SOI納米線波導(dǎo)與光纖的低損耗耦合研究的開題報(bào)告

SOI納米線波導(dǎo)與光纖的低損耗耦合研究的開題報(bào)告一、研究背景和意義隨著信息技術(shù)的不斷發(fā)展，人們對(duì)高速、大容量的信息傳輸需求不斷增長(zhǎng)。光纖作為一種傳輸效率高、損耗低的信息傳輸媒介，已經(jīng)被廣泛應(yīng)用于通信、醫(yī)療、科學(xué)等領(lǐng)域。然而，盡管光纖的傳輸效率已經(jīng)非常高，但是光纖與芯片之間的耦合卻是一個(gè)難點(diǎn)問題。為了讓芯片與光纖之間的耦合能夠更加有效地進(jìn)行，近年來涌現(xiàn)了一種新型的器件——SOI納米線波導(dǎo)。SOI納米線波導(dǎo)是一種新型的光學(xué)器件，具有易實(shí)現(xiàn)、低損耗等優(yōu)點(diǎn)，可以有效地實(shí)現(xiàn)芯片與光纖之間的低損耗耦合。本研究的主要意義在于探究SOI納米線波導(dǎo)與光纖之間的低損耗耦合技術(shù)。通過對(duì)該技術(shù)的研究，可以實(shí)現(xiàn)芯片與光纖之間的高效耦合，進(jìn)一步提高信息傳輸?shù)乃俣群腿萘?。二、研究?jī)?nèi)容和方法1.研究?jī)?nèi)容：（1）SOI納米線波導(dǎo)的制備技術(shù)研究；（2）SOI納米線波導(dǎo)與光纖之間的耦合模型建立；（3）SOI納米線波導(dǎo)與光纖之間的耦合性能測(cè)試及分析。2.研究方法：（1）制備SOI納米線波導(dǎo)，采用電子束光刻技術(shù)和深刻蝕技術(shù)；（2）建立SOI納米線波導(dǎo)與光纖之間的耦合模型，采用有限元方法進(jìn)行模擬；（3）對(duì)SOI納米線波導(dǎo)與光纖之間的耦合性能進(jìn)行測(cè)試，并對(duì)測(cè)試結(jié)果進(jìn)行分析。三、預(yù)期結(jié)果通過本研究，預(yù)期可以獲得以下結(jié)果：（1）制備出具有高質(zhì)量的SOI納米線波導(dǎo)；（2）成功建立SOI納米線波導(dǎo)與光纖之間的耦合模型；（3）成功實(shí)現(xiàn)SOI納米線波導(dǎo)與光纖之間的低損耗耦合；（4）探究SOI納米線波導(dǎo)與光纖之間的耦合性能規(guī)律，為進(jìn)一步優(yōu)化該技術(shù)提供參考。四、進(jìn)度安排和預(yù)算1.進(jìn)度安排：階段|工作任務(wù)|時(shí)間節(jié)點(diǎn)-|-|-第一階段|SOI納米線波導(dǎo)的制備技術(shù)研究|1-4個(gè)月第二階段|SOI納米線波導(dǎo)與光纖之間的耦合模型建立|5-8個(gè)月第三階段|SOI納米線波導(dǎo)與光纖之間的耦合性能測(cè)試及分析|9-12個(gè)月2.預(yù)算：預(yù)算項(xiàng)|金額-|-設(shè)備購(gòu)置|10萬元材料費(fèi)用|5萬元差旅費(fèi)用|3萬元?jiǎng)趧?wù)費(fèi)用|10萬元合計(jì)|28萬元五、可行性分析本研究所探究的SOI納米線波導(dǎo)與光纖之間的低損耗耦合技術(shù)，是目前光學(xué)器件研究的熱點(diǎn)方向之一，具有很強(qiáng)的實(shí)用價(jià)值和市場(chǎng)前景。同時(shí)，本研究所使用的制備技術(shù)、仿