《真空技術(shù)+真空計(jì)+放氣率的測(cè)試和報(bào)告程序GBZ+42624-2023》詳細(xì)解讀

《真空技術(shù)真空計(jì)放氣率的測(cè)試和報(bào)告程序GB/Z42624-2023》詳細(xì)解讀contents目錄1范圍2規(guī)范性引用文件3術(shù)語和定義4符號(hào)和縮略語5測(cè)試系統(tǒng)5.1一般要求5.2應(yīng)用流量法的測(cè)試系統(tǒng)contents目錄5.3累積系統(tǒng)6測(cè)試方法6.1概述6.2推薦的樣品制備方式6.3測(cè)試的流程和時(shí)間6.4測(cè)試程序7測(cè)量不確定度7.1概述contents目錄7.2用作流量比較裝置的連續(xù)膨脹系統(tǒng)(5.2.2)7.3帶有可計(jì)算流導(dǎo)元件的流量系統(tǒng)(5.2.3)7.4帶有可測(cè)有效抽速的流量系統(tǒng)(5.2.4)7.5帶有可調(diào)流導(dǎo)元件的流量系統(tǒng)(5.2.5)7.6基本累積系統(tǒng)(5.3.2)7.7帶有氣體分析系統(tǒng)的累積系統(tǒng)(5.3.3)8測(cè)試報(bào)告附錄A(資料性)各種測(cè)試系統(tǒng)的原理圖contents目錄附錄B(資料性)不同測(cè)試系統(tǒng)的特征和適用性附錄C(資料性)不同測(cè)量系統(tǒng)對(duì)SI的可追溯性參考文獻(xiàn)011范圍03皮拉尼真空計(jì)01熱導(dǎo)真空計(jì)02電離真空計(jì)1范圍022規(guī)范性引用文件GB/T3103.1真空技術(shù)術(shù)語和定義GB/T3163真空技術(shù)真空計(jì)壓力讀數(shù)換算為等效平均顆粒直徑的方法GB/T6060.1真空計(jì)量器具用標(biāo)準(zhǔn)氣體壓力真空計(jì)2規(guī)范性引用文件033術(shù)語和定義定義指真空計(jì)在特定條件下，單位時(shí)間內(nèi)從真空計(jì)內(nèi)部釋放出的氣體量。影響因素包括真空計(jì)的材料、制造工藝、密封性能等。表示方法通常用單位時(shí)間內(nèi)釋放的氣體體積或質(zhì)量來表示。3術(shù)語和定義044符號(hào)和縮略語P壓力，單位為帕斯卡（Pa）V體積，單位為立方米（m3）T溫度，單位為開爾文（K）4符號(hào)和縮略語055測(cè)試系統(tǒng)用于測(cè)量真空度的設(shè)備，需具備高準(zhǔn)確度和穩(wěn)定性。真空計(jì)提供真空環(huán)境的密封容器，應(yīng)具有良好的密封性能和足夠的容積。真空室包括真空泵及其附屬設(shè)備，用于將真空室內(nèi)的氣體抽出，以達(dá)到所需的真空度。抽氣系統(tǒng)5測(cè)試系統(tǒng)065.1一般要求測(cè)試環(huán)境要求01測(cè)試放氣率的真空系統(tǒng)應(yīng)處于潔凈、無油、干燥的環(huán)境中，以確保測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性。同時(shí)，測(cè)試過程中應(yīng)避免外界干擾，如電磁干擾、振動(dòng)等。測(cè)試設(shè)備要求02測(cè)試所使用的真空計(jì)應(yīng)經(jīng)過校準(zhǔn)，確保其準(zhǔn)確性和可靠性。此外，測(cè)試設(shè)備應(yīng)具備足夠的靈敏度和分辨率，以精確測(cè)量放氣率。測(cè)試程序要求03測(cè)試放氣率的程序應(yīng)嚴(yán)格按照相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)定進(jìn)行，包括測(cè)試前的準(zhǔn)備、測(cè)試過程中的操作以及測(cè)試后的數(shù)據(jù)處理等。測(cè)試人員應(yīng)具備相應(yīng)的專業(yè)知識(shí)和技能，以確保測(cè)試的有效性和可信度。5.1一般要求075.2應(yīng)用流量法的測(cè)試系統(tǒng)123用于測(cè)量真空度的設(shè)備，需具備高準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。真空計(jì)測(cè)量氣體流量的儀器，應(yīng)選用合適的量程和精度。流量計(jì)用于放置被測(cè)試件并抽取真空的密閉空間。真空室5.2應(yīng)用流量法的測(cè)試系統(tǒng)085.3累積系統(tǒng)真空室用于提供真空環(huán)境的密封容器，具備足夠的強(qiáng)度和氣密性。真空泵用于抽取真空室內(nèi)氣體的設(shè)備，根據(jù)實(shí)際需求選擇合適的類型和規(guī)格。測(cè)量?jī)x器包括真空計(jì)、壓力表等，用于實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和記錄真空室內(nèi)的壓力變化。5.3累積系統(tǒng)096測(cè)試方法選擇合適的真空計(jì)根據(jù)測(cè)試需求，選用準(zhǔn)確度高、穩(wěn)定性好的真空計(jì)。檢查測(cè)試環(huán)境確保測(cè)試場(chǎng)地安全、整潔，無影響測(cè)試結(jié)果的因素。確定測(cè)試對(duì)象和測(cè)試目的明確需要測(cè)試的真空系統(tǒng)及其放氣率，以及測(cè)試的具體目的。6測(cè)試方法106.1概述真空技術(shù)重要性真空技術(shù)是現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域的重要分支，廣泛應(yīng)用于科研、工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域。真空計(jì)作為真空度的測(cè)量工具，其準(zhǔn)確性和可靠性至關(guān)重要。放氣率測(cè)試意義放氣率是指真空系統(tǒng)內(nèi)部材料在真空環(huán)境下釋放出氣體的速率。放氣率的測(cè)試對(duì)于評(píng)估真空系統(tǒng)的性能、優(yōu)化系統(tǒng)設(shè)計(jì)以及保障科研和生產(chǎn)的穩(wěn)定性具有重要意義。標(biāo)準(zhǔn)制定背景隨著真空技術(shù)的不斷發(fā)展，國(guó)內(nèi)外對(duì)于真空計(jì)放氣率測(cè)試和報(bào)告的需求日益凸顯。為了規(guī)范相關(guān)測(cè)試方法和報(bào)告程序，提高測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性和可比性，特制定本標(biāo)準(zhǔn)。6.1概述116.2推薦的樣品制備方式保證樣品的代表性合理的樣品制備方式能夠確保所選取的樣品具有代表性，能夠真實(shí)反映被測(cè)試材料的放氣率情況。方便后續(xù)測(cè)試操作經(jīng)過良好制備的樣品，可以簡(jiǎn)化后續(xù)測(cè)試的操作步驟，提高測(cè)試效率。確保測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性通過規(guī)范的樣品制備，可以減少外界因素對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響，提高測(cè)試的準(zhǔn)確性。6.2推薦的樣品制備方式126.3測(cè)試的流程和時(shí)間6.3測(cè)試的流程和時(shí)間確定測(cè)試目的和方案根據(jù)實(shí)際需求，明確測(cè)試的具體目的和采用的測(cè)試方案。檢查測(cè)試設(shè)備對(duì)所使用的真空計(jì)、真空系統(tǒng)及其他相關(guān)設(shè)備進(jìn)行詳細(xì)檢查，確保其性能穩(wěn)定、可靠。樣品準(zhǔn)備選取具有代表性的樣品，按照相關(guān)規(guī)定進(jìn)行預(yù)處理，以保證測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性。136.4測(cè)試程序確定測(cè)試目的和要求明確放氣率測(cè)試的具體目標(biāo)，包括測(cè)試的精度、測(cè)試時(shí)間等。選擇合適的真空計(jì)根據(jù)測(cè)試需求，選擇符合精度要求且穩(wěn)定可靠的真空計(jì)。準(zhǔn)備測(cè)試環(huán)境確保測(cè)試環(huán)境干凈、無干擾，以及具備必要的安全措施。6.4測(cè)試程序147測(cè)量不確定度指對(duì)測(cè)量結(jié)果準(zhǔn)確性的可疑程度，反映測(cè)量結(jié)果與真值之間的偏差范圍。測(cè)量不確定度不確定度的來源不確定度的重要性包括測(cè)量設(shè)備、測(cè)量方法、測(cè)量環(huán)境以及人員操作等多個(gè)方面。是評(píng)價(jià)測(cè)量結(jié)果可靠性和比對(duì)測(cè)量結(jié)果的重要依據(jù)。0302017測(cè)量不確定度157.1概述標(biāo)準(zhǔn)制定的背景和意義介紹《真空技術(shù)真空計(jì)放氣率的測(cè)試和報(bào)告程序GB/Z42624-2023》的制定背景，說明該標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于真空技術(shù)行業(yè)的重要性，以及放氣率測(cè)試在真空計(jì)性能評(píng)估中的關(guān)鍵作用。標(biāo)準(zhǔn)適用范圍和對(duì)象闡述該標(biāo)準(zhǔn)的適用范圍，包括各類真空計(jì)放氣率的測(cè)試和報(bào)告程序，并明確適用的對(duì)象，如真空計(jì)生產(chǎn)廠家、使用單位及檢測(cè)機(jī)構(gòu)等。與其他標(biāo)準(zhǔn)的關(guān)聯(lián)分析該標(biāo)準(zhǔn)與其他真空技術(shù)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)之間的關(guān)聯(lián)，說明其在整個(gè)標(biāo)準(zhǔn)體系中的地位和作用，以及與其他標(biāo)準(zhǔn)的互補(bǔ)性和協(xié)調(diào)性。7.1概述167.2用作流量比較裝置的連續(xù)膨脹系統(tǒng)(5.2.2)連續(xù)膨脹系統(tǒng)主要由真空室、膨脹機(jī)、真空計(jì)等部件組成，確保系統(tǒng)的密閉性和穩(wěn)定性。通過膨脹機(jī)對(duì)氣體進(jìn)行連續(xù)膨脹，模擬真空環(huán)境，同時(shí)利用真空計(jì)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)真空度的變化。組成部件工作原理7.2用作流量比較裝置的連續(xù)膨脹系統(tǒng)(5.2.2)177.3帶有可計(jì)算流導(dǎo)元件的流量系統(tǒng)(5.2.3)組成帶有可計(jì)算流導(dǎo)元件的流量系統(tǒng)由流量計(jì)、閥門、管道和真空泵等組成，構(gòu)成完整的真空測(cè)量與控制系統(tǒng)。工作原理通過可計(jì)算流導(dǎo)元件測(cè)量氣體流量，結(jié)合控制系統(tǒng)對(duì)真空泵進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)真空度的精確控制。7.3帶有可計(jì)算流導(dǎo)元件的流量系統(tǒng)(5.2.3)187.4帶有可測(cè)有效抽速的流量系統(tǒng)(5.2.4)帶有可測(cè)有效抽速的流量系統(tǒng)由真空計(jì)、閥門、管道和泵等組件構(gòu)成，確保氣體流動(dòng)的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。組成部分系統(tǒng)必須具有良好的密封性能，以防止氣體泄漏對(duì)測(cè)試結(jié)果產(chǎn)生影響。密封性要求系統(tǒng)組件的材質(zhì)應(yīng)符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，以確保在真空環(huán)境下的穩(wěn)定性和耐久性。材質(zhì)選擇7.4帶有可測(cè)有效抽速的流量系統(tǒng)(5.2.4)197.5帶有可調(diào)流導(dǎo)元件的流量系統(tǒng)(5.2.5)7.5帶有可調(diào)流導(dǎo)元件的流量系統(tǒng)(5.2.5)定義可調(diào)流導(dǎo)元件是指可以在流量系統(tǒng)中改變流體通道截面積或形狀的元件，從而調(diào)節(jié)流量大小。作用可調(diào)流導(dǎo)元件在真空系統(tǒng)中起著至關(guān)重要的作用，能夠根據(jù)需要精確地調(diào)節(jié)氣體流量，確保系統(tǒng)的穩(wěn)定性和性能。207.6基本累積系統(tǒng)(5.3.2)提供被測(cè)件放氣測(cè)試的空間，確保其氣密性。真空室用于測(cè)量真空室內(nèi)的真空度，具有高靈敏度和準(zhǔn)確性。真空計(jì)配備合適的真空泵，以在測(cè)試過程中維持穩(wěn)定的真空環(huán)境。抽氣系統(tǒng)7.6基本累積系統(tǒng)(5.3.2)217.7帶有氣體分析系統(tǒng)的累積系統(tǒng)(5.3.3)系統(tǒng)組成在真空室內(nèi)對(duì)被測(cè)件進(jìn)行放氣，通過氣體分析器對(duì)放出的氣體進(jìn)行定性與定量分析，進(jìn)而確定放氣率。工作原理精確控制系統(tǒng)配備高精度的真空計(jì)，確保真空度的準(zhǔn)確測(cè)量，從而提高放氣率測(cè)試結(jié)果的可靠性。累積系統(tǒng)由真空室、氣體分析器、抽氣裝置等關(guān)鍵部件組成，共同實(shí)現(xiàn)氣體累積與分析功能。7.7帶有氣體分析系統(tǒng)的累積系統(tǒng)(5.3.3)228測(cè)試報(bào)告

8測(cè)試報(bào)告詳細(xì)記錄測(cè)試過程包括測(cè)試時(shí)間、地點(diǎn)、人員、設(shè)備、測(cè)試方法等信息，確保測(cè)試結(jié)果可追溯。準(zhǔn)確匯總測(cè)試數(shù)據(jù)根據(jù)測(cè)試項(xiàng)目和要求，整理和匯總所有相關(guān)數(shù)據(jù)，確保數(shù)據(jù)真實(shí)可靠。明確結(jié)論與建議根據(jù)測(cè)試數(shù)據(jù)，給出明確的結(jié)論和針對(duì)性的改進(jìn)建議，為真空技術(shù)的應(yīng)用提供參考。23附錄A(資料性)各種測(cè)試系統(tǒng)的原理圖包括真空計(jì)、測(cè)試室、真空泵等核心組件。組成部件各部件通過密封連接，確保測(cè)試系統(tǒng)的氣密性。連接方式依據(jù)真空技術(shù)的基本原理，通過測(cè)量測(cè)試室內(nèi)的壓力變化，反映放氣率情況。測(cè)試原理附錄A(資料性)各種測(cè)試系統(tǒng)的原理圖24附錄B(資料性)不同測(cè)試系統(tǒng)的特征和適用性根據(jù)真空技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域的不同，存在多種測(cè)試系統(tǒng)，以滿足各種放氣率測(cè)試需求。測(cè)試系統(tǒng)種類多樣性不同的測(cè)試系統(tǒng)在結(jié)構(gòu)、功能、性能等方面具有顯著特征，這些特征決定了系統(tǒng)的適用性和測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性。系統(tǒng)特征差異化在選擇測(cè)試系統(tǒng)時(shí)，需評(píng)估其適用性，以確保所選系統(tǒng)能夠符合特定的測(cè)試要求，并提供可靠的測(cè)試結(jié)果。適用性評(píng)估重要性附錄B(資料性)不同測(cè)試系統(tǒng)的特征和適用性25附錄C(資料性)不同測(cè)量系統(tǒng)對(duì)SI的可追溯性為確保真空計(jì)的量值準(zhǔn)確可靠，必須提供經(jīng)認(rèn)可的校準(zhǔn)證書，證明其測(cè)量結(jié)果與SI單位的可追溯性。真空計(jì)校