7檢測教案振動檢測

傳感器與檢測技術項目教程（ISBN978-7-111-48817-0）授課教案PAGEPAGE1模塊七、振動檢測授課教案課程名稱：檢測技術班級：性質(zhì)：考試課授課人：課題：模塊七、振動檢測課時安排：3課次編號：10、11教材分析難點：電荷放大器的使用。重點：壓電傳感器的應用。教學目的和要求1.講清什么是振動？2.講解各種振動參數(shù)的換算。3.介紹壓電效應及壓電元件。4.重點介紹電荷放大器。5.重點介紹電荷放大器的使用。6.簡要電渦流效應。7.重點介紹電渦流傳感器直徑及頻率的選取。8.簡要介紹電渦流傳感器的應用電路及應用。9.簡要介紹磁電式傳感器測量振動。10.簡要介紹常用激振器及使用。11.重點介紹時域圖的讀圖。12.簡要介紹頻域圖的讀圖采用教學方法和實施步驟：講授、課堂互動、分析、實訓教具：各種壓電傳感器、渦流傳感器各教學環(huán)節(jié)和內(nèi)容一、振動的分類圖7-1機械振動分類及波形表7-1機械振動的分類與特征分類名稱特征按振動產(chǎn)生的原因分類自由振動是系統(tǒng)受短暫的初始干擾或外部激振后，系統(tǒng)本身由彈性恢復力和慣性力所維持的振動。當系統(tǒng)無阻尼時，振動幅度為恒值，振動頻率為系統(tǒng)的固有頻率；當系統(tǒng)存在阻尼時，其振動幅度將逐漸衰減受迫振動自激振動是在一定條件下，沒有外部激振力而僅由系統(tǒng)本身產(chǎn)生的交變力激發(fā)和維持的一種穩(wěn)定的周期性振動，其振動頻率接近于系統(tǒng)的固有頻率按振動的規(guī)

律分類簡諧振動振動量為時間的正弦或余弦函數(shù)，是最基本的機械振動形式，其他復雜的振動都可以看成多個簡諧振動的合成周期振動振動量為時間的周期性函數(shù)，可展開為一系列簡諧振動瞬態(tài)振動振動量為時間的非周期函數(shù)，一般在較短（幾個周期）的時間內(nèi)存在，是可用各種脈沖函數(shù)或衰減函數(shù)描述的振動。隨機振動振動量不是時間的確定函數(shù)，只能用概率統(tǒng)計的方法來研究按系統(tǒng)的自

由度分類單自由度系統(tǒng)振動用一個獨立變量就能表示的系統(tǒng)振動多自由度系統(tǒng)振動須用多個獨立變量表示的系統(tǒng)振動分類線性振動可以用常系數(shù)線性微分方程來描述，系統(tǒng)的慣性力、阻尼力和彈性力分別與振動加速度、速度和位移成正比非線性振動須用非線性微分方程來描述，微分方程中出現(xiàn)非線性項低頻振動f≤10Hz的振動，旋轉(zhuǎn)機件的不平衡、機械變形等與位移成正比，主要利用位移傳感器來測量中頻振動10Hz＜f≤1000Hz的振動，振動噪聲與速度成正比，主要利用速度傳感器來測量高頻振動f＞1000Hz的振動，振動沖擊力及人體感覺與加速度成正比，主要利用加速度傳感器來測量按振動位移的特征分類橫向振動振動體上的質(zhì)點在垂直于軸線的方向產(chǎn)生位移的振動縱向振動振動體的質(zhì)點沿軸線方向產(chǎn)生位移的振動擺振動振動體上的質(zhì)點在平衡位置附近做弧線運動的振動二、振動的描述與計算振幅是物體離開平衡位置的最大位移的絕對值，用xm表示，單位是m（機械設備的振幅用mm或μm表示）。振幅的量值可以表示為峰峰值（xpp）、單峰值（xp）、有效值（xrms）或平均值（xap或）。峰峰值是整個振動歷程的正峰與負峰之間的差值，在振動位移測量中較為常用；單峰值是正峰或負峰的最大值；有效值是振幅的均方根值。簡諧振動時，單峰值等于峰峰值的1/2，也可以表達為：xp=?-xp?=xm=xpp；有效值x等于單峰值的0.707；平均值等于單峰值的0.637。提問：有一個簡諧振動，平均值是6.37mm，問峰值和峰峰值各是多少毫米？1．簡諧振動位移、速度、加速度的換算簡諧振動的物理量遵從式（7-1）至式（7-3）所示的運動方程。將式（7-1）對時間t求導，可得振動速度；將速度對時間t求導（或?qū)ξ灰七M行二次求導），可得振動加速度。簡諧振動的位移、速度、加速度隨時間的變化曲線如圖7-2所示。x=xmcos(ωt+φ)（7-1）v=dxm/dt=-ωxmsin(ωt+φ)=vmcos(ωt+φ+π/2)（7-2）a=d2xm/dt=dv/dt=-ω2xmcos(ωt+φ)=amcos(ωt+φ+π)（7-3）式中xm——振幅（m）；ω——振動角頻率（rad/s，ω=2πf）；φ——初相角（rad）；vm——速度幅值（m/s，vm=ωxp）；am——加速度幅值（m/s2，am=ω2xp）。也可將簡諧振動的加速度a對時間積分，得到振動的速度v；再將振動速度v對時間積分（或?qū)⒓铀俣萢對時間雙重積分），可得振動的位移x。在振動測量中，振動加速度的單位除m/s2外，也常用重力加速度1g=9.81m/s2作為計量單位。簡諧振動的加速度幅值（單位為g）與位移幅值的關系為am=ω2(xp/9.81)=4π2f2xm/9.81≈4f2xm（7-4）圖7-2簡諧振動的位移、速度、加速度變化曲線例7-1彈簧振子的簡諧振動如圖7-3所示，彈簧振子在C、O、B間作無摩擦力、無阻尼的簡諧運動。O為平衡位置，C、B分別為負的和正的終止位置。已知B、C的距離為100mm，C→B運動的時間為1s，求：振動的周期T、頻率f和振幅xm。圖7-3彈簧振子的簡諧振動解振動的周期T等于彈簧振子從C→O→B→O→C的過程所經(jīng)歷的時間，所以T=2tC→B=2×1s=2s，f=1/T=1/(2s)=0.5Hz振幅xm等于C→O的距離，或O→B的距離，所以xm=100mm/2=50mm。2．振動烈度與位移的換算振動測量中，還經(jīng)常涉及振動烈度。振動速度的有效值稱為振動的烈度。簡諧振動的振幅峰峰值xpp與振動烈度vF兩者之間的關系見式（7-5）。振動烈度是以人可感覺到的0.071mm/s為起點，到71mm/s，共15個量級，相鄰兩個烈度量級的比值約為1.6（相差4dB）。（7-5）地震震級每相差1.0級，能量相差大約30倍。提問：每相差2.0級，能量相差約多少倍？例7-2利用磁電速度傳感器測得振動烈度vF=4mm/s，測得旋轉(zhuǎn)機械的轉(zhuǎn)速n=3000r/min（即3000rpm），假設旋轉(zhuǎn)機械的振動只有與轉(zhuǎn)速成正比的基頻振動，求：旋轉(zhuǎn)機械的振幅峰峰值xpp為多少微米？解該旋轉(zhuǎn)機械每旋轉(zhuǎn)一圈振動一次時的基頻f=n/60=(3000/60)Hz=50Hz三、測振傳感器的分類

表7-2測振傳感器的種類及特點種類基本測量原理測量對象與測量范圍特點壓電式測振傳感器壓電效應振動體的加速度1Hz~50kHz自發(fā)電式，現(xiàn)場不需要電源，上限頻率響應高，體積小，不易損壞；標定困難渦流式測振傳感器電磁感應定律與渦流效應振動體的位移；0~10kHz輸出信號與振動位移成正比，非接觸式測量，不影響被測振動體，標定和校驗比較容易；當測量振動物體材料和溫度不同時，影響傳感器線性范圍和靈敏度，需要重新標定；可用于靜態(tài)及動態(tài)測量磁電式測振傳感器電磁感應定律振動體的速度；0.1Hz~1kHz自發(fā)電式，現(xiàn)場不需電源，振動信號與振動速度成正比，通過微分或積分，可獲得簡諧振動的加速度值和位移值；體積大，線圈易損壞，輸出電壓的低頻率響應應及高頻率響應應均不好；用于振動速度檢測光導纖維式測振傳感器光的全反射效應振動體的位移0.1Hz~10kHz現(xiàn)場不需要電源，抗電磁干擾能力強；測量結果受多種因素影響；可用于工業(yè)測量激光多普勒式測振傳感器多普勒效應振動體的速度0.1Hz~10kHz能夠檢測振幅10-6的微小變化；光路復雜，儀器本身不耐振動，需要放置在抗振動臺面上；可用于標定其他測振儀MEMS電容式加速度傳感器變極距式電容效應振動體的加速度0Hz~10kHz體積小，集成度高，可同時測量三維振動；可用于汽車、手機、火箭、衛(wèi)星、鉆地炸彈等測振項目一測振傳感器【項目教學目標】?知識目標1）了解壓電效應及壓電元件。2）掌握電荷放大器的工作原理。3）了解渦流式測振傳感器的工作原理。4）了解磁電式測振傳感器的工作原理。?技能目標1）掌握壓電式測振傳感器的應用。2）掌握振動設備的激振方法。任務一壓電式加速度傳感器測量振動一、壓電效應某些電介質(zhì)在沿一定方向上受到外力的作用而變形時，內(nèi)部會產(chǎn)生極化現(xiàn)象，同時在其表面上產(chǎn)生電荷，當外力去掉后，又重新回到不帶電的狀態(tài)，這種現(xiàn)象稱為壓電效應。反之，在電介質(zhì)的極化方向上施加交變電場或電壓，它會產(chǎn)生機械變形。去掉外加電場時，電介質(zhì)變形隨之消失，這種現(xiàn)象稱為逆壓電效應（電致伸縮效應）。提問：逆壓電效應的現(xiàn)象有哪些？二、壓電材料的分類及特性壓電式加速度計中的壓電元件材料一般有三類：一類是壓電晶體（單晶體）；另一類是經(jīng)過極化處理的壓電陶瓷（多晶體）；第三類是高分子壓電材料。1）鋯鈦酸鉛系列壓電陶瓷（PZT）；2）非鉛系壓電陶瓷；（3）高分子壓電材料。提問：上述幾種的靈敏度和穩(wěn)定性是怎樣的？三、電荷放大器圖7-9電荷放大器a）電荷放大器電路b）外形1－壓電傳感器2－屏蔽電纜3－傳輸線分布電容4－電荷放大器SC－靈敏度選擇開關SR－帶寬選擇開關Cf′－Cf在放大器輸入端的密勒等效電容Cf″－Cf在放大器輸出端的密勒等效電容提問：1.圖7-9中，壓電元件直接接到運算放大器的兩端，其本質(zhì)上是屬于電壓輸入還是電流輸入？2.二極管VD1、VD2起什么作用？3.第二級放大器中的C1起什么作用？4.第二級放大器中的RP起什么作用？（7-9）3．反饋電容和反饋電阻的選取提問：電荷放大器的反饋電容Cf小則獲得的輸出電壓怎樣？電荷放大器的高頻截止頻率主要由運算放大器的電壓上升率和電纜引線電容決定。下限頻率fL由Rf與Cf的乘積決定：fL=1/(2πRfCf)。表7-3YE5850A電荷放大器的主要技術指標參數(shù)名稱指標最大輸入電荷量/pC106直流分流電阻/Ω約1014電荷靈敏度pC/m·s-21~100準確度（%）±2最大輸出電壓/V±10輸出電流/mA0～±5輸出阻抗/Ω≤10響應頻率/kHz0.001~30噪聲/μV＜30電源/VAC220±5%，或DC25環(huán)境溫度/℃0~40（20~90%RH）尺寸（寬×深×高）/mm132×70×20重量/kg2.5例7-3某壓電元件用于測量振動，靈敏度d11=100×10-12C/N，電荷放大器的反饋電容Cf=1000pF，Rf=100MΩ，測得圖7-9中A1的輸出電壓Uo1）壓電元件的輸出電荷量Q的有效值為多少皮庫倫？2）被測振動力F的有效值為多少牛頓？3）電荷放大器的靈敏度K為多少mV/pC？4）電荷放大器的下限截止頻率為多少赫？解1）壓電元件的輸出電荷量Q的有效值Q=CfUo=(1000×10-12×0.2）C=200pC2）被測振動力F的有效值3）電荷放大器的靈敏度4）電荷放大器的下限截止頻率四、壓電式加速度傳感器的結構及應用1．壓電式加速度傳感器探頭圖7-10常用壓電式加速度傳感器探頭a）原理圖b）中心壓縮式c）環(huán)形剪切式d）三角剪切型e）外形1－基座2－引出電極3－壓電晶片4－質(zhì)量塊5－彈簧6－殼體7－固定螺孔8－夾持環(huán)提問：圖7-10中的彈簧起什么作用？2．壓電式加速度傳感器的組成圖7-11壓電式加速度傳感器原理圖圖7-12便攜壓電式加速度儀外形及顯示的頻譜圖1－量程選擇開關SC2－壓電傳感器輸入信號插座3－多路選擇開關4－帶寬選擇開關SR5－帶背光的點陣液晶頻譜顯示器6－電池盒7－可變角度支架提問：1.圖7-12中量程選擇開關SC所對應的負反饋電容Cf的數(shù)值越大，靈敏度就怎樣？2.圖7-12中帶寬選擇開關SR所對應的負反饋電容Rf的數(shù)值越大，下限頻率就怎樣？3.圖7-12中的液晶屏的橫軸是時間還是頻率？所顯示的波形圖是時域圖還是頻域圖？4.圖7-12中，若多路選擇開關至于“0”的位置，液晶屏顯示狀態(tài)？如果儀表有記憶功能，則液晶屏顯示狀態(tài)又是怎樣的？5.如果壓電傳感器的輸出電纜插到3個壓電傳感器輸入信號插座的最左端的插孔里，則多路選擇開關應置于什么位置（0/1/2/3）？6.如果欲刷新液晶屏，則應按一下那個鍵（ON/R）？【電荷放大器參數(shù)填表訓練】便攜壓電式加速度計面板如圖7-12所示，壓電探頭的靈敏度d11=100×10-12C/N=100pC/N，開關SR置于100MΩ檔位，fL=1/(2πRfCf)，請?zhí)顚懴卤?。輸入動態(tài)力/N電荷量Q/pC開關SC位置輸出電壓Uo/V下限截止頻率fL/Hz1100pF111001000pF0.01μF0.10.16100100000.0161000.01μF13．壓電式加速度傳感器的主要技術特性（1）靈敏度K；（2）頻率范圍；（3）動態(tài)范圍；（4）線性度；（5）橫向靈敏度。表7-4HK9101-J壓電式加速度傳感器的主要技術指標參數(shù)名稱指標靈敏度/pC·g-135最大橫向靈敏度比（%）5加速度測量范圍/g-100~+100頻率范圍/Hz0.2~8000安裝諧振頻率/kHz28（螺栓固定）輸出電壓（隔直后的峰峰值）/V10電源/VDC15～24（3~10mA）自動斷電/min1環(huán)境范圍/℃-10~50，<90%RH外形尺寸（寬×深×高）/mm185×68×30重量/g19安裝螺栓M54．壓電式振動加速度傳感器的安裝、使用方法圖7-14壓電式振動加速度傳感器的安裝、使用方法a）雙頭螺釘固定法b）磁鐵吸附法c）膠水粘結法d）手持探針式法1－壓電式加速度傳感器2－雙頭螺釘3－磁鐵4－粘結劑5－頂針提問：1.圖7-14中，c圖（膠水粘結法）與a圖（螺釘固定法）比較，哪種方法可以測量較大的振動？為什么？2.d圖（手持法）比較簡單，但有何弊端？適宜于何種場合的振動測量？表7-5RION-VM-63A便攜壓電式加速度傳感器的主要技術指標參數(shù)名稱指標探頭型式壓電剪切式加速度/m·s-20.1~199.9速度/mm·s-10.1~199.9位移（峰峰值）/mm0.001~1.999準確度（%）±5，±2個字頻率范圍/kHz加速度1~15速度0.01~1位移0.01~1顯示3?位，更新速度1s滿量程信號輸出/VAC2耳機負載阻抗/kΩ1電源9V電池，連續(xù)工作時間25h自動斷電時間/min1環(huán)境溫度/℃-10~50（<90%RH）尺寸（寬×深×高）/mm68×30×185重量/g2505．軸承振動檢測圖7-15壓電式加速度傳感器檢測軸承振動的安裝示意圖A－軸承的軸向振動加速度傳感器B－軸承的徑向振動加速度傳感器C－殼體振動加速度傳感器提問：為什么需要3個振動探頭？任務二渦流式位移傳感器測量振動一、認識渦流效應與渦流線圈的阻抗1．渦流效應渦流式傳感器的基本工作原理是渦流效應。根據(jù)法拉第電磁感應定律，金屬導體置于變化的磁場中時，導體表面以及近表面就會產(chǎn)生感應電流。電流的流線在金屬體內(nèi)自行閉合，這種由電磁感應原理產(chǎn)生的旋渦狀感應電渦流（以下簡稱渦流），這種現(xiàn)象稱為渦流效應。提問：為什么變壓器和電動機的鐵心多用硅鋼片制作？圖7-17渦流效應1－渦流線圈2－導電工件3－渦流提問：欲對較厚、距離較遠的金屬工件進行檢測，渦流探頭可采用多少千赫的激勵電流？2．渦流線圈的等效阻抗Z=f（f、μ、σ、r、δ）（7-10）提問：渦流線圈的等效阻抗與這么多變量有關，說明什么問題？二、渦流式傳感器探頭結構渦流式傳感器的傳感元件主要是一個線圈，俗稱渦流探頭。渦流探頭必須與被測金屬以及測量轉(zhuǎn)換電路一起，才能構成完整的渦流式傳感器。圖7-18渦流探頭結構1－渦流線圈2－探頭殼體3－殼體上的位置調(diào)節(jié)螺紋4－印制電路板5－夾持鎖緊螺母6－電源指示燈7－閾值指示燈8－輸出屏蔽電纜9－電纜插頭提問：1.圖7-18中，探頭的左端用金屬材料制作行嗎？為什么？2.圖7-18中，探頭的兩只夾持鎖緊螺母同時逆時針旋轉(zhuǎn)（宏觀看，螺母是向右移動），此時探頭的安裝位置作何種變化？3.電纜插頭有何種材料制作較好？4.圖7-18中，探頭的右端尾部的電源指示燈不亮，說明什么？5.圖7-18中，探頭的右端尾部的電源指示燈亮，但閾值指示燈不亮，說明什么？三、渦流探頭信號轉(zhuǎn)換電路渦流探頭與被測金屬之間的距離變化可以轉(zhuǎn)換為探頭線圈的等效阻抗（主要是等效感抗）以及品質(zhì)因數(shù)Q（與等效電阻有關）等參數(shù)的變化。測量轉(zhuǎn)換電路的任務是把這些參數(shù)變換為電壓、電流或頻率，相應地有調(diào)幅式、調(diào)頻式和電橋等電路。1．定頻調(diào)幅式信號轉(zhuǎn)換電路所謂調(diào)幅式電路也稱為AM電路，它以輸出高頻信號的幅度來反映渦流探頭與被測金屬導體之間的關系。定頻、調(diào)幅式電路的原理框圖如圖7-19所示。圖7-19定頻、調(diào)幅式電路的原理框圖提問：1.中波廣播電臺稱為AM/FM？2.圖7-19中，為什么要用到石英晶體振蕩器？3.圖7-19中，電阻R起什么作用？4.圖7-19中，檢波器起什么作用？5.圖7-19中，0.1μF電容起什么作用？2．調(diào)頻式電路并聯(lián)諧振回路的諧振頻率為（7-11）圖7-21調(diào)頻式測量轉(zhuǎn)換電路原理框圖及鑒頻器特性a）測量轉(zhuǎn)換原理b）鑒頻器特性提問：1.調(diào)頻電臺是什么意思？2.圖7-21中，為什么要設置“限幅器”？3.圖7-21b中，輸出電壓與什么變量成正比？沒有金屬被測物靠近調(diào)頻式探頭線圈時，輸出電壓為什么？當金屬被測物靠近調(diào)頻式探頭線圈時，輸出電壓如何變化？四、渦流式測振傳感器的特性表7-6YD9800系列渦流式位移傳感器技術指標①殼體螺紋/mm線圈直徑/mm線性范圍（量程）/mm最佳安裝距離/mm最小被測面直徑/mm分辨力/μmM8×1510.5151M14×1.51142354M16×1.52584708M30×250251210010①工作溫度-50～+175℃；線性誤差：1%；靈敏度溫漂：0.05%/℃；穩(wěn)定度：1%/年；互換性誤差≤提問：探頭的直徑越大，測量范圍就越？分辨力也越？靈敏度也？六、渦流式傳感器用于振動位移的檢測圖7-22非接觸振幅測量方法a）徑向振動測量b）長軸振型測量c）葉片振動測量1－渦流式傳感器2－被測物提問：渦流式測振傳感器安裝使用注意事項？例7-4用渦流式測振儀檢測軸向竄動如圖7-23a所示。已知傳感器的靈敏度K=2.5V/mm，最大線性范圍（優(yōu)于5%）xmax=8mm?，F(xiàn)將傳感器安裝在主軸的右側，使用計算機記錄下的振動波形如圖7-23b所示。求：1）主軸振動的基頻f是多少赫茲？2）軸向振動的振幅峰峰值xpp為多少微米？3）為了得到較好的線性度與最大的測量范圍，傳感器與被測金屬的安裝距離δ0應為多少毫米？4）振動波形不是正弦波的原因有哪些？圖7-23用渦流式測振儀檢測軸向竄動a）軸向竄動的檢測b）振動波形解1）主軸振動的基頻f=1/T=1÷(40ms/2)=50Hz。2）軸向振動的振幅峰峰值xpp=Upp/K=5÷(2.5V/mm)=2mm。3）為了在動態(tài)下獲得較好的線性度，間隙應為量程的一半，所以傳感器與被測金屬的安裝距離δ0=0.5xmax=0.5×8mm=4mm。4）振動波形不是正弦波的原因有：①軸向振動本身就不是簡諧振動，含有大量的高次諧波；②被測面不平整；③渦流式傳感器的支架與基座直徑存在微小的共振等。任務三磁電式傳感器測量振動圖7-24磁電式速度傳感器a）動鐵式結構b）動圈式結構1－頂桿（與被測振動體接觸）2－限位器3、8－波紋膜片支撐4－磁鐵5－鐵心6－動圈7－動圈引線9－殼體10－支撐彈簧11－固定線圈12－線圈框架13－被測振動體二、動鐵式磁電傳感器提問：在圖7-24a中，當被測基座的振動消失時，磁鐵的振動是否立即消失？這個特性對振動的檢測有何不利影響？任務四振動的激振與激振器提問：激振器有哪幾種類型？圖7-25電動式激振器a）結構b）外形1－固定螺栓（或橡膠扎帶）2－振動臺面3－頂桿4－限位器5－下凹支撐彈簧片（兩片）6－動圈引線7－接線端子8－動圈9－永久磁鐵10－環(huán)形軟鐵心11－心桿12－上凸支撐彈簧片13－殼體14－剛性支架提問：在圖7-25中，如果激磁電流為100kHz，振動臺面的振動也可以達到100kHz嗎？為什么？表7-8JZQ-100永磁激振器的主要技術指標參數(shù)名稱指標最大激振力/N1000頻率范圍/Hz0~800最大位移/mm±12動圈直流電阻/Ω0.8最大勵磁電流/A30力靈敏度/N·A-117可動部件質(zhì)量/kg1.2總質(zhì)量/kg70尺寸/mm?260×360安裝方式被激振對象用螺栓緊固在振動臺面上或用橡膠帶綁緊在振動臺面上2．電動式激振器的安裝圖7-26電動式激振器的安裝a）激振器直接固定在地面b）激振器用具有彈性的支撐固定在地面c）激振器用具有彈性的支撐固定在頂面d）激振器固定在被測振動體上方e）激振器固定在側面k－彈簧c－阻尼提問：在圖7-26中，哪一種激振方式適應于較重質(zhì)量體的x向激振？為什么？什么叫做“背靠背”校驗？3．振動體振動參數(shù)的激光干涉檢測方法圖7-27激光干涉測振系統(tǒng)1－氦氖激光器2－分光鏡3－反光膜4－被校測振傳感器5－參考反射鏡o0—測量光束o1—振動體反射光束o2－振動體光束e0－參考光束e1－參考鏡反射光束e2－參考鏡光束提問：圖7-27所示的干涉測振系統(tǒng)的最大特點是什么？激光二、力錘激振圖7-28力錘a）結構b）外形c）激振的時域波形1－錘頭墊2－測力傳感器