中微南昌刻蝕研發(fā)清洗設備項目環(huán)境影響報告表

建設項目環(huán)境影響報告表）： —98專業(yè)實驗室、研發(fā)目/否2））； 海洋直接向海排放污染物的海洋工程建設項目。不涉及不展開 瑤湖北岸組團電子信息和生物醫(yī)藥屬于園區(qū)的優(yōu)緊依靠優(yōu)勢產業(yè)為園區(qū)強化下游產根據國家相）；[2008]58號文中的高污規(guī)、政策的藥品研發(fā)、生產項目；政策中淘汰類的項目。源的項目，其風險源距離周邊居民區(qū)、學校等敏在符合各項環(huán)保要求的前提下做大做強產品延形成精深產本項目位于江西省南昌市南昌高新技術產業(yè)開發(fā)區(qū)光電路劃許可證（地字第360100202000007G用地文件見附件三析一、與《鼓勵外商投資產業(yè)目錄（2022年版）》、《產業(yè)結構調整指導目錄（2019年本及2021修訂版）》相符性件（項目統一代碼為：2310-360198-04-01-508087）。因此，該項項目選址于江西省南昌市南昌高新技術產業(yè)開發(fā)區(qū)光電路本項目選址不屬于生活飲用水源和地下水補給區(qū)、風景名勝），表1-3與《揮發(fā)性有機物（VOCs）污染防治技術政策揮發(fā)性有機物（VOCs）污染防治技術政策制含VOCs產品的使用過程中，應采率，減少廢氣的無組織排放與逸本項目含VOCs物后通過一根26m高用體技術或紫外光高級氧化技術等性代通過使用水性、粉末、高固體分、無溶劑、輻射固化等低VOCs含量的涂料，水性、輻射固化、植物基等低VOCs含量的油墨，水基、熱熔、無溶劑、輻射固化、改性、生物降解等低VOCs含量的膠粘劑，以及低VOCs含量、低反應活性的膠粘劑、清洗劑等，從源頭減少行業(yè)要加大源頭替代力度；化工行業(yè)要推廣使用低（無）VOCs含量、低反應活性的原輔材料，加快對芳香烴、含鹵素有機化合物的綠色替代。企業(yè)應大力推廣使用低VOCs含量木器涂料、車輛涂料、機械設備涂料、集裝箱涂料以及建筑物和構筑物防護涂料等，在技術成熟的行業(yè)，推廣使用低VOCs含量油墨前基本完成。鼓勵加快低VOCs含量涂料、油墨、膠粘劑等研發(fā)和生的含VOCs物料制敞開液面逸散以及工藝過程等五類排放源實施管控，通過采取設備與場所密閉、工藝改進、廢氣有效收物料應儲存于密閉容器、包裝袋，高效密封儲罐，封閉式儲庫、料倉等。封閉式儲庫、料倉等含VOCs物料轉移和輸送，應采用密閉管道或密閉容器、罐車等。含VOCs物料生產和使用過程，應采取有效收分質收集”的原則，科學設計廢氣收集系統，將無組織排放轉變?yōu)橛薪M織排放進行控制。采用全密閉集氣罩或密閉空間的，除行業(yè)有特殊要求外，應保持微負壓狀態(tài)，并根通過采用全密閉、連續(xù)化、自動化等生產技術，以及高效工藝與設備等，減少工藝過程無組織排放。工業(yè)涂裝行業(yè)重點推進使用緊湊式涂熱噴涂等涂裝技術，鼓勵企業(yè)采用自動化、智能化噴涂設備替代人工推進企業(yè)新建治污設施或對現有治污設施實施改造，應依據排放廢氣壓力，以及生產工況等，合理選擇治理技術。鼓勵企業(yè)采用多種技術低濃度、大風量廢氣，宜采用沸石轉輪吸附、活性炭吸附、減風增濃等濃縮技術，提高VOCs濃度后凈化處理；高濃度廢氣，優(yōu)先進行溶劑回收，難以回收的，宜采用高溫通過計量泵打且產生的EKC性炭吸附裝置”處理后通過一根26m高排氣實行重點排放源排放濃度與去除效率雙重控制。車間或生產設施收集等于2千克/小時的，應加大控制力度，除確保排放濃度穩(wěn)定達標外，還應實行去除效率控制，去除效率不低于80%；采用的原輔材料符合國家有關低VOCs含量產品規(guī)定的除外，有行業(yè)排放標準的按其相關本項目VOCs初始排放速率為小于2kg/h，經廢氣處理設施處理后排放濃射固化等低VOCs含量的涂料替代本項目含VOCs物料有含VOCs產品、含VOCs廢料以及有以及工藝過程等五類排放源實施管改進、廢氣有效收集等措施，削減企業(yè)新建治污設施或現有治污設施廢氣的產生量、污染物的組分和性治理設備必須同時設置前置采樣口用活性炭吸附工藝進行實施企業(yè)精細化管控。督促企業(yè)將動態(tài)檔案、制定泄漏檢測與修復和處置措施，納入企業(yè)應急預案體檢修等）報告與備案的環(huán)保管理規(guī)15.1.1VOCs物料應儲存于密閉本項目擬采用的本項目檢驗完成物料進行加蓋后25.1.2盛裝VOCs物料的容器或專用場地。盛裝VOCs物料的容器或包裝袋在非取用狀態(tài)時應36.1.1液態(tài)VOCs物料應采用密式轉移液態(tài)VOCs物料時，應采本項目擬采用的4液態(tài)VOCs物料應采用密閉管道應排至VOCs廢氣收集處理系本項目溶液是通過計量泵打入清“兩級活性炭吸過一根26m高排放。57.2.1VOCs質量占比大于等于程應采用密閉設備或在密閉空間內操作，廢氣應排至VOCs廢應采取局部氣體收集措施廢氣應排至VOCs廢氣收集處理系68.1企業(yè)中載有氣態(tài)VOCs物料、液態(tài)VOCs物料的設備與管線組件的密封點>2000個，應開展泄漏檢測與修710.3.2收集的廢氣中NMHC初始排放速率>3kg/h時，應配置VOCs處理設施，處理效率不應廢氣中NMHC初始排放速率用的原輔材料符合國家有關低本項目產生的總811.1企業(yè)邊界及周邊VOCs監(jiān)控要求執(zhí)行GB16297或相關行業(yè)排放標準的規(guī)定。廠區(qū)內VOCs無組織排放監(jiān)控要求——性有機物無組織排放控制標準》排放限值——廠房外監(jiān)控點處VOCs(以NMHC計)的h平均濃七、與《2020年揮發(fā)性有機物治理攻堅方案》符合性分析根據《2020年揮發(fā)性有機物治理攻堅方案》中提到：一、大氣管道收集至“兩級活性炭吸附裝置（處理效率取51%）”處理后通過一根26m高排氣筒排放，收集效率可達90%。本項目有機廢氣排放能滿足《大氣污染物綜合排放標準》（GB16297-1996）綜上，本項目與《2020年揮發(fā)性有機物治理攻堅方案》的相1實驗室單位應建立有機溶劑使凈化裝置，減少VOCs排放，防止污染周邊環(huán)境。產生VOCs廢氣應進行收集，排放至VOCs廢項目擬建立有機溶劑使用登記和過程中產生的有機廢氣通過集氣的有機廢氣經兩級活性炭吸附裝置處理后通過一根26m高排氣筒2實驗室有組織VOCs宜經過凈化處理后方可排放。綜合考慮場宜地采用有效的VOCs凈化裝均儲存于密閉容是通過計量泵打有機廢氣經集氣活性炭吸附裝置”處理后通過一根26m高排氣筒排3廢氣收集和凈化裝置應保證與活性炭吸附裝置結束后繼續(xù)開啟驗操作同時正常4有機溶劑及其廢液應儲存在專密閉儲存于包裝5有機溶劑年使用量≤0.1噸的實項目有機溶劑使項目各溶液是通過計量泵打入設體安裝廢氣收集6實驗室單元在保障安全的情況項目采用兩級活性炭吸附裝置對7凈化裝置應在產生VOCs的實驗活性炭吸附裝置在進行檢測前開后繼續(xù)開啟十分置運行過程中發(fā)項目擬配備專人對活性炭吸附裝置的管理進行管護和操作規(guī)程及指南要求填寫記行更換時一并進本項目設置了一根26m高的排氣項目廢活性炭更換后暫存于危險有資質的單位處GB18597等危險廢物貯存、轉凈化裝置的管理應納入實驗室操作規(guī)程，明確設施的檢查周制度，按指南要求填寫記錄內98境空氣質量標準》(GB3095-2012)及其修改單中二級標準；水環(huán)境市生態(tài)環(huán)境局關于印發(fā)南昌市生態(tài)環(huán)境總體要求及環(huán)境管控單元表1-8與《南昌市生態(tài)環(huán)境總體準入要維度空間布局約束要求爐省級批準的港口總體規(guī)劃的碼頭項目及其優(yōu)化調整VOCs排放產業(yè)布局，原則上中心區(qū)城內不得再新建和擴建VOCs排放量大的得新建落后產能或產能嚴重過剩行業(yè)的建業(yè)求離不能滿足相關要求和不符合規(guī)劃的現有二級保護區(qū)內已建成的排放污染物的建設業(yè)企業(yè)限期退出；城市建成區(qū)內的現有建化工等污染較重或嚴重影響環(huán)境的企業(yè)應滿足要求的污染企業(yè)一律依法實施停產整污染物排放管控求重點防控的重金屬污染物排放總量控制制縣城及以上城鎮(zhèn)生活污水處理廠執(zhí)行一級A環(huán)境風險防控廢氣為EKC），求資源利用效率要求南昌市城區(qū)用水總量、萬元GDP用水量、萬元工業(yè)增加值用水量執(zhí)行省級下達的管/求//表1-9環(huán)境管控單元準入清單無/生物醫(yī)藥產業(yè)，重點發(fā)展綠色、低碳的高新技術產業(yè)、光伏產業(yè)作為規(guī)劃發(fā)展產業(yè)，企業(yè)屬于電子電工信息行業(yè)，本項目屬于其中的試驗部分，符合園區(qū)產業(yè)定位。居民居住區(qū)的大氣污染型項目其污染物排在瑤湖水域范圍內新合城市土地利用規(guī)劃的企業(yè)應逐步搬遷至園區(qū)內相應產業(yè)園區(qū)滿足空間布局要控造業(yè)應提高有機廢氣收瑤湖污水處理廠和航空城污水處理廠應加裝印刷等重點行新增產能和淘汰產能置換”或者“減量置染物排放量應符合南昌市污染物排放總量值染物排放應達到相應行業(yè)排放標準中特別求無/求無/（建設用無/及產生大量廢水的生因事故廢水直排污染廢物(含危險廢物)的用、處置固體廢物(含危險廢物)過程中，應防滲漏及其他防止污頭應強化危險化學品），求無/求無/無/無/本項目符合環(huán)境管控單元準入清單中要求，故為允許建設項昌市生態(tài)環(huán)境局關于印發(fā)南昌市生態(tài)環(huán)境總體要求及環(huán)境管控單元生態(tài)環(huán)境準入清單的通知》（洪環(huán)發(fā)[20建設內容半導體設備的生產、研發(fā)、銷售等，《中微南昌產業(yè)化基地項目》于2021年5月31日取得由南昌高新區(qū)管委會城市管理局出具的環(huán)評批復（洪高新管城管審），本項目屬于四十五、研究和試驗發(fā)展—98專業(yè)實驗室、研發(fā)（試驗）基地—其），本項目依托現有項目已建建筑1#生產廠房位于現有項目現有項目中Etch設備研發(fā)共有10個研發(fā)工位，主要目的是提高設備性能和模塊效率，研發(fā)過程中需將基片放置在Etch設表2-3主要原輔材料一覽表序號1/23456/注：本項目溶液加入到清洗設備中進行清洗，共有3臺清洗設備，在本項目原輔料理化性質見表2-4，EKC主要組分情況見表2-4本項目原輔料理化性質一氣味。具有極強的腐蝕性，能強烈地腐蝕金屬、玻2-氨基乙醇25%~50%水表2-6主要設備一覽表1234567七、勞動定員及工作制度污水處理站處理達《電子工業(yè)水污染物排放標準》（GB39731-2020）中“半導本項目實驗室位于現有項目1#生產廠房二樓，從工藝流程和產排污環(huán)節(jié)氫氟酸、硫酸、雙氧水、廢氣、酸性廢氣、清洗廢水氫氟酸、硫酸、雙氧水、廢氣、酸性廢氣、清洗廢水短，經加強施工管理，文明作業(yè)等，其環(huán)境影基片清洗廢水、酸堿清洗()廢液純水清洗(旋干機)(清洗后基片)后采用旋干機將基片表面的水分甩干，甩干后在三號清洗設備中加入硫酸及雙氧水（硫酸：雙氧水=5：1）。本項目生產過程 與項目有關的原有環(huán)境污染問題城市管理局出具的環(huán)評批復（洪高新管城管審批了竣工環(huán)境保護驗收（見附件七），一期驗收僅驗收現有項目的Etch設備100項目組成占地面積/層數/建筑材料組成說明是否驗收主體工程9899.62m2/3層/第1層布置MOCVD設備生產線及研發(fā)工位（研發(fā)工位為10個）第2層布置Etch設備生產線及研發(fā)工位第3層布置Scrubber設備生產線及研發(fā)工位（研發(fā)工位為2個）、PCBAFCT生產線2#生產10826.73m2/2層/空置，待后續(xù)規(guī)劃未驗收3#生產6774.4m2/3層/鋼構空置，待后續(xù)規(guī)劃未驗收輔助工程綜合樓4962.8m2/5層/磚混第2-4層為辦公區(qū)；第5層為休息區(qū)域生活樓3722.65m2/6層/第1層為員工休閑泳池；第2-3層本項目使用；第4-6層空置，待后續(xù)規(guī)劃設置2個雨水景1#雨水景觀池位于廠區(qū)南部，2#雨水景觀池位于廠區(qū)東部地下車庫地下一層動車位）儲運工庫5650.07m2/4層/第1層本項目使用；第2-4層空置，待后續(xù)規(guī)劃292.41m2/1層/磚用于存放原輔材料混未驗收，未驗收，未驗收，未驗收，未驗收，未驗收，未驗收，2#甲類79.91m2/1層/磚混用于存放原輔材料氨氣站105m2/1層/磚混用于存放液氨氫氧站178.2m2/1層/磚混用于存放氫氣、氮氣、氬氣等硅烷站44m2/1層/磚混用于存放硅烷、三氯硅烷、二氯硅烷及研發(fā)原輔材料/依托高新區(qū)市政管道供應/本項目屬于瑤湖污水處理廠接管范圍內，廢水經自建的污水處理設施處理后由市政管網排入瑤湖污水處理廠處理，最終進入贛江南支供冷熱/供熱使用電加熱，制冷使用空調及機械氣Etch測試廢氣、PCBAFCT測試設置污水處理設施1個，處理規(guī)模為最大200t/d，工藝為：調節(jié)穩(wěn)定+中和絮凝+混凝沉淀/設備減震、隔聲一般固廢暫存庫置在丙類倉庫西側；危險廢物暫存庫占地約一般固廢暫存庫、危險廢物暫存庫環(huán)境風險位于廠區(qū)2#廠房北側，最大容積約收收建建/一致收/收/收表2-10項目主要設備一覽表對應產節(jié)主要生產單元主要對應工藝生產設備數量（臺）/型號設施參數MOCVD生產及裝配裝配整體安裝平臺2/薄膜制化學氣X射線衍射3/Panalytics/暫未驗收快速圖譜儀/Etch生產及研發(fā)Scrubber生產及備相沉積2/微明LED-617/暫未驗收暫未驗收暫未驗收暫未驗收暫未驗收暫未驗收暫未驗收暫未驗收暫未驗收暫未驗收暫未驗收暫未驗收暫未驗收原子力顯微鏡BrukeDimensionEdge/氣體測漏儀2/Inficon/顆粒掃描分析儀/方塊電阻測試儀/3/中微上海/SiC外延設備2/中微上海鍍膜速度（片/h）藍綠光外延設備4/中微上海鍍膜速度（片/h）紅黃光外延設備4/中微上海鍍膜速度（片/h）ECODry干式4/CS200PD/氣處理2/ECOHeat1000/等離子電燒尾氣處理/氯氣烤爐1/NoritakeNBC800/裝配裝配整體安裝平臺4/刻蝕干法刻蝕Etch研發(fā)設備10/中微上海刻蝕速度（片/h）真空泵30/國產品牌/氦氣檢漏設備8/Inficon/顆粒計數儀/4/KLA-TencorSP1/全自動電子料件料倉2/4/原子力顯微鏡1/光譜橢圓儀1/裝配裝配整體安裝平臺4/廢氣處理系統廢氣處理系統傅里葉紅外光1/MKSMultiGas?FTIRGasAnalyzer-6030/PTM91117122/燃氣式廢氣安3/中微上海處理能力（m3/h）等離子式廢氣3/中微上海處理能力（m3/h）冷卻機2/暫未驗收配電柜1/暫未驗收變壓配電柜1/暫未驗收真空泵及尾氣1/暫未驗收特氣混合腔體及組件1/暫未驗收PCBAFCT生產裝配裝配焊接設備2/寶工SS-989H/高低溫烘箱/恒溫恒濕箱1/可編程電源1/R&SHMP2030/示波器1/組裝臺6/程供水系統純水制備與供應設施純水供應設備1/環(huán)保工程污水處理系統廠區(qū)廢水處理站廠區(qū)廢水處理站1/原料名稱規(guī)格型號或說明年耗量轉運/包裝產Etch零部件由外部廠家提供汽車/紙盒或CF4（四氟化汽車/瓶裝SF6（六氟化汽車/瓶裝暫未驗收C4F8（八氟環(huán)汽車/瓶裝汽車/瓶裝MOCVDScrubberPCBAFCT生產MOCVD發(fā)件由外部廠家提供汽車/紙盒或暫未驗收暫未驗收暫未驗收暫未驗收暫未驗收暫未驗收暫未驗收暫未驗收暫未驗收暫未驗收暫未驗收暫未驗收暫未驗收暫未驗收暫未驗收暫未驗收暫未驗收暫未驗收暫未驗收暫未驗收暫未驗收暫未驗收暫未驗收暫未驗收暫未驗收暫未驗收暫未驗收暫未驗收暫未驗收Scrubber零部件由外部廠家提供汽車/紙盒或管道供應管道供應PCBAFCT零由外部廠家提供汽車/紙盒或無鉛錫條/汽車/紙盒石墨盤外部廠家提供汽車/紙盒藍寶石襯底汽車/紙盒硅片襯底汽車/紙盒砷化鎵襯底汽車/紙盒磷化銦襯底汽車/紙盒HCl（氣體）1汽車/瓶裝汽車/瓶裝0.03汽車/瓶裝0.02汽車/瓶裝汽車/瓶裝硅烷氫汽車/瓶裝0.05汽車/瓶裝汽車/瓶裝汽車/瓶裝二氯硅烷汽車/瓶裝三氯氫硅汽車/瓶裝汽車/瓶裝汽車/瓶裝汽車/瓶裝異丙醇汽車/瓶裝0.06汽車/瓶裝汽車/瓶裝汽車/瓶裝雙氧水汽車/瓶裝磷化氫0.45汽車/瓶裝砷化氫2汽車/瓶裝汽車/紙盒CF4（四氟化0.05汽車/瓶裝0.06汽車/瓶裝CHF3（三氟99.999%，液態(tài)0.CHF3（三氟99.999%，液態(tài)0.1汽車/瓶裝暫未驗收氯氣99.999%，氣態(tài)0.02汽車/瓶裝暫未驗收SiF4（四氟化99.999%，液態(tài)0.02汽車/瓶裝暫未驗收ScrubberScrubber安裝件外部廠家提供汽車/紙盒或暫未驗收CF4（四氟化汽車/瓶裝暫未驗收SF6（六氟化汽車/瓶裝暫未驗收SiH4（硅烷）0.02汽車/瓶裝暫未驗收管道供應200m3管道供應暫未驗收現有項目勞動定員為400人，其中生產技術人員370人，技術管理人員302）通過組裝平臺進行組裝拼接，組裝過程通過組裝平臺進行自動安裝。安觸面及鄰近區(qū)域產生的高頻電阻熱進行焊接的方法。阻焊的優(yōu)點在于加熱時間3）組裝完成后需進行測試，測試完成后方可包裝外售。測試分為操作模塊4）因本項目生產的Etch設備為干式刻蝕設備，因此在性能模塊測試中需通過二級尾氣處理（Scrubber尾氣處理+1#堿吸收塔）后通過1#生產廠房頂部的1#2）通過組裝平臺進行組裝拼接，組裝過程通過組裝平臺進行自動安裝。安裝過程中會涉及各部件之間的焊接相連，使用全自觸面及鄰近區(qū)域產生的高頻電阻熱進行焊接的方法。阻焊的優(yōu)點在于加熱時間3）組裝完成后需進行測試，測試完成后方可包裝外售。測試為操作模塊測設備分為兩種：等離子式Scrubber和燃燒式Scru2）通過組裝平臺進行組裝拼接，組裝過程通過組裝平臺進行自動安裝。安裝過程中會涉及各部件之間的焊接相連，使用全自動①對于等離子式Scrubber：測試為操作模塊測試，即通電后通過操作電子軟②對于燃燒式Scrubber：測試分為操作模塊測試和性能模塊測試，其中操作模塊測試和等離子式Scrubber設備測試一致，性能模塊測試需使用少量的測試核心點火模塊，如操作模塊測試不合格則重新返該步驟會產生Scrubber測試廢氣，主要為天然氣燃燒后產生的煙塵、SO2、2）通過組裝平臺進行部件組裝、調試。在零部件組裝過程中部分電氣件安3）部件組裝完成后進行總裝調試，總裝調試4）對調試組裝好的設備進行性能測試，內容主要針對電板測試性能進行測2）刻蝕基片進行檢測，根據檢測反饋結果調節(jié)EtcCF4+SiO2=SiF4+CO2；4CHF3+現有項目MOCVD設備研發(fā)工藝分三種，共設藍綠光外延片研發(fā)工位、4個紅黃光外延片研發(fā)工位和2個碳化硅外延片研發(fā)工），Ga(CH3)3+NH3→GaN+3CGa(CH3)3+In(CH3)3+2NH3→InGaN+6CH4↑Ga(CH3)3+Al(CH3)3+2NH3→AlGaN+6CH4↑⑥使用硫酸、鹽酸、氨水、異丙醇、雙氧水等①使用砷化鎵襯底、磷化銦襯底裝入石墨盤中，準A、長N型AlGaAs/AlAs：在緩沖層表面成長多層約2μm厚的N型AlGaAs/AlAs反射鏡，此層主要為提供輻射復合產生之光子借由該鏡面反射增加外，因此層Al組分較高，對載流子起到限制的作用，可明顯提高發(fā)光效率。將⑥使用硫酸、鹽酸、氨水、異丙醇、雙氧水等2SiHCl3+C2H4→2SiC+6HCl⑥使用硫酸、鹽酸、氨水、異丙醇、雙氧水等需求的客戶進行定制化研發(fā)生產。本項目設置2個Scrubber研發(fā)工位。進行設備處理性能測試，測試完成后對尾氣成分進行分析，根據反饋結果對現有項目采取的純水制備方法為離子交換法，離子交換樹脂濾芯的工作流根據現有項目環(huán)保驗收監(jiān)測報告，項目廠區(qū)污水總 表2-13項目廠區(qū)污水總排放口監(jiān)測結果一覽表 廢氣1、PCBAFCT測試板焊接煙塵藍綠光研發(fā)廢氣主要來自MOCVD藍綠光的研發(fā)過程，年工作時間3000小），表2-14現有項目藍綠光研發(fā)廢氣產排情況一覽表物度mg/m3NH3物天，日工作10小時）。根據現有項目環(huán)境影響報告表中的分析，石墨表2-15現有項目石墨盤回收廢氣產排情況一覽表物度mg/m3紅黃光研發(fā)廢氣主要來自MOCVD紅黃光的），境影響報告表中的分析，紅黃光研發(fā)廢氣中表2-16現有項目紅黃光研發(fā)廢氣產排情況一覽表物度mg/m3AsH3物SiC研發(fā)廢氣主要來自MOCVD碳化硅的研發(fā)過程，年工作時間3000小時物度mg/m3理+1#噴淋吸收塔+一根26m高日工作10小時）。根據現有項目環(huán)境影響報告表中的分析，ECl2的產生量為20kg/a、BCl3的產生量為60kg/h。Etch研發(fā)廢氣2經收集后由物度堿吸收塔+一根//////（6）Scrubber測試廢氣（G10）、Scrubber研發(fā)廢氣（G11）——天然氣燃點火核心測試，天然氣最大用量為300m3/a。根據現有項目環(huán)境影響報告表中的Scrubber研發(fā)廢氣主要來自Scrubber設備研發(fā)過程，通入CF4、SF6、SiH4等氣體進行設備處理性能測試，年工作時間約1000小時。根據現有項目環(huán)境影研發(fā)廢氣經收集后由Scrubber處理+1#堿吸收塔處理后通過一根26m高排氣筒表2-19現有項目Scrubber研發(fā)廢氣產排情況一覽表物度mg/m3物堿吸收塔+一根Etch測試廢氣、Etch研發(fā)廢氣1、PCBAFCT測試板焊接煙塵收集后由Scrubber處理+1#堿吸收塔處理后通過一根26m高排氣筒（DA001）排放，均在表2-20有組織廢氣排放監(jiān)測結果一覽表A1#DA001排氣筒（25m）123是是是是123是是是是板焊接煙塵中顆粒物的排放量為4.92t/a、氟化物的排放量為0.161t/a（均取最大值，年工作時間為3000h）。且顆粒物、氟化物排放均滿足《大氣污染物綜合排現有項目在設備制造和研發(fā)過程中各類氣體均通過氣體分配系統通過管道表2-21項目無組織工藝廢氣污染物產排情況根據現有項目環(huán)保驗收監(jiān)測報告，項目廠界噪表2-22噪聲監(jiān)測結果單位：Leq[dB（A）]表2-23固體廢物產生與處置情況一覽表序號123456789（紅黃光MOCVD研發(fā)部件3桶1三、現有項目主要污染排放情況及處理措施匯總表2-24現有項目主要污染排放情況及處理措施一覽表廢水pH廢氣NH3+2#酸淋吸收塔+一根AsH3高排氣筒（DA001）NOx塵固體廢物廢零部件（Etch設 FCT測試板制造）在線收集的焊接煙0.002t/a外售綜合處理 區(qū)域環(huán)境質量現狀項目所在區(qū)域環(huán)境質量達標情況，同時需調查評價范圍內有環(huán)境質量標準的評價因子的環(huán)境質量監(jiān)測數據或進行補充監(jiān)測，用于評價項目所在區(qū)域污染物環(huán)境質現狀濃度/(μg/m3）/%162NO23PM104PM2.556本項目排放的特征污染物為非甲烷總烴、硫酸霧，根據生態(tài)環(huán)境部環(huán)境工程境》（HJ2.2-2018）要求開展相關監(jiān)測工作。如判定為無需開展大氣專項評價，②技術指南中提到“排放國家、地方環(huán)境空氣質量標準中有標準限值要求的放標準詳解》等導則或參考資料。排放的特征污染物需要在國家、地方環(huán)境空氣硫酸霧不在《環(huán)境空氣質量標準》（GB3095）標準中本項目納污水體為贛江南支，為了解地表水環(huán)境現狀，本次評價調查了南昌市生態(tài)環(huán)境局發(fā)布的《2023年9月南昌市地表水水質狀況報告》（網址：/ncgbj/dbsjjzsyysyd/202310/3b4a76bc87a941cf9be1df0b表水環(huán)境質量標準》（GB3838-2002）表1基本項目（24項）準為《地表水環(huán)境質量標準》（GB3838-2002）表3-42022年9月南昌市地表水（贛江南支）水質監(jiān)測評價結果一覽表質量標準》（GB3838-2002）Ⅳ類水域水質標準，本次評價引用現有項目環(huán)保驗收監(jiān)測報告中的噪聲監(jiān)測數據，項目廠界噪聲表3-22噪聲監(jiān)測結果單位：Leq[dB（A）]監(jiān)測方位方位2023.3.6現狀值均符合《聲環(huán)境質量標準》（GB3096-2結合《建設項目環(huán)境影響報告表編制技術指南（污染影響類）》（試行綜上所述，項目選址周邊環(huán)境空氣質量、地表水環(huán)境質量、聲環(huán)境質量符合環(huán)境保護目標主要環(huán)境保護目標（列出名單及保護級別）：根據現場勘查，建設項目周邊環(huán)境保護居民示意圖見附圖二，項目區(qū)域周邊/mXY境///境////注：以項目中心為坐標原點（0,0），地理坐標為E：116°3′56.污染物排放控制標準嚴值后排入園區(qū)污水處理廠，經污水處理廠深度處理后達到《城鎮(zhèn)污水處理廠污污染物排放標準》pH值551---項目運營期清洗廢氣（非甲烷總烴、硫酸霧、氟化物）執(zhí)行《大氣污染物綜區(qū)內任意點揮發(fā)性有機物執(zhí)行《揮發(fā)性有機物無組織排放控制標準》NMHC一般固體廢物執(zhí)行《一般工業(yè)廢棄物貯存和填埋污染控制標準》總量控制指標COD考核指標：647.406×40.160×10-6=0.026t/aCOD總量控制指標：647.406×40.160×10-6=0.026t/a；NH3-N考核指標：647.406×0.927×10-6=0.0006t/a。NH3-N總量控制指標：647.406×0.927×10-6=0.0006t/a。綜上所述，本項目COD總量控制指標：0.026t/a；NH3-N總量控制指標為0.0006t/a。本項目廢氣污染物（VOCs）主要來自EKC廢氣。VOCs產排量：產生量為：1.391×10%=0.097t/a排放量為：0.097t/a×90%×（1-51%）=0.043t/a即本項目VOCs的總量控制指標為0.043t/a。三、擴建后全廠總量控制指標表2-2擴建后全廠總量控制指標擴建后全廠總量控制指標NH3-NVOCs0砷0施工期環(huán)境保護措施短，經加強施工管理，文明作業(yè)等，其環(huán)境影運營期環(huán)境影響和保護措施中，溶液使用過程中會揮發(fā)，本項目以非甲烷總烴計。EKC的使用量為1300L/a），表4-1EKC廢氣污染物產排情況一覽表（有組織）兩級活性炭吸附裝置+一根26m高排氣筒通越亞半導體有限公司年產9萬片封裝基板技改項目環(huán)境影響報告表》中的相關），）， 表4-1酸性廢氣污染物產排情況一覽表（有組織） 表4-2污染物產排情況一覽表（無組織）根據《大氣有物質無組織排放衛(wèi)生防護距離推導技術導則》業(yè)無組織排放的主要特征大氣有害物質。當前兩種污染物的等標排放量相差在10%以內時，需要同時選擇這兩種特征大氣有害物質分別計算衛(wèi)生防護距離初根據上表可知，本項目等標排放量最大的污染物為實表4-4衛(wèi)生防護距離計算表/m/m防護距離位于現有項目衛(wèi)生防護距離內，綜上，全廠衛(wèi)生防護距離為廠界劃定離項目用地紅線最近距離約120m，即衛(wèi)生防護范圍內無集中居民、學校、醫(yī)院表4-5大氣污染物有組織排放量核算表序號/(mg/m3)1表4-6大氣污染物無組織排放量核序號排放口產污環(huán)節(jié)物/(mg/m3)1實驗室清洗烴周界廠區(qū)內制標準》（GB37822-2019）表2霧3物表4-7大氣污染物年排放量核算表有組織排放總計硫酸霧0.004表4-8本項目污染源非正常排放量核算表污染源非正常排放原因污染物非正常排放濃度/(mg/m3)非正常排放速率/(kg/h)單次持續(xù)時間/h年發(fā)生頻次/次應對措施廢氣處理設備11加強設備維修管理，杜絕事故環(huán)保制度等結合《排污單位自行監(jiān)測技術指南總則》（HJ819-2017），本項目廢氣自表4-9本項目廢氣自行監(jiān)測計劃表烴、硫酸烴、硫酸監(jiān)控點NMHC），設單位提供的經驗數據，本項目純水的使用量約為1.5m3/d（450m3/a），項目純水裝置的制備效率為65%，則純水裝置用水約為2.31m3/d（692.31m3/a），故產量為160m3/d。現有項目純水的使用量為121.5m3/d，本項目純水的使用量為本項目清洗工藝分為溶劑清洗及純水清洗，本項目使用原輔料的用量見下水水0參考《工業(yè)源產排污核算方法和系數手冊》中《38-40電子電氣行業(yè)系數手表4-10清洗廢水污染物產生情況一施pH//建污水處理站（調節(jié)混凝沉1g/kg-原料NH3-N//注：①本項目廢水污染物計算時，原料用量按氫氟酸、硫酸、雙氧水使用量中物質總量②氟化物的產生量由本項目原輔料中49%氫氟酸用量計算得出，氫氟酸中2%揮發(fā)至廢氣），③硫酸鹽的產生量由本項目原輔料中98%硫酸用量計算得出，硫酸中2%揮發(fā)至廢氣中， ），本項目清洗廢水經廠區(qū)自建污水處理站處理達《電子工業(yè)水污染物排放標準》（GB39731-2020）中“半導體器件”的間接排放及瑤湖污水處理廠接管標運營期環(huán)境保護措施////////pH///NH3-NpH//////NH3-N《電子工業(yè)水污染物排放標準》（GB39731-2020）中“半導體器件” NH3-N0.927石油類0.309SO42-2326.206表4-13廢水類別、污染物及污染治理設施信息表1////是否企業(yè)排口雨水排放清凈下水排放溫排水排放車間或車間處2混凝沉淀 5/000004050.96雙氧水0.0414647.406 6474.06達標排放4050.96雙氧水0.0414647.406 6474.06達標排放廠區(qū)白建污水損耗450.104硫酸。.025損耗450.104405.096405.096000000000000000000000000000000000000000新鮮水98269.3513500135002250022500循環(huán)90000循環(huán)150000450酸噴淋塔清洗用水堿液噴淋56641.35純水制備損耗45·0104405·096廠區(qū)自建污水處理站電熱水洗尾氣處理36449.04scrubber循環(huán)補水259.2259.236854·136MOCVD部件清洗(不含紅黃光)總排口瑤湖污水處理廠濃水19742.318887644688876·446達標排放循環(huán)300000冷卻塔循環(huán)水15000損耗6000泳池定期用排水5760生活用水隔油池+化糞池1152011520損耗2880 468綠化用水2100057601440013500135002250022500循環(huán)90000循環(huán)150000450酸噴淋塔清洗用水堿液噴淋56641.35純水制備損耗45·0104405·096廠區(qū)自建污水處理站電熱水洗尾氣處理36449.04scrubber循環(huán)補水259.2259.236854·136MOCVD部件清洗(不含紅黃光)總排口瑤湖污水處理廠濃水19742.318887644688876·446達標排放循環(huán)300000冷卻塔循環(huán)水15000損耗6000泳池定期用排水5760生活用水隔油池+化糞池1152011520損耗2880 468綠化用水21000576014400純水氫氟酸。.04純水硫酸。.025雙氧水0.0414損耗468—71—運營期環(huán)境保護措施①在調節(jié)穩(wěn)定單元內進行pH調節(jié)同時進行自然沉淀，隨后準備進入中和絮絮凝+混凝沉淀?，幒鬯幚韽S出水水質執(zhí)行《城鎮(zhèn)污水處理廠污染物排放標的排放量約為2.59m3/d，瑤湖污水處理廠尚有剩余負荷接納本項目廢水。本項目表4-17依托集中污水處理廠可行序本項目排水量理廠序本項目排水量理廠理工號 NH3-N3/d（2.59m3/d調節(jié)穩(wěn)定6.1793515 SO42-2326.206 根據《排污單位自行監(jiān)測技術指南總則》（HJ819-2017），本項目廢表4-18本項目廢水自行監(jiān)測計劃表施本項目的噪聲源主要是各類機械在生產運行階段產生的機械設備噪聲，各表4-19工業(yè)企業(yè)噪聲源強調查清單（室內聲源）序號數量聲源控制措施/m運行時段級XYZ東南西北東南西北東南西北東南西北外距離m131晝間12211表4-20工業(yè)企業(yè)噪聲源強調查清單（室外聲源）XYZ11運營期環(huán)境保護措施），①單個室外的點聲源在預測點產生的聲級計算基本），向點聲源在規(guī)定方向的級的偏差程度。指向性校正等于點聲源的指向性指數DIAmisc—其他多方面效應引起的倍頻帶衰減在不能取得聲源倍頻帶聲功率級或倍頻帶聲壓級，只能獲得A聲功率級或室內聲場為近似擴散聲場，則室外的倍頻帶聲壓然后按公式（A.8）計算出所有室內聲源在圍護結構處Lplij（T）L—室內j聲源i倍頻帶的聲壓級，dB；N—室內聲源總數。在室內近似為擴散聲場時，按公式（A.9）計算出靠近室外圍護結構處的聲式中：Lp2i（T）—靠近圍護結構處室外N個聲源i倍頻帶的疊加聲壓級，計算出中心位置位于透聲面積（S）處的等效表4-21隔墻等遮擋物引起的A聲8表4-22廠界噪聲預測結果與達標分析表單位：dB(A)為減少設備噪聲對周轉環(huán)境及自身的影響，項目各噪聲設備做減振降噪處建設單位對項目高噪聲設備的降噪措施以“隔聲減振為主，吸聲為輔”的原結合《排污單位自行監(jiān)測技術指南總則》（HJ819-2017），(GB12348-2008)標表4-24原輔料包裝情況及年使用情況一覽表1234根據上表可知，本項目廢包裝容器的產生量為0.072t/a，屬于《國家危險廢物名錄》（2021年）中的HW49其他廢物‘900-041-49含有或沾染毒性、感染據經驗值估測，一般情況下1kg活性炭按照生量為0.191t，屬于《國家危險廢物名錄》（2021年）中的HW49其他廢物本項目清洗工序中使用EKC溶液進行清洗，EKC溶液僅在一號清洗設備中其他廢物‘900-047-49’的危廢，應集中收集至危險廢物暫存間，定期交由有資序號廢稱產生工序及裝置形態(tài)1器原料包裝固態(tài)月物貯存于廠區(qū)危廢暫2廢氣處理固態(tài)物月分區(qū)堆置3清洗液態(tài)等月/R表4-26項目危險廢物貯存場所（設施）基本情況表序號施）名稱1庫月2月3月采用專用的容器貯存在危廢暫存處，定期運出至有資質的相應單位進行處置。該類危險廢物儲存場所地面