擴(kuò)散泵的洗凈a課件

擴(kuò)散泵大修順序敬請閱讀本順序書是為SHINCRON公司人員教育用而作成的?？蛻羰褂帽卷樞驎M(jìn)行大修、修理時引起事故、故障SHINCRON概不負(fù)責(zé)。同意以上條件者請參考以下的順序書進(jìn)行大修、修理。1分解設(shè)備前的條件

1.分解設(shè)備前的條件

①設(shè)備必須停止?(真空室為大氣，控制電源ＯＦＦ。)②擴(kuò)散泵的油溫必須降下來?(擴(kuò)散泵的電源OFF后，冷卻水在冷卻狀態(tài)放置５個小時?)③停止冷卻水與氣壓。２.擴(kuò)散泵的分解作業(yè)（ＤＰ的型號，使用油量記載在ＤＰ下部側(cè)面的銘牌板。）

①關(guān)閉擴(kuò)散泵冷卻水。關(guān)閉冷卻水管道部的擴(kuò)散泵的入口和出口側(cè)的手動閥(球閥)，停止冷卻水?

②松開手動閥(球閥)上部入口和出口側(cè)的袋螺母，把藍(lán)色的管子拆下。※ＤＰ?????擴(kuò)散泵2袋螺母

擴(kuò)散泵出口側(cè)手動閥(關(guān))

擴(kuò)散泵入口側(cè)手動閥(關(guān))3③把拆下來的出口側(cè)的藍(lán)色水管放到準(zhǔn)備好的水盤里，從入口側(cè)藍(lán)色的水管處用氣槍吹出擴(kuò)散泵內(nèi)的冷卻水。出口側(cè)水管

入口側(cè)水管

氣槍

比HD-450小的擴(kuò)散泵，冷卻水回路為1條，HD-550以上有3條?有3條回路的，可以把①～③重復(fù)3次?） 4④

拆下擴(kuò)散泵下方的絕緣陶瓷的擋蓋，做上吻合標(biāo)記，拆下3根電源線?吻合標(biāo)記

5⑤拆下擴(kuò)散泵側(cè)冷卻水的入口和出口側(cè)的袋螺母，并把藍(lán)色管子拆下。此時，不要忘記標(biāo)上吻合標(biāo)記?吻合標(biāo)記6⑥把擴(kuò)散泵上帶有的4只帶支架腳輪降到最下面。⑦把輔助閥的螺絲全部松開。等松開后，慢慢松開1英寸的密封拴或油量計(jì)用的1英寸螺母，由密封擋口徐徐導(dǎo)入大氣，然后拆下輔助閥。（過快的導(dǎo)入大氣有時會使擴(kuò)散泵中的噴射傘架飛濺出來導(dǎo)致破損所以請千萬要注意。）輔助閥１英寸密封拴１英寸油量計(jì)用螺母

油量計(jì)用螺母

7高真空閥吻合標(biāo)記水冷井

長螺絲（反方向也有1根?）如果長螺絲有轉(zhuǎn)動，請按這里。吻合標(biāo)記

把擴(kuò)散泵與高真空閥緊合在一起的螺絲除長螺絲外都拆下來?⑨把高真空閥與水冷井、擴(kuò)散泵部，分別做上吻合標(biāo)記?⑩把2根長螺絲的螺母，單側(cè)一點(diǎn)一點(diǎn)的松緩，

平衡的卸落到地上。此時，注意旋轉(zhuǎn)時不要讓長螺絲掉出來。如果出現(xiàn)轉(zhuǎn)動時，可用扁嘴鉗等夾住。?當(dāng)腳輪卸落到地面時，拔下2根長螺絲。?保持水冷井不落下，并請移到寬敞的地方。接下來進(jìn)行擴(kuò)散泵的洗凈與噴射部的分解及洗凈。8擴(kuò)散泵的洗凈與噴射部的分解及洗凈①擴(kuò)散泵與噴射部的分解螺釘墊片螺絲ａ.把中央的螺釘與墊片拆下。b.把擴(kuò)散泵與噴射部固定的螺絲拆下。9螺釘墊片冷凍蓋彈簧陶瓷片

c.把冷凍蓋向上抬起取下。此時，注意把中間的彈簧與墊片不要弄丟?d.把陶瓷片向左旋并取下。103洗凈溶劑請使用鹽酸系列或者聚四氟乙烯系列的溶劑。（請勿使用石油系列的溶劑。石油系列的溶劑中油分與擴(kuò)散泵油有所不同，含有的不純物較多。）b.洗凈時所準(zhǔn)備的工具有油盤、抹布、尼龍砂紙（百潔布等尼龍系列的東西），對于臟污嚴(yán)重的部位，請準(zhǔn)備400?～600?左右的砂紙。c.洗凈時為了不把地面沾上油污或者溶劑，請鋪上塑料薄膜，在上面作業(yè)。11噴射器

加熱爐閥抽氣閥d.

把噴射器、加熱爐閥、抽氣閥從擴(kuò)散泵上取出，放到油盤中。12②擴(kuò)散泵的洗凈a.

取出擴(kuò)散泵內(nèi)的擴(kuò)散油。臺面上放上可以緩沖物（多層抹布等），為使油不從抽氣閥漏出，請橫著放。此時注意不要損壞絕緣礙子（陶瓷）與水冷管。橫著放好后，抬擴(kuò)散泵腳輪使之稍稍傾斜以盡快倒出擴(kuò)散油。絕緣礙子抹布層(廢布等可緩沖的柔軟物)臺（油桶等）b.擴(kuò)散油倒出以后，抬起擴(kuò)散泵，在泵內(nèi)加入適量溶劑，用尼龍砂紙從上部開始清洗。底部與加熱爐部分的比較嚴(yán)重，必須重點(diǎn)清洗。c.洗凈結(jié)束后，按照倒出油的順序把泵中的溶劑清理出來，用抹布擦拭泵的內(nèi)部。接下來再用新的抹布沾上溶劑擦凈泵的內(nèi)部，至此擴(kuò)散泵的清掃工作結(jié)束。為防止垃圾等掉入請蓋上塑料薄膜等。13③噴射部的分解及洗凈a.

把噴射部分倒置，拆下防松螺母與Ｍ10螺母可以開始分解?倒置噴射部Ｍ10螺母防松螺母14b.按照順序進(jìn)行分解?（從上開始按次序分解）頂部噴射蓋

彈簧螺母中心螺栓＜第一罩A＞＜第二噴射蓋＞15＜第二罩用圈＞＜第三罩用圈＞＜第三噴射蓋＞

（因有上下朝向，請注意）（因有上下朝向，請注意）16＜第二罩＞＜第一罩Ｂ＞＜第四噴射蓋＞第四罩安全擋17c.把溶劑倒入油盤，使用百潔布把分解后的噴射部分清洗干凈。洗凈時請使用手套，并在通風(fēng)良好處作業(yè)。

噴射傘架的安全擋部及加熱爐閥部要比其他部位更燒焦并附有黑色的燒焦物，請使用百潔布或者400?～600?的砂皮把黑色燒焦物清除干凈。d.

洗凈結(jié)束后使用新的抹布沾上新的溶劑一個個擦拭干凈，至此噴射部位的洗凈工作完全結(jié)束。18④噴射部的組裝以及擴(kuò)散泵的組裝噴射部的組裝是按照分解的順序的倒順序進(jìn)行組裝?組裝完畢，把噴射部豎立起來，放置到平穩(wěn)的場所，離稍遠(yuǎn)一點(diǎn)的地方確認(rèn)噴射部是否平行垂直狀態(tài)。如果發(fā)現(xiàn)傾斜，請?jiān)俅沃匦陆M裝。確認(rèn)噴射散架部有無松緊、安全擋部有無凹陷等，如果有請進(jìn)行修正。19＜ＨＤ－４５０＞20b．交換油量計(jì)部、排油管部的墊圈。油量計(jì)部角環(huán)型墊圈SP-23（氟化或腈化橡膠）

１排油管部Ｏ型圈V-15氟化橡膠１注）擴(kuò)散泵大修時上述兩處消耗品不論臟污、破損的有無都必須交換。21c.

擴(kuò)散泵的組裝按照分解順序的反順序進(jìn)行。組裝完成后，請加入規(guī)定量的擴(kuò)散油。至此組裝全部結(jié)束。(該順序的照片等均參照了擴(kuò)散泵HD-450?)22吸入法蘭排氣口法蘭油量計(jì)排油管口油量O型圈（腈）O型圈（腈）角形圈（腈）O型圈（氟化橡膠）LION-S（L）HD-200-1V225V70ナシ