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1數(shù)字集成電路
-電路、系統(tǒng)與設(shè)計導(dǎo)線2導(dǎo)線3片上互連影響4導(dǎo)線模型5互連寄生效應(yīng)的影響InterconnectparasiticsreducereliabilityaffectperformanceandpowerconsumptionClassesofparasiticsCapacitiveResistiveInductive6互連特性GlobalInterconnectSLocal=STechnologySGlobal=SDieSource:Intel7互連Capacitance8互連電容9電容:平行板模型10介電常數(shù)11邊緣場電容12平行板的邊緣效應(yīng)13電容耦合14電容耦合的影響15導(dǎo)線電容(0.25mmCMOS)16互連Resistance17互連電阻18互連電阻19DealingwithResistanceSelectiveTechnologyScalingUseBetterInterconnectMaterialsreduceaveragewire-lengthe.g.copper,silicidesMoreInterconnectLayersreduceaveragewire-length20硅化物多晶柵MOSFETn+n+SiO2多晶硅硅化物p硅化物多晶柵MOSFET21薄層電阻22現(xiàn)代互連23例:Intel0.25micronProcess5metallayersTi/Al-Cu/Ti/TiNPolysilicondielectric24互連Inductance25互連模型26集總模型27分布RC模型
Elmore延時28Ellmore
延時
RC鏈29導(dǎo)線模型Assume:WiremodeledbyNequal-lengthsegmentsForlargevaluesofN:30分布rc線Thediffusion
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