MTF測試儀MASK文件編寫標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)書

文件編號QT-WI-MTF-101011文件名稱版本A1初版發(fā)行日期2011-05WOCMTF測試儀MASK文件編寫標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)書頁次PAGE1/5新版發(fā)行日期2014-12-05制作部門WOC事業(yè)部PAGE版次修訂理由與內(nèi)容摘要修訂頁次發(fā)行日期修訂人1.目的按照此操作標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)書進行WOCMTF測試儀測試過程中的MASK文件的編寫，以標(biāo)準(zhǔn)化作業(yè)流程，提高產(chǎn)品良率為目的。2.范圍3.名詞解釋Rectangular矩形（框）Circular圓形（框）4.職責(zé)4.1WOC事業(yè)部（生產(chǎn)）4.1.1負(fù)責(zé)按本操作標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)書之相關(guān)流程進行作業(yè)。4.2WOC事業(yè)部（工程）4.2.1負(fù)責(zé)本操作標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)書的制定,會簽，更新，發(fā)行。4.2.2負(fù)責(zé)對該種機臺操作人員的培訓(xùn)。5.作業(yè)流程圖無6.作業(yè)程序6.1打開軟件6.1.1打開電腦桌面上的圖標(biāo)名為“TrayGenerator”的軟件，進入軟件界面，如圖1和圖2圖1圖26.2作業(yè)步驟6.2.1打開后綴名為trg的文件：“File→open”，彈出對話框，選擇文件路徑，“C:\backup\QTQ3012300.trg”并打開，如圖3所示圖36.2.2打開文件后綴名為.tmf的文件，“Edit→LoadMask”，出現(xiàn)對話框，選擇文件路徑：“C:\Programfiles\TRIOPTICSGmbH\MTFPRO4softworeV2_x\TrayData”,打開“QTQ3012300Postbondalltest.tmf”如圖4、5，然后選擇圖形截取方式，Rectangular為矩形框，Circular為圓形框。如圖4、5所示:圖4圖56.2.3根據(jù)實際情況對mask文件進行編寫和修改。編寫完成后，通知領(lǐng)班或技術(shù)員對結(jié)果進行確認(rèn)。6.2.4點擊“Edit→Savemask”保存到“C:\Programfiles\TRIOPTICSGmbH\MTFPRO4softworeV2_x\TrayData”目錄下，并以下列格式命名：QTQ3012300PostBondalltest_LotID_waferID_設(shè)備編號_日期_編號設(shè)備編號：MTF01~MTF09編號：01~09表示mask文件分割的次數(shù)例如：QTQ3012300PostBondalltest_PL110101001_01A_MTF01_2011-05-0圖67.相關(guān)文件《WOCMTF