粉末冶金法制備Mo-Ti合金靶材的工藝研究

粉末冶金法制備Mo-Ti合金靶材的工藝研究

摘要：

Mo-Ti合金是一種具有重要應(yīng)用價(jià)值的材料，廣泛應(yīng)用于航空航天、電子、化工等領(lǐng)域。本研究采用粉末冶金法制備Mo-Ti合金靶材，通過(guò)優(yōu)化工藝參數(shù)，研究了合金的相組成、顯微組織以及物理性能，并對(duì)制備過(guò)程中的問(wèn)題進(jìn)行了分析和探討。結(jié)果表明，采用粉末冶金法可以有效制備出具有良好性能的Mo-Ti合金靶材。

關(guān)鍵詞：粉末冶金法；Mo-Ti合金；靶材；工藝研究

1.引言

Mo-Ti合金是一種由鉬和鈦元素組成的合金材料，具有高強(qiáng)度、高熔點(diǎn)、耐熱性和耐腐蝕性等優(yōu)異性能，被廣泛應(yīng)用于航空航天、電子、化工等領(lǐng)域。目前，制備Mo-Ti合金的方法主要包括熔融冶金、物理氣相沉積等，然而這些方法存在著一些局限性，如高成本、低利用率等。粉末冶金法由于其低成本、高效率和可控性等優(yōu)勢(shì)，成為了制備Mo-Ti合金靶材的有力工具。

2.實(shí)驗(yàn)材料和方法

2.1材料準(zhǔn)備

選取高純度的鉬粉和鈦粉作為原料，通過(guò)球磨機(jī)進(jìn)行混合，并在真空環(huán)境中進(jìn)行干燥，以確保材料的純凈度和無(wú)氧化現(xiàn)象。

2.2粉末冶金制備

將混合后的鉬粉和鈦粉壓制成坯體，然后在保護(hù)氣氛中進(jìn)行燒結(jié)，最后通過(guò)冷壓力機(jī)進(jìn)行成型。

2.3工藝參數(shù)優(yōu)化

針對(duì)不同的工藝參數(shù)，如燒結(jié)溫度、壓力等，進(jìn)行實(shí)驗(yàn)優(yōu)化，以獲得最佳的制備結(jié)果。

3.結(jié)果與討論

3.1組織結(jié)構(gòu)表征

通過(guò)掃描電子顯微鏡（SEM）觀察了制備后的Mo-Ti合金靶材的表面形貌。結(jié)果顯示，合金表面均勻致密，無(wú)顯著的孔洞和裂紋。

3.2相組成分析

通過(guò)X射線衍射儀（XRD）對(duì)合金樣品進(jìn)行分析，得到了其相組成。結(jié)果顯示，合金主要由Mo和Ti相組成，無(wú)明顯的雜質(zhì)相。

3.3力學(xué)性能測(cè)試

對(duì)制備后的合金樣品進(jìn)行硬度測(cè)試，結(jié)果顯示，Mo-Ti合金具有適當(dāng)?shù)挠捕群蛷?qiáng)度，滿足了應(yīng)用的要求。

4.結(jié)論

通過(guò)粉末冶金法制備了Mo-Ti合金靶材，并對(duì)工藝參數(shù)進(jìn)行了優(yōu)化。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，采用粉末冶金法可以有效制備出具有良好性能的Mo-Ti合金靶材。本研究對(duì)于Mo-Ti合金靶材的制備工藝提供了一定的參考價(jià)值，為該合金的應(yīng)用提供了有力的支持。

本研究通過(guò)粉末冶金法成功制備了Mo-Ti合金靶材，并對(duì)其進(jìn)行了結(jié)構(gòu)表征、相組成分析和力學(xué)性能測(cè)試。結(jié)果顯示，制備出的合金表面均勻致密，無(wú)明顯缺陷；主要由Mo和Ti相組成，無(wú)明顯的雜質(zhì)相；具有適當(dāng)?shù)挠捕群蛷?qiáng)度，滿足了應(yīng)用的要求。通過(guò)優(yōu)化工藝參數(shù)，實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明粉末冶金法能夠有效制備出具有