IC類(lèi)半導(dǎo)體固晶機(jī)檢測(cè)規(guī)范

2T/SZBSIA0004-2022IC類(lèi)半導(dǎo)體固晶機(jī)本文件規(guī)定了半導(dǎo)體固晶機(jī)的術(shù)語(yǔ)和定義、結(jié)構(gòu)與基本參數(shù)、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、使用說(shuō)明書(shū)與標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和儲(chǔ)本文件適用于IC類(lèi)半導(dǎo)體固晶機(jī)。2規(guī)范性引用文件下列文件的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本GB/T3224.1-2019用技術(shù)條件GB/T14233-2008GB/T24133.1機(jī)械電氣安全機(jī)械電氣設(shè)備第1部分：通輕工機(jī)械通用技術(shù)條件工業(yè)過(guò)程測(cè)量和控制系統(tǒng)用智能電動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)第1部分通用技術(shù)條件GB/T130.4-2011壓力容器第4部分：制造、檢驗(yàn)和驗(yàn)收GB/T3443.2-2008電氣設(shè)備用圖形符號(hào)第2部分：圖形符號(hào)GB/T5932-2015氣動(dòng)對(duì)系統(tǒng)及其元件的一般規(guī)則和安全要求3GB/T15248.3GB/T15599.4-2012GB/T18209.3-2010T/SZBSIA0004-2022聲學(xué)機(jī)械和設(shè)備發(fā)射的噪聲電磁兼容通用標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)環(huán)境中的發(fā)射機(jī)械電氣安全指示、標(biāo)志和操作第3部分：操動(dòng)器的位置和操作的要求GB/T243422009工業(yè)機(jī)械電氣設(shè)備保護(hù)接地電路連續(xù)性試驗(yàn)規(guī)范GB/T3785.1-2009點(diǎn)聲學(xué)聲級(jí)計(jì)第1部分3術(shù)語(yǔ)和定義下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。通常指常溫下介電性能介于良導(dǎo)體和絕緣體之間的物質(zhì)。3.2IC類(lèi)固晶機(jī)將半導(dǎo)體器件經(jīng)高粘度點(diǎn)膠而后進(jìn)行封裝的設(shè)備。4.1檢驗(yàn)分類(lèi)產(chǎn)品檢驗(yàn)分為出廠檢驗(yàn)和型式檢驗(yàn)表1檢驗(yàn)項(xiàng)目表驗(yàn)驗(yàn)檢驗(yàn)方法4T/SZBSIA0004-20221√√2加工裝配√3√6.4.14軟件模塊√6.4.25光學(xué)模塊√6.4.36√6.4.47氣路模塊√6.4.58√6.4.69求√a）出廠檢驗(yàn)項(xiàng)目見(jiàn)表1規(guī)定；b）每臺(tái)設(shè)備經(jīng)生產(chǎn)企業(yè)質(zhì)檢部門(mén)檢驗(yàn)合格，并簽發(fā)產(chǎn)品合格證后出廠。4.3型式檢驗(yàn)4.3.1型式檢驗(yàn)情形a）新產(chǎn)品或定型產(chǎn)品的結(jié)構(gòu)、制造工藝、材料等更改對(duì)產(chǎn)品性能有影響或可能產(chǎn)生影響時(shí)；b）停產(chǎn)3個(gè)月以上恢復(fù)生產(chǎn)時(shí)；c）國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督機(jī)構(gòu)提出型式檢驗(yàn)的要求時(shí)。4.3.2型式檢驗(yàn)項(xiàng)目5T/SZBSIA0004-2022型式檢驗(yàn)項(xiàng)目見(jiàn)表2規(guī)定。4.3.3型式檢驗(yàn)抽樣型式檢驗(yàn)抽樣數(shù)一臺(tái)，從出廠檢驗(yàn)的合格品中隨機(jī)抽取。4.3.4型式檢驗(yàn)合格判定檢驗(yàn)項(xiàng)目全部合格判定型式檢驗(yàn)合格。5一般要求5.1組成和分類(lèi)IC類(lèi)半導(dǎo)體固晶機(jī)主要由固晶模塊、軟件模塊、光學(xué)模塊、電路模塊、氣路模塊等組成。固晶模塊光學(xué)模塊電路模塊軟件模塊氣路模塊6T/SZBSIA0004-2022按相關(guān)產(chǎn)品分類(lèi)方法處理。5.2檢查條件有約定的按約定要求執(zhí)行。5.3檢測(cè)工具檢測(cè)采用時(shí)間的計(jì)量器具經(jīng)計(jì)量部門(mén)鑒定合格，并在有限期內(nèi)其精度與檢驗(yàn)項(xiàng)目相適應(yīng)。5.4檢測(cè)內(nèi)容6檢驗(yàn)方法及判定依據(jù)6.1檢驗(yàn)準(zhǔn)備打開(kāi)空氣開(kāi)關(guān)打開(kāi)UPS電源開(kāi)關(guān)打開(kāi)機(jī)械電器設(shè)→備開(kāi)關(guān)ON打開(kāi)工控機(jī)開(kāi)關(guān)點(diǎn)擊系統(tǒng)復(fù)位如無(wú)特別規(guī)定，一般用目視檢驗(yàn)外觀或按樣板檢驗(yàn)。T/SZBSIA0004-20226.3加工及裝配檢驗(yàn)依GB/T14233-2008中5.2的規(guī)定進(jìn)行。6.4整機(jī)性能檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)：1500-2000脈沖方法：系統(tǒng)復(fù)位后，依次打開(kāi)“位置調(diào)節(jié)/Z軸”，查看“工作高度”欄里的數(shù)據(jù)是否在要求的范圍內(nèi)。6.4.1.2擺臂上下固晶位置方法：系統(tǒng)復(fù)位后，依次打開(kāi)“位置調(diào)節(jié)/U軸/”，查看“固晶位1、固晶位2”欄里的數(shù)據(jù)是否在要求的范圍內(nèi)。6.4.1.3擺臂上下吸晶位置標(biāo)準(zhǔn)：比固晶位大500-1500脈沖方法：系統(tǒng)復(fù)位后，依次打開(kāi)“位置調(diào)節(jié)/U軸/”，找到“吸晶位”欄里的數(shù)據(jù)，用其依次減去兩個(gè)固晶位的數(shù)值，看是否在要求6.4.1.4擺臂上下預(yù)備位置標(biāo)準(zhǔn)：比固晶位小4000脈沖以上8T/SZBSIA0004-2022方法：系統(tǒng)復(fù)位后，依次打開(kāi)“位置調(diào)節(jié)/U軸”，找到“預(yù)備位”欄里的數(shù)據(jù)，依次兩個(gè)固晶位的數(shù)值減去預(yù)備位的數(shù)值與40006.4.1.5點(diǎn)膠上下的點(diǎn)膠位置標(biāo)準(zhǔn)：1200-1400脈沖。方法：系統(tǒng)復(fù)位后，依次打開(kāi)“位置調(diào)節(jié)/Q軸”，分別查看“點(diǎn)膠位1、點(diǎn)膠位2”欄里的數(shù)據(jù)是否在要求的范圍內(nèi)。6.4.1.6點(diǎn)膠前后的點(diǎn)膠位置方法：系統(tǒng)復(fù)位后，依次打開(kāi)“位置調(diào)節(jié)/R軸”，分別查看“點(diǎn)膠位”，加堿10個(gè)脈沖是否能動(dòng)。6.4.1.7點(diǎn)膠前后的粘膠位位置標(biāo)準(zhǔn)：點(diǎn)膠頭點(diǎn)在膠杯槽的中間位置方法：目視點(diǎn)膠頭看是否點(diǎn)在膠杯槽的中間。6.4.1.8擺臂死位標(biāo)準(zhǔn)：在吸晶位、固晶位分別加堿4個(gè)脈沖擺臂不動(dòng)（電機(jī)直驅(qū)，無(wú)死位設(shè)置）方法：系統(tǒng)復(fù)位后，依次打開(kāi)“位置調(diào)節(jié)/W軸”，找到“吸晶位、固晶位”欄的數(shù)值分別加堿4個(gè)脈沖擺臂不動(dòng)。6.4.1.9B、C處工作臺(tái)是否正常方法：系統(tǒng)復(fù)位后，a、依次打開(kāi)“IO診斷/輸入信號(hào)”；9T/SZBSIA0004-2022b、找到限位光電位置；c、用物體在限位光電位置來(lái)回?fù)u動(dòng)，看相應(yīng)的位置是否有顏色變化，同時(shí)ON/OFF的相互切換。6.4.1.10夾具開(kāi)關(guān)標(biāo)準(zhǔn)：夾具開(kāi)關(guān)正常方法：系統(tǒng)復(fù)位后，依次打開(kāi)“IO診斷/輸入信號(hào)”，分別用鼠標(biāo)點(diǎn)擊“夾具1中支架定位”、“夾具2中支架定位”和“支架固定”，同時(shí)目視機(jī)械夾具區(qū)是否有松開(kāi)、加緊的狀況。6.4.1.11U軸正限位標(biāo)準(zhǔn)：觸點(diǎn)探測(cè)有效方法：系統(tǒng)復(fù)位后，用手搬動(dòng)擺臂，同時(shí)用鼠標(biāo)依次打開(kāi)“IO6.4.1.12XY平臺(tái)工作范圍標(biāo)準(zhǔn)：XY限位范圍內(nèi)晶框不能與其他機(jī)構(gòu)相撞，且半徑為方法：a、系統(tǒng)復(fù)位后，依次點(diǎn)擊“系統(tǒng)參數(shù)”/“設(shè)備”，目視“XY平臺(tái)工作半徑”欄讀取數(shù)值并對(duì)照標(biāo)準(zhǔn)是否合格；“開(kāi)始驗(yàn)證在開(kāi)始“驗(yàn)證過(guò)程”中目視晶框是否與其它機(jī)構(gòu)相撞。方法：目視夾料口至料盒支架間隙要下多上少，至夾具時(shí)要上10T/SZBSIA0004-20226.4.1.14料盒及軌道標(biāo)準(zhǔn)：料盒上下要順暢，切換料盒時(shí)正確方法：系統(tǒng)復(fù)位后，打開(kāi)“位置調(diào)節(jié)”，點(diǎn)擊相應(yīng)的料盒命令，6.4.1.15調(diào)節(jié)桿與調(diào)節(jié)機(jī)米是否緊固方法：目視有無(wú)加螺紋固定膠。標(biāo)準(zhǔn)：XY方向位置度偏差控制在±0.025mm以內(nèi)；旋轉(zhuǎn)角度控制在±3度以內(nèi)方法：固晶好的支架使用投影儀測(cè)量XY方向位置偏差，以及旋轉(zhuǎn)角度。6.4.2軟件模塊檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)：與軟件參數(shù)表一致方法：點(diǎn)擊“軟件參數(shù)”并用配套的軟件參數(shù)表對(duì)照。6.4.3光學(xué)模塊檢驗(yàn)6.4.3.1鏡頭同軸度、垂直度標(biāo)準(zhǔn)：調(diào)節(jié)放大倍數(shù)影像不偏移、鏡頭垂直b、找到鏡頭調(diào)節(jié)座，調(diào)節(jié)焦距放大倍數(shù)目視影像有無(wú)偏移不垂直。6.4.3.2輔助側(cè)燈是否照正頂針帽中心11T/SZBSIA0004-2022方法：目視其有無(wú)照正頂針帽中心。標(biāo)準(zhǔn)：切換UPS開(kāi)關(guān)機(jī)臺(tái)能正常運(yùn)行方法：切換UPS開(kāi)關(guān)，檢查機(jī)臺(tái)能否正常運(yùn)行。6.4.4.2散熱風(fēng)扇運(yùn)轉(zhuǎn)是否正常標(biāo)準(zhǔn)：風(fēng)扇運(yùn)轉(zhuǎn)勻速、無(wú)雜音方法：停止機(jī)臺(tái)運(yùn)行，并找到風(fēng)扇，目視其運(yùn)轉(zhuǎn)是否勻速，聽(tīng)其是否有雜音。標(biāo)準(zhǔn)：進(jìn)出料時(shí)，光纖信號(hào)有效時(shí)是否能正常運(yùn)行方法：系統(tǒng)復(fù)位后a、打開(kāi)“位置調(diào)節(jié)”點(diǎn)擊相應(yīng)的進(jìn)、出料命能正常運(yùn)行；b、打開(kāi)“IO診斷/輸入信號(hào)”，用物體在限位光電位置來(lái)回?fù)u看相應(yīng)的位置是否有顏色變化，同時(shí)有ON/OFF的相互切換。依GB/T14233-2008中5.3和GB/T5932-2015中3.2條規(guī)定進(jìn)行。方法：運(yùn)行各氣缸所在的機(jī)械部位，目視平穩(wěn)、順暢。12T/SZBSIA0004-20226.4.5.2正壓表、負(fù)起壓表的設(shè)定值方法：找到兩表位置直接讀取數(shù)值并與標(biāo)準(zhǔn)對(duì)比。6.4.5.3正負(fù)氣路是否漏氣沒(méi)有變化則不漏氣OK。6.4.6噪聲要求依GB/T15248.3的規(guī)定進(jìn)行。a）依GB/T3224.1-2019中18.2.2條規(guī)定檢驗(yàn)電路的連續(xù)性；b）依GB/T3224.1-2019中18.3條規(guī)定檢驗(yàn)動(dòng)力裝置的絕緣電阻；c）依GB/T3224.1-2019中9.2.3.4、10.5.1、10.5.2條規(guī)定檢驗(yàn)設(shè)備的緊急停止。13T/SZBSIA0004-2022附錄A(資料性附錄)工能區(qū)防誤入檢測(cè)（選配功能）A1:工能區(qū)防誤入探測(cè)a)無(wú)需試件；b)打開(kāi)門(mén)板或者伸手進(jìn)入光電感應(yīng)區(qū)域內(nèi)；c)多次開(kāi)關(guān)門(mén)板或多次伸手進(jìn)入光電感應(yīng)區(qū)域內(nèi)進(jìn)行測(cè)試，記錄固晶機(jī)是否停止運(yùn)行。14T/SZBSIA0004-202215T/SZBSIA0004-2022附錄B(規(guī)范性附錄)定位精度檢測(cè)B.1檢測(cè)方法a)在試驗(yàn)空間內(nèi)規(guī)劃滿足檢測(cè)要求的測(cè)量路徑，標(biāo)定標(biāo)準(zhǔn)點(diǎn)；b)固晶機(jī)內(nèi)部結(jié)構(gòu)按預(yù)設(shè)路徑運(yùn)動(dòng)，標(biāo)準(zhǔn)點(diǎn)至實(shí)際點(diǎn)的偏差角c)負(fù)載狀態(tài)下檢測(cè)3-5次。B.2計(jì)算方法a)計(jì)算固晶機(jī)標(biāo)準(zhǔn)點(diǎn)至實(shí)際點(diǎn)的平均偏差角度：ba-平均偏差角度，單位為°;b1-第1次偏差角度，單位為°;b2-第2次偏差角度，單位為°;bn-第n次偏差角度，單位為°;n-檢測(cè)次數(shù)。16T/SZBSIA0004-2022附錄C(資料性附錄)C.1噪聲檢測(cè)應(yīng)滿足的條件a）測(cè)量?jī)x器不被其他偶然的其他聲源所干擾；b）應(yīng)使用滿足GB/T3785.1中規(guī)定的噪聲分析系統(tǒng)或者其他性能相當(dāng)?shù)臏y(cè)量?jī)x器。17T/SZBSIA0004-2022C.2噪聲檢測(cè)方法C2.1基準(zhǔn)體和測(cè)試點(diǎn)C2.1.2基準(zhǔn)體宜選用固定固晶設(shè)備