擴(kuò)散工藝目的原理

太陽(yáng)電池發(fā)電原理、結(jié)構(gòu)與分類擴(kuò)散工藝原理擴(kuò)散工藝目的擴(kuò)散工藝定義課程引入1.前清洗生產(chǎn)流程（仿真）主要流程有哪些？2.請(qǐng)描述擴(kuò)散工藝加工的對(duì)象？1.前清洗生產(chǎn)流程（仿真）主要流程有哪些？作答正常使用主觀題需2.0以上版本雨課堂主觀題10分2.請(qǐng)描述擴(kuò)散工藝加工的對(duì)象？作答正常使用主觀題需2.0以上版本雨課堂主觀題10分?jǐn)U散工藝定義速讀教材（3分鐘）P55-56問(wèn)題：1.摻雜是什么？2.常見(jiàn)的施主雜質(zhì)和受主雜質(zhì)分別有哪些？擴(kuò)散工藝是晶體硅太陽(yáng)電池制造的第二道工序，P型硅片采用磷擴(kuò)散，N型硅片采用硼擴(kuò)散。以目前行業(yè)中主流的P型硅片為例，將P型硅片放在一個(gè)石英管，加熱到一定溫度，并引入含磷的化合物在硅片表面分解出磷，覆蓋在硅片表面，并向硅片內(nèi)部滲透擴(kuò)散。在有磷滲透的一面就形成了N型，在沒(méi)有滲透的一面是原始的P型，硅片內(nèi)部就形成了p-n結(jié)，這就是一般所說(shuō)的擴(kuò)散。因此擴(kuò)散也稱擴(kuò)散制結(jié)。無(wú)塵車間等級(jí)——擴(kuò)散：萬(wàn)級(jí)擴(kuò)散的目的

目的：制作p-n結(jié)。

經(jīng)典晶體硅太陽(yáng)電池結(jié)構(gòu)工藝前工藝后外觀上基本沒(méi)變化……擴(kuò)散工藝原理擴(kuò)散原理詳見(jiàn)教材P56-58液態(tài)POCl3管式擴(kuò)散法優(yōu)勢(shì)：1.適用于主流的P型硅片襯底擴(kuò)散技術(shù)。2.p-n結(jié)均勻性較好。3.不受硅片尺寸影響，適合制造高方阻淺結(jié)的太陽(yáng)電池，適合大量生產(chǎn)。液態(tài)POCl3管式擴(kuò)散法POCl3是目前磷擴(kuò)散用得較多的一種雜質(zhì)源。無(wú)色透明液體，具有刺激性氣味。如果純度不高則呈紅黃色。比重為1.67，熔點(diǎn)2℃，沸點(diǎn)107℃，在潮濕空氣中發(fā)煙。POCl3很容易發(fā)生水解，POCl3極易揮發(fā)。擴(kuò)散裝置示意圖爐內(nèi)石英管攜帶小氮（N2)大氮+氧氣液態(tài)三氯氧磷（POCl3)擴(kuò)散硅片磷擴(kuò)散工藝運(yùn)行過(guò)程中，用到的氣體有N2和O2，純度為99.999%。1.小N2：小流量氮?dú)?，攜帶磷源進(jìn)入爐管。2.大N2：大流量氮?dú)?，凈化爐管，為擴(kuò)散創(chuàng)造凈化環(huán)境。3.O2：參與化學(xué)反應(yīng)，形成PSG（磷硅玻璃）層。磷擴(kuò)散原理1、POCl3在高溫下（>600℃）分解生成五氯化磷（PCl5）和五氧化二磷（P2O5），其反應(yīng)式：

2、生成的P2O5在擴(kuò)散溫度下與硅反應(yīng)，生成二氧化硅（SiO2）和磷原子，其反應(yīng)方程式：通入氧氣的原因

由上一頁(yè)的反應(yīng)式可以看出，POCl3熱分解時(shí)，如果沒(méi)有外來(lái)的氧（O2）參與其分解是不充分的，生成的PCl5是不易分解的，并且對(duì)硅有腐蝕作用，破壞硅片的表面狀態(tài)。但在有外來(lái)O2存在的情況下，PCl5會(huì)進(jìn)一步分解成P2O5并放出氯氣（Cl2）其反應(yīng)式：

生成的P2O5又進(jìn)一步與硅作用，生成SiO2和磷原子，由此可見(jiàn)，在磷擴(kuò)散時(shí)，為了促使POCl3充分的分解和避免PCl5對(duì)硅片表面的腐蝕作用，必須在通氮?dú)獾耐瑫r(shí)通入一定流量的氧氣。磷擴(kuò)散原理（過(guò)量氧）

在有氧氣的存在時(shí)，POCl3熱分解的反應(yīng)式為：

POCl3分解產(chǎn)生的P2O5淀積在硅片表面，P2O5與硅反應(yīng)生成SiO2和磷原子，并在硅片表面形成一層磷-硅玻璃（PSG），然后磷原子再向硅中進(jìn)行擴(kuò)散。P型硅片應(yīng)選擇含（）元素的源來(lái)進(jìn)行擴(kuò)散工藝磷硼碳ABC提交單選題1分?jǐn)U散工藝無(wú)塵車間的潔凈度為（）100級(jí)1000級(jí)萬(wàn)級(jí)10萬(wàn)級(jí)ABCD提交單選題1分?jǐn)U散工藝的目的是（）清洗硅片制作p-n結(jié)均勻在硅片襯底中分布摻雜原子做金屬電極ABCD提交單選題1分小氮的作用是攜帶磷源進(jìn)入爐管。凈化爐管，為擴(kuò)散創(chuàng)造凈化環(huán)境。參與化學(xué)反應(yīng)，形成PSG（磷硅玻璃）層。ABC提交單選題1分大氮的作用是攜帶磷源進(jìn)入爐管。凈化爐管，為擴(kuò)散創(chuàng)造凈化環(huán)境。參與化學(xué)反應(yīng)，形成PSG（磷硅玻璃）層。ABC提交單