半導(dǎo)體材料專用加工刀具

1半導(dǎo)體材料專用加工刀具本文件規(guī)定了半導(dǎo)體材料專用加工刀具的術(shù)語和定義、分類、基本要求、工藝流程、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸和貯存及質(zhì)量承諾內(nèi)容。本文件適用于半導(dǎo)體材料專用加工刀具。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T4309粉末冶金材料分類和牌號表示方法GB/T5305手工具包裝、標志、運輸與貯存GB/T6461金屬基體上金屬和其它無機覆蓋層經(jīng)腐蝕試驗后的試樣和試件的評級GB/T9286色漆和清漆劃格試驗GB/T10125人造氣氛腐蝕試驗鹽霧試驗GB/T13818壓鑄鋅合金GB/T15115壓鑄鋁合金GB/T26572電子電氣產(chǎn)品中限用物質(zhì)的限量要求3術(shù)語和定義本文件沒有需要界定的術(shù)語和定義。4分類半導(dǎo)體材料專用加工刀具分類見表1。12345675基本要求5.1設(shè)計研發(fā)5.1.1應(yīng)具備產(chǎn)品外形、功能結(jié)構(gòu)、使用安全性等特性的設(shè)計研發(fā)能力。5.1.2應(yīng)具備模具模流分析和優(yōu)化設(shè)計壓鑄成型過程的能力。5.1.3應(yīng)具備零部件鑄造加工及產(chǎn)品裝配全過程的工裝夾具設(shè)計能力。5.1.4應(yīng)具備運用三維軟件對產(chǎn)品進行仿真、優(yōu)化、驗證的能力。5.2原材料與零部件25.2.1鋁合金材料應(yīng)符合GB/T15115規(guī)定，鋅合金材料應(yīng)符合GB/T13818規(guī)定。5.2.2鐵二鎳及鐵基合金材料應(yīng)符合GB/T4309規(guī)定。5.2.3刀體涂層、刀體及構(gòu)件材料應(yīng)符合GB/T26572的規(guī)定，其限用物質(zhì)限量要求應(yīng)符合表2規(guī)定。表2限用物質(zhì)限量要求單位：ppm六價鉻（Cr6+）5.3工藝裝備5.3.1刀片、滾輪應(yīng)采用數(shù)控車床加工。5.3.2刀片應(yīng)采用真空熱處理工藝。5.3.3應(yīng)配置伺服控制的自動螺絲機等自動化工藝裝備輔助產(chǎn)品組合裝配。5.4檢驗檢測5.4.1應(yīng)具備對外觀質(zhì)量、裝配、耐腐蝕性、抗跌落、使用壽命等項目的檢測能力。5.4.2應(yīng)配備對耐腐蝕性進行測試的鹽霧測試機。6工藝流程6.1制備基本工藝過程半導(dǎo)體刀具適用于干磨和濕磨，特別是使用水基和油基磨削液的條件下。半導(dǎo)體刀具的良好彈性使其適用于超精確磨削和表面拋光，其制備流程見圖1。圖1生產(chǎn)工藝流程6.2混料工藝規(guī)程6.2.1工序目的混料工序的目的是將樹脂、填充料、著色劑等均勻地粘附在刀具表面。6.2.2設(shè)備主要參數(shù)設(shè)備主要參數(shù)為：——混料鍋容積：1.0m3；——攪拌轉(zhuǎn)速：48r.p.m。6.2.3工藝參數(shù)攪拌時間應(yīng)為15分鐘左右。6.2.4主要操作過程主要操作過程應(yīng)按如下步驟順序進行。a)稱料：嚴格按配方將各種原料分別稱好，放好，并做好相應(yīng)的標識。3b)混磨料：將稱好的磨料加入上攪拌鍋內(nèi)。c)加樹脂液：將稱好的樹脂液加入上攪拌鍋內(nèi)，混合約兩分鐘。d)加填充料：待上鍋加入液體樹脂的料混合約2分鐘左右，將稱好的填充料、著色劑加入上攪拌鍋內(nèi)。e)攪拌：將上述原料攪拌至均勻狀態(tài)后放入下攪拌鍋（共7分鐘左右）。f)加樹脂粉：將樹脂粉加入下攪拌鍋內(nèi)。g)攪拌：將上鍋混合好的料翻入下鍋，開機，攪拌至均勻狀態(tài)約5分鐘左右加入潤濕劑后再混合2分鐘左右出鍋。h)落料：將砂箱放在振篩下，打開振篩馬達和落料口，將混料全部鏟入砂箱內(nèi)，關(guān)機。i)整理：將上下鍋鍋底鍋邊鏟干凈，將砂箱碼放整齊。6.2.5質(zhì)量要求混合料均勻、松散、干濕適中，各種物料稱量誤差應(yīng)不超過0.1%。6.2.6注意事項6.2.6.1應(yīng)先加料，后開動機器，嚴禁開機時加料。6.2.6.2開機時嚴禁將頭、手、物等伸到混料爪旋轉(zhuǎn)范圍內(nèi)。6.2.6.3應(yīng)嚴格按順序加料。6.3壓制工藝規(guī)程6.3.1應(yīng)將模具安裝好，稱量所要求量的磨料添入模具空腔，刮平后壓制。6.3.2需要放置增強玻纖網(wǎng)片的應(yīng)按要求放入。然后在室溫下加壓，一般冷壓的壓力范圍為15~30N/mm2，最好是15～25N/mm2。壓力大小的選擇取決于物料的可塑性和砂輪要求達到的密度。不宜使用過高的壓力，否則會將磨料壓碎。6.3.3壓制時間一般為5～50秒，最好是5～30秒，時間長短取決于砂輪要求達到的密度和形狀以及物料的可塑性的好壞。6.4固化工藝規(guī)程6.4.1將刀具用陶瓷質(zhì)的圓盤固定，以保證砂輪在固化過程中不變形，均勻放置于爐內(nèi)，爐內(nèi)要有空氣循環(huán)以使各部位受熱均勻，然后啟動升溫程序進行固化。6.4.2在整個加熱過程中發(fā)生物理和化學(xué)變化，各個溫度階段主要發(fā)生以下反應(yīng)：a)80℃時樹脂開始熔融，有水分蒸出，固化反應(yīng)開始；b)110℃時六次分解并促使熔融的樹脂發(fā)生交聯(lián)，同時釋放出氨氣、水等氣體；c)110℃~180℃樹脂進行交聯(lián)直至完全固化，大量的氨氣釋放；d)高溫區(qū)時間過長會導(dǎo)致樹脂的過固化，在刀具硬度升高的同時，導(dǎo)致刀具的強度下降。6.4.3一般根據(jù)刀具的不同要求選擇不同固化曲線和固化終溫。終溫為165℃~170℃,刀具硬而韌性好；終溫為175℃~180℃,刀具硬；終溫為185℃~190℃,刀具硬而脆。7技術(shù)要求7.1外觀質(zhì)量7.1.1半導(dǎo)體材料專用加工刀具表面不應(yīng)有裂痕、毛刺、銹蝕，壓鑄件表面不應(yīng)有明顯的砂眼、氣孔等缺陷。7.1.2半導(dǎo)體材料專用加工刀具表面涂層應(yīng)色澤均勻，不得有脫層、氣泡等缺陷。7.1.3刀體應(yīng)光滑、平整、無開裂、變形等缺陷。7.1.4刀體表面涂層附著力應(yīng)不低于GB/T9286規(guī)定的2級。7.1.5刀片不應(yīng)有銹蝕、崩刃、鈍口、卷刃等缺陷，電鍍層表面應(yīng)色澤均勻，不應(yīng)有漏鍍、起皮等缺7.2裝配要求47.2.1半導(dǎo)體材料專用加工刀具的滑塊或刀桿應(yīng)能在刀體導(dǎo)軌上靈活移動，刀片和滾輪應(yīng)能轉(zhuǎn)動自如。7.2.2同規(guī)格刀片應(yīng)能互換?；Q時，刀片應(yīng)不作任何加工就能與刀體配合。7.2.3產(chǎn)品應(yīng)進退無卡頓、鎖定及解鎖順暢、復(fù)位良好。7.3耐腐蝕性電鍍配件應(yīng)按GB/T10125要求進行48小時的中性鹽霧試驗，試驗后按GB/T6461規(guī)定保護評級應(yīng)不低于6級。7.4抗跌落半導(dǎo)體材料專用加工刀具應(yīng)進行抗跌落試驗，試驗后不應(yīng)出現(xiàn)影響正常使用功能的損傷。7.5使用壽命半導(dǎo)體材料專用加工刀具應(yīng)根據(jù)相應(yīng)的半導(dǎo)體材質(zhì)類型切割材料進行300次切割試驗，試驗后要求切割面整齊、無變形，刀片刃口無崩口、卷刃現(xiàn)象，刀體功能正常。8試驗方法8.1外觀質(zhì)量8.1.1產(chǎn)品及配件的外觀質(zhì)量用目測和手感檢測。8.1.2噴塑涂層表面附著力按GB/T9286標準規(guī)定的要求在配件表面進行測試評定，測試評級不低于8.2裝配要求半導(dǎo)體材料專用加工刀具裝配的靈活性應(yīng)手感手動進行試驗。8.3耐腐蝕測試按GB/T10125要求進行耐腐蝕試驗，試驗后按GB/T6461規(guī)定的評定方法進行評定。8.4抗跌落測試將半導(dǎo)體材料專用加工刀具裝夾在2米高的跌落夾上，自動松開跌落夾讓金屬管割刀形成自由落體下落到混泥土地面，共3次跌落試驗。8.5使用壽命應(yīng)選取試驗用半導(dǎo)體材料進行連續(xù)300次的切斷試驗。9檢驗規(guī)則9.1檢驗分類產(chǎn)品檢驗分為出廠檢驗和型式檢驗。9.2組批以同一工藝、同一原輔材料生產(chǎn)的同一規(guī)格產(chǎn)品為一組批。9.3出廠檢驗9.3.1庫存產(chǎn)品在出廠時都應(yīng)做出廠檢驗，出廠檢驗應(yīng)逐臺進行。9.3.2出廠試驗項目見表3。出廠試驗的所有項目合格，方可出廠。9.4型式檢驗9.4.1型式檢驗項目包括本文件規(guī)定的全部項目。9.4.2型式檢驗在下列情況之一時進行：5——新產(chǎn)品或老產(chǎn)品轉(zhuǎn)廠生產(chǎn)試制定型鑒定；——正式生產(chǎn)后，如結(jié)構(gòu)設(shè)計工藝或所用材料有較大改變可能影響產(chǎn)品性能時；——正常生產(chǎn)時每年至少進行一次；——長期停產(chǎn)后恢復(fù)生產(chǎn)時；——出廠檢驗結(jié)果與上次型式檢驗有較大差異時；——國家質(zhì)量監(jiān)督機構(gòu)提出要求時。9.4.3型式檢驗樣品應(yīng)從出廠檢驗合格的產(chǎn)品中隨機抽取。9.4.4在型式檢驗中，如有任一臺項不合格，則從該批產(chǎn)品中加倍抽樣，進行不合格及該項相關(guān)要求的重復(fù)試驗，重復(fù)試驗合格，則判該批產(chǎn)品符合本標準要求。如重復(fù)試驗仍有任一臺項不合格，則判該批產(chǎn)品不合格。9.4.5型式檢驗技術(shù)要求及試驗方法等見表3。表3檢驗項目1√√2√√3√√4 √5 √10標志、包裝、運輸和貯存10.1標志10.1.1產(chǎn)品標志在產(chǎn)品上應(yīng)有固定清晰的產(chǎn)品標志，標志內(nèi)容應(yīng)包括產(chǎn)品的規(guī)格和制造商的名稱或商標。10.1.2包裝標志產(chǎn)品的包裝標志應(yīng)符合GB/T5305的規(guī)定。10.1.3合格證標志產(chǎn)品的合格證上應(yīng)標志下列內(nèi)容：a)廠名、商標；b)產(chǎn)品名稱；c)產(chǎn)品標記；d)產(chǎn)品數(shù)量；e)產(chǎn)品批次號；f)檢驗日期；g)檢驗印章。10.2包裝10.2.1內(nèi)包裝應(yīng)使用聚丙烯或有機玻璃材料的專用包裝盒進行包裝。10.2.2外包裝10.2.2.1應(yīng)選用防震抗壓材料，并內(nèi)襯泡沫塑料。外包裝紙箱等用膠帶或打包帶扎緊，應(yīng)符合運輸有關(guān)規(guī)定。10.2.2.2出口產(chǎn)品應(yīng)按合同要求。610.3運輸運輸過程中不應(yīng)雨淋、受潮，裝卸不應(yīng)拋擲。10.4貯存10.4.1產(chǎn)品應(yīng)存放在通風、干燥、相對濕度小于80%的倉庫中，產(chǎn)品應(yīng)距地面100mm以上，應(yīng)距墻面300mm以上。10