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1碳化硅襯底及外延片位錯密度檢測方法KOH腐蝕結(jié)合圖像識別法本本件規(guī)定了用化學(xué)擇優(yōu)腐蝕結(jié)合圖像識別法檢測碳化硅晶片中位錯密度蝕,也就是不同晶向的腐蝕速度會有所差異。對于(0001)取向的SiC單晶來說,位錯周圍的晶格發(fā)生蝕坑;在C面,腐蝕劑在晶格完整區(qū)域腐蝕速度快,甚至和缺陷區(qū)域的腐蝕速度相當(dāng),因此在C面就會出現(xiàn)各向同性腐蝕效果,很少顯露腐蝕坑或腐蝕坑呈中心的腐坑對應(yīng)BPD。利用圖像識別將腐蝕坑歸類并計算每個視野內(nèi)的位2),將單晶按標(biāo)準(zhǔn)流程進行切割、研磨、拋光等制備成完整襯底片,然后將其浸泡在熔融KOH中腐蝕狀清晰并被準(zhǔn)確識別。腐蝕結(jié)束后分別用無水乙醇和去離子水3a)將腐蝕完畢的SiC樣品置于光學(xué)顯微鏡載物臺上,Simm后進行矩陣式掃描。即將晶片最長直徑D按間隔5mm的距離分成若干份,然后在若干份的區(qū)域里選取中心成像。掃描過程中需保證每個視野內(nèi)成像清晰;b)掃描過程中,按照圖1不同位錯不同位錯密度在整個晶片上的分布信息,如圖4所示。位錯密度用每個視野內(nèi)位錯密度的4碳化硅單晶片TSD密度DTSD按式(1)計算。DTSD=∑1Ni……(1)n——測試點個數(shù);Ni——第i個測試點TSD數(shù)目;碳化硅單晶片TED密度DTED按式(2)計算。DTED=∑1Ni……(2)n——測試點個數(shù);Ni——第i個測試點TED數(shù)目;碳化硅單晶片BPD密度DBPD按式(3)計算。DBPD=∑1Ni……(3)n——測試點個數(shù);Ni——第i個測試點BPD數(shù)目;在重復(fù)性條件下,本方法測量位錯缺陷密度的相對標(biāo)準(zhǔn)偏差不大于2e)
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