鋁摻雜氧化鋅薄膜后續(xù)處理及其復(fù)合膜制備工藝研究的開題報(bào)告

鋁摻雜氧化鋅薄膜后續(xù)處理及其復(fù)合膜制備工藝研究的開題報(bào)告1.研究背景和意義：氧化鋅具有優(yōu)異的光電性能，在光催化、光致發(fā)光、太陽能電池等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。然而，氧化鋅在高溫下易析出氧，導(dǎo)致其穩(wěn)定性較差，影響其實(shí)際應(yīng)用。因此，通過摻雜能夠有效提高氧化鋅的穩(wěn)定性和光電性能。鋁摻雜氧化鋅是一種重要的摻雜方式，鋁摻雜氧化鋅具有優(yōu)異的光催化和光電化學(xué)性能，能被廣泛應(yīng)用于環(huán)境凈化、太陽能電池等領(lǐng)域。另外，氧化鋅與其他半導(dǎo)體復(fù)合形成的異質(zhì)結(jié)可以進(jìn)一步提高其性能。因此，研究氧化鋅的鋁摻雜、后續(xù)處理以及其與其他材料的復(fù)合制備工藝，對(duì)于進(jìn)一步提高氧化鋅在光電領(lǐng)域的應(yīng)用具有重要意義。2.研究內(nèi)容：（1）鋁摻雜氧化鋅薄膜的制備工藝研究：采用化學(xué)沉積、物理氣相沉積等方法制備鋁摻雜氧化鋅薄膜，優(yōu)化制備工藝，探究鋁摻雜對(duì)薄膜結(jié)構(gòu)、物理性能的影響。（2）鋁摻雜氧化鋅薄膜后續(xù)處理研究：采用常規(guī)熱處理、離子注入等方式，對(duì)鋁摻雜氧化鋅薄膜進(jìn)行后續(xù)處理，探究其對(duì)薄膜結(jié)構(gòu)、光電性能的影響。（3）鋁摻雜氧化鋅與其他材料的復(fù)合膜制備工藝研究：以鋁摻雜氧化鋅薄膜為基底，復(fù)合其他半導(dǎo)體材料，制備復(fù)合膜，并探究其性能。3.研究方法和技術(shù)路線：（1）鋁摻雜氧化鋅薄膜的制備方法主要有化學(xué)沉積、物理氣相沉積等，通過優(yōu)化制備條件，探究鋁摻雜對(duì)薄膜結(jié)構(gòu)、物理性能的影響。（2）鋁摻雜氧化鋅薄膜后續(xù)處理方法主要有常規(guī)熱處理、離子注入等，通過對(duì)薄膜進(jìn)行不同方式的后續(xù)處理，探究其對(duì)薄膜結(jié)構(gòu)、光電性能的影響。（3）鋁摻雜氧化鋅與其他材料的復(fù)合膜制備方法主要有物理混合、分子束外延等，通過制備復(fù)合膜并測試其性能，探究鋁摻雜氧化鋅與其他半導(dǎo)體材料的復(fù)合效應(yīng)。4.研究計(jì)劃和進(jìn)度安排：（1）第一年：完成鋁摻雜氧化鋅薄膜的制備工藝研究，優(yōu)化制備工藝，探究鋁摻雜對(duì)薄膜結(jié)構(gòu)、物理性能的影響。（2）第二年：完成鋁摻雜氧化鋅薄膜后續(xù)處理研究，采用常規(guī)熱處理、離子注入等方式進(jìn)行后續(xù)處理，探究其對(duì)薄膜結(jié)構(gòu)、光電性能的影響。（3）第三年：完成鋁摻雜氧化鋅與其他材料的復(fù)合膜制備工藝研究，以鋁摻雜氧化鋅薄膜為基底，復(fù)合其他半導(dǎo)體材料，制備復(fù)合膜，并測試其性能，探究復(fù)合效應(yīng)。5.預(yù)期成果：（1）成功制備鋁摻雜氧化鋅薄膜，并優(yōu)化其制備工藝。（2）深入探究鋁摻雜對(duì)氧化鋅薄膜結(jié)構(gòu)、物理性能的影響。（3）探究鋁摻雜氧化鋅薄膜的后續(xù)處理對(duì)其結(jié)構(gòu)、光電性能的影響。（4）成功制備鋁摻雜氧化鋅與其他半導(dǎo)體材料的復(fù)合膜，并測試其性能，探究復(fù)合效應(yīng)。6.參考文獻(xiàn)：[1]Y.Wang,Y.Liu,L.Wu,etal.Al-dopedZnOthinfilmsdepositedonpolymersubstrates［J］.AppliedSurfaceScience,2015,355.[2]J.Porchetta,R.J.Cordingly,J.D.B.Bradley,etal.Visible-blindandsolar-blindphotodetectorsbasedonAl-dopedzincoxide［J］.AppliedPhysicsLetters,2005,87.[3]H.K.Cho,Q.Lai,S.Hwang,etal.High-performanceflexibledye-sensitizedsolarcellsbasedonAl-do