spc系統(tǒng)訓(xùn)練教材

SPC執(zhí)行辦法訓(xùn)練教材1

經(jīng)由制程管制系統(tǒng)的執(zhí)行，可隨時(shí)監(jiān)控制程是否穩(wěn)定，并經(jīng)由統(tǒng)計(jì)手法的活用，降低制程中的變異，提升制程能力目的2CCQ90

相關(guān)定義1.SPC﹕為StatisticProcessControl之縮寫(xiě)，統(tǒng)計(jì)制程管制2.Ca﹕CapabilityofAccuracy，準(zhǔn)確度或正確度，用以衡量制程平均值與規(guī)格中心值偏差的程度，評(píng)價(jià)等級(jí)Ca越小越好。3.Cp﹕CapabilityofPrecision，精密度，用以衡量制程標(biāo)準(zhǔn)差與規(guī)格公差比之程度，即制程符合規(guī)格之能力，評(píng)價(jià)等級(jí)，Cp越大越好。4.Cpk﹕綜合能力指標(biāo)，用以衡量制程之實(shí)際積效，評(píng)價(jià)等級(jí)，Cpk越大越好。3CCQ90

相關(guān)定義5.RFC:ResponseFlowChecklist，回應(yīng)流程查檢表用以使不穩(wěn)定的制程回復(fù)成穩(wěn)定狀態(tài)的工具當(dāng)制程管制處于不穩(wěn)定狀態(tài)時(shí)，透過(guò)一系列的診斷確認(rèn)程序，以判定制程不穩(wěn)定的原因并對(duì)每個(gè)可能原因，列出解決對(duì)策，最後驗(yàn)證原因已確實(shí)解決，制程已回復(fù)至穩(wěn)定狀態(tài)。4CCQ90

相關(guān)定義6.StationMonitor﹕用以監(jiān)控制程狀態(tài)的工具。Stationmonitor之管制特性不受產(chǎn)品種類(lèi)、規(guī)格的影響完全反映制程的品質(zhì)，制程中Stationmonitor範(fàn)圍主要為制程之Output；如S/M濕種，氧化線weightgain。7.In-linemonitor﹕則為一個(gè)製程的Input參數(shù)。如：SPS之濃度、溫度、Cu2+含量…等屬於In-lineMonitor，是目前PCS監(jiān)控範(fàn)圍。5CCQ90

作業(yè)流程圖作業(yè)流程圖見(jiàn)附件流程圖6CCQ90

內(nèi)容說(shuō)明1.制程StationMonitor項(xiàng)目的變更1-1新增工程單位依下列原則考慮建立管制項(xiàng)目，經(jīng)核準(zhǔn)後實(shí)施(1)工程理論上探討認(rèn)為需要建立管制項(xiàng)目者(2)重要參數(shù)未被列入控制者(3)經(jīng)常發(fā)生品質(zhì)問(wèn)題之項(xiàng)目(4)客戶(hù)特別要求之項(xiàng)目(5)新制程之重要控制參數(shù)新增項(xiàng)目由工程單位提出“StationMonitor新增申請(qǐng)說(shuō)明表”同時(shí)修改“制程StationMonitor項(xiàng)目匯整表“，并提出新管制項(xiàng)目的”管制圖履歷表“。7CCQ90

內(nèi)容說(shuō)明1-2刪除各制程管制項(xiàng)目欲刪除，應(yīng)考慮下列幾項(xiàng)(1)是否是因無(wú)此產(chǎn)品而刪除相關(guān)之管制項(xiàng)目若確定已無(wú)生產(chǎn)此種產(chǎn)品則可刪除相關(guān)之管制項(xiàng)目。(2)此項(xiàng)管制項(xiàng)目是否屬于可靠度Monitor，原則上可靠度Monitor不應(yīng)刪除。(3)此項(xiàng)管制項(xiàng)目若過(guò)去三個(gè)月有超過(guò)管制界限或規(guī)格界限之情形，則不應(yīng)刪除此項(xiàng)管制項(xiàng)目。(4)過(guò)去3個(gè)月計(jì)算Cpk值均應(yīng)大于1.33，此項(xiàng)管制項(xiàng)目可考慮刪除。(5)若該制程或下制程有其它管制項(xiàng)目可達(dá)相同監(jiān)控目的者，可考慮刪除8CCQ90

內(nèi)容說(shuō)明1-2刪除(6)原則上，制程O(píng)utput之管制項(xiàng)目不應(yīng)刪除。決定刪除之管制項(xiàng)目，應(yīng)由現(xiàn)場(chǎng)單位填具”製程管制項(xiàng)目變更申請(qǐng)單”說(shuō)明刪除項(xiàng)目及理由，並檢附相關(guān)資料，經(jīng)部門(mén)主管審核，並由J00PE以工程理論說(shuō)明並判斷是否可刪除，再經(jīng)工程、品保單位會(huì)簽，Q00核準(zhǔn)後刪除該管制項(xiàng)目。J00PE應(yīng)同時(shí)更新相關(guān)POR、SOP及"製程StationMonitor項(xiàng)目彙整表或"產(chǎn)品StationMonitor項(xiàng)目彙整表"。

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內(nèi)容說(shuō)明1-3加嚴(yán)當(dāng)在管制圖上連續(xù)5點(diǎn)(批)中有2點(diǎn)(批)超出管制界線者，應(yīng)於QIS發(fā)出通知後，加嚴(yán)(頻率增加或抽樣量增加)檢驗(yàn)；由J00提出"管制項(xiàng)目變更申請(qǐng)單"並以工程理論上判斷是否有加嚴(yán)之需求，若認(rèn)定有加嚴(yán)之需求，則需修改該項(xiàng)之"管制圖履歷表"。10CCQ90

內(nèi)容說(shuō)明1-4減量每月月初QIS檢討前30點(diǎn)資料，並發(fā)出彙整之月報(bào)表，若沒(méi)有超出管制界線的情形，且Cpk>1.33，可由PD發(fā)起進(jìn)行進(jìn)一步之減量分析，並由現(xiàn)場(chǎng)提出"管制項(xiàng)目變更申請(qǐng)單"。各製程管制項(xiàng)目欲減少抽樣量或抽樣頻率時(shí)，應(yīng)考慮下列事項(xiàng)過(guò)去3個(gè)月是否有超出管制界線之情形，若有此情形則不適宜減量。

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內(nèi)容說(shuō)明2.制程加嚴(yán)減量程序?qū)嵤┰瓌t

對(duì)制程加嚴(yán)減量之原則如下，在變更同時(shí)應(yīng)由相關(guān)單位提出管制項(xiàng)目變更申請(qǐng)單及修改管制圖履歷表。

加嚴(yán)1次/4hr

1次/1班

1次/1天

1次/1週

1次/2週

減量當(dāng)管制頻率為每批低于4小時(shí)即執(zhí)行一次取樣，則不執(zhí)行加嚴(yán)程序，當(dāng)發(fā)現(xiàn)有超出規(guī)格界限之情形，應(yīng)依異常處理相關(guān)規(guī)範(fàn)處理，當(dāng)發(fā)現(xiàn)有超出管制界限之情形，則有現(xiàn)場(chǎng)填據(jù)管制圖異?；貜?fù)單12CCQ90

內(nèi)容說(shuō)明

3.管制圖履歷表中抽樣頻率即數(shù)量之決定(1)依重要藥液分析頻率(2)依重要藥液換槽頻率(3)依客戶(hù)要求(4)依品質(zhì)重要程度(5)依管理要求(6)依制程能力優(yōu)劣（變異大者抽樣頻率大于變異小者）(7)依相關(guān)單位決議原則上，若該制程由不同機(jī)型之機(jī)臺(tái)，則每一機(jī)型都要有一張管制圖，不能以一張管制圖代表全部機(jī)臺(tái)。13CCQ90

內(nèi)容說(shuō)明不定期執(zhí)行時(shí)機(jī)主要考量

當(dāng)物料更換時(shí)

當(dāng)藥液換槽時(shí)

停機(jī)後或其他特殊狀況，應(yīng)考量這些變動(dòng)對(duì)製程之衝擊，並以此管制項(xiàng)目之測(cè)試確定製程在管制狀態(tài)下。原則上，若該製程有不同機(jī)型之機(jī)臺(tái)，則每一機(jī)型至少都要有一張管制圖，不能以一張管制圖來(lái)代表全部機(jī)臺(tái)。所有類(lèi)似的NoisyFactor均需經(jīng)4功能(PE、PD、生產(chǎn)單位90、PEE)考量並決定管制範(fàn)圍，並於管制圖履歷表中提出選定理由14CCQ90

內(nèi)容說(shuō)明4.管制圖之制作4-1管制類(lèi)型管制圖依取樣數(shù)量多寡及資料類(lèi)型分為計(jì)量值和計(jì)數(shù)值兩類(lèi)：計(jì)量值：X-R(每組樣本數(shù)≦10個(gè))

X-S(每組樣本數(shù)＞10個(gè))

X-Rm(每組樣本數(shù)＝1個(gè))

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內(nèi)容說(shuō)明4-2制程能力分析X=(X1+X2+X3+…Xn)/nR=(R1+R2+R3…Rn)/n

Cp=（USL-LSL)/6S(雙邊規(guī)格時(shí))Cp=(USL-製程平均值)/3S或(製程平均值-LSL)/3s(單邊規(guī)格時(shí))

Ca=(平均值–規(guī)格中心)/((USL-LSL)/2)(不要取絕對(duì)值)

Cpk=Cp*(1-│Ca│)

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內(nèi)容說(shuō)明4-2制程能力分析R=當(dāng)次抽樣之最大值–最小值(若每次抽樣一個(gè)時(shí)，則取R=|後一個(gè)值-前一個(gè)值|)

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內(nèi)容說(shuō)明4-3管制圖之畫(huà)法

(1)管制圖上下管制界限及中心線計(jì)算公式(2)數(shù)值表

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內(nèi)容說(shuō)明(3)管制圖上下管制界限用紅色虛線表示，管制中心線用藍(lán)色實(shí)線表示。(4)有點(diǎn)超出界限時(shí)需加以圈註。並由現(xiàn)場(chǎng)單位填寫(xiě)“管制圖異常(OOC)回覆單”，說(shuō)明處置方式。(5)管制界限之檢討：當(dāng)每張管制圖點(diǎn)繪滿(mǎn)30點(diǎn)時(shí)(即30個(gè)抽樣值)，應(yīng)重新以此30點(diǎn)計(jì)算管制界限，並以此管制界限作為下一張管制圖之管制界限。(6)當(dāng)製程參數(shù)或原物料或操作方法有變更時(shí)，其管制界限皆需重新計(jì)算(2)

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內(nèi)容說(shuō)明4-4管制圖之判圖只要符管制圖判圖原則1，2，5，6就判定制程處于不穩(wěn)定狀態(tài)

1.有點(diǎn)超出管制界限

2.連續(xù)9點(diǎn)在管制中心線的同一邊5.連續(xù)三點(diǎn)中兩點(diǎn)超過(guò)同一邊2個(gè)標(biāo)準(zhǔn)偏差以上6.連續(xù)五點(diǎn)中四點(diǎn)超出同一邊一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)偏差以上

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內(nèi)容說(shuō)明

4-5管制圖異常處理

利用管制圖的判圖原則，以判定制程是否處于穩(wěn)定狀態(tài)當(dāng)有任何一個(gè)法則符合時(shí)，即判定制程處于不穩(wěn)定狀態(tài)，需依下列程序處理﹕(1) 當(dāng)有點(diǎn)超出規(guī)格界限時(shí)Test1，生產(chǎn)線必須停線，制程上依RFC之處理程序采取必要措施，使制程回復(fù)正常，產(chǎn)品處置方式依MRB與DRB處理并填寫(xiě)管制圖異常回復(fù)單。(2)當(dāng)制程管制特性符合Test2，5，6其中之一時(shí)，責(zé)任單位需注意制程狀態(tài)，必要時(shí)采取RFC之處理程序處理，時(shí)制程管制特性回復(fù)正常。21CCQ90

內(nèi)容說(shuō)明4-5制程改善未達(dá)到目標(biāo)值時(shí)，各權(quán)責(zé)單位需作原因分析并提改善對(duì)策，Q90應(yīng)負(fù)責(zé)要求各單位針對(duì)制程能力異常部分執(zhí)行檢討即及改善對(duì)策之執(zhí)行。當(dāng)管制項(xiàng)目Ca>0.25時(shí)，現(xiàn)場(chǎng)單位需作原因分析并提改善對(duì)策。當(dāng)管制項(xiàng)目Ca<0.25但Cpk<1.33時(shí)，工程單位需作異常原因分析并提出改善對(duì)策當(dāng)CPK數(shù)據(jù)Ca<0.25且Cpk>1.33但out掉baseline時(shí)，工程單位需作異常原因分析并提出改善對(duì)策22CCQ90

內(nèi)容說(shuō)明（RFC)

7.RFC（ResponeFlowChecklist）各現(xiàn)場(chǎng)單位應(yīng)建立RFC，以供當(dāng)管制項(xiàng)目超出管制界限或規(guī)格界限時(shí)作業(yè)人員依循并記錄，RFC處理程序流程要能含蓋超出管制界限及超出規(guī)格界限之異常處理。（有可能此兩者之處理是一樣的）7-1RFC建立步驟步驟1﹕利用手法工具如魚(yú)骨圖、WnSn或腦力激蕩方式找出所有可能之原因。23CCQ90

內(nèi)容說(shuō)明（RFC)

步驟2﹕對(duì)所有可能原因建立一個(gè)“可能發(fā)生/容易減視”分析表，決定解決的順序。其中在“可能發(fā)生”之得分判定上﹕1分表示原因非?？赡馨l(fā)生，5分表示非常不可能發(fā)生。在“容易檢視”之得分判定上﹕1分表示此原因很容易檢查出來(lái)，5分表示在檢查上很困難。步驟3﹕將可能發(fā)生之得分與容易檢視之得分相加并排列，分?jǐn)?shù)最低排在最前面。步驟4﹕依各順序列出可能原因步驟5﹕針對(duì)可能原因提出補(bǔ)救措施(最有效的排在最前面）24CCQ90

內(nèi)容說(shuō)明（RFC)

步驟2﹕對(duì)所有可能原因建立一個(gè)“可能發(fā)生/容易減視”分析表，決定解決的順序。其中在“可能發(fā)生”之得分判定上﹕1分表示原因非?？赡馨l(fā)生，5分表示非常不可能發(fā)生。在“容易檢視”之得分判定上﹕1分表示此原因很容易檢查出來(lái)，5分表示在檢查上很困難。步驟3﹕將可能發(fā)生之得分與容易檢視之得分相加并排列，分?jǐn)?shù)最低排在最前面。步驟4﹕依各順序列出可能原因步驟5﹕針對(duì)可能原因提出補(bǔ)救措施(最有效的排在最前面）25CCQ90

內(nèi)容說(shuō)明（RFC)

步驟2﹕對(duì)所有可能原因建立一個(gè)“可能發(fā)生/容易減視”分析表，決定解決的順序。其中在“可能發(fā)生”之得分判定上﹕1分表示原因非?？赡馨l(fā)生，5分表示非常不可能發(fā)生。在“容易檢視”之得分判定上﹕1分表示此原因很容易檢查出來(lái)，5分表示在檢查上很困難。步驟3﹕將可能發(fā)生之得分與容易檢視之得分相加并排列，分