SIC材料清洗培訓(xùn)課件

碳化硅材料清洗

操作規(guī)范和技巧主要內(nèi)容第一部分：工序介紹第四部分：操作技巧第二部分：操作流程第三部分：操作規(guī)范第五部分：設(shè)備相關(guān)第六部分：質(zhì)量控制第七部分：安全生產(chǎn)工序介紹碳化硅材料介紹1.碳化硅材料耐高溫，硬度大，但比較脆，不能碰撞。2.碳化硅屬于導(dǎo)電材料，不能直接接觸爐絲，否則會(huì)被熔化。3.碳化硅研磨性很強(qiáng)，兩個(gè)碳化硅之間不能摩擦。4.目前我們用的碳化硅材料包括碳化硅漿舟和碳化硅管。工序介紹工具清單工具、器具名稱型號(hào)規(guī)格

凈化口罩

醫(yī)用手套

PVC手套

耐酸堿手套

試紙

圓珠筆

工序介紹所需藥品鹽酸氫氟酸工序介紹大石英管清洗機(jī)操作流程碳化硅處理操作流程（一）在凈化間打開(kāi)包裝，檢查產(chǎn)品是否合格.配制1:1:4，將漿舟或碳化硅管放在清洗機(jī)內(nèi)泡1:1:4后，用去離子水浸泡，沖洗。用氮?dú)鈱{舟吹干，放在石英管內(nèi)150度烘烤拆裝自檢酸沖洗溢流沖洗用三氯乙烷工藝清洗后，記錄清楚后可以使用飽和使用干燥拆包裝操作規(guī)范在凈化間內(nèi)打開(kāi)包裝，檢查產(chǎn)品型號(hào)規(guī)格是否正確，外觀是否有破損（如碳化硅管）。操作規(guī)范酸洗操作規(guī)范把大石英管清洗槽清洗干凈，配制好1：1：4，把碳化硅漿舟放進(jìn)去浸泡30-50分鐘。操作規(guī)范酸洗操作規(guī)范漿舟柄部口要求抬高在液面外，防止酸液進(jìn)入中空部分操作規(guī)范去離子水溢流沖洗操作規(guī)范酸洗完畢后,先用去離子水沖洗幾次，然后再浸泡在去離子水中，每?jī)蓚€(gè)小時(shí)換一次水，漂洗12小時(shí)，至水呈中性.操作規(guī)范PH試紙呈中性，說(shuō)明沖干凈操作規(guī)范先把手套洗干凈操作規(guī)范用氮?dú)鈽尨蹈筛稍锊僮饕?guī)范把漿舟拿出來(lái)用氮?dú)鈽屗袇^(qū)域都吹干，然后安裝在擴(kuò)散爐上，推進(jìn)石英管內(nèi)150度烘烤4小時(shí).操作規(guī)范操作規(guī)范清洗完以后把漿舟裝到爐子上，準(zhǔn)備烘漿操作規(guī)范裝完漿舟以后，裝載烘漿舟的工藝，然后運(yùn)行，待工藝結(jié)束以后就可以使用了。操作規(guī)范飽和操作規(guī)范1.在通入氮?dú)?000的情況下，在150℃以低于200mm/min的速度進(jìn)爐，或者以5℃/min速度升溫到400℃；2.保持30分鐘，以徹底去除產(chǎn)品中殘留的水汽3.在純氧氣中繼續(xù)以5℃/min升溫至700℃；通入攜帶氯源的小氮200ml4.溫度升到1100℃時(shí)將氯離子源的流量減少一半。最后將溫度升到1250℃或者比最高工藝使用溫度高50℃（最少1150℃）。保持此溫度1小時(shí)后關(guān)閉氯源；設(shè)備日常維護(hù)保養(yǎng)不能用硬物去磕碰漿舟不能在漿舟上拖動(dòng)硅舟碳化硅漿舟每個(gè)月工藝清洗一次不能裸手去碰漿舟設(shè)備日常維護(hù)保養(yǎng)方法及注意事項(xiàng)設(shè)備相關(guān)設(shè)備使用注意事項(xiàng)設(shè)備相關(guān)使用前必須徹底的干燥，柄部區(qū)域清洗時(shí)不能進(jìn)酸，不能碰撞，酸一定要沖洗干凈.使用時(shí)進(jìn)舟速率一定要小于200mm/min

，最高使用溫度最好小于1350度.進(jìn)槳存放時(shí)開(kāi)口一端要向下，不要在漿舟上拖動(dòng)硅舟，碳化硅承受的重量不能超過(guò)它的承重力.存放清洗

質(zhì)量要求清洗完的漿舟上不能有印痕。碳化硅不能有破損。柄部中空不能有酸，要清洗干凈。質(zhì)量控制質(zhì)量控制常見(jiàn)質(zhì)量問(wèn)題的原因及解決方法質(zhì)量現(xiàn)象原因分析解決辦法表面有雜質(zhì)，印痕手套不干凈，摸到漿舟重新處理有裂痕進(jìn)舟速率過(guò)快嚴(yán)格控制進(jìn)舟速度與硬物碰撞使用時(shí)小心注意事項(xiàng)設(shè)備安全方面：設(shè)備安全接地，通風(fēng)排毒正常。使用中嚴(yán)禁磕碰。嚴(yán)禁與爐絲接觸并通電。人員安全方面：工作時(shí)注意藥品不要濺到人，下班后關(guān)好水、電、氣。操作時(shí)一定要帶好口罩，耐酸堿手套安全生產(chǎn)謝謝地址