2捷佳偉創(chuàng)擴(kuò)散工序操作作業(yè)指導(dǎo)書(shū)

文件名稱(chēng)： 集中工序操作作業(yè)指導(dǎo)書(shū)

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第1221of22編寫(xiě)人Author審核人Checkedby批準(zhǔn)人Approvedby版本Version文件版本日期文件修訂記錄修訂頁(yè)次描述質(zhì)量部 技術(shù)部 工藝部 設(shè)備部 制造部文件名稱(chēng)： 集中工序操作作業(yè)指導(dǎo)書(shū)

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第2222of22編寫(xiě)人Author

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版本Version名目目的 3范圍 3定義 3標(biāo)準(zhǔn)性引用文件 3職責(zé) 3內(nèi)容 3文件名稱(chēng)： 集中工序操作作業(yè)指導(dǎo)書(shū)

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第3223of22編寫(xiě)人Author

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版本Version一、目的制定標(biāo)準(zhǔn)的集中工序操作規(guī)程，標(biāo)準(zhǔn)電池片生產(chǎn)中的各項(xiàng)操作。二、范圍用于電池片生產(chǎn)車(chē)間內(nèi)集中工序的作業(yè)指導(dǎo)。三、定義干凈室：是指空氣干凈度到達(dá)規(guī)定級(jí)別的可供人活動(dòng)以及生產(chǎn)出合格產(chǎn)品的空間。方塊電阻不均勻度：=〔R□max-R□min〕/(2R□avg)*100%四、標(biāo)準(zhǔn)性引用文件無(wú)五、職責(zé)設(shè)備部負(fù)責(zé)設(shè)備開(kāi)關(guān)機(jī)、故障分析、設(shè)備維護(hù)及檢修。制造部負(fù)責(zé)標(biāo)準(zhǔn)全部操作人員的操作方法，必需嚴(yán)格依據(jù)本文件進(jìn)展操作。六、內(nèi)容4-78-121314-1617-20附件212223文件名稱(chēng)： 集中工序操作作業(yè)指導(dǎo)書(shū)

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第4224of22編寫(xiě)人Author

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版本Version集中車(chē)間工藝衛(wèi)生規(guī)定環(huán)境要求110帕，與非區(qū)5帕。1.225±5℃，濕度≤50%.車(chē)間物料、設(shè)備和人員進(jìn)入集中間必需經(jīng)過(guò)集中風(fēng)淋門(mén)進(jìn)展15s能進(jìn)入集中間。大型物品〔石英管、石英配件、設(shè)備配件〕在設(shè)備維護(hù)期間可通過(guò)常閉門(mén)進(jìn)出集中間。集中間為封閉式干凈空間，與清洗車(chē)間之間的傳遞窗僅允許運(yùn)載小車(chē)通過(guò)且嚴(yán)禁對(duì)開(kāi)，以保持集中間的封閉狀態(tài)。人員要求除當(dāng)班操作人員外,非當(dāng)班工作人員不得任憑進(jìn)出集中間。人員進(jìn)入集中間必需通過(guò)風(fēng)淋門(mén)進(jìn)展風(fēng)淋，出集中間無(wú)需風(fēng)淋。進(jìn)入集中間的人員需在進(jìn)入前檢查自身著裝〔工作服、帽、鞋、口罩、手套，帽子應(yīng)將頭發(fā)完全遮住,口罩遮住口鼻，頭頸、手腕、足踝處結(jié)實(shí)系緊〕確認(rèn)著裝符合要求前方可進(jìn)入。(掃之類(lèi)動(dòng)作)。接觸硅片需佩戴PVC文件名稱(chēng)： 集中工序操作作業(yè)指導(dǎo)書(shū)

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第5225of22編寫(xiě)人Author

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版本Version插片和卸片必需在外表干凈的工作臺(tái)上操作。石英舟也要按規(guī)定擺放，存放在外表確認(rèn)干凈的臺(tái)面、小車(chē)上。在干凈室內(nèi)應(yīng)盡量避開(kāi)喊叫或提高說(shuō)話(huà)的聲音；也要盡量避開(kāi)咳嗽和打噴嚏，假照實(shí)在避開(kāi)不了，應(yīng)避開(kāi)工作區(qū)。設(shè)備要求集中間的修理設(shè)備要有專(zhuān)用的工具箱并存放在非區(qū)固定位置，制止帶出集中間。設(shè)備修理后，需經(jīng)過(guò)設(shè)備人員確認(rèn)機(jī)臺(tái)可以正常運(yùn)行且到達(dá)衛(wèi)生要求前方能進(jìn)展生產(chǎn)。集中間的全部設(shè)備必需保持外表干凈的狀態(tài)〔用干凈的布擦拭后，無(wú)明顯污染物殘留〕下進(jìn)展工作。集中間嚴(yán)禁存放紙類(lèi)的盒子和箱子、木質(zhì)托盤(pán)等易產(chǎn)生灰塵的物品。工具器材進(jìn)入集中間：1.去掉外層包裝→2..初步外部清潔→3.進(jìn)入車(chē)間→4.去掉內(nèi)包裝→5.清潔設(shè)備外表→6.進(jìn)入集中間。操作留意事項(xiàng)傳遞窗嚴(yán)禁對(duì)開(kāi)，不允許通過(guò)傳遞窗進(jìn)展交談和長(zhǎng)時(shí)間翻開(kāi)傳遞窗，要做到隨開(kāi)隨關(guān)。不允許帶與生產(chǎn)無(wú)關(guān)或簡(jiǎn)潔產(chǎn)生灰塵的物品進(jìn)入集中間。操作人員在操作過(guò)程中假設(shè)覺(jué)察不能判定的溶液，需PH試紙測(cè)試后，按MSDS要求處理。文件名稱(chēng)： 集中工序操作作業(yè)指導(dǎo)書(shū)

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第6226of22編寫(xiě)人Author

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版本Version工夾具要求,狀態(tài)。全部的清潔工具都要放在指定的地方。不用的集中石英舟必需放置在規(guī)定位置,并做好標(biāo)識(shí)。其他工夾具在使用之前都需清洗干凈，用于清洗的掃把、拖把等清洗工具要統(tǒng)一整齊地?cái)[放于指定區(qū)域。集中間清潔絲光毛布，尼龍布〕。每月修理設(shè)備時(shí)對(duì)車(chē)間進(jìn)展整體清掃，,范圍包括門(mén)、窗、墻壁、器具、送風(fēng)口的真空吸掃和擦洗〔吸塵器清掃地表及角落〕。保證集中車(chē)間的干凈度到達(dá)工藝要求。環(huán)境監(jiān)控為了更好了解集中間干凈度狀況，必需要對(duì)集中間測(cè)試。名稱(chēng)名稱(chēng)要求溫度實(shí)時(shí)測(cè)試濕度實(shí)時(shí)測(cè)試壓差值每周一次文件名稱(chēng)： 集中工序操作作業(yè)指導(dǎo)書(shū)

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第7227of22編寫(xiě)人Author

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版本Version干凈度干凈度每周一次石英制品清洗石英管及其連接收清洗周期：1次/6個(gè)月(3000次為使用上限)，清洗后8小時(shí)飽和處理。石英舟托、石英舟：1次/3個(gè)月，清洗后做4小時(shí)飽和處理。文件名稱(chēng)： 集中工序操作作業(yè)指導(dǎo)書(shū)

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第8228of22編寫(xiě)人Author

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版本Version集中工序操作作業(yè)指導(dǎo)書(shū)操作步驟1：鞋,戴好口罩，手套和帽子。留意事項(xiàng)：頭發(fā)不要外露。防護(hù)用品：無(wú)步驟〔1〕檢查著裝 所需工具無(wú)塵服口罩、步驟：(2)傳遞窗取片PVC操作步驟3：關(guān)閉傳遞窗,輕聲操作。開(kāi)防護(hù)用品：無(wú)

操作步驟2：從制絨傳遞窗中拉出周轉(zhuǎn)車(chē)，流通至集中工序。檢查缺角和崩邊片。認(rèn)真核對(duì)流程單上的硅片數(shù)量。留意事項(xiàng)：檢查碎片和隱裂片防護(hù)用品：PVC手套所需工具：周轉(zhuǎn)車(chē)操作步驟(4)：將花籃搬運(yùn)到操作臺(tái)，排放整齊。留意事項(xiàng)：取籃時(shí)每次不2個(gè)防護(hù)用品：PVC手套步驟：(3)關(guān)閉傳遞窗所需工具：無(wú)操作步驟(5)：觀(guān)看石英舟卡槽是否有氣槍吹掃干凈。

步驟：(4)作業(yè)前預(yù)備

所需工具：無(wú)操作步驟(6)：把緩沖隔墊墊在花籃下面，撐起硅片。步驟：(5)石英舟檢查

留意事項(xiàng)：吹掃壓力適中。防護(hù)用品：口罩所需工具：氣槍

步驟：(6)插片前預(yù)備

留意事項(xiàng)：確保整盒硅片都能承起來(lái)。防護(hù)用品：乳膠手套所需工具：緩沖隔墊文件名稱(chēng)： 集中工序操作作業(yè)指導(dǎo)書(shū)

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第9229of22編寫(xiě)人Author步驟：(7)插片步驟：(9)插陪片

審核人Checkedby操作步驟(7)：雙手夾住硅片二分之一至四分之一位置從花籃中取出然后輕輕插入石英舟卡槽。13片。插片時(shí)確保無(wú)聲。防護(hù)用品：PVC手套所需工具：石英舟操作步驟(9)：端各插入一張假片。留意事項(xiàng)：假片需完整防護(hù)用品：無(wú)所需工具：無(wú)操作步驟(11)：插滿(mǎn)硅片的石英舟擺放到周轉(zhuǎn)車(chē)上。

批準(zhǔn)人Approvedby步驟：(8)檢查步驟：(10)搬運(yùn)

版本Version操作步驟(8)：插滿(mǎn)一個(gè)石英舟后檢查是否有插片不到位、漏插、破片。留意事項(xiàng)：肢體和硅片保持安全距離。防護(hù)用品：無(wú)所需工具：無(wú)操作步驟(10)：石英舟插滿(mǎn)硅片后用舟叉搬運(yùn)到周轉(zhuǎn)車(chē)上。留意事項(xiàng)：防范碰撞防護(hù)用品：無(wú)所需工具：石英舟叉操作步驟(12)：雙手扶住周轉(zhuǎn)車(chē)把手延指定綠色通道運(yùn)送至機(jī)臺(tái)。留意事項(xiàng)：防范碰撞防護(hù)用品：無(wú)步驟：(11)擺放石英舟所需工具：石英舟叉、周步驟：(12)運(yùn)送至指定轉(zhuǎn)車(chē) 機(jī)臺(tái)

留意事項(xiàng)：勻速行進(jìn)防護(hù)用品：無(wú)所需工具：周轉(zhuǎn)車(chē)文件名稱(chēng)： 集中工序操作作業(yè)指導(dǎo)書(shū)

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第102210of22編寫(xiě)人Author步驟：(13)定點(diǎn)停車(chē)步驟：(15)手動(dòng)上舟步驟：(17)輸入信息

審核人Checkedby操作步驟(13)：周轉(zhuǎn)車(chē)固定放置在機(jī)臺(tái)一側(cè)黃色線(xiàn)以?xún)?nèi)。留意事項(xiàng)：無(wú)防護(hù)用品：無(wú)所需工具：周轉(zhuǎn)車(chē)操作步驟(15)：將承載硅片的石英舟放置在舟托上。朝向爐口防護(hù)用品：無(wú)所需工具：石英舟叉操作步驟(17)：在操作面板上輸入對(duì)應(yīng)的信息后點(diǎn)擊確認(rèn)。留意事項(xiàng)：無(wú)所需工具：無(wú)操作步驟(19)：點(diǎn)擊入片按鈕即可開(kāi)頭運(yùn)行工藝。留意事項(xiàng)：無(wú)

批準(zhǔn)人Approvedby步驟：(14)懇求下舟步驟：(16)運(yùn)行工藝步驟：(18)彈窗信息

版本Version操作步驟(14)：在指定機(jī)臺(tái)操作面板上點(diǎn)擊懇求下舟，等待舟托進(jìn)入上料位置。留意事項(xiàng)：無(wú)所需工具：無(wú)操作步驟(16)：selectrun”留意事項(xiàng)：無(wú)防護(hù)用品：無(wú)所需工具：無(wú)操作步驟(18)：觀(guān)看彈窗各項(xiàng)信息是否OK。留意事項(xiàng)：無(wú)防護(hù)用品：無(wú)所需工具：無(wú)操作步驟(20)：填寫(xiě)流程卡涉及內(nèi)容。留意事項(xiàng)：字跡清楚。文件名稱(chēng)： 集中工序操作作業(yè)指導(dǎo)書(shū)

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第112211of22編寫(xiě)人Author

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版本Version防護(hù)用品：無(wú) 防護(hù)用品：無(wú)步驟：(19)上料確認(rèn) 所需工具：無(wú)操作步驟(21)：工藝運(yùn)行完畢后手動(dòng)下舟。

步驟：(20)填寫(xiě)流程卡所需工具：圓珠筆、鐘表操作步驟(22)：承載硅片的石英舟放置在操作臺(tái)上靜置冷卻。步驟：(21)手動(dòng)下舟

留意事項(xiàng)：防范碰撞防護(hù)用品：PVC手套所需工具：石英舟叉(23)：空板。污、無(wú)磨損。防護(hù)用品：PVC手套板：留意事項(xiàng)：分清集中面防護(hù)用品：PVC手套

步驟：(22)舟片冷卻步驟：(24)取測(cè)試片

留意事項(xiàng)：無(wú)防護(hù)用品：PVC手套所需工具：石英舟叉：：在石英舟的爐口、爐口中、爐中、爐尾中、爐尾分別取1片進(jìn)展方阻測(cè)試。留意事項(xiàng)：取片位置防護(hù)用品：PVC手套所需工具：無(wú)：雙手夾住硅片二分之一至四分之一位置取片放置在中空板上。留意事項(xiàng)：硅片溫度降至30℃以下。每次卸片不超40片。防護(hù)用品：PVC手套文件名稱(chēng)： 集中工序操作作業(yè)指導(dǎo)書(shū)

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第122212of22編寫(xiě)人Author

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版本Version步驟：(25)測(cè)試方阻 所需工具：SDY-4四探針步驟：(26〕手動(dòng)卸片：硅片放在中空板上整理整齊后放入周轉(zhuǎn)盒內(nèi)。留意事項(xiàng)：查看有無(wú)缺角、破損防護(hù)用品：PVC手套步驟：(27〕硅片入盒 所需工具周轉(zhuǎn)盒中空步驟：(28〕周轉(zhuǎn)盒放入板 傳遞窗

所需工具：周轉(zhuǎn)盒、中空板：周轉(zhuǎn)盒放入傳遞窗，關(guān)閉窗門(mén)。留意事項(xiàng)：傳遞窗不能對(duì)開(kāi)防護(hù)用品：PVC手套所需工具：周轉(zhuǎn)盒文件名稱(chēng)： 集中工序操作作業(yè)指導(dǎo)書(shū)

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第132213of22編寫(xiě)人Author

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版本Version四探針?lè)阶铚y(cè)試作業(yè)指導(dǎo)書(shū)1：開(kāi)啟主機(jī)電源主機(jī)后5分鐘；

2：I10mA；留意事項(xiàng)：無(wú)防護(hù)用品：PVC手套步驟〔1〕開(kāi)機(jī) 所需工具：無(wú)操作步探針(探針壓下一半——約1-2mm，確保探針與硅片完全接觸)使硅片示電流數(shù)值。

〔2〕選擇量程

留意事項(xiàng)：無(wú)防護(hù)用品：PVC手套所需工具：無(wú)調(diào)整電位器旋鈕〔正面面為粗調(diào)，F(xiàn)INE為細(xì)調(diào)〕以轉(zhuǎn)變數(shù)值。對(duì)156*156硅片,電流調(diào)整4.532mA留意事項(xiàng)：完整的硅片防護(hù)用品：PVC手套步驟〔3〕放置硅片 所需工具：無(wú)5：按以上方法調(diào)整電流后，按“ρ”“R□/ρ”下方的按□，調(diào)整后測(cè)試方阻時(shí)儀器顯示器上顯示的即為此測(cè)試點(diǎn)的方塊電阻。

留意事項(xiàng)：無(wú)防護(hù)用品：PVC手套步驟〔4〕調(diào)整電流 所需工具：無(wú)6：測(cè)量過(guò)程中將測(cè)試結(jié)果記錄在相應(yīng)的電子表格內(nèi)，整體測(cè)量后表格將顯示出平均值，符合工藝要求流到下一工序，不在工藝范圍內(nèi)返工。85-90/□〔5〕

留意事項(xiàng)：無(wú)防護(hù)用品：PVC手套

〔6〕測(cè)量記錄

留意事項(xiàng)：無(wú)防護(hù)用品：PVC手套試模式 所需工具：無(wú)

所需工具：無(wú)文件名稱(chēng)： 集中工序操作作業(yè)指導(dǎo)書(shū)

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第142214of22編寫(xiě)人Author

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版本Version集中源瓶更換操作作業(yè)指導(dǎo)書(shū)〔1〕班前檢查

1：集中員工檢查集中源瓶1cm換；〔溫度是否在20±0.5℃〕水位〔假設(shè)低于第一個(gè)空洞需準(zhǔn)時(shí)補(bǔ)水。留意事項(xiàng)：無(wú)防護(hù)用品：PVC手套所需工具：無(wú)3：A〔內(nèi)棉手套+PVC進(jìn)入非區(qū)。以確保安全。員在場(chǎng)面具、防酸手套

〔2〕確認(rèn)

2：確認(rèn)工藝已經(jīng)停頓運(yùn)行且只有“大N2”為開(kāi)啟狀態(tài)。集中組長(zhǎng)通知設(shè)備、工藝到場(chǎng)幫助更換。留意事項(xiàng)：各種氣體都確認(rèn)防護(hù)用品：PVC手套所需工具：無(wú)A儲(chǔ)存箱搬運(yùn)至需更換源瓶的機(jī)臺(tái)處備用。留意事項(xiàng)：留神、平穩(wěn)防護(hù)用品：防酸服、防毒面具、防酸手套〔3〕穿戴防護(hù)品所需工具：無(wú)5：搬運(yùn)過(guò)程中需設(shè)備及工藝人員在場(chǎng)監(jiān)視并供給幫助，確保安全。留意事項(xiàng)：無(wú)面具、防酸手套

步驟〔4〕取源瓶 所需工具：無(wú)6：關(guān)閉閥門(mén)〔先關(guān)進(jìn)氣閥，再關(guān)出氣閥緊后，將軟管拔下，先拔輕輕地用大姆指頂出留意事項(xiàng)：留意卸載挨次防護(hù)用品：防酸服、防毒面具、防酸手套步驟〔5〕進(jìn)入非區(qū) 所需工具：無(wú) 步驟〔6〕卸載空源瓶所需工具：無(wú)文件名稱(chēng)： 集中工序操作作業(yè)指導(dǎo)書(shū)

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第152215of22編寫(xiě)人Author

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版本Version7：留神將待更換源瓶取出中，并做好相應(yīng)標(biāo)記。留意事項(xiàng)：無(wú)面具、防酸手套〔7〕儲(chǔ)存空源瓶所需工具：無(wú)9：?jiǎn)T工A雙手接過(guò)檢查后更換操作。氣管，連接好氣路軟管進(jìn)氣閥門(mén)。門(mén)開(kāi)最大面具、防酸手套步驟〔9〕更換 所需工具：無(wú)操作步動(dòng)翻開(kāi)小N250,工藝人員觀(guān)看源瓶是否鼓泡。N2流量必需50防護(hù)用品：無(wú)

8：留神將源瓶從儲(chǔ)存箱中取出，認(rèn)真檢查外包裝及源瓶的密封性；檢查瓶?jī)?nèi)是否有殘液，瓶身是否有裂紋以及瓶?jī)?nèi)是否有雜質(zhì)。確認(rèn)正常后翻開(kāi)包裝并摘下標(biāo)簽交給操作員工A。留意事項(xiàng)：留神、認(rèn)真防護(hù)用品：防酸服、防毒面具、防酸手套〔8〕預(yù)備源瓶所需工具：無(wú)：由工藝人員對(duì)源瓶安裝進(jìn)展整體檢查，包括：管路連接是否正確；單向閥方向是否正確；源瓶閥門(mén)是否完全翻開(kāi)；留意事項(xiàng)：從氣路源頭檢查防護(hù)用品：無(wú)步驟〔10〕安裝檢查 所需工具：無(wú)(12)工藝人員確認(rèn)：有氣泡冒出且無(wú)回流現(xiàn)象，管路連接OK，關(guān)閉小N2，進(jìn)展下一步；無(wú)氣泡冒出，馬上停頓鼓泡并810秒以上防護(hù)用品：無(wú)步驟〔11〕小流量試驗(yàn)所需工具：無(wú) 步驟〔12〕確認(rèn)源瓶 所需工具：無(wú)文件名稱(chēng)： 集中工序操作作業(yè)指導(dǎo)書(shū)

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第162216of22編寫(xiě)人Author

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版本Version：由設(shè)備人員確認(rèn)機(jī)臺(tái)狀20℃，可以正常進(jìn)展生〔為保證生產(chǎn)穩(wěn)定，生產(chǎn)時(shí)爐管每區(qū)溫度1℃〕留意事項(xiàng)：無(wú)步驟〔13〕設(shè)備確認(rèn) 所需工具：無(wú)：用過(guò)的手套放入危急廢〔更換的手套。安全防護(hù)用品：無(wú)

：更換完成，將舊源瓶裝箱后搬運(yùn)至規(guī)定存儲(chǔ)點(diǎn)。防護(hù)用品：PVC手套〔14〕所需工具：無(wú)：做好源瓶更換記錄，參與人員進(jìn)展簽字確認(rèn)。以上完成后即完成了本次源瓶更換，生產(chǎn)可進(jìn)展正常生產(chǎn)，使用過(guò)程中消滅機(jī)臺(tái)特別準(zhǔn)時(shí)反響。留意事項(xiàng)：無(wú)防護(hù)用品：無(wú)步驟〔15〕護(hù)具處理 所需工具：無(wú) 步驟〔16〕記錄 所需工具：無(wú)文件名稱(chēng)： 集中工序操作作業(yè)指導(dǎo)書(shū)

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第172217of22編寫(xiě)人Author

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版本Version石英器件清洗操作作業(yè)指導(dǎo)書(shū)操作步驟1：依據(jù)工藝衛(wèi)生的規(guī)定在系統(tǒng)圖框內(nèi)檢查爐管使進(jìn)展清洗。未達(dá)使用次數(shù)按清洗周期清洗。

操作步驟2：對(duì)需清洗的石英管確認(rèn)后拆卸；對(duì)需清洗的石英舟進(jìn)展確認(rèn)停用?！?〕確認(rèn)清洗

留意事項(xiàng)：無(wú)防護(hù)用品：PVC手套所需工具：無(wú)操作步驟石英舟用小推車(chē)運(yùn)輸；

留意事項(xiàng)：無(wú)防護(hù)用品：PVC手套〔2〕拆卸、停用所需工具：無(wú)操作步驟4：穿防護(hù)用具進(jìn)入石英清洗間進(jìn)展操作。〔3〕運(yùn)輸

留意事項(xiàng)：防護(hù)用品：PVC手套所需工具：無(wú)操作步驟兩手握住石英舟或舟托洗機(jī)。一個(gè)槽體每次最多放置12個(gè)石英舟或4個(gè)石英舟托或1個(gè)石英管。留意事項(xiàng)：輕拿輕放手套

留意事項(xiàng)：檢查防護(hù)用具防護(hù)用品：防酸服、防酸手套步驟〔4〕穿防具 所需工具：無(wú)操作步驟〔6〕：進(jìn)入清洗機(jī)的主操作界進(jìn)入該界面之后點(diǎn)擊所用槽的機(jī)械臂“上升”，到達(dá)上位后將待清洗的石英管輕放至機(jī)械臂上，點(diǎn)擊防護(hù)用品：防酸服、防酸手套步驟〔5〕放舟、舟托所需工具：無(wú) 步驟〔6〕放-石英管所需工具：無(wú)文件名稱(chēng)： 集中工序操作作業(yè)指導(dǎo)書(shū)

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第182218of22編寫(xiě)人Author

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版本Version〔7〕加水

操作步驟7：回到清洗機(jī)的主操作界面，點(diǎn)擊“加水手槽的液面到達(dá)石英管底部時(shí)停頓加水留意事項(xiàng)：輕拿輕放手套所需工具：無(wú)操作步驟9：12槽的酸液1槽。2槽到12槽內(nèi)酸液抽完后關(guān)閉該按鈕。一樣手套

操作步驟8：s32LHF。留意事項(xiàng)：無(wú)防護(hù)用品：防酸服、防酸手套〔8〕2HF所需工具：無(wú)操作步驟：按上述步驟〔7〕加水使液面到達(dá)石英管管口高度2/3處，停頓加水。留意事項(xiàng)：輕拿輕放防護(hù)用品：防酸服、防酸手套〔9〕1HF所需工具：無(wú)操作步驟：留意事項(xiàng)：無(wú)手套

〔10〕補(bǔ)加水

所需工具：無(wú)操作步驟：假設(shè)清洗石英管需再點(diǎn)擊“泵/清洗石英舟、舟托不需開(kāi)啟馬達(dá)留意事項(xiàng)：僅清洗石英管時(shí)開(kāi)啟防護(hù)用品：防酸服、防酸手套步驟〔11〕開(kāi)啟鼓泡 所需工具：無(wú) 步驟〔12〕開(kāi)啟馬達(dá) 所需工具：無(wú)文件名稱(chēng)： 集中工序操作作業(yè)指導(dǎo)書(shū)

文件編號(hào)SerialNo.生效日期Effectiveon

第192219of22編寫(xiě)人Author

審核人Checkedby操作步驟：驟7。留意事項(xiàng)：排凈后加水臟污、無(wú)附著物防護(hù)用品：防酸服、防酸手套驟7。留意事項(xiàng)：排凈后加水臟污、無(wú)附著物防護(hù)用品：防酸服、防酸手套手套〔13〕酸洗、觀(guān)看所需工具：無(wú)〔14〕排液所需工具：無(wú)操作步驟：2小時(shí)后重復(fù)排酸操作步驟：水洗完全并排水后，將石2小時(shí)英器件留在清洗機(jī)內(nèi)進(jìn)展PH試紙測(cè)石英管的24PH值，假設(shè)不變色，則晾干后取出運(yùn)輸?shù)郊熊?chē)間。石英管按設(shè)備裝機(jī)進(jìn)度運(yùn)PH試紙測(cè)試時(shí)不輸、安裝。變色為止。留意事項(xiàng)：留意事項(xiàng)：輕拿輕放防護(hù)用品：PVC手套防護(hù)用品：PVC手套〔15〕加水、水洗所需工具：無(wú)〔16〕晾干、取出所需工具：無(wú)操作步驟：清洗后的石英器件需飽操作步驟：飽和完成，投入使用前做和前方能使用。好相應(yīng)記錄。1號(hào)工藝；448留意事項(xiàng)：無(wú)留意事項(xiàng)：無(wú)防護(hù)用品：無(wú)防護(hù)用品：無(wú)〔17〕飽和所需工具：無(wú)〔18〕記錄所需工具：無(wú)

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版本Version操作步驟：確定清洗干凈后將酸液排掉，具體操作如下：進(jìn)入〔不行點(diǎn)擊排水〔步文件名稱(chēng)： 集中工序操作作業(yè)指導(dǎo)書(shū)

文件編號(hào)SerialNo.生效日期Effectiveon

第202220of22編寫(xiě)人Auth