深紫外-可見微區(qū)吸收光譜測試顯微鏡使用說明

深紫外-可見微區(qū)吸收光譜測試顯微鏡使用說明管理員：黃貴龍黃永強(qiáng)基本曲線定義：樣品透射曲線：光源透過樣品后被光譜儀收集到的曲線。襯底透射曲線：光源透過襯底后被光譜儀收集到的曲線（可以樣品旁空白區(qū)域、空襯底）。樣品反射曲線：光源被樣品反射后光譜儀收集到的曲線。襯底反射曲線：光源被襯底反射收集的曲線（可以是樣品旁區(qū)域、空襯底）。反射鏡反射曲線：光源經(jīng)過標(biāo)準(zhǔn)反射鏡反射收集的曲線。反射鏡反射率：標(biāo)準(zhǔn)反射鏡的反射率。從校準(zhǔn)文件中讀取。暗背景：阻擋所有光源到達(dá)光譜儀，光譜儀測量環(huán)境本身得到的曲線，用于扣除影響?；緮?shù)據(jù)處理方法：透射光譜：樣品透過光強(qiáng)與襯底透過光強(qiáng)的比值。反射光譜：a、樣品反射光與襯底反射光比值。b、樣品反射光與反射鏡反射光比值。相對吸收光譜（差分透射、差分反射）：樣品與襯底透射曲線（或反射曲線）的差值除以襯底的透過曲線（或反射曲線）。樣品厚度需要小于10nm、均一透明。絕對吸收光譜：1-T（透射率）-R（反射率），樣品厚度300nm以內(nèi)、雙拋透明均一。偏振吸收光譜：旋轉(zhuǎn)偏振片改變透射光偏振方向，分別測量相對吸收（差分透射）光譜。光譜計(jì)算需要收集的數(shù)據(jù)：透射光譜反射光譜相對吸收（透射）相對吸收（反射）絕對吸收樣品透射曲線???襯底透射曲線???樣品反射曲線???襯底反射曲線?（部分）??反射鏡反射曲線?（部分）?反射鏡反射率?暗背景?????曲線命名處理（參考命名方式，方便分辨）：原始數(shù)據(jù)計(jì)算結(jié)果樣品透射曲線Sample-t-XX樣品透射光譜Sample-t-XX襯底透射曲線Back-r-XX樣品反射光譜Sample-r-XX樣品反射曲線Sample-t-XX樣品相對吸收（透射）Sample-ABS-DiffT-XX襯底反射曲線Back-r-XX樣品相對吸收（反射）Sample-ABS-DiffR-XX反射鏡反射曲線Backm-XX樣品絕對吸收Sample-ABS-Tot-XX反射鏡反射率UVAL偏振吸收光譜10°ABS10暗背景Dark-XX偏振吸收光譜350°ABS350*Sample可替換為測試樣品的標(biāo)識，XX為光譜儀標(biāo)識（如UV、NIR）開機(jī)順序：總電源（機(jī)架后面板）-LED指示燈光源-光譜儀控制器-NIR光譜儀-電腦主機(jī)-刷卡-開軟件相機(jī)軟件操作：打開軟件ImageVIew，點(diǎn)擊相機(jī)列表顯微鏡操作：將樣品放置樣品臺，打開照明光源聚焦清楚（反射光路6圓指示燈清晰），調(diào)節(jié)聚焦物鏡底座XYZ軸，使透射光斑聚焦清楚并與6圓重合。反射光路理想聚焦情況透射光路理想聚焦情況非理想聚焦情況（左Z偏離，右XY偏離）撥桿位置透反射光譜測試各個撥桿擋位（如圖、表）測量方式UV-VIS透射UV-VIS反射NIR透射NIR反射透射光快門開關(guān)開關(guān)落射照明器DF（空擋）DF（空擋）DF（空擋）DF（空擋）成像光路EmptyEmptyEmptyEmpty反射入光光路（轉(zhuǎn)盤）空擋VIS空擋NIR光譜收集（UV-VIS）FiberFiberEmptyEmpty光譜收集（NIR）EmptyEmptyFiberFiber關(guān)閉LED指示燈，成像所有光路打至Empty、空擋，光譜儀分別采集暗背景，扣除暗背景設(shè)備選擇對應(yīng)光譜儀，擋位選擇如上表所示。選擇光譜測試平均次數(shù)100次單次采譜，分別采集樣品、亮