傳感器與檢測技術(shù) 07 電感式傳感器

1.掌握三種電感式傳感器工作原理及結(jié)構(gòu)性能2.掌握其測量電路3.了解電感式傳感器的應(yīng)用第七章電感式傳感器傳感器與檢測技術(shù)返回課程索引電感式傳感器是利用線圈自感或互感的變化來實現(xiàn)測量的一種裝置?？梢杂脕頊y量位移、振動、壓力、流量、重量、力矩、應(yīng)變等多種物理量。第七章電感式傳感器分類:電感式傳感器自感式互感式變氣隙間距型變氣隙截面積型螺管型可變磁阻型渦流式高頻反射型低頻透射型差動變壓器感應(yīng)同步器7.1自感式電感傳感器

1、工作原理

線圈自感L與氣隙δ成反比，而與氣隙導(dǎo)磁截面積A成正比。

第七章電感式傳感器根據(jù)法拉第的電磁感應(yīng)定律，線圈的電感值可按下式計算由于改變δ或A，都是使空氣隙的磁阻發(fā)生變化，因此自感式傳感器也稱為變磁阻式傳感器。7.1自感式傳感器7.1.1變氣隙厚度式自感傳感器當(dāng)銜鐵產(chǎn)生位移時，空氣隙厚度δ發(fā)生變化，從而使電感值發(fā)生變化。靈敏度由圖可以看出，L＝f（δ）是非線性的。δLδ0L007.1自感式傳感器利用泰勒展開式經(jīng)線性化后靈敏度當(dāng)銜鐵位移Δδ<<δ0

時，可用泰勒展開式對上式進行線性化處理當(dāng)Δδ較小時，輸出的線性度較高，但是隨著Δδ的增大，非線性誤差急劇增大。由于輸出特性的非線性和銜鐵上、下向移動時電感量正、負變化量的不對稱性，使得變氣隙型傳感器只能工作在很小的區(qū)域內(nèi)，只能用于微小位移的測量：0.001～1mm。靈敏度K和非線性誤差均與初始氣隙的厚度δ0成反比，即初始氣隙的厚度越小，靈敏度越高，非線性誤差也越大。由此可見，對于變氣隙型電感式傳感器，提高靈敏度與減小非線性誤差是矛盾的。7.1自感式傳感器7.1自感式傳感器在實際工作中，為了提高測量靈敏度和減小非線性誤差，通常采用差動結(jié)構(gòu)。將這兩個差動線圈接入相應(yīng)的測量電路，測量電路的輸出與兩個差動線圈電感量的總變化量ΔL＝ΔL1-ΔL2成正比。7.1自感式傳感器靈敏度：當(dāng)構(gòu)成差動式電感傳感器時，輸出與不存在偶次項，因此差動式電感傳感器的非線性明顯改善。7.1.2螺管式自感傳感器7.1自感式傳感器結(jié)構(gòu)簡單、制造容易，但靈敏度低，適用于較大位移(數(shù)毫米)測量。

工作原理：銜鐵隨被測體沿軸向移動，磁路的磁阻發(fā)生變化，從而使線圈的電感量發(fā)生變化。單螺管型線圈的電感量取決于銜鐵插入的深度x，而且隨著銜鐵插入深度的增加而增大。7.1自感式傳感器當(dāng)銜鐵的插入長度x增加△x時，單線圈螺線管型自感式傳感器的靈敏度為實際上由于線圈內(nèi)部的磁場是不均勻的，電感量的增量ΔL與△x存在著一定的非線性。為提高靈敏度和線性度，螺線管型自感式傳感器常采用差動結(jié)構(gòu)。7.1自感式傳感器雙螺管型差動型等效電路將傳感器兩線圈接于電橋的相鄰橋臂時，其輸出靈敏度可提高一倍，并改善了非線性特性，補償干擾影響。

特性曲線差動式結(jié)構(gòu)的靈敏度比單線圈結(jié)構(gòu)的靈敏度提高了約一倍。差動式結(jié)構(gòu)的線性要比單線圈結(jié)構(gòu)的線性好，非線性誤差約減小一個數(shù)量級。在差動式結(jié)構(gòu)中，由于兩個電感線圈對稱放置，其工作條件基本相同，對銜鐵的電磁吸力在很大程度上可以互相抵消，溫度變化、電源波動、外界干擾的影響也可在很大程度上可相互抵消。7.1自感式傳感器7.1.3變面積式自感傳感器7.1自感式傳感器靈敏度工作原理：變截面型自感式傳感器的結(jié)構(gòu)如圖所示，銜鐵上下移動時，將使氣隙截面積A發(fā)生變化，從而使線圈的電感量L發(fā)生變化。7.1自感式傳感器差動變面積型變面積式自感傳感器常用于角位移的測量。采用差動結(jié)構(gòu)可以提高靈敏度約一倍左右。采用差動結(jié)構(gòu)不會減小非線性誤差。靈敏度為常數(shù)輸出特性為線性，因此測量范圍大。要提高靈敏度，氣隙厚度δ不能過大。變氣隙截面積型自感式傳感器的特點：7.1.4、自感式傳感器的測量電路傳感器線圈不僅具有電感，而且線圈導(dǎo)線具有一定的電阻，因此自感傳感器的線圈可以用復(fù)阻抗Z等效，常用測量電路有交流電橋、變壓器式交流電橋、諧振電路。交流電橋?qū)⒅绷麟姌虻碾娮鑂用阻抗Z代替，阻抗寫成矢量形式，則交流電橋平衡條件為：

7.1自感式傳感器交流電橋有不同的組合，常用的有電容、電感電橋，其相鄰兩臂接入電阻，而另外兩臂接入相同性質(zhì)的阻抗，例如都是電容或電感。

a)電容電橋 b)電感電橋

7.1自感式傳感器純電阻的交流電橋，為了減小導(dǎo)線之間形成的分布電容的影響，也須進行電阻和電容的平衡調(diào)節(jié)。交流電阻電橋

7.1自感式傳感器變壓器電橋的特性輸出電壓輸出電壓的大小和極性反映了被測量的性質(zhì)（如位移的大小及方向）。7.1自感式傳感器7.1自感式傳感器當(dāng)銜鐵偏離中間位置，向上或向下移動同樣大小的位移時，可獲得大小相等、方向相反（即相位差180°）的輸出電壓。交流電橋的輸出電壓為交流電壓，若采用一般的交流電壓表測量，僅能反映鐵芯位移的大小，不能反映鐵芯位移的方向。在實際測量中，往往要求測量儀表不僅能反映鐵芯位移的大小，而且還能反映鐵芯位移的方向，這時需采用相敏整流（檢波）電路。7.1自感式傳感器圖示是一種帶相敏整流的電橋電路的原理。電橋由差動自感式傳感器的兩個線圈及平衡阻抗Z3、Z4組成，一般取Z3＝Z4＝Z，Z1和Z2為差動自感式傳感器的兩個線圈的阻抗。7.1自感式傳感器無論電源電壓Us處于正半周還是負半周，當(dāng)銜鐵處于中間位置時，輸出電壓UO為零；當(dāng)銜鐵偏離中間位置上移時，UO為正；當(dāng)銜鐵偏離中間位置下移時，UO為負。因此，帶相敏整流的電橋電路，其輸出電壓不僅能反映鐵芯位移的大小，還能反映鐵芯位移的方向。實際相敏整流電橋電路7.1自感式傳感器7.1.5、自感式傳感器的誤差補償電源電壓和頻率的波動直接影響傳感器的輸出電壓，同時還會引起傳感器鐵芯磁感應(yīng)強度B和導(dǎo)磁率μ的改變，導(dǎo)致鐵芯磁阻發(fā)生變化，因而使測量產(chǎn)生誤差。對電源采取穩(wěn)壓、穩(wěn)頻、屏蔽、加濾波電容等措施，可減弱或消除電源的影響。鐵芯磁感應(yīng)強度的工作點一定要選在磁化曲線的線性段，以免在電源電壓波動時，鐵芯磁感應(yīng)強度進入飽和區(qū)而使導(dǎo)磁率發(fā)生很大變動。電源電壓和頻率的波動影響7.1自感式傳感器溫度變化的影響為了補償溫度變化的影響，在結(jié)構(gòu)設(shè)計時要合理選擇零部件的材料和幾何尺寸，注意各種材料的熱膨脹系數(shù)之間的配合。在制造和裝配工藝上應(yīng)使差動式傳感器的兩只線圈的電氣參數(shù)（電阻、電感、匝數(shù)）和幾何尺寸盡可能一致。采用對稱的電橋電路也能有效地補償溫度的影響。7.1自感式傳感器零點殘余電壓及其補償在電橋預(yù)平衡時，無法實現(xiàn)平衡，最后總要存在著某個輸出值ΔU0，這稱為零點殘余電壓應(yīng)在設(shè)計制造時采取措施，保證兩電感線圈的對稱。采用帶相敏整流的電橋電路作測量電路，其輸出電壓不僅能反映鐵芯位移的大小和方向，而且還能消除零點殘余電壓的影響。7.2互感式電感傳感器

互感式電感傳感器是利用電磁感應(yīng)中的互感現(xiàn)象,將非電量轉(zhuǎn)換為線圈間互感M的一種磁電機構(gòu)。由于很象變壓器的工作原理，且常采用兩個次級線圈組成差動式，故又稱差動變壓器式傳感器。實際中多采用螺管線圈型差動變壓器。第七章電感式傳感器7.2.1、工作原理

7.2差動變壓器7.2差動變壓器差動變壓器的輸出電壓幅值u2與鐵芯位移△x的關(guān)系如圖所示，具有V形特性。如果以適當(dāng)方法測量u2，就可以得到反映位移△x大小的量值。（下圖為無相敏整流的輸出電壓波形）7.2差動變壓器7.2.2、差動變壓器的結(jié)構(gòu)螺線管型差動變壓器有多種結(jié)構(gòu)型式。按線圈繞組排列方式的不同，可分為二節(jié)式、三節(jié)式、四節(jié)式、五節(jié)式等類型。7.2差動變壓器7.2.3、差動變壓器的等效電路空載輸出電壓為其有效值為7.2差動變壓器螺管型差動變壓器的輸出電壓幅值為b、m、d、Lc、R、r為傳感器的結(jié)構(gòu)參數(shù)；xa、xb分別為銜鐵伸入兩次級線圈內(nèi)的長度。W1、W2分別為初級線圈和次級線圈的匝數(shù)。7.2差動變壓器7.2.4、差動變壓器的靈敏度和線性度差動變壓器的靈敏度KE用銜鐵移動單位位移時輸出電壓的變化來表示，單位為V／mm。也可用在單位激勵電壓下銜鐵移動單位位移時輸出電壓的變化來表示，單位為mV／mm·V。差動變壓器的輸出特性存在非線性。差動變壓器的非線性誤差與量程Δxmax有關(guān)，Δxmax越大，非線性誤差也越大?？紤]到這種因素，差動變壓器實際的測量范圍約為線圈全長的1／10左右。7.2差動變壓器7.2.5、差動變壓器的勵磁頻率與電壓在理想條件下，差動變壓器的靈敏度KE正比于勵磁頻率f。實際工作中諸多因素的影響：如結(jié)構(gòu)的不對稱，鐵損、漏磁的存在，鐵芯和導(dǎo)磁外殼的磁導(dǎo)率并非無窮大，負載阻抗的存在等等，使差動變壓器不可能保證理想條件，因此，靈敏度KE與f存在非線性關(guān)系。7.2差動變壓器一般取差動變壓器的勵磁頻率f0

＝（1～1.4）fe，約為400Hz～100kHz較為適當(dāng)。頻率太低時，差動變壓器的靈敏度顯著降低，溫度誤差和頻率誤差增加。頻率太高時，鐵損和耦合電容等的影響增加。

7.2差動變壓器靈敏度KE與勵磁電壓U1的實際關(guān)系曲線如圖所示，由圖可見具有線性關(guān)系。提高勵磁電壓，可使靈敏度線性增加。由于差動變壓器的允許功耗一般限制在1W左右，所以勵磁電壓一般取3～8V。7.2差動變壓器7.2.6、零點殘余電壓7.2差動變壓器與電感傳感器相似，差動變壓器也存在零點殘余電壓問題。零點殘余電壓的存在使得傳感器的特性曲線不通過原點，并使實際特性不同于理想特性。原因在于：由于兩個次級線圈結(jié)構(gòu)上的不對稱，引起兩個次級感應(yīng)電動勢的幅值平衡點與相位平衡點兩者不重合。由于鐵芯材料B—H曲線的非線性導(dǎo)致輸出電壓中含高次諧波。勵磁電壓波形中有高次諧波。7.2差動變壓器圖所示為一些常用補償電路。調(diào)整電位器RP，可使零點殘余電壓為最小值。7.2.7、測量電路傳感器輸出電壓反映了位移的大小及方向，但因為交流信號，只有接入相應(yīng)電路（差動整流、相敏檢波等），才能提取出這兩種信息。傳感器輸出存在一定的零點殘余電壓，即銜鐵位于中間位置時輸出不為零。因此，其后接電路應(yīng)采用既能反映鐵芯位移大小及極性，又能補償零點殘余電壓的差動整流輸出電路。

7.2差動變壓器全波差動整流電路及波形圖7.2差動變壓器當(dāng)鐵芯處于零位，輸出電壓波形如何變化？載波上半周上線圈載波上半周下線圈載波上半周總輸出載波下半周上線圈載波下半周下線圈載波下半周總輸出當(dāng)鐵芯上移，輸出電壓波形如何變化？載波上半周上線圈載波上半周下線圈載波上半周總輸出載波下半周上線圈載波下半周下線圈載波下半周總輸出7.2差動變壓器7.2差動變壓器當(dāng)鐵芯下移，輸出電壓波形如何變化？載波上半周上線圈載波上半周下線圈載波上半周總輸出載波下半周上線圈載波下半周下線圈載波下半周總輸出7.2差動變壓器結(jié)論2：只要鐵芯處于零位以下，則不論載波是正半周還是負半周，輸出電壓uo都為負。結(jié)論1：只要鐵芯處于零位以上，則不論載波是正半周還是負半周，輸出電壓uo都為正。鐵芯在零位以下采用全波差動整流電路不僅可以辨別鐵芯位移的大小，而且可以辨別鐵芯位移的方向鐵芯在零位以上相敏檢波電路由二極管組成的橋式相敏檢波電路通過變壓器T1和T2分別作用有兩個信號u1和u2。7.2差動變壓器u1為輸入信號，在這里該信號取自差動變壓器的輸出信號，其幅值和相位隨鐵芯的位移不同而變化。u2為基準(zhǔn)參考信號。兩者頻率相同，數(shù)值上u2＞u1。7.2差動變壓器u1≠0時：

u1和u2同相位的情況下（假設(shè)鐵芯上移，且移相器相移為0），在u2的正半周時，電路中電壓極性如圖所示。在u2的正半周時，由于u2＞u1，VD3、VD4導(dǎo)通，VD1、VD2截止。作用在VD4兩端的電壓是作用在VD3兩端的電壓是i4＞i3在正半周中流過電表M的輸出電流的平均值將>07.2差動變壓器在u2的負半周時，VD1，VD2導(dǎo)通，VD3、VD4截止。i1＞i2在負半周中流過電表M的輸出電流的平均值也將>0所以在整個周期內(nèi)中流過電表M的輸出電流的平均值>07.2差動變壓器7.2差動變壓器u1和u2相位相反的情況（即鐵芯下移，且移相器的移相為0）：當(dāng)u2為正半周時，仍然是VD3、VD4導(dǎo)通，VD1、VD2截止，但i3＞i4，通過電流表的電流iM不為零且是負值。當(dāng)u2為負半周時，iM也是負的。結(jié)論1：只要鐵芯處于零位以上，則不論載波是正半周還是負半周，輸出電壓uo都為正。結(jié)論2：只要鐵芯處于零位以下，則不論載波是正半周還是負半周，輸出電壓uo都為負。相敏檢波電路可以由流過電表的平均電流的方向和大小，來鑒別差動變壓器鐵芯位移的方向和大小。7.2差動變壓器差動相敏檢波電路圖中的R用于調(diào)節(jié)零點殘余電壓的大小。7.2.8、特點和應(yīng)用差動變壓器式傳感器特點：精度高(0.1

m數(shù)量級，最高可達0.01

m)，高精度型非線性誤差可達0.1%線性范圍大（可達

100mm）穩(wěn)定性好，結(jié)構(gòu)簡單，使用方便因包含機械結(jié)構(gòu)，頻率響應(yīng)較低，不宜測量高頻動態(tài)參量。

廣泛應(yīng)用于直線位移，或能轉(zhuǎn)換為位移變化的壓力、重量等參數(shù)的測量。

7.2差動變壓器位移測量7.2差動變壓器基于位移測量的原理，還可應(yīng)用差動變壓器來測量一些能轉(zhuǎn)換為位移量的物理量。圖所示為浮子式液位計的工作原理圖。差動變壓器位移傳感器7.2差動變壓器壓力測量7.2差動變壓器差動變壓器和彈性敏感元件組合可以構(gòu)成壓力傳感器。圖所示為差動變壓器式壓力傳感器的結(jié)構(gòu)，它適用于測量各種生產(chǎn)過程中液體、水蒸氣及氣體的壓力。在該傳感器中采用波紋膜盒作為敏感元件，將壓力轉(zhuǎn)換為位移。DDZ-Ⅲ型電動力矩平衡壓力變送器示意圖1—測量膜片；2—軸封膜片；3—主杠桿；4—矢量機構(gòu)5—量程調(diào)整螺釘；6—連桿；7—副杠桿；8—檢測片（銜鐵）；9—差動變壓器；10—反饋動圈；11—放大器；12—調(diào)零彈簧；13—永久磁鋼7.2差動變壓器7.3電渦流式傳感器

1、工作原理:電渦流效應(yīng)第七章電感式傳感器線圈金屬電渦流當(dāng)金屬導(dǎo)體置于交變的磁場中時，導(dǎo)體內(nèi)要產(chǎn)生感應(yīng)電動勢而形成電流，該電流的流線在導(dǎo)體內(nèi)自動閉合，通常稱之為電渦流。這種現(xiàn)象稱為電渦流效應(yīng)。交變的磁場H1產(chǎn)生電渦流i2，而i2反過來又產(chǎn)生一個與H1相反的磁場H2，減弱H1。線圈與金屬導(dǎo)體之間還存在磁效應(yīng)，在金屬導(dǎo)體中產(chǎn)生磁滯損耗，形成了交變磁場的能量損失。所以，線圈的等效阻抗Z的變化可用如下函數(shù)表示與距離x、線圈激勵電流的大小和頻率f、線圈的半徑r、金屬材質(zhì)ρ等參數(shù)有關(guān)7.3電渦流式傳感器7.3電渦流式傳感器若固定其中若干參數(shù)，就能按線圈等效阻抗Z的大小測量出另外一些參數(shù)。若其他參數(shù)固定，只改變距離x，可根據(jù)測量位移的變化線圈自感變化，如圖所示。若ρ(μ)改變，可進行探傷或材質(zhì)鑒別等。圖中R1和L1為傳感器線圈的等效電阻和等效電感;R2和L2為金屬導(dǎo)體中產(chǎn)生電渦流部分的電阻和電感;M為傳感器線圈與金屬導(dǎo)體之間的互感系數(shù)，E為激勵電壓。

2、等效電路7.3電渦流式傳感器可得線圈的等效阻抗為線圈的等效電阻為線圈的等效電感為7.3電渦流式傳感器線圈的等效阻抗、等效電阻、等效電感和等效品質(zhì)因數(shù)都是線圈與金屬導(dǎo)體系統(tǒng)互感系數(shù)M的平方的函數(shù)。根據(jù)麥克斯韋互感系數(shù)的基本公式，可知互感系數(shù)M是線圈與金屬導(dǎo)體間的距離x的非線性函數(shù)，且隨著x增大，M減小。對于確定的傳感器線圈和金屬導(dǎo)體來說，線圈的等效電阻R、等效電感L、等效阻抗Z和等效品質(zhì)因數(shù)Q均是x的單值函數(shù)。且Z＝F1（x）、R＝F2（x）、L＝F3（x）、Q＝F4（x）均是非線性函數(shù)。7.3電渦流式傳感器7.3電渦流式傳感器3.趨膚效應(yīng)：愈近導(dǎo)體表面電渦流強度越大。由上式可知：電渦流的滲透深度和電渦流式傳感器的激勵電流頻率f有關(guān)，激勵電流頻率越高，在導(dǎo)體中產(chǎn)生的渦流的趨膚效應(yīng)越顯著，則渦流的滲透深度越小，如圖所示金屬體內(nèi)電渦流強度等于金屬表面渦流強度的1／e處離表面的軸向距離，稱為軸向貫穿深度δ：因此渦流式傳感器可分為高頻反射式和低頻透射式兩類

高頻反射式電渦流式傳感器：激勵電流頻率>1MHz，產(chǎn)生的渦流主要集中在導(dǎo)體表面。

高頻反射式渦流傳感器多用于位移及與位移相關(guān)的厚度、振動等測量。圖為高頻電渦流傳感器測量金屬厚度的例子。7.3電渦流式傳感器低頻透射式渦流傳感器多用于測定材料厚度，以及進行金屬材料內(nèi)部的探傷檢測等。5.3電渦流式傳感器低頻透射式電渦流式傳感器：激勵頻率<音頻(20kHz),產(chǎn)生的渦流可以進入導(dǎo)體內(nèi)部。電渦流式傳感器的基本特性：

7.3電渦流式傳感器渦流貫穿深度有限；渦流強度與位移x存在非線性特性，當(dāng)x遠小于線圈半徑r時可近似認為是線性的；被測體必須達到一定的厚度要求，才不致于產(chǎn)生電渦流透射損耗，使傳感器具有較高的靈敏度；在應(yīng)用電渦流傳感器進行測量時，不屬于被測體的金屬物與線圈之間，至少要有一個線圈直徑的間隔。電渦流位移傳感器電渦流無損探傷儀4、測量電路：應(yīng)用最廣的是諧振式測量電路電渦流傳感器的等效電路可用己知電容C與傳感器線圈并聯(lián)，構(gòu)成LC并聯(lián)諧振回路。并聯(lián)諧振回路的諧振頻率為：被測參量的變化，使傳感器線圈的等效電感L發(fā)生變化，從而使并聯(lián)諧振回路的諧振頻率f發(fā)生變化，再通過測量電路變換為標(biāo)準(zhǔn)電壓或電流信號輸出。－調(diào)幅電路－調(diào)頻電路7.3電渦流式傳感器調(diào)幅電路傳感器由振蕩器提供高頻電源，測量時，傳感器等效電感隨x而改變，LC回路失諧，輸出信號頻率雖仍為電源頻率，但幅值隨x變化，即x對輸出信號存在調(diào)幅作用。7.3電渦流式傳感器當(dāng)被測金屬導(dǎo)體遠離傳感器線圈，并聯(lián)諧振電路處于諧振狀態(tài)時，并聯(lián)諧振電路的阻抗最大，電壓降U也最大，測量電路的輸出電壓u也就最大。當(dāng)被測導(dǎo)體靠近傳感器時，線圈的等效電感量發(fā)生變化，并聯(lián)諧振電路將失諧，并聯(lián)諧振電路的阻抗減小，電壓降U也減小，測量電路的輸出電壓u也就減小。7.3電渦流式傳感器調(diào)頻電路

以LC振蕩回路的諧振頻率作為輸出量。

位移的變化引起傳感器線圈電感的變化，而電感的變化導(dǎo)致振蕩器振蕩頻率的變化，以頻率的變化作為輸出量。調(diào)頻器：將調(diào)頻信號轉(zhuǎn)換為電壓信號輸出。

7.3電渦流式傳感器電渦流式傳感器的特點7.3電渦流式傳感器非接觸測量，干擾能力強；測量線性范圍大；靈敏度高，結(jié)構(gòu)簡單；不受油污等介質(zhì)的影響，應(yīng)用場合廣泛。第七章電感式傳感器7.4感應(yīng)同步器感應(yīng)同步器是應(yīng)用電磁感應(yīng)原理來測量直線位移或轉(zhuǎn)角位移的一種器件。測量直線位移的稱為直線感應(yīng)同步器，測量轉(zhuǎn)角位移的稱為圓感應(yīng)同步器。廣泛用于雷達天線定位、程控數(shù)控機床及高精度重型機床及加工中測量裝置等?？勺鞔蠓秶奈灰茰y量；制造成本低，安裝使用方便；對工作環(huán)境條件要求不高，抗干擾能力強；測量精度受到測量方法的限制（傳統(tǒng)測量方法的測量精度約為2～5μm）。

由定尺和滑尺組成，其繞組分布不同——定尺是連續(xù)繞組，滑尺則是分段繞組。分段繞組分為兩組，布置成在空間相差90

相角，又稱為正、余弦繞組。

直線型感應(yīng)同步器1、感應(yīng)同步器的基本結(jié)構(gòu)7.4感應(yīng)同步器定尺或滑尺其中一種繞組上通以交流激勵電壓，由于電磁耦合，在另一種繞組上就產(chǎn)生感應(yīng)電動勢，該電動勢隨定尺與滑尺的相對位置不同呈正弦、余弦函數(shù)變化。再通過對此信號的處理，便可測量出直線位移量。2、感應(yīng)同步器的工作原理7.4感應(yīng)同步器7.4感應(yīng)同步器直線型感應(yīng)同步器7.4感應(yīng)同步器2.工作原理定尺或滑尺其中一種繞組