GB/T 28893-2024表面化學(xué)分析俄歇電子能譜和X射線光電子能譜測定峰強(qiáng)度的方法和報告結(jié)果所需的信息

ICS7104040

CCSG.04.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T28893—2024/ISO209032019

:

代替GB/T28893—2012

表面化學(xué)分析俄歇電子能譜和

X射線光電子能譜測定峰強(qiáng)度的

方法和報告結(jié)果所需的信息

Surfacechemicalanalysis—Augerelectronspectroscopyand

X-rayphotoelectronspectroscopy—Methodsusedtodeterminepeak

intensitiesandinformationrequiredwhenreportingresults

ISO209032019IDT

(:,)

2024-03-15發(fā)布2024-10-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T28893—2024/ISO209032019

:

目次

前言

…………………………Ⅰ

引言

…………………………Ⅱ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

符號和縮略語

4……………1

測定直接譜峰強(qiáng)度的方法

5………………1

通則

5.1…………………1

非彈性本底的選擇和扣除

5.2…………2

峰強(qiáng)度的測量

5.3………………………3

用計算機(jī)軟件測量峰強(qiáng)度

5.4…………4

重疊峰譜圖的峰強(qiáng)度測量

5.5…………4

峰面積的測量不確定度

5.6……………5

俄歇電子微分譜的峰強(qiáng)度測定方法

6……………………5

通則

6.1…………………5

俄歇電子微分譜強(qiáng)度的測量

6.2………………………6

俄歇電子微分譜強(qiáng)度測量的不確定度

6.3……………6

測量峰強(qiáng)度方法的報告

7…………………8

一般要求

7.1……………8

測定直接譜峰強(qiáng)度的方法

7.2…………8

獲得和測定俄歇電子微分譜峰強(qiáng)度的方法

7.3………9

附錄資料性儀器對測量強(qiáng)度的影響

A()………………10

附錄資料性確定譜峰強(qiáng)度時可用的積分限值

B()XPS……………11

參考文獻(xiàn)

……………………12

GB/T28893—2024/ISO209032019

:

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)

GB/T1.1—2020《1:》

定起草

。

本文件代替表面化學(xué)分析俄歇電子能譜和射線光電子能譜測定峰強(qiáng)

GB/T28893—2012《X

度的方法和報告結(jié)果所需的信息與相比除結(jié)構(gòu)調(diào)整和編輯性改動外主要技術(shù)

》,GB/T28893—2012,,

變化如下

:

更改了術(shù)語和定義見第章年版的第章

a)(3,20123);

更改了的內(nèi)容替換為包括處理共存化學(xué)態(tài)的現(xiàn)代方法見年版的

b)6.3,(6.3,20126.3)。

本文件等同采用表面化學(xué)分析俄歇電子能譜和射線光電子能譜測定峰

ISO20903:2019《X

強(qiáng)度的方法和報告結(jié)果所需的信息

》。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC38)。

本文件起草單位廈門荷清教育咨詢有限公司廈門大學(xué)

:、。

本文件主要起草人徐富春時海燕岑丹霞湯丁亮劉芬王水菊

:、、、、、。

本文件及其所代替文件的歷次版本發(fā)布情況為

:

年首次發(fā)布為

———2012GB/T28893—2012;

本次為第一次修訂

———。

Ⅰ

GB/T28893—2024/ISO209032019

:

引言

俄歇電子能譜和射線光電子能譜的重要特征是能獲得固體樣品表面區(qū)域深度

X(≈1nm~10nm)

的定量分析結(jié)果這樣的分析需要測定譜峰的強(qiáng)度

,。

有幾種峰強(qiáng)度測量方法適用于和實際上方法的選擇將取決于所分析樣品的類型所

AESXPS。,、

用儀器的性能以及可用的數(shù)據(jù)采集與處理方法

。

Ⅱ

GB/T28893—2024/ISO209032019

:

表面化學(xué)分析俄歇電子能譜和

X射線光電子能譜測定峰強(qiáng)度的

方法和報告結(jié)果所需的信息

1范圍

本文件規(guī)定了俄歇電子能譜和射線光電子能譜的峰強(qiáng)度測量的分析結(jié)果報告中所要求的必要

X

信息也提供了峰強(qiáng)度測量方法和導(dǎo)出的峰面積不確定度的信息

,。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

表面化學(xué)分析詞匯第部分通用術(shù)語及譜學(xué)術(shù)語

ISO18115-11:(Surfacechemicalanalysis—

Vocabular—Part1:Generaltermsandtermsusedinsectrosco)

注y表面化學(xué)分析詞匯第部分p通用術(shù)語p及y譜學(xué)術(shù)語

:GB/T22461.1—20231:(ISO18115-1:2013,IDT)

3術(shù)語和定義

界定的術(shù)語和定義適用于本文件

ISO18115-1。

4符號和縮略語

下列符號和縮略語適用于本文件

。

A峰面積

:(peakarea)

俄歇電子能譜

AES:(Augerelectronspectroscopy)

b用于強(qiáng)度平均獲得基線的通道數(shù)

: