基于ZnO玻璃結(jié)構(gòu)的聲表面波器件研究開(kāi)題報(bào)告

基于ZnO玻璃結(jié)構(gòu)的聲表面波器件研究開(kāi)題報(bào)告一、研究背景及意義聲表面波器件（SurfaceAcousticWave,SAW）是指采用聲表面波在固體晶體中傳遞和散射的原理，實(shí)現(xiàn)對(duì)電信號(hào)進(jìn)行放大、調(diào)制或者濾波的一類微電子器件。SAW器件由于具有微型化、高精度、低功耗等特點(diǎn)，在現(xiàn)代通信、醫(yī)療、工業(yè)等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。而針對(duì)SAW器件中的壓電材料，ZnO材料由于其制備工藝簡(jiǎn)單、性能優(yōu)良等優(yōu)點(diǎn)在壓電領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用。基于ZnO壓電材料的SAW器件也受到學(xué)術(shù)界和工業(yè)界的廣泛關(guān)注。目前，已有較多基于ZnO單晶或薄膜的SAW器件研究。然而，單晶或薄膜的制備過(guò)程對(duì)于SAW器件的制造和實(shí)際應(yīng)用中產(chǎn)生了很大限制，同時(shí)也加大了成本。而玻璃及其陶瓷在電子器件中的應(yīng)用得到廣泛關(guān)注，因?yàn)樗鼈儍r(jià)格便宜、制備工藝簡(jiǎn)單、材料穩(wěn)定性強(qiáng)、有良好的可加工性和防水性。因此，基于ZnO玻璃結(jié)構(gòu)的SAW器件的研究和開(kāi)發(fā)具有較高的意義和價(jià)值。二、研究?jī)?nèi)容和技術(shù)路線本課題旨在研究基于ZnO玻璃結(jié)構(gòu)的SAW器件，并探究其在聲波傳輸、信號(hào)增強(qiáng)、濾波等方面的性能。具體研究?jī)?nèi)容包括以下幾個(gè)方面：1.制備基于ZnO玻璃結(jié)構(gòu)的SAW器件，包括對(duì)ZnO材料和玻璃基底的制備和優(yōu)化。2.研究SAW信號(hào)的傳輸特性和衰減規(guī)律，分析其與ZnO玻璃結(jié)構(gòu)的結(jié)合程度的關(guān)系。3.研究SAW信號(hào)在不同膜厚的ZnO玻璃結(jié)構(gòu)中的傳輸特性，尋找合適的薄膜厚度。4.探究ZnO玻璃結(jié)構(gòu)的聲波傳輸和信號(hào)增強(qiáng)等性能，并研究其在濾波器件中的應(yīng)用。5.了解其他基于ZnO壓電材料的SAW器件研究成果，做進(jìn)一步的比較和分析，驗(yàn)證ZnO玻璃結(jié)構(gòu)的優(yōu)勢(shì)和局限性。技術(shù)路線：1.制備ZnO和玻璃材料，對(duì)其性能進(jìn)行分析和比較。2.利用激光沉積等方法制備具有不同膜厚的ZnO玻璃結(jié)構(gòu)，并對(duì)其進(jìn)行特性測(cè)試和優(yōu)化。3.研究SAW信號(hào)和ZnO玻璃結(jié)構(gòu)的耦合過(guò)程，在電子顯微鏡等設(shè)備上進(jìn)行觀察和分析。4.進(jìn)行聲波傳輸性能測(cè)試，并研究ZnO玻璃結(jié)構(gòu)在濾波器件中的應(yīng)用。5.將結(jié)果與同類研究成果進(jìn)行比較，驗(yàn)證本研究的優(yōu)勢(shì)和局限性。三、預(yù)期成果1.針對(duì)基于ZnO玻璃結(jié)構(gòu)的SAW器件的制備、特性分析和應(yīng)用進(jìn)行系統(tǒng)的研究，并在此基礎(chǔ)上提出有效的優(yōu)化方案。2.探究ZnO材料的精細(xì)化制備及其在玻璃結(jié)構(gòu)應(yīng)用中的特性，對(duì)該類壓電材料的研究也有一定的推動(dòng)作用。3.為SAW器件的微型化、穩(wěn)定性等方面的研究提供了一個(gè)全新的思路。4.文章發(fā)表于相關(guān)領(lǐng)域的權(quán)威期刊。參考文獻(xiàn)：1.M.A.Khan,R.S.Islam,andM.Sultana,“ZnOThinFilmBasedSurfaceAcousticWaveResonatorsforWirelessCommunication,”Sensors(Basel),Vol.11,No.9,pp.8416–8437,Sep.2011.2.Y.LiandX.Xiang,“NumericalStudyofAcousticFieldandTwo-PortSAWPropertiesin36°Y-CutLiNbO3Substrates,”InternationalJournalofAcousticsandVibration,Vol.22,No.4,pp.418–423,2017.3.W.Guo,W.Han,W.Du,andX.Xu,“CharacterizationandOptimizationofZnOBasedSAWResonators