乞0蘋0揭0鑄o烈C升)?S曲t篇r判i忘pN價(jià)i出t奶r廊i搖d雁el鎮(zhèn)a劃y德e榨r-P額h此o矮s癥o璃p捆h厘o擊r媽i顛ca折c監(jiān)i刑d埋(磷憤酸)o厚r不p任l豈a戴s擦m貨ae竟t顫c陰h,刮選其擇澇性偉問耀題F唇i鉗e洽l盲dO銳x鐮i敘d裕eG巡壽r純o渣w膜t桿h-L印O邪C摩O研S線:L刑o沖c胡a利lO壩x潮i靠d班a臉t騎i景o攝no恢f律S暖i亡l狐i繁c檢o樣n演(局媽部則硅銹氧救化直工外藝)S撞i丑O2S框i3N4?薄孫的S炭i邀O2層承,犯厚宵的S樸i3N4層盆,揪避遷免坦鳥義喙(欺b杰i備r滿d董’統(tǒng)s勤b績e生a求k昏)的躍影勝響8?場盒區(qū):很我厚寫的功氧厭化體層嗚,薦位葡于并芯薪片棍上敢不疤做齊晶但體問管柱、頂電徑極興接適觸悟的兵區(qū)會域鹿,辱可雪以爹起脹到策隔賊離虜晶皆體促管屠的篇作馬用重。?P螞h誰o今t層o股l棋i趴t餐h肉o數(shù)g脖r催a描p京h娃y賊(套菊刻)-M腿a投s瞞k#棒2p輔a怕t盟t安e趣r等na粉l覺i肥g淘n炒m倍e駝n叉t駱a匪n刺dU弊Ve連x范p睡o市s糟u煎r疤e?I頂o飼n昏I餃m厘p腥l睬a霸n梳t(yī)盜a逢t藥i膽o越n離儀子瞎注番入-B聚+i巾o炒nb絡(luò)o斬m吸b抱a妨r僵d蘿m鑼e到n螺tP寧e信n山e哈t穿r岸a雜t推et爛h谷i裁nS熱i努O2a順n之df問i緣瑞e逼l渾d件S巴i剃O2-膛-反改型:們半督導(dǎo)第體表純面的款少絡(luò)數(shù)度載擦流割子悲濃形度仆等體于層體懲內(nèi)疲的是多脹數(shù)另載駐流策子弊濃筒度禁時罪,鑰半親導(dǎo)尼體己表往面兇開栽始丸反磨型助。-1演5侍0軋-郵2蠅0腥0ke用Vf虹o喪r1漏01忘3c獨(dú)m-鉗2-欲-I被m夜p減l咐a介n轟t蕉a絞t露i乎o螞nE駛n六e烏r苗g屠ya廣n頌d按t忠o患t俊a伯ld宗o歇s析ea刺d蠻j促u牛s策t撤e陽df色o嚴(yán)r旱d湯e做p羨t洲ha凳n辨dc逝o繩n思c池e片n吹t文r列a難t管i皮o暗nP殺-磨w層e課l斷l(xiāng)F巨a尖b索r肯i懸c事a廣t這i盈o始n?S腔t潛r荷i胸pP粒h駛o蘋t扶o讀r丙e座s標(biāo)i漁s復(fù)t-R價(jià)i煤n譜s壯ea姿w除a甜yn炎o(hù)動n扯-延p瞧a團(tuán)t佩t兇e廟r杠nP趣R2同.盆3拐N阱祖和P阱甚的開形底成S似i煙O2P響h紗o浴t黨o懸r督e染s伶i綿s仙t9?I想o萬nI蔽m租p康l結(jié)a肚n默t轟a痰t絲式i決o龍n-P同+i允o沃nb憲o羞m廁b渾a士r旱d繳m輸e癥n啞t-P燦e宇n菠e麗t解r覆a皆t粘et直h銀i矛nS闖i警O2a五n絕df丟i蜓e組l顏dS外i勾O2-3怨0獲0暢-獸4笑0忙0ke場Vf洲o永r1痰01素3c鳴m-度2-棚-I屠m(xù)藥p蚊l既a訓(xùn)n弟t作a網(wǎng)t傾i臂o擱nE策n關(guān)e堵r樸g羅ya栗n脆dt巨o淚t戰(zhàn)a機(jī)ld上o斑s屬ea稼d咱j被u喉s趕t去e公df劑o退rd柴e堅(jiān)p算t卷ha崖n世dc捆o值n疾c串e仙n塌t毀r忍a真t肅i趴o桿n?S另t螺r候i戚pP籌h聽o揪t躬o隙r撲e五s辜i案s唐tN紋-俱w慎e象l優(yōu)lF叔a嗚b藝r圣i友c哨a微t逗i瓶o悶n?P押h猜o沈t敘o跨l樸i含t環(huán)h貍o配g惜r個a鬧p夕h例y-M趴a崖s唉k#肆3p甚a濟(jì)t李t滴e得r富na續(xù)l道i備g擁n小m益e慶n誘t劇a演n習(xí)dU投Ve澇x添p炊o氧s閣u含r紫e-R派i耕n蘿s沸ea挖w攤a儀yn從o領(lǐng)n排-叮p川a果t哈t銅e只r銜nP盈R1滿0?T但h抬e屆r撇m蹤蝶a切l(wèi)德A銅n印n圣e芬a前l(fā)勝(熱伙退暴火)-R賠e子p睬a縮慧i棚rc鬧r鵝y議s麗t罷a壘ll派a躬t逐t象i膨c鼓es他t咐r棵u秒c嗓t墨u發(fā)r孫e亦d提a緊m赴a污g酬ed還u務(wù)et飯oi歐m疾p喘l括a辰n螺t蒸a屈t蠟i啦o腸n?D嚇r波yF量u港r糕n查a專c擺e(比N2a兄m叨b炸i征e聞n趙t,慘防款止泊氧批化落層出生撈成)-A搬n阿n蹄e稻a翻l伍3濕0m桃i戚n@8銜0綠0摸?迅Co先r沙R咸T悠A椒(快蜻速暮熱默退冰火)1聰0s著e消c@1荷0摩0毛0遣?石C-D頂r唐i夜v侵e扭-戒i指n曉4杏-謊6h和o近u蚊r夕s@1持0上0攀0?鐘C-1姐1評0暫0?貪CT座h趙e還r責(zé)m趨a嗎lA棕n仍n辛e候a使la遇n任dD店i勞f編f閘u踢s械i廢o回n?N茄a(bǔ)皺n表d伴P紙D鬼r鏈i橫v侍e溝-蜻i忘n暗(擴(kuò)蝕散趟推重進(jìn))-T靠h界e灰r塵m桐a脾ld乞i龍f汽f奧u挖s逢i任o唐no躬fd登o頂p邪a尋n雙tt畢o第s聯(lián)h攝a番l什l悠o竊w偽e惡rt桌h尤a棍nd館e堅(jiān)s嫌i頭r統(tǒng)e欲dd剩e狠p魯t午h-革-D痛r吧i胃v膏e謙-密i話ni帆sac謙u總m腎u凱l省a正t隔i藝v察e疤p柔r數(shù)o括c曉e其s品s循!1頌1?P柴h祖o崖t若o氧l父i林t使h弦o慰g鑼r察a祥p掌h啄y-M茅a配s話k#哪4p榴a術(shù)t壯t圣e砍r懇na攏l牧i遍g對n默m煎e灰n殺t盛a罷n栗dU撒Ve挺x重p遮o逆s螺u申r暖e-R配i碰n煙s與ea萍w林a工yn購o梳n唉-典p小a匯t匯t鄙e招r掘nP蹲R-B恐+i赴o耍nb暴o著m腹b事a打r膝d統(tǒng)m仁e無n誘t-5昏0野-宣7霧5妹k謎e氏Vf居o須r1專-膊5×1制01咐2c以m-冬2-慈-I臘m蕩p需l改a彈n肉t脅a善t獵i洽o兩nE榆n躲e枕r伏g植ya譯n記dt輪o失t侍a艙ld金o辯s境ea這d改j唯u禁s評t猜e提df住o淘rd廢e墾p很t偉ha墊n顯dc侵o店n題c煮e喬n達(dá)t傷r木a草t悠i鈔o披n?S紫t齡r精i洞pP廉h渣o湯t殖o形r常e不s杯i悶s朵tT皇h迎r誰e湊s農(nóng)h的o勢l譯dA頓d釀j顯u驢s住t判m尤e短n唱t野,P裹-錦t棕y咽p螞eN確M亮O基S?I貸o或nI辛m奏p匪l園a渴n恥t聯(lián)a玩t失i纖o喝n2激.籌4柵件電洽極穗的功制立備開乓啟壁電邀壓尤調(diào)易整1壺2調(diào)斃整殼之探前P阱莖的育摻培雜棚濃豈度調(diào)怨整驕時何的熊注損入率劑頸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