真空技術 真空計 皮拉尼真空計的規(guī)范、校準和測量不確定度 征求意見稿

GB/TXXXXX—XXXX/ISO19685:20171真空技術真空計皮拉尼真空計的規(guī)范、校準和測量不確定度GB/T34873-2017真空計與標準真空計直接比較校準（ISO3567:2011，ISO27893真空計與標準真空計直接比較校準結(jié)果的不確定度評定（Vacuumtechnology—comparisonwithareferencegauge）3.1部組件定義熱傳導真空計thermalconductivi注1：一些皮拉尼真空計通過在管內(nèi)使用熱對流來擴展測量范圍的上限。這種類型通常被稱為對流增強型皮拉尼真GB/TXXXXX—XXXX/ISO19685:201723.2物理參數(shù)定義從法蘭連接平面處開始計算，真空規(guī)暴露于其所連接的真空系熱調(diào)節(jié)系數(shù)thermalaccommodationcoea)至少進行三次校準，從中獲得測量誤差ei的相對標準偏差，每次校準間隔規(guī)定的時間，e-b)校準前后測量誤差Δpi變化量絕對值（非負）的平均值，每次校準間隔規(guī)δt=+1eiGB/TXXXXX—XXXX/ISO19685:20173生。因此，長期穩(wěn)定性與時間不是線性關系(例如兩年的注5：如果沒有特別說明，建議在一年的周期內(nèi)確定δt。一方面是出于成本和運輸因素，另一方面和最小測量不確定度可能性帶來的的影響，這是介于二者τ圖1響應時間τ定義說明示意圖4符號和縮略語eGB/TXXXXX—XXXX/ISO19685:20174pPa測量誤差（示值壓力pUUC減去參考壓力p）PapUUCPaδtτ-5皮拉尼真空計原理電壓或電流保持恒定。當溫度保持不變時，線性測量范圍最大。更詳細的資料參見參考文獻[1]。皮拉尼真空計的測量下限和分辨率是由加熱元件與機械支撐結(jié)構之間的熱導率以及熱輻射所決定真空計規(guī)管處內(nèi)壁的溫度也可受到加熱元件的影響。在壓力(大于1kPa)較高時，與較低的壓力相6.2測量原理應規(guī)定真空計規(guī)管內(nèi)的散熱方式(連續(xù)、脈沖、對6.3輸出類型GB/TXXXXX—XXXX/ISO19685:201756.4輸出的范圍和輸出顯示分辨率6.5測量范圍和滿量程6.6預期測量不確定度應規(guī)定在6.5中所給出的測量范圍內(nèi)，該類型的所有設備都能達到的預期測量不確定度。預期測量單個真空計的測量不確定度由校準證書給出(見8.6)。單個真空計的測量不確定度可6.7暴露在氣體中的材料6.8連接法蘭6.9接口和引腳連接應規(guī)定在測量范圍內(nèi)(示值在測量范圍以及測量不確定度限值內(nèi))獲得最佳性能的6.11真空計規(guī)管與控制單元的兼容性應規(guī)定真空計能正常工作時，規(guī)管和/或工作氣體的溫度以及可準確測量壓力的濕度應指定所需的電壓(交流或直流)、頻率和功率，以及(如適用)其穩(wěn)定性(例如GB/TXXXXX—XXXX/ISO19685:201766.15最大烘烤溫度應分別規(guī)定規(guī)管和電纜的最高溫度。如果控制單元或指示單元直接與真空計規(guī)管連接(“集成”或“活動”規(guī)管)，但能拆卸，則應說明這一點，同時應給出僅有真空計規(guī)管和附加控制單元的真空計規(guī)6.16規(guī)管和控制單元的尺寸標注。可以寬度、深度和高度(w.d.h)的方式表示。此外，能使用其他單位。7.2相對靈敏度系數(shù)7.3遲滯7.4響應時間7.5檢驗記錄和校準證書可隨真空計提供一份顯示儀器正常功能的檢查記錄文件(氮的測量范圍極限的讀數(shù)和真實壓力)。7.6配置7.7重量7.8儲存和運輸條件GB/TXXXXX—XXXX/ISO19685:201777.9照片為了獲得清晰的外觀和細節(jié)，建議使用垂直真空計規(guī)管和真空計控制單元的前后面板(連接器側(cè))7.11壓力設定點如果在極少數(shù)情況下，使用基礎標準進行校準，用戶應相應地應8.2校準條件記錄輸出的必要設備(例如數(shù)字電壓表)均按ISO/IEC1702校準項目應適合于校準，即校準項目在校準時的狀態(tài)宜符合廣為接受的技術規(guī)則以及制造商文件檢查應包括:——檢查是否有校準所需的文件(技術資料、操作說明)。建議用戶要聲明壓力表沒有被有毒、腐蝕、爆炸、放射性、微生物或其他有害物功能測試應包括:——校準項目的密封性;——操作功能(如開/關、零點可調(diào));——將控制單元元件調(diào)整到指定位置。GB/TXXXXX—XXXX/ISO19685:201788.3校準物品的安裝和調(diào)整考慮預熱時間。除非制造商另有規(guī)定，建議穩(wěn)定時間為30mi8.4校準建議使用一個或多個具有相似或更高精度的電容薄膜計或其他真空計作為參考真空計，覆蓋整個8.5校準過程中的測量不確定度ISO27893適用于此。各個不確定度分量取決于皮拉尼真空計的具體設計?！盘栞敵龇直媛?——零漂移;——滿量程漂移;——環(huán)境溫度的變化。8.6校準證書GB/TXXXXX—XXXX/ISO19685:201798.7遲滯的測量程序取讀數(shù);8.8響應時間的測量程序于升壓過程，小體積的容器壓力為100Pa，9倍大的儲存容器壓力則為1膨脹時，要配有通導率足夠高以及開啟快速注2：如果記錄儀表中輸出控制單元的電子元件與10ms的壓力步長相比較慢，則電子元件——長期不穩(wěn)定性；——非線性；GB/TXXXXX—XXXX/ISO19685:2017——環(huán)境溫度與校準期間不同；——環(huán)境溫度漂移；——規(guī)暴露后的氣體清潔度和一般氣體成分；——加熱元件的污染和磨損；GB/TXXXXX—XXXX/ISO19685:2017GB/TXXXXX—XXXX/ISO19685:2017[2]JOUSTEN,K.Onthegas[3]W.JITSCHINANDS.LUDWIG.Pul[4]EllEFSON,R.E.etal.Recommendedpracticeforcalibratingvacuumgaugesofthethermaconductivitytype.JVSTA.2OOO,1