壓力注漿成型ITO靶材坯體的夾層現(xiàn)象及影響因素研究

壓力注漿成型ITO靶材坯體的夾層現(xiàn)象及影響因素研究壓力注漿成型ITO靶材坯體的夾層現(xiàn)象及影響因素研究摘要：ITO（氧化銦錫）是一種廣泛應(yīng)用于光電子技術(shù)領(lǐng)域的重要材料。而在ITO靶材的生產(chǎn)過程中，夾層是一種常見的缺陷，會嚴(yán)重影響最終產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。本文通過對壓力注漿成型ITO靶材坯體的夾層現(xiàn)象進(jìn)行研究，探討了夾層形成的原因和影響因素，并提出了相應(yīng)的改進(jìn)措施。關(guān)鍵詞：壓力注漿成型、ITO靶材、夾層、影響因素1.引言ITO是一種高導(dǎo)電率、透明度好的材料，廣泛應(yīng)用于電子產(chǎn)品、太陽能電池和觸摸屏等領(lǐng)域。在ITO靶材的生產(chǎn)過程中，壓力注漿成型是一種常用的制備方法。然而，夾層問題卻常常困擾著ITO靶材的生產(chǎn)。2.夾層的形成原因夾層是指ITO靶材坯體中出現(xiàn)的兩個或多個層次之間長寬比例遠(yuǎn)大于高度的缺陷。夾層的形成原因主要有以下幾點：（1）注漿速度過快。當(dāng)注漿速度過快時，易造成夾層的形成，因為注漿速度過快會導(dǎo)致內(nèi)部氣泡無法完全頂替掉注漿材料。（2）注漿壓力不均勻。注漿壓力不均勻也是夾層形成的主要原因之一。當(dāng)注漿壓力不均勻時，注漿材料很容易沿著壓力較小的部分進(jìn)入夾層。（3）輔助材料粘度過高。輔助材料粘度過高也是夾層形成的主要原因之一。當(dāng)輔助材料粘度過高時，注漿材料無法順利流動，容易形成夾層。（4）材料溫度不合適。材料溫度對夾層的形成也有一定影響。當(dāng)材料溫度過高時，注漿材料會變得過于稀薄，容易形成夾層；當(dāng)材料溫度過低時，注漿材料會變得過于粘稠，也容易形成夾層。3.影響夾層形成的因素夾層的形成主要受到以下幾個因素的影響：（1）注漿速度。注漿速度過快會導(dǎo)致夾層的形成，所以要合理控制注漿速度。（2）注漿壓力。注漿壓力不均勻會增加夾層的形成的可能性，所以要保證注漿壓力均勻。（3）輔助材料粘度。輔助材料粘度過高會妨礙注漿材料的順利流動，所以要選擇適合的輔助材料。（4）材料溫度。材料溫度過高或過低都會增加夾層的形成的風(fēng)險，所以要控制好材料溫度。4.改進(jìn)措施為了減少夾層的形成，可以采取以下改進(jìn)措施：（1）合理控制注漿速度。要根據(jù)具體情況合理調(diào)整注漿速度，避免注漿速度過快。（2）保證注漿壓力均勻?？梢酝ㄟ^調(diào)整注漿設(shè)備的壓力來保證注漿壓力均勻。（3）選擇適合的輔助材料。要選擇粘度適中的輔助材料，避免粘度過高妨礙注漿材料的流動。（4）控制好材料溫度。要根據(jù)具體材料的特性，控制好材料的溫度，避免溫度過高或過低。5.結(jié)論夾層是影響壓力注漿成型ITO靶材坯體質(zhì)量的重要因素之一。通過對夾層形成原因和影響因素的研究，我們可以采取相應(yīng)的改進(jìn)措施來減少夾層的形成。合理控制注漿速度、保證注漿壓力均勻、選擇適合的輔助材料和控制好材料溫度，可以有效地減少夾層的形成，提高ITO靶材的質(zhì)量和性能。參考文獻(xiàn)：[1]SunY,SunK,ChenF,etal.EffectofInjectionMoldingProcessParametersontheMicrostructureandPropertiesofITOCeramics[J].CeramicsInternational,2019,45(5):5727-5733.[2]JiangL,XuS,LiX,etal.InfluenceofInjectionPressureonMicrostructureandPropertiesofITOTargetbyPowderInjectionMolding[J].JournalofMaterialsProcessingTechnology,2019,272:116298.[3]ZhouX,LiY,DuB,etal.PreparationandMicrostructureofITOCeramics[J]