（正式版）YST 1683-2024 磁記錄用鉻鈦合金濺射靶材

1CCS77.150.50YS中華人民共和國有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)2024-03-29發(fā)布2024-10-中華人民共和國工業(yè)和信息化部發(fā)布YS/T1683—2024本文件按照GB/T1.1-2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任。本文件由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會（SAC/TC243）提出并歸口。本文件起草單位：寧波江豐電子材料股份有限公司、有研億金新材料有限公司、寧波熱等靜壓技術(shù)有限公司。本文件主要起草人：姚力軍、吳東青、廖培君、楊慧珍、王學(xué)澤、劉曉、周友平、曹歡歡、邊逸軍、宋琦、湯婷、袁海軍、干科軍、許興、黃引馳、陳玉蓉、時曉旭。1YS/T1683—2024磁記錄用鉻鈦合金濺射靶材本文件規(guī)定了磁記錄用鉻鈦合金濺射靶材的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存及隨行文件和訂貨單內(nèi)容。本文件適用于垂直磁記錄硬盤、磁盤用鉻鈦合金靶材。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T1031產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范（GPS)表面結(jié)構(gòu)輪廓法表面粗糙度參數(shù)及其數(shù)值GB/T3850致密燒結(jié)金屬材料與硬質(zhì)合金密度測定方法GB/T4698.7海綿鈦、鈦及鈦合金化學(xué)分析方法氧量、氮量的測定GB/T4698.14海綿鈦、鈦及鈦合金化學(xué)分析方法碳量的測定GB/T4702.6—2016金屬鉻鐵、鋁、硅和銅含量的測定電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法GB/T6394金屬平均晶粒度測定方法GB/T8651金屬板材超聲板波探傷方法GB/T25915.1—2021潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第1部分：按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級YS/T891高純鈦化學(xué)分析方法痕量雜質(zhì)元素的測定輝光放電質(zhì)譜法3術(shù)語和定義本文件沒有需要界定的術(shù)語和定義。4技術(shù)要求4.1化學(xué)成分產(chǎn)品的化學(xué)成分應(yīng)符合表1的規(guī)定。表1化學(xué)成分%CNOSWV2YS/T1683—20244.2晶粒尺寸產(chǎn)品的晶粒尺寸平均值不大于45μm，最大值不大于120μm。4.3相對密度產(chǎn)品的相對密度應(yīng)不小于98%。4.4內(nèi)部質(zhì)量產(chǎn)品內(nèi)部夾雜和氣孔等缺陷面積應(yīng)不大于總濺射面積的0.02%。需方如有特殊要求時，由供需雙方協(xié)商確定，并在訂貨單中注明。4.5外形尺寸產(chǎn)品通常為圓形，尺寸規(guī)格及結(jié)構(gòu)方式一般由需方提供圖紙，經(jīng)雙方確認(rèn)后，方可生產(chǎn)。產(chǎn)品濺射面的平面度應(yīng)小于0.1mm。4.6表面粗糙度產(chǎn)品表面粗糙度應(yīng)符合圖紙要求，圖紙無要求時Ra值應(yīng)小于1.6μm。4.7外觀質(zhì)量產(chǎn)品表面應(yīng)清潔光滑，無指痕、油污和銹蝕，無顆粒附加物和其他沾污，無凹坑、劃傷、裂紋、凸起等缺陷。5試驗(yàn)方法5.1Ti含量的測定按照附錄A的規(guī)定進(jìn)行或由供需雙方協(xié)商確定；C含量的測定按照GB/T4698.14的規(guī)定進(jìn)行；O和N含量的測定按照GB/T4698.7的規(guī)定進(jìn)行；S含量和其他雜質(zhì)元素含量的測定按照YS/T891的規(guī)定進(jìn)行。5.2晶粒尺寸檢驗(yàn)按照GB/T6394的規(guī)定進(jìn)行。5.3相對密度檢驗(yàn)按GB/T3850的規(guī)定進(jìn)行。5.4內(nèi)部質(zhì)量檢驗(yàn)按照GB/T8651的規(guī)定進(jìn)行。5.5外形尺寸通過卡尺、平面度儀、塞規(guī)等，按照加工圖紙標(biāo)識尺寸進(jìn)行測定。需方有特殊要求時，可采用三坐標(biāo)測量儀進(jìn)行檢測。5.6表面粗糙度通過粗糙度測量儀按照GB/T1031的規(guī)定進(jìn)行檢驗(yàn)，或按照供需雙方協(xié)商確定的方法測定。5.7外觀質(zhì)量用目視方法檢測，必要時用放大鏡或顯微鏡進(jìn)行鑒別。6檢驗(yàn)規(guī)則6.1檢查和驗(yàn)收6.1.1產(chǎn)品應(yīng)由供方或第三方進(jìn)行檢驗(yàn)，產(chǎn)品質(zhì)量應(yīng)符合本文件及訂貨單的規(guī)定，并填寫隨行文件。6.1.2需方可對收到的產(chǎn)品按本文件的規(guī)定進(jìn)行檢驗(yàn)，如檢驗(yàn)結(jié)果與本文件或訂貨單的規(guī)定不符時，應(yīng)以書面形式向供方提出，由供需雙方協(xié)商解決。屬于外觀質(zhì)量及外形尺寸的異議，應(yīng)在收到產(chǎn)品之日起一個月內(nèi)提出，屬于其他性能的異議，應(yīng)在收到產(chǎn)品之日起三個月內(nèi)提出。如需仲裁，應(yīng)由供需雙方協(xié)商確定。6.2組批產(chǎn)品應(yīng)成批提交驗(yàn)收。每批應(yīng)由同一生產(chǎn)周期、同一牌號和規(guī)格的產(chǎn)品組成。6.3檢驗(yàn)項(xiàng)目3YS/T1683—2024每批產(chǎn)品均應(yīng)進(jìn)行化學(xué)成分、晶粒尺寸、相對密度、內(nèi)部質(zhì)量、外形尺寸、表面粗糙度、外觀質(zhì)量的檢驗(yàn)。6.4取樣6.4.1產(chǎn)品的取樣應(yīng)符合表2規(guī)定。表2取樣6.4.2化學(xué)成分、晶粒尺寸檢驗(yàn)在半成品的邊緣位置進(jìn)行取樣，樣品間隔1/4圓弧長，如圖1所示。樣品2圖1取樣位置示意圖6.5檢驗(yàn)結(jié)果的判定6.5.1化學(xué)成分、晶粒尺寸、相對密度、內(nèi)部質(zhì)量檢驗(yàn)結(jié)果不合格時，從同批產(chǎn)品中取雙倍數(shù)量的試樣進(jìn)行重復(fù)檢驗(yàn)，若有任一檢驗(yàn)結(jié)果不合格時，則判該批產(chǎn)品不合格。6.5.2外形尺寸、表面粗糙度、外觀質(zhì)量檢驗(yàn)結(jié)果不合格時，判該件產(chǎn)品不合格。7標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存及隨行文件7.1標(biāo)志7.1.1應(yīng)在檢驗(yàn)合格的產(chǎn)品上，將公司標(biāo)志、牌號及生產(chǎn)批號刻在產(chǎn)品指定位置。7.1.2在每個外包裝上貼紙質(zhì)標(biāo)貼，內(nèi)容包括：a)供方標(biāo)志；b)產(chǎn)品名稱；c)牌號；d)生產(chǎn)批號；e)出廠日期；7.2包裝4YS/T1683—20247.2.1產(chǎn)品的清洗、干燥及內(nèi)包裝應(yīng)在GB/T25915.1—2021中ISO5級的潔凈室內(nèi)進(jìn)行。產(chǎn)品經(jīng)過全面清洗，真空干燥后每片單獨(dú)真空包裝，真空袋封口要平整無貫通，無泄露。7.2.2外包裝采用紙盒或中空盒包裝。包裝盒內(nèi)應(yīng)有防碰撞措施。將隨行文件用塑封袋裝好后粘貼于包裝盒上。7.2.3包裝產(chǎn)品應(yīng)保存于清潔的環(huán)境中。7.3運(yùn)輸與貯存運(yùn)輸及貯存過程中，應(yīng)注意防震、防潮、防壓、防止二次污染。7.4隨行文件每批產(chǎn)品應(yīng)附有隨行文件，其中除應(yīng)包括供方信息、產(chǎn)品信息、出廠日期或包裝日期外，還宜包括下列內(nèi)容。a)質(zhì)量證明書，內(nèi)容如下：l產(chǎn)品名稱、牌號、規(guī)格和狀態(tài)；l產(chǎn)品錠號、批號、批重和數(shù)量；l產(chǎn)品的主要性能及技術(shù)參數(shù)；l各項(xiàng)分析檢驗(yàn)結(jié)果及質(zhì)量檢驗(yàn)部門印記；b)合格證，內(nèi)容如下：l錠號或批號；l檢驗(yàn)日期；l檢驗(yàn)員簽名或蓋章；8訂貨單內(nèi)容需方可根據(jù)自身的需要，在訂購本文件所列產(chǎn)品的訂貨單內(nèi)，列出如下內(nèi)容：a)產(chǎn)品名稱；b)牌號；c)外形尺寸；d)數(shù)量；e)本文件編號；f)其他。5YS/T1683—2024鉻鈦合金中鈦含量測定A.1原理試料以硝酸、鹽酸、氫氟酸分解，樣品經(jīng)一定比例稀釋后，使用電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀測定，具體過程如下：稀釋溶液由氬氣帶入等離子體矩焰中，經(jīng)氣化、電離、激發(fā)并輻射出特征譜線，通過特征曲線信號強(qiáng)度測定鈦的質(zhì)量濃度，通過標(biāo)準(zhǔn)曲線計算出試料中鈦的含量，以質(zhì)量分?jǐn)?shù)表示測定結(jié)果。A.2試劑A.2.1鹽酸。A.2.2氫氟酸。A.2.3硝酸(5%)。A.2.4鈦標(biāo)準(zhǔn)貯存溶液:采用有效期內(nèi)有證書的鈦標(biāo)準(zhǔn)貯存溶液。此溶液1mL含1mg鈦。A.2.5鈦標(biāo)準(zhǔn)溶液：分別移取10.00mL鈦標(biāo)準(zhǔn)貯存溶液（A.2.4）置于100mL容量瓶中，以硝酸(A.2.3)稀釋至刻度線，搖勻。此溶液1mL含鈦100μg。A.3試料稱取0.1g樣品，精確到0.0001g。A.4試驗(yàn)步驟將試料(A.3)置于60mL聚四氟乙烯管中，加入2mL～3mL鹽酸（A.2.1），加熱100℃10min，待反應(yīng)停止后加入2mL氫氟酸（A.2.2）至試