電子氣體 六氟化硫 編制說明

一、工作簡況電子級六氟化硫主要用于集成電路技術(shù)領(lǐng)域，是一種性能極佳的高純氣體材料。六氟化硫作為集成電路用量大、純度要求高的基礎(chǔ)材料，是國家重點(diǎn)鼓勵發(fā)展的產(chǎn)品和產(chǎn)業(yè)，符合《“十四五”推動高質(zhì)量發(fā)展的國家標(biāo)準(zhǔn)體系建設(shè)規(guī)劃》中建設(shè)制造業(yè)高端化領(lǐng)域的材料標(biāo)準(zhǔn)。隨著集成電路技術(shù)進(jìn)步，晶圓制造達(dá)到12英寸，對高純六氟化硫的質(zhì)量提出更高要求，現(xiàn)行的電子用六氟化硫標(biāo)準(zhǔn)（GB/T18867-2014）已經(jīng)執(zhí)行10年，隨著技術(shù)進(jìn)步和市場變化，適用范圍、技術(shù)要求及試驗方法等內(nèi)容都需要修訂。2014版標(biāo)準(zhǔn)已無法滿足現(xiàn)代集成電路產(chǎn)業(yè)的要求，因此建議重新修訂該標(biāo)準(zhǔn)。通過對標(biāo)準(zhǔn)的修訂，旨在對生產(chǎn)和檢測提供指導(dǎo)性作用，對下游半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供質(zhì)量保障。有利于提高我國高端電子材料自給能力，推動電子相關(guān)產(chǎn)業(yè)進(jìn)步，擴(kuò)大我國高純電子材料對外影響力，有效服務(wù)于國家戰(zhàn)略需求。根據(jù)國標(biāo)委綜合【2023】58號文，國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會于2023年下達(dá)了修訂計劃，修訂計劃號：20231006-T-469。本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出，氣體分會執(zhí)行。1.2工作過程的說明1.2.1起草階段2023年國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會下達(dá)了【2023】58號文，《電子氣體六氟化硫》正式立項，標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員氣體分會歸口。為保證項目順利實施，全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員氣體分會組織昊華氣體有限公司、福建德爾科技股份有限公司、南大光電（淄博）有限公司等相關(guān)單位做了大量的前期調(diào)研及草案起草工作。標(biāo)準(zhǔn)起草小組首先開始搜集相關(guān)的資料，國際半導(dǎo)體設(shè)備與材料組織（SEMI）制定的國際工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)中，現(xiàn)行六氟化硫標(biāo)準(zhǔn)是：SEMICC3.24-0301《瓶裝六氟化硫規(guī)范》，六氟化硫純度為99.97%，由于該標(biāo)準(zhǔn)純度偏低，起草小組未采用。起草小組對國際、國內(nèi)電子六氟化硫產(chǎn)品生產(chǎn)情況進(jìn)行了深入調(diào)研和分析，將國外產(chǎn)品的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)和國內(nèi)實際生產(chǎn)情況相結(jié)合，于2023年12月份提出了標(biāo)準(zhǔn)的討論稿。2023年12月，標(biāo)準(zhǔn)起草小組在線上召開標(biāo)準(zhǔn)討論會，廣泛征求生產(chǎn)企業(yè)的意見。在此次討論會上，專家們就討論稿的基本結(jié)構(gòu)、范圍、技術(shù)指標(biāo)、檢驗方法等進(jìn)行了認(rèn)真的討論。提出了如下的意見：（1）采用GB/T28726-2012《氣體分析氦離子化氣相色譜法》中規(guī)定的分析方法作為氫、氧+氬、氮、四氟化碳、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、六氟乙烷和八氟丙烷等指標(biāo)的試驗方法；（2）采用GB/T5832.3-2011《氣體中微量水分的測定：光腔衰蕩光譜法》中規(guī)定的分析方法作為水含量的試驗方法；（3）采用離子色譜法測定可水解氟化物含量；（4）采用分光光度法測定酸度；（5）分析指標(biāo)及試驗方法見表1：表1會議討論的結(jié)果六氟化硫(SF6)純度(摩爾分?jǐn)?shù))/1酸度（以HF計摩爾分?jǐn)?shù)）/10-61.2.2征求意見階段2024年2月，起草小組根據(jù)2023年12月工作組會議的意見修改并提出了征求意見稿，面向全社會征求意見。二國家標(biāo)準(zhǔn)編制原則和確定標(biāo)準(zhǔn)主要內(nèi)容從目前掌握的資料來看，與電子六氟化硫相關(guān)的SEMI標(biāo)準(zhǔn)是SEMICC3.24-0301，由于該標(biāo)準(zhǔn)純度偏低無法滿足半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展的要求，國內(nèi)外生產(chǎn)電子六氟化硫的多家公司都有他們自己的技術(shù)指標(biāo)，且高于SEMICC3.24-0301的要求。因此本次制定未采用SEMI標(biāo)準(zhǔn)，起草小組參照了國外先進(jìn)企業(yè)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，做了大量的實驗工作，制定出了技術(shù)指標(biāo)和檢驗方法，現(xiàn)將有關(guān)情況說明如下：2.1標(biāo)準(zhǔn)名稱2021年7月，國家標(biāo)準(zhǔn)委下達(dá)了國家標(biāo)準(zhǔn)體系優(yōu)化試點(diǎn)工作任務(wù)，根據(jù)工作任務(wù)的要求，氣體分會本對電子氣體領(lǐng)域的標(biāo)準(zhǔn)體系情況情況進(jìn)行梳理、評估、優(yōu)化和重構(gòu)，形成了“1+6”的成果模式，即構(gòu)建了一個標(biāo)準(zhǔn)體系，形成了六個標(biāo)準(zhǔn)清單（整合一批、提出一批、修訂一批、廢止一批、轉(zhuǎn)化一批、采信一批），逐步優(yōu)化提升了電子氣體國家標(biāo)準(zhǔn)體系的科學(xué)性、先進(jìn)性和協(xié)調(diào)性。根據(jù)體系優(yōu)化工作的成果，電子氣體的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)名稱由“電子特氣”修改為“電子氣體”，因此本次修訂，將2014版的“電子工業(yè)氣體六氟化硫”修改為“電子氣體六氟化硫”。2.2適用范圍2.1.1國內(nèi)外常用的電子級六氟化硫制備方法是由工業(yè)六氟化硫提純制備，因此本次修訂將適用范圍中的制備方法修改為以工業(yè)六氟化硫為原料提純制得。2.1.22014版的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了六氟化硫的使用領(lǐng)域、分子式及相對分子質(zhì)量。根據(jù)GB/T1.1-2020的要求，討論稿及征求意見稿刪除了六氟化硫的使用領(lǐng)域，將分子式和相對分子質(zhì)量放入了附錄。2.3技術(shù)指標(biāo)的依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)起草小組首先開始搜集相關(guān)的資料，與電子六氟化硫的相關(guān)的SEMI標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)指標(biāo)見表2。SEMI標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的六氟化硫純度為99.97%，無法滿足半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用，因此本次制定未采納SEMI標(biāo)準(zhǔn)。2014版六氟化硫標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)指標(biāo)見表3。這種純度以及相關(guān)指標(biāo)的分析方法已經(jīng)不能適應(yīng)現(xiàn)在的發(fā)展需求，起草小組對國際、國內(nèi)電子六氟化硫產(chǎn)品生產(chǎn)情況進(jìn)行了深入調(diào)研和分析，國內(nèi)較大規(guī)模電子六氟化硫企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)見表4~表6。起草小組修改了2014版的技術(shù)要求，提出了討論稿技術(shù)要求，見表7。根據(jù)起草工作組會議的要求，未修改技術(shù)指標(biāo)，因此征求意見稿中的指標(biāo)與討論稿相同。表2SEMIC3.24-0301技術(shù)指標(biāo)表32014版技術(shù)指標(biāo)≥+Ar)含量（體積分?jǐn)?shù)）/l0≤≤≤≤≤甲烷（CH4體積分?jǐn)?shù)）/l0≤水分（HO）含量（體積分?jǐn)?shù)）/l0≤酸度（以HF計質(zhì)量分?jǐn)?shù)）/10-6≤可水解氟化物（以HF計）含量（質(zhì)量分≤≤表4企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)1+Ar)含量（體積分?jǐn)?shù)）/l0甲烷（CH4體積分?jǐn)?shù)）/l0水分（HO）含量（體積分?jǐn)?shù)）/l0酸度（以HF計質(zhì)量分?jǐn)?shù)）/10-6表5企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)2+Ar)含量（體積分?jǐn)?shù)）/l0甲烷（CH4體積分?jǐn)?shù)）/l0水分（HO）含量（體積分?jǐn)?shù)）/l0酸度（以HF計質(zhì)量分?jǐn)?shù)）/10-6表7討論稿及征求意見稿技術(shù)要求六氟化硫(SF)純度(摩爾分?jǐn)?shù))/10（氧+氬O+Ar）含量（摩爾分?jǐn)?shù)）/l0水分（HO）含量（摩爾分?jǐn)?shù)）/l0酸度（以HF計摩爾分?jǐn)?shù)）/10可水解氟化物(以氟離子計）含量（摩爾分?jǐn)?shù)）/102.4采樣2014版未單列采樣的要求，只規(guī)定了采樣安全符合GB/T3723《工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則》的要求，討論稿中將采樣的要求單列一章，并引用了GB/T43306《氣體分析采樣導(dǎo)則》，該標(biāo)準(zhǔn)等同采用ISO19230:2020，適用于六氟化硫的采樣，因此本次制定直接引2.5關(guān)于試驗方法2.5.1純度計算六氟化硫的純度采用差減法計算，2014版直接將所有雜質(zhì)含量減去得到純度。為了與技術(shù)要求相對應(yīng)，本次修訂規(guī)定先計算雜質(zhì)總含量，然后減去雜質(zhì)總含量計算純度。2.5.2氫、氧+氬、氮、四氟化碳、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、六氟乙烷和八氟丙烷含量的測定2014版規(guī)定氧+氬、氮、四氟化碳、一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量的測定采用的是GB/T28726-2012規(guī)定的氦離子化氣相色譜法，GB/T28726已經(jīng)正式發(fā)布實施近10年，已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用，因此根據(jù)工作組會議的要求，本次修訂采用了GB/T28726規(guī)定的氦離子化氣相色譜法。2014版未規(guī)定氫、六氟乙烷和八氟丙烷含量的測定，本次修訂擬增加氫、六氟乙烷和八氟丙烷含量的測定，采用GB/T28726規(guī)定的氦離子化氣相色譜法。因此，根據(jù)工作組會議的要求，起草小組及標(biāo)準(zhǔn)驗證平臺作了試驗驗證工作，驗證結(jié)果見附件1。從檢測結(jié)果可以看出，GB/T28726規(guī)定的HID（氦離子化法）能全部測定六氟化硫中氫、氧+氬、氮、四氟化碳、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、六氟乙烷和八氟丙烷的雜質(zhì)含量，檢出限和靈敏度遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于其他方法，因此本次制訂采用GB/T28726規(guī)定的HID法。2.5.3水分含量的測定2014版標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定水含量的測定是采用GB/T5832.3-2011《氣體中微量水分的測定第3部分：光腔衰蕩光譜法》規(guī)定的光腔衰蕩光譜法，GB/T5832.3已經(jīng)正式發(fā)布實施近13年，目前該方法依然是高純特氣中微量水含量的最優(yōu)法，因此本次修訂直接采用GB/T5832.3，起草小組及標(biāo)準(zhǔn)驗證平臺作了試驗驗證工作，驗證結(jié)果見附件2。2.5.4酸度的測定2014版標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定酸度的測定是采用GB/T12022《工業(yè)六氟化硫》規(guī)定的酸堿滴定法，該方法為經(jīng)典測定方法，本次修訂依然采用該方法。2.5.5可水解氟化物（以氟離子計）的測定2014版標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定可水解氟化物（以氟離子計）含量的測定是采用GB/T12022《工業(yè)六氟化硫》規(guī)定的比色法。由于該方法操作繁瑣，時間較長，靈敏度較低，因此本次修訂修改為離子色譜法，起草小組做了驗證試驗，試驗報告見附件3。2.5.6尾氣處理2014版未規(guī)定尾氣處理，本次修訂中對尾氣處理提出了原則性要求：測定六氟化硫中的雜質(zhì)含量時，應(yīng)有六氟化硫尾氣處理措施，以防止六氟化硫環(huán)境的污染。2.6檢驗規(guī)則2014版未單列檢驗規(guī)則，本次修訂將“檢驗規(guī)則”單列，并完善了判定規(guī)則。2.7關(guān)于產(chǎn)品標(biāo)志、包裝、貯運(yùn)及安全本次修訂參照了最新的有關(guān)法律法規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)和國際化學(xué)品安全卡。2014版的規(guī)定比較雜亂，根據(jù)工作組會議的要求，將該章分成三部分內(nèi)容來編制：（1）標(biāo)志（2）包裝、運(yùn)輸和貯存（3）安全信息，并將安全信息放入附錄A。2.7.1標(biāo)志（1）產(chǎn)品質(zhì)量合格證2014版規(guī)定合格證的內(nèi)容至少如下：a)產(chǎn)品名稱，生產(chǎn)廠名稱，危險化學(xué)品生產(chǎn)許可證編號；b)生產(chǎn)日期或批號，充裝質(zhì)量（kg），產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)；c)本標(biāo)準(zhǔn)號及產(chǎn)品等級，檢驗員號。根據(jù)最新的電子氣體標(biāo)準(zhǔn)體系中對產(chǎn)品質(zhì)量合格證的要求，將合格證的內(nèi)容修改如a)產(chǎn)品名稱，生產(chǎn)廠名稱，危險化學(xué)品生產(chǎn)許可證編號；b)生產(chǎn)日期或批號，以及保質(zhì)期；c)充裝質(zhì)量（Kg）；d)本文件號及六氟化硫的純度。（2）2014版中規(guī)定：包裝容器上應(yīng)標(biāo)明“電子六氟化硫”字樣，本次修訂更改為：包裝容器上應(yīng)涂刷“電子級六氟化硫”字樣。2.7.2包裝、運(yùn)輸和儲存（1）包裝六氟化硫是無色、無臭、無毒的非易燃?xì)怏w，它具有很高的絕緣強(qiáng)度，被廣范用在電氣設(shè)備中作絕緣氣體。在大氣壓力下，它可由固相直接升華為氣相，而無穩(wěn)定的液相出現(xiàn)，只有在壓力大于32psia（221kPa,abs）時才會出現(xiàn)液相。。我國對液化氣體氣瓶（鋼瓶）包裝的規(guī)定有GB/T5099（鋼制無縫氣瓶）、GB/T5100（鋼制焊接氣瓶）。由于六氟化硫?qū)儆诟邏阂夯瘹怏w，因此只能使用GB/T5099規(guī)定的鋼制無縫氣瓶，電子六氟化硫還可用GB/T33145規(guī)定的大容積鋼質(zhì)無縫氣瓶，因此本標(biāo)準(zhǔn)采用了這兩種標(biāo)準(zhǔn)。（2）對氣瓶內(nèi)表面、瓶口處理的要求六氟化硫可用符合TC/DOT下列規(guī)范的鋼瓶充裝：3A1000、3AA1000、3AAX2400、3AL1000、3T1800及3E1800（TC-3鋼瓶也可繼續(xù)使用，但新制造的不允許使用）。。2014版規(guī)定瓶閥出氣口連接方式推薦使用CGA590和CGA716，根據(jù)客戶端閥門接口使用情況，同時查閱相關(guān)資料，本次修訂依然使用這兩種國內(nèi)和國際都通用的閥門出口聯(lián)接標(biāo)準(zhǔn)。（3）充裝系數(shù)：2014版中規(guī)定氣瓶設(shè)計壓力為8MPa時，充裝系數(shù)不大于1.17kg/L；氣瓶設(shè)計壓力為12.5MPa時，充裝系數(shù)不大于1.33kg/L。由于現(xiàn)在基本不用8MPa的氣瓶，因此本次修訂刪除了8MPa的充裝系數(shù)。（4）運(yùn)輸和儲存六氟化硫應(yīng)按照非可燃壓縮氣體的規(guī)定進(jìn)行裝運(yùn)。根據(jù)MSDS的要求，六氟化硫采用鋼瓶運(yùn)輸時必須戴好鋼瓶上的安全帽。高度不得超過車輛的防護(hù)擋板，并用三角木墊卡牢，防止?jié)L動。嚴(yán)禁與易燃物或可燃物、還原劑等混裝混運(yùn)。六氟化硫鋼瓶采用易碎膜片作卸壓裝置。易碎膜片只需裝在鋼瓶的一端，與鋼瓶長度無關(guān)。因此，六氟化硫鋼瓶應(yīng)當(dāng)貯存在遠(yuǎn)離熱源的地方，以防止鋼瓶內(nèi)靜壓力逐漸上升造成危卸壓裝置還可以由以易熔金屬塞作背襯的易碎膜片構(gòu)成，易熔金屬約在73.9℃（165℉)或100℃（212℉)時熔化，但若鋼瓶除瓶頸外的長度超過55英寸時，鋼瓶的兩端均需裝配這種裝置。2.7.3安全信息2.7.3.1六氟化硫的特性六氟化硫是一種化學(xué)性質(zhì)最不活潑的氣體，在溫度約為400℉（204℃)的條件下，對大多數(shù)材料仍能完全保持穩(wěn)定，在石英中當(dāng)溫度升到900℉（482℃)時，六氟化硫并未發(fā)生分解，也未出現(xiàn)化學(xué)反應(yīng)。六氟化硫微溶于水和油。當(dāng)蒸餾水中六氟化硫飽和后，溶液的pH值并未發(fā)生變化。2.7.3.2危險性說明（1）生理效應(yīng)六氟化硫是完全無毒的氣體，事實上，六氟化硫在人類醫(yī)學(xué)中已有應(yīng)用，比如將氣體輸入腹腔以造成人工氣腹。當(dāng)空氣中維持生命所需的氧被六氟化硫置換后，其作用就是一種普通窒息氣體。六氟化硫在放電條件下可能產(chǎn)生硫的低價氟化物，有些低價氟化物是有毒的，應(yīng)避免吸入放電后產(chǎn)生的氣體。ACGIH推薦的六氟化硫的時間加權(quán)平均閾限值（TLV-TWA）為1,000ppm（5,970mg/m3）。TLV-TWA是正常8小時工作日和40小時工作周的時間加權(quán)平均濃度，在此濃度下日復(fù)一日地反復(fù)接觸對幾乎全部工人都不至于產(chǎn)生不良效應(yīng)。OSHA規(guī)定，六氟化硫8小時的時間加權(quán)平均允許接觸極限值（TWA-PEL）為1,000ppm（6,000mg/m3）。TWA-PEL指的是，在40小時工作周的任何8小時工作輪班內(nèi)，物質(zhì)的時間加權(quán)平均值均不得超過規(guī)定的接觸限值。（2）工程材料六氟化硫?qū)λ薪饘贌o腐蝕性。如果在放電條件下，它可能部分分解。一些分解產(chǎn)品具六氟化硫607有腐蝕性；這種腐蝕性會因水分的存在或高溫條件而增強(qiáng)。在溫度超過400℉（204℃)的條件下，六氟化硫在某些金屬上會產(chǎn)生極微的分解反應(yīng)，這一效應(yīng)對硅鋼和碳鋼最為明顯。這種分解反應(yīng)大概是由金屬的催化作用引起的，但一年的分解量也不過千分之幾而已。在高溫下與鋁、銅、黃銅和銀接觸并未發(fā)生分解反應(yīng)。包括聚四氟乙烯、氯丁橡膠以及天然橡膠在內(nèi)的最常用的墊圈材料均適合六氟化硫使用。2.7.3.2泄漏處理和緊急應(yīng)變（1）泄漏處理可使用標(biāo)準(zhǔn)檢鹵儀來檢測泄漏的六氟化硫，并可對微小漏點(diǎn)進(jìn)行精確定位。該儀器檢測濃度范圍為ppb級。（2）廢棄處置所有不再使用的大量氣體返回給供應(yīng)商，若少量氣體應(yīng)在現(xiàn)場處置，則處置過程應(yīng)符合國家以及當(dāng)?shù)刂贫ǖ年P(guān)于廢棄處置的所有規(guī)章的規(guī)定。。三、主要試驗（或驗證）的分析、綜述報告，技術(shù)經(jīng)濟(jì)論證，預(yù)期的經(jīng)濟(jì)效果1、主要試驗（或驗證）的分析本標(biāo)準(zhǔn)制定過程中，起草小組做了大量的試驗驗證工作，詳見第二章2.5。2、修訂意義及預(yù)期的經(jīng)濟(jì)效果電子級六氟化硫是一種重要的電子氣體，也是一種重要的工業(yè)基礎(chǔ)材料，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的制造。隨著微電子工業(yè)的迅速發(fā)展，廣大用戶對電子級六氟化硫的質(zhì)量提出了更高更苛刻的要求，2014版國標(biāo)中的產(chǎn)品純度已經(jīng)不能滿足市場和技術(shù)的需求。因此，重新修訂電子工業(yè)用六氟化硫的國家標(biāo)準(zhǔn)是我們必須要進(jìn)行的一項具有深遠(yuǎn)意義的重要工作。通過修訂標(biāo)準(zhǔn)，將引領(lǐng)電子級六氟化硫規(guī)?；a(chǎn)，推動我國電子半導(dǎo)體材料行業(yè)發(fā)展和六氟化硫的生產(chǎn)和檢測合作研發(fā)，提升行業(yè)的競爭力，促進(jìn)整個行業(yè)健康持續(xù)發(fā)展。同時通過標(biāo)準(zhǔn)的制定，有利于提高我國高端電子材料自給能力，推動電子相關(guān)產(chǎn)業(yè)進(jìn)步，擴(kuò)大我國電子科技對外影響力，有效服務(wù)于國家戰(zhàn)略需求。因此，修訂后的高純度電子級三氟化氮產(chǎn)品國家標(biāo)準(zhǔn)，無論是國家需要、市場需要還是對用戶負(fù)責(zé)都是我們應(yīng)要進(jìn)行的一項具有意義的工作。目前，我國已具備自主生產(chǎn)超高純六氟化硫的能力。而且隨著六氟化硫應(yīng)用的越來越廣泛，國內(nèi)生產(chǎn)廠家將會增加，本次制定推動了國內(nèi)六氟化硫的產(chǎn)業(yè)化，因此本次修訂將產(chǎn)生以下一些方面的效益：（1）推動國內(nèi)電子用六氟化硫生產(chǎn)產(chǎn)企業(yè)采用先進(jìn)的生產(chǎn)工藝，與國外先進(jìn)企業(yè)看齊。（2）本次制訂后標(biāo)準(zhǔn)達(dá)到了國際先進(jìn)水平，提高了國產(chǎn)電子六氟化硫產(chǎn)品的國際競爭（3）檢測方法采用了氦離子化氣相色譜法這種先進(jìn)的方法，為標(biāo)準(zhǔn)使用者提供了更好的指導(dǎo)。（4）包括了安全警示的內(nèi)容，對使用者提供了很好的幫助.四、采用國際標(biāo)準(zhǔn)和國外先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)的程度，以及與國際、國外同類標(biāo)準(zhǔn)水平的對比情況，或與測試的國外樣品、樣機(jī)的有關(guān)數(shù)據(jù)對比情況該標(biāo)準(zhǔn)無國際標(biāo)準(zhǔn)可以借鑒，在制定過程中參考了國內(nèi)外相關(guān)文獻(xiàn)資料。五、與有關(guān)的現(xiàn)行法律、法規(guī)和強(qiáng)制性國家標(biāo)準(zhǔn)的關(guān)系六、重大分歧意見的處理經(jīng)過和依據(jù)本次國標(biāo)的制定無重大分歧意見。七、國家標(biāo)準(zhǔn)作為強(qiáng)制性國家標(biāo)準(zhǔn)或推薦性國家標(biāo)準(zhǔn)的建議建議將該標(biāo)準(zhǔn)作為推薦性國家標(biāo)準(zhǔn)，建議標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布后6個月實施。八、貫徹國家標(biāo)準(zhǔn)的要求和措施建議（包括組織措施、技術(shù)措施、過渡辦法等內(nèi)容）九、廢止現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的建議十、其他應(yīng)予說明的事項一、試驗報告1鋼瓶號：200234608202生產(chǎn)單位：大連大特氣體有限公司充裝壓力：10.0Mpa表1：標(biāo)氣組分濃度表組分含量（mol/mol）氫氣4.86×10-6氮?dú)?.89×10-6一氧化碳4.90×10-6氧+氬4.93×10-64.93×10-6四氟化碳4.89×10-6二氧化碳4.91×10-6六氟乙烷4.93×10-6六氟化硫4.85×10-6八氟丙烷4.91×10-62.氣相色譜儀及檢測條件2.1儀器型號：華愛GC-95802.1.1柱爐：50℃;2.1.2PDD檢測器：150℃;2.1.3輔助箱1：75℃;輔助箱2：50℃;2.1.4定量管1：0.5mL；定量管2：0.5mL；定量管3：1.0mL；2.1.5載氣（氦氣）輸出壓力：0.5MPa；2.1.6預(yù)分離柱：CST柱，1/8，2m；CST柱，1/8，0.8m；Q柱，1/8，4m；2.1.7色譜柱：5A柱，1/8，2m；R柱，1/8，3m；Q+Q=+T柱，1/8，6+3+3m；2.1.8流程圖圖1PDD檢測SF6中H2、O2+Ar、N2、CH4、CF4、CO、CO2、C2F6、C3F8流程圖3分析譜圖3.1標(biāo)氣及樣品氣分析譜圖圖2標(biāo)氣中H2、O2+Ar、N2、CH4、CF4、CO、CO2、C2F6、SF6、C3F8譜圖x圖3SF6樣品中H2、O2+Ar、N2、CH4、CO2、C2F6、C3F8譜圖4.重復(fù)性檢定方法4.1計算公式重復(fù)性以組分的保留時間、峰高和峰面積測量的相對標(biāo)準(zhǔn)偏差RSD表示，相對標(biāo)準(zhǔn)偏差RSD依下式計算：(xi-x)2式中：RSD——相對標(biāo)準(zhǔn)偏差（%）；n——測量次數(shù)；xi——第i次測量的保留時間、峰高或峰面積；x——n次進(jìn)樣的保留時間、峰高或峰面積算術(shù)平均值；i——進(jìn)樣序號4.2數(shù)據(jù)表格色譜連續(xù)進(jìn)樣7次得出以下表格數(shù)據(jù)：表2：標(biāo)氣測量數(shù)據(jù)表PDDA(uv*s）H(uv)HO+ArNCOCHCFCOCFSFCF1A:154642.8A:1151708.1A:441599.5A:622495.0A:1037321.0A:421900.8A:764255.6A:1334596.0A:585319.7A:1255961.8H:71105H:276921H:71160H:33464H:82193H:26643H:42377H:89315H:27318H:397372A:154605.3A:1151333.7A:441520.5A:623407.0A:1040114.5A:422741.7A:768572.4A:1356891.3A:600057.5A:1239474.5H:70977H:275966H:70939H:33540H:82510H:26795H:42650H:90656H:27830H:398533A:153543.5A:1148487.0A:444218.5A:623393.5A:1034284.3A:420679.5A:767085.2A:1361854.8A:605149.2A:1252586.5H:70203H:273993H:70527H:32740H:80936H:26350H:42451H:91134H:27985H:396544A:153427.3A:1147259.0A:443552.3A:632930.3A:1030958.4A:415916.3A:768004.0A:1302019.2A:608205.5A:1286083.3H:70873H:276750H:71229H:33616H:82029H:26505H:42429H:88480H:27665H:400625A:154702.8A:1152157.3A:442477.0A:628230.2A:1042372.8A:426869.5A:770600.0A:1316868.6A:615876.3A:1276887.8H:70994H:275983H:70962H:33622H:82558H:26876H:42686H:89637H:28061H:402696A:153508.5A:1148817.0A:445221.5A:624829.3A:1036827.5A:421711.7A:772377.0A:1313772.9A:617799.0A:1311678.3H:70198H:273984H:70559H:32760H:80984H:26372H:42534H:89911H:28167H:402507A:154551.8A:1152853.5A:444395.0A:630888.0A:1037755.4A:424177.3A:769563.3A:1306897.7A:610434.8A:1238623.5H:71086H:276953H:71238H:33583H:82203H:26690H:42460H:88605H:27712H:39540平均值A(chǔ):154140.3A:1150373.6A:443283.5A:626596.2A:1037090.5A:421999.5A:768636.8A:1327557.2A:606120.3A:1265899.4H:70777H:275793H:70945H:33332H:81916H:26604H:42512H:89677H:27820H:39909重復(fù)性RSDA:0.39%A:0.19%A:0.33%A:0.66%A:0.36%A:0.80%A:0.34%A:1.81%A:1.81%A:2.13%H:0.57%H:0.47%H:0.42%H:1.20%H:0.83%H:0.76%H:0.27%H:1.10%H:1.03%H:0.73%注：A表示峰面積，單位微伏*秒；H表示峰高，單位微伏；由表2所知，各個組分RSD都在3%以下，重復(fù)性較好。5儀器最小檢出濃度5.1最小檢出濃度最小檢出濃度公式：Cmin=2Nc/H各參數(shù)意義：Cmin——最小檢出濃度，10-6（摩爾分?jǐn)?shù)）N——噪音(μV）c——組分濃度，10-6（摩爾分?jǐn)?shù)）H——峰高(μV）PDD噪音20μV；PDD最小檢出濃度經(jīng)過計算得出：組分名H2O2+ArN2COCH4CF4CO2C2F6C3F8峰高(μv）4.93濃度，10-95.2樣品氣檢測結(jié)果N26、結(jié)論：從試驗結(jié)果可以得出，氦離子檢測器的最小檢測濃度能夠滿足六氟化硫中雜質(zhì)氣體的分析，GB/T28726規(guī)定的方法適用于六氟化硫。二、試驗報告21.1標(biāo)準(zhǔn)氣體鋼瓶號：322108-2005-202610193生產(chǎn)單位：上海偉創(chuàng)標(biāo)準(zhǔn)氣體分析氣體技術(shù)有限公司充裝壓力：10.0Mpa表1SF6標(biāo)氣組分濃度表組分含量（mol/mol）四氟化碳六氟乙烷1.92×10-6八氟丙烷1.91×10-6硫酰氟1.95×10-61.92×10-6氫氣1.96×10-6氧+氬2.40×10-6氮?dú)?.95×10-6一氧化碳1.92×10-6二氧化碳1.98×10-6氦氣平衡1.2樣品氣體鋼瓶號：23D444097充裝壓力：5Mpa2氣相色譜儀及檢測條件2.1儀器型號：GC9560；2.1.1柱爐：60℃;2.1.2檢測器：150℃;2.1.3輔助1：50℃;2.1.4輔助2：75℃2.1.5輔助3：130℃2.1.6定量管0.5mL；2.1.7載氣（氦氣）流速：30mL/min；2.1.8預(yù)分離柱：柱長約0.6m、內(nèi)徑3mm的不銹鋼柱，內(nèi)裝CST（一種改性碳分子篩）；2.1.9色譜柱Ⅰ：柱長約1.8m、內(nèi)徑3mm的不銹鋼柱，內(nèi)裝5A分子篩。該柱用于測定氫、氧+氬、氮、甲烷、一氧化碳。2.1.10色譜柱Ⅱ：柱長約4+6m、內(nèi)徑3mm的不銹鋼柱，內(nèi)裝PorapakQ。該柱用于測定四氟化碳、二氧化碳、六氟乙烷、八氟丙烷。2.1.11流程圖圖1PDD分析SF6中H2、O2+Ar、N2、CH4、CF4、CO、CO2、C2F6、C3F8流程圖3分析譜圖3.1標(biāo)氣及樣品氣分析譜圖圖2PDD分析標(biāo)氣氦中H2、O2+Ar、N2、CH4、CF4、CO、CO2、C2F6、C3F8譜圖xRSDxRSD=………（1）圖3PDD分析SF6樣品氣譜圖4重復(fù)性檢定方法4.1計算公式重復(fù)性以組分的保留時間、峰高和峰面積測量的相對標(biāo)準(zhǔn)偏差RSD表示，相對標(biāo)準(zhǔn)偏差RSD依下式計算：(xi-x)2式中：RSD——相對標(biāo)準(zhǔn)偏差（%）；n——測量次數(shù)；xi——第i次測量的保留時間、峰高或峰面積；x——n次進(jìn)樣的保留時間、峰高或峰面積算術(shù)平均值；i——進(jìn)樣序號。4.2數(shù)據(jù)表格色譜連續(xù)進(jìn)樣7次得出以下表格數(shù)據(jù)：表2標(biāo)氣測量數(shù)據(jù)表PDDA(uv*s)H(uv)H2O2+ArN2CF4CH4COCO2C2F6C3F81A:20733.4A:77353.0A:61566.6A:41306.6A:144453.2A:91778.2A:137034.6A:96659.6A:169347.2H:6557.0H:16360.0H:9364.0H:4431.0H:16002.0H:4151.0H:7005.0H:2549.0H:3154.02A:20817.5A:76848.5A:60315.8A:41962.9A:143452.6A:90645.3A:137475.0A:97338.5A:170119.5H:6583.0H:16207.0H:9022.0H:4472.0H:15949.0H:4139.0H:7032.0H:2566.0H:3170.03A:21085.0A:76119.0A:59964.5A:42900.1A:145425.1A:91346.4A:138703.5A:98471.3A:170486.0H:6579.0H:16049.0H:8831.0H:4555.0H:16185.0H:4175.0H:7102.0H:2598.0H:3212.04A:21176.5A:76312.5A:59245.3A:43078.5A:146145.0A:90762.0A:135399.5A:98736.8A:168059.4H:6659.0H:16099.0H:8792.0H:4670.0H:16258.0H:4152.0H:7113.0H:2634.0H:3217.05A:21087.5A:78099.3A:59485.6A:43495.6A:145442.4A:89382.0A:136115.2A:99705.5A:168022.6H:6753.0H:16702H:9063.0H:4671.0H:16220.0H:4113.0H:7084.0H:2630.0H:3202.06A:21377.5A:78205.9A:58360.8A:44026.2A:147425.5A:90420.8A:136729.0A:98771.3A:168978.1H:6785.0H:16574.0H:8789.0H:4766.0H:16424.0H:4157.0H:7170.0H:2644.0H:3238.07A:21394.9A:77256.2A:57613.5A:42104.4A:144434.1A:91074.53A:136122.5A:98504.5A:168799.3H:6673.0H:16282.0H:8615.0H:4629.0H:16173.0H:4189.0H:7101.0H:2630.0H:3251.0平均值A(chǔ):21096.1A:77170.6A:59507.7A:42696.3A:145254.0A:90774.0A:136797.0A:98312.5A:169116.0H:6655.0H:16327.0H:8925.0H:4599.0H:16173.0H:4153.0H:7086.0H:2607.0H:3206.0重復(fù)性RSDA:1.20%A:1.05%A:2.18%A:2.22%A:0.89%A:0.84%A:0.79%A:1.02%A:0.56%H:1.34%H:1.48%H:2.75%H:2.59%H:0.98%H:0.59%H:0.77%H:1.43%H:1.08%注：A表示峰面積，單位微伏*秒；H表示峰高，單位微伏；Rt表示保留時間，單位秒；由表2所知，各個組分RSD都在3%以下，重復(fù)性較好。5儀器最小檢出濃度5.1最小檢出濃度最小檢出濃度公式：C=（2）2C=（2）minH式中：Cmin——最小檢出濃度，10-6（摩爾分?jǐn)?shù)）；N——噪音(μV）；c——組分濃度，10-6（摩爾分?jǐn)?shù)）；H——峰高(μV）。PDD噪音10μV；PDD最小檢出濃度經(jīng)過計算得出組分名H2O2+ArN2CF4CH4COCO2C2F6C3F8平均峰高(μv）6655.016327.08925.04599.016173.04153.07086.02607.03206.02.402.95最小檢出濃度，10-9（摩爾分?jǐn)?shù)）5.892.946.618.482.379.255.5914.7311.925.2樣品氣檢測結(jié)果組分名H2O2+ArN2CF4CH4COCO2C2F6C3F8未檢出0.0460.335未檢出未檢出未檢出未檢出未檢出未檢出2.1.8流程圖三、試驗報告3鋼瓶號：200224616072/L210106161生產(chǎn)單位：大連大特氣體有限公表1：六氟化硫標(biāo)氣組分濃度表組分含量（mol/mol）氫（H2）0.986*10-6（氧+氬O2+Ar）氮（N2）四氟化碳(CF4）一氧化碳（CO）0.986*10-6二氧化碳（CO2）甲烷(CH4）六氟乙烷（C2F6）八氟丙烷（C3F8）He平衡2.氣相色譜儀及檢測條件2.1儀器型號：C592-41S-V2.1.1柱爐：90℃;2.1.2檢測器：23℃;2.1.4定量管2.0mL；2.1.5載氣（氦氣）流速：載氣1，31.6mL/min；載氣2，45.3mL/min；載氣3，34.3mL/min；載氣4，34.8mL/min；2.1.6預(yù)分離柱：預(yù)柱1：3′×1/8″內(nèi)裝硅膠柱預(yù)柱2：15′×1/8″hayesepDB2.1.7色譜柱：一氧化碳。.分析柱2：15′×1/8″hayesepQ內(nèi)裝Q填料，該柱用于測定四氟化碳、二氧化碳、六氟乙烷、八氟丙烷。圖1GC-DID檢測SF6中H2、O2+Ar、N2、CH4、CO、CF4、CO2、C2F6、C3F8流程圖3分析譜圖3.1標(biāo)氣分析譜圖圖2GC-DID分析標(biāo)氣中O2+Ar、N2、CH4、CO、CF4、CO2、C2F6、C3F8譜圖xx圖3GC-DID分析標(biāo)氣中H2譜圖4.重復(fù)性檢定方法4.1計算公式重復(fù)性以組分的峰高和峰面積測量的相對標(biāo)準(zhǔn)偏差RSD表示，相對標(biāo)準(zhǔn)偏差RSD依下式計算：RSD=(xi-x)2式中：RSD——相對標(biāo)準(zhǔn)偏差（%）；n——測量次數(shù)；xi——第i次測量的峰高或峰面積； x——n次進(jìn)樣的峰高或峰面積算術(shù)平均值；i——進(jìn)樣序號4.2數(shù)據(jù)表格色譜連續(xù)進(jìn)樣7次得出以下表格數(shù)據(jù)：表2：標(biāo)氣測量數(shù)據(jù)表GC-DIDA(uv*s)H(mv)H2O2+ArN2CH4COCF4CO2C2F6C3F81A:9.786A:36.628A:34.411A:118.057A:55.052A:23.465A:93.64A:50.047A:78.634H:2.348H:15.2H:11.5H:26.3H:10H:4.1H:22.5H:7.7H:2.72A:9.652A:36.319A:33.588A:117.776A:55.148A:23.471A:93.255A:50.537A:78.569H:2.345H:15.2H:11.2H:26.4H:10.1H:4H:22.5H:7.8H:2.83A:9.250A:36.65A:34.09A:117.853A:55.121A:23.425A:93.369A:50.63A:78.127H:2.377H:15.2H:11.3H:26.2H:10H:4H:22.7H:7.8H:2.84A:9.441A:36.434A:34.085A:117.845A:55.106A:23.467A:93.251A:50.615A:78.245H:2.372H:15.4H:11.6H:26.2H:9.9H:3.9H:22.4H:7.7H:2.85A:9.774A:36.743A:33.634A:117.379A:55.063A:23.428A:93.842A:50.943A:78.654H:2.388H:15.2H:11.1H:26.4H:10H:4H:22.6H:7.8H:2.86A:9.210A:36.868A:33.616A:117.878A:55.159A:23.454A:93.954A:50.992A:78.253H:2.395H:15.2H:11.1H:26.4H:10H:4H:22.7H:7.8H:2.87A:9.764A:36.943A:33.772A:117.803A:55.093A:23.461A:93.785A:50.884A:78.077H:2.359H:15.3H:11.1H:26.4H:10H:4H:22.7H:7.8H:2.8平均值A(chǔ):9.598A:36.66A:33.89A:117.80A:55.11A:23.45A:93.59A:50.66A:78.37H:2.318H:15.24H:11.27H:26.33H:10.00H:4.00H:22.59H:7.77H:2.79重復(fù)性RSDA:2.6%A:0.6%A:0.9%A:0.2%A:0.1%A:0.3%A:0.6%A:0.3%H:1.2%H:0.5%H:1.8%H:0.4%H:0.6%H:1.4%H:0.5%H:0.6%H:1.4%注：A表示峰面積，單位微伏*秒；H表示峰高，單位毫伏；Rt表示保留時間，單位秒；由表2所知，各個組分RSD都在3%以下，重復(fù)性較好。5儀器最小檢出濃度5.1最小檢出濃度最小檢出濃度公式：Cmin=2Nc/H各參數(shù)意義：Cmin——最小檢出濃度，10-6（摩爾分?jǐn)?shù)）N——噪音（mV）c——組分濃度，10-6（摩爾分?jǐn)?shù)）H——峰高（mV）GC-DID噪音0.002mV；GC-DID最小檢出濃度經(jīng)過計算得出組分名H2O2+ArN2CH4COCF4CO2C2F6C3F8平均峰高（mv）2.36326.334.0022.597.772.790.9860.986最小檢出濃度，10-9（摩爾分?jǐn)?shù)）0.285.2樣品氣檢測結(jié)果組分名H2O2+ArN2CH4COCF4CO2C2F6C3F8濃度，10-6（摩爾分?jǐn)?shù)）ND0.0190.081NDNDNDNDNDND濃度，10-6（摩爾分?jǐn)?shù)）ND0.0170.083NDNDNDNDNDND濃度，10-6（摩爾分?jǐn)?shù)）ND0.0160.082NDNDNDNDNDND一、試驗報告11.水分檢測儀及檢測條件1.1儀器型號：美國TigerOpticsHALO-3-H2O微量水分析儀1.2測量范圍：0-500ppm1.3測量下限：20ppb1.4精度：讀數(shù)的±4％或±10ppb(取大值)1.6環(huán)境溫度：20℃1.7所用材料:316L不銹鋼1.8氣體的連接：1/4”VCR入氣口及出氣口1.9六氟化硫氣體流速：30ml/min2.檢測結(jié)果SF6氣瓶號：A23062水分值：0.077ppm二、試驗報告21實驗儀器及方法1.1實驗儀器水分儀（Puren-M，內(nèi)蒙古光能科技有限公司）。表1水分儀儀器設(shè)備參數(shù)名稱參數(shù)儀器型號Puren-M檢測下限10ppb（N2）靈敏度4ppb響應(yīng)速度（典型值）＜1minuteto90%工作范圍0-20ppm環(huán)境溫度10℃-40℃儲存溫度-10℃-50℃測試方法光腔衰蕩光譜激光類型連續(xù)波近紅外二極管激光器1.2實驗方法使用光腔衰蕩光譜法分析，該方法原理為對連續(xù)波激光進(jìn)行調(diào)諧實現(xiàn)光腔模式匹配，在穩(wěn)定的氣壓及溫度下關(guān)斷激光，激光在兩個高反射鏡內(nèi)來回反射，每次都有少量激光離開光腔，被光電探測器探測到，該信號的衰蕩時間可準(zhǔn)確表征氣體中雜質(zhì)成分的含量。2測量結(jié)果表2SF6樣品氣水分分析結(jié)果鋼印號濃度（v/v，10-6）23D4440970.21三、試驗報告31.檢驗儀器名稱生產(chǎn)單位設(shè)備型號檢出限微量水分儀TigerHalo32ppb2.水分檢測結(jié)果水份檢測：濃度為170.5ppbv，169.4ppbv，169.2ppbv一、試驗報告11.儀器與試劑離子色譜儀(Metrohm，瑞士萬通公司)。表1離子色譜儀儀器設(shè)備參數(shù)名稱參數(shù)儀器型號Metrohm883.0020BasicICplus進(jìn)樣系統(tǒng)手動進(jìn)樣，使用帶0.45μm針頭過濾器的注射器保護(hù)柱MetrosepRP2Guard/3.5檢測器MetrohmICConductivityDector分析柱MetrosepASupp5（4mm×150mm）柱溫室溫抑制器MetrohmMSM進(jìn)樣體積淋洗液3.2mmol/LNa2CO3＋1.0mmol/LNaHCO3；淋洗液流速0.7mL/min1.2試劑與器皿純水：實驗室用水符合GB/T6682的一級水要求，純水機(jī)型號是UPS-Ⅱ-40L。實驗中用到的器皿為聚四氟乙烯或玻璃材質(zhì)，均經(jīng)過浸泡和清洗流程處理。表2標(biāo)準(zhǔn)溶液及要求名稱含量廠商有效期批號氟離子標(biāo)準(zhǔn)液GNM-SFg/mL國家有色金屬及電子材料昊華氣體有限公司分析測試中心2024.06.0423D501192六氟化硫氣體中可水解氟化物的捕集方法2.1溶液吸收系統(tǒng)采樣系統(tǒng)流程圖如圖1所示。采樣管路上串聯(lián)兩個吸收瓶，吸收瓶為聚四氟乙烯材質(zhì)，用一級水少量多次進(jìn)行置換后，各加一級水100mL，按流程圖進(jìn)行連接。注意：吸收瓶的進(jìn)氣管需插至吸收液底部，而且配有吸收球，使得氣體在穿過吸收液時，形成氣泡，進(jìn)而增大氣體與吸收液的界面接觸面積，有利于氣體中可水解氟化物的吸收。1、2—吸收瓶；3—濕式氣體流量計圖1六氟化硫氣體中可水解氟化物吸收系統(tǒng)流程圖2.2氣體中可水解氟化物的吸收吸收操作順序如下：打開樣品氣，調(diào)節(jié)調(diào)壓閥，使流量控制在350mL/min，SF6樣品連續(xù)鼓泡通過2個氣體洗瓶1h，放出約20L試樣，由濕式流量計計量。取樣完成后，取下吸收瓶，將兩個瓶內(nèi)溶液充分混勻。3六氟化硫氣體中可水解氟化物含量的測試方法3.1標(biāo)準(zhǔn)品的制備取10mL氟離子標(biāo)準(zhǔn)溶液GNM-SF-002-2013，用一級水稀釋至100mL，制備成10mg/L的氟離子工作儲備液A1。取10mL氟離子工作儲備液A1，用一級水稀釋至100mL，制備成1.0mg/L的氟離子工作儲備液A2。取10mL氟離子工作儲備液A2，用一級水稀釋至100mL，制備成0.1mg/L的氟離子工作儲備液A3。取10mL氟離子工作儲備液A3，用一級水稀釋至100mL，制備成0.01mg/L的氟離子工作儲備液A4。A1，A2，A3，A4需放置冰箱，有效期3個月。3.2標(biāo)準(zhǔn)工作曲線的繪制取10mL的氟離子工作儲備液A4，用一級水稀釋至100mL，配制濃度為0.001mg/L氟離子標(biāo)準(zhǔn)曲線溶液；取40mL的氟離子工作儲備液A4，用一級水稀釋至100mL，配制濃度為0.004mg/L氟離子標(biāo)準(zhǔn)曲線溶液；取60mL的氟離子工作儲備液A4，用一級水稀釋至100mL，配制濃度為0.006mg/L氟離子標(biāo)準(zhǔn)曲線溶液；取80mL的氟離子工作儲備液A4，用一級水稀釋至100mL，配制濃度為0.008mg/L氟離子標(biāo)準(zhǔn)曲線溶液;取10mL的氟離子工作儲備液A3，用一級水稀釋至100mL，配制濃度為0.01mg/L氟離子標(biāo)準(zhǔn)曲線溶取20mL的氟離子工作儲備液A3，用一級水稀釋至100mL，配制濃度為0.02mg/L氟離子標(biāo)準(zhǔn)曲線溶液；取30mL的氟離子工作儲備液A3，用一級水稀釋至100mL，配制濃度為0.03mg/L氟離子標(biāo)準(zhǔn)曲線溶液。待儀器穩(wěn)定后測定工作曲線。采用最小二乘法制作儀器響應(yīng)值對標(biāo)準(zhǔn)濃度值的線性方程。線性方程直線性的相關(guān)系數(shù)應(yīng)不小于0.999。每半年至少進(jìn)行一次工作曲線的制作。3.3氟離子濃度的測定以建立工作曲線同樣的測定條件測定樣品吸收溶液，從工作曲線可查得樣品吸收溶液中的氟離子含量。重復(fù)進(jìn)樣至少兩次，直至兩次平行測定的相對偏差不大于5%，取其算術(shù)平均值為測定值。4結(jié)果的計算SF6氣體中可水解氟化物的含量按下式進(jìn)行計算：式中：ΦHF——SF6氣體中可水解氟化物（以HF計）的含量（10-6，體積分?jǐn)?shù)）；C——離子色譜檢測出的氟離子濃度，單位為毫克每升（mg/L）；V1——?dú)怏w吸收完后溶液總體積，單位為毫升（mL）；V0——?dú)怏w吸收的樣品體積，單位為升（L）；t——實驗室當(dāng)前溫度，單位為攝氏度(℃);M——F的相對原子質(zhì)量，19；P——樣品氣壓力，單位為千帕（kPa）；22.4——理想氣體摩爾體積，單位為升每摩爾（L/moL）；101——標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，單位為千帕（kPa）；273——開式溫度，單位為開爾文（K）；5測試結(jié)果表3六氟化硫氣體中可水解氟化物的測試結(jié)果樣品氟離子濃度（mg/L）可水解氟化物重復(fù)性RSD（%）報告結(jié)果平行-1#0.0020.02500.025平行-2#0.0020.025二、試驗報告21儀器與試劑1.1儀器離子色譜儀（Eco-IC，Metrohm）。表1離子色譜儀儀器設(shè)備參數(shù)名稱參數(shù)儀器型號Eco-IC進(jìn)樣系統(tǒng)863CompactAutosampler檢測器抑制型電導(dǎo)檢測器保護(hù)柱陰離子保護(hù)柱色譜柱陰離子色譜柱柱溫進(jìn)樣體積20uL淋洗液3.2mMNa2CO3+1.0mMNaHCO3；等度淋洗模式再生液0.5%淋洗液流速0.7mL/min1.2試劑與器皿純水：實驗室用水符合GB/T11446.1-2013的要求，純水機(jī)型號是密理博Milli-Q。1.3標(biāo)準(zhǔn)表2標(biāo)準(zhǔn)溶液及要求名稱含量廠商有效期批號水中氟成分分析標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)國標(biāo)（北京）檢驗認(rèn)證有限公司23D906332六氟化硫中氟的吸收方法2.1樣品預(yù)處理裝置按圖1示意圖安裝樣品預(yù)處理裝置。六氟化硫氣瓶連接調(diào)壓閥，出口管路上串聯(lián)2個多孔式氣體洗瓶（以下簡稱氣體洗瓶），每個裝有100mL的一級水。第2個氣體洗瓶后面連接濕式氣體流量計。圖1樣品預(yù)處理裝置示意圖2.2氣體的吸收樣品預(yù)處理裝置示意圖見圖1。在2個氣體洗瓶中各加入100mL一級水。打開圖1所示的六氟化硫氣瓶閥門，調(diào)節(jié)調(diào)壓閥，使流量控制在300mL/min。六氟化硫樣品連續(xù)鼓泡通過2個氣體洗瓶30min左右，放出約20L試樣，停止吸收。吸收完成后，合并2個氣體洗瓶中的吸收溶液，搖勻待測。同時做空白試驗。3六氟化硫氣體中氟離子的測試方法3.1標(biāo)準(zhǔn)品的制備取1mL水中氟成分分析標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，用超純水稀釋至100mL，制備成1ug/mL的多元素標(biāo)準(zhǔn)品工作儲備溶液A0，A0需放置冰箱，有效期1個月。3.2標(biāo)準(zhǔn)工作曲線的繪制取0.1mL的水中氟成分分析標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)工作儲備溶液A0，用超純水稀釋至100mL，配制濃度分別為0.001ug/mL標(biāo)準(zhǔn)曲線1；取0.5mL的水中氟成分分析標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)工作儲備溶液A0，用超純水稀釋至100mL，配制濃度分別為0.005ug/mL標(biāo)準(zhǔn)曲線2；取1mL的水中氟成分分析標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)工作儲備溶液A0，用超純水稀釋至100mL，配制濃度分別為0.01ug/mL標(biāo)準(zhǔn)曲線3；取3mL的水中氟成分分析標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)工作儲備溶液A0，用超純水稀釋至100mL，配制濃度分別為0.03ug/mL標(biāo)準(zhǔn)曲線4；取6mL的水中氟成分分析標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)工作儲備溶液A0，用超純水稀釋至100mL，配制濃度分別為0.06ug/mL標(biāo)準(zhǔn)曲線5。待儀器穩(wěn)定后測定工作曲線。采用最小二乘法制作儀器響應(yīng)值對標(biāo)準(zhǔn)濃度值的線性方程，線性方程直線性的相關(guān)系數(shù)應(yīng)不小于0.99。3.3離子含量測定采用標(biāo)準(zhǔn)工作曲線法對空白溶液、吸收樣品后的溶液氟離子含量進(jìn)行定量。使用標(biāo)準(zhǔn)工作曲線法分析時，儀器設(shè)定的操作參數(shù)應(yīng)與制作標(biāo)準(zhǔn)曲線時操作參數(shù)保持一致。4結(jié)果的計算4.1六氟化硫氣體中可水解氟化物（以氟離子計）含量的計算按公式（1）計算六氟化硫中可水解氟化物（以氟離子計）的含量。MSF60式中：c——離子色譜檢測出的氟離子濃度，單位為毫克每升（mg/L）；V1——樣品吸收溶液的體積，單位為升（L）；22.4——標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的理想氣體摩爾體積，單位為升每摩爾（L/mol）；P0——標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的大氣壓力，單位為千帕（kPa）（P0=101.325）；T——環(huán)境溫度，單位為開爾文（K）；V0——吸收的樣品氣體積，單位為升（L）；MSF6——六氟化硫的摩爾質(zhì)量，單位為克每摩爾（g/molM=146.06P——環(huán)境大氣壓力，單位為千帕（kPa）；T0——標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)的絕對溫度，單位為開爾文（KT0=273.155測試結(jié)果表3六氟化硫氣體中可水解氟化物的測試結(jié)果項目平行-1#（v/v,10-6）平行-2#（v/v,10-6）報告結(jié)果（v/v,10-6）可水解氟化物0.020.020.02三、試驗報告31.儀器與試劑離子色譜儀(日本島津株式會社)。表1離子色譜儀儀器設(shè)備參數(shù)名稱參數(shù)儀器型號進(jìn)樣系統(tǒng)DIONEXAS-AP前處理濃縮柱UTCCULP2檢測器抑制型離子色譜檢測器分析柱ICSI-364D（4mm×150mm）柱溫31°C抑制器AS-1000（60mA）進(jìn)樣體積4.0mL淋洗液25mmol/L氫氧化鉀