《半導(dǎo)體行業(yè)超純水工藝制程混床用離子交換樹(shù)脂產(chǎn)品認(rèn)證技術(shù)要求》

4半導(dǎo)體行業(yè)超純水工藝制程混床用離子交換樹(shù)脂產(chǎn)品認(rèn)證技術(shù)要求本文件適用于半導(dǎo)體行業(yè)超純水制備用的制程混床用離子交GB/T5757離子交換樹(shù)脂含水GB/T5758離子交換樹(shù)脂粒度分布測(cè)定方法離子交換樹(shù)脂粒度、有效粒徑和均一系數(shù)的GB/T5759氫氧型陰離子交換樹(shù)脂含水GB/T5760氫氧型陰離子交換樹(shù)脂交換容GB/T12598離子交換樹(shù)脂強(qiáng)度GB/T36769陽(yáng)離子交換樹(shù)脂再生轉(zhuǎn)型率半導(dǎo)體行業(yè)超純水ultrapurewaterforsemiconductorin歐姆厘米(Ω·cm純水的理論電阻率為18.3MΩ·cm（25℃)?？傆袡C(jī)碳totalorganic54.1強(qiáng)酸性陽(yáng)離子交換樹(shù)脂4.1.1外觀4.1.3理化性能%%%%4.2強(qiáng)堿性陰離子交換樹(shù)脂4.2.1外觀4.2.3理化性能%%%%4.3運(yùn)行參數(shù)65.2游離水分測(cè)定測(cè)試除去外層包裝(編織袋或桶)后，將用透明塑料袋包裝的樹(shù)脂豎起直立，約10mi于容器中計(jì)量。應(yīng)從到貨樹(shù)脂中至少測(cè)定3件(袋或桶)，以所收集量的平均值計(jì)算整批到貨樹(shù)脂游離水5.3試樣預(yù)處理5.4含水量的測(cè)定5.5體積交換容量的測(cè)定氫型樹(shù)脂交換容量用經(jīng)過(guò)預(yù)處理的試樣25mL，按GB/T8144-2008標(biāo)鈉型樹(shù)脂交換容量按照GB/T8144氫氧型陰樹(shù)脂采用GB/T5760-2000氫氧型陰離子交換樹(shù)脂交換容量測(cè)定方法中規(guī)定的方法進(jìn)行測(cè)氯型陰樹(shù)脂采用GB/T11992-2008氯型強(qiáng)堿性陰離子交換樹(shù)脂交換容量測(cè)定方法中規(guī)定的方法進(jìn)Qv=Qwp(1?X)#(1)X——含水量，%。5.6濕視密度的測(cè)定濕視密度按GB/T8331-2008中規(guī)75.7濕真密度的測(cè)定濕真密度測(cè)定按GB/T8330-2008中規(guī)5.8粒度、有效粒徑和均一系數(shù)的測(cè)定粒度、有效粒徑和均一系數(shù)按GB/T5758-2001中規(guī)定5.9磨后圓球率的測(cè)定5.10氫型率的測(cè)定氫型率的測(cè)定采用GB/T36769—2018中規(guī)定的5.11氫氧型率的測(cè)定5.12運(yùn)行參數(shù)的測(cè)定5.12.1試驗(yàn)條件表4制程混床用離子交換樹(shù)脂測(cè)試試驗(yàn)進(jìn)水水5.12.2試驗(yàn)儀器——二氧化硅測(cè)定儀：量程0.03μg/L~0.2mg/L，精——總有機(jī)碳測(cè)定儀：量程0