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電荷的生成能帶理論復(fù)習(xí)硅和鍺都是金剛石晶格結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體材料硅和鍺的晶格結(jié)構(gòu)屬于金剛石晶格:每個(gè)原子被四個(gè)最鄰近的原子所包圍。每個(gè)原子在外圍軌道有四個(gè)電子,分別與周圍4個(gè)原子共用4對(duì)電子。這種共用電子對(duì)的結(jié)構(gòu)稱為共價(jià)鍵。每個(gè)電子對(duì)組成一個(gè)共價(jià)鍵,組成共價(jià)鍵的電子稱為價(jià)電子。價(jià)電子通常位于價(jià)帶,不能導(dǎo)電。+4+4+4+4+4電荷的生成能帶理論復(fù)習(xí)能量增加價(jià)帶導(dǎo)帶1.12eV硅的能級(jí)圖共價(jià)鍵示意圖內(nèi)容CCD工作過程電荷的生成電荷的收集電荷包的轉(zhuǎn)移電荷包的測(cè)量CCD與CMOS比較小結(jié)CCD的工作過程1前照明光輸入1背照明光輸入2電荷生成3電荷收集4電荷轉(zhuǎn)移5電荷測(cè)量視頻輸出此圖摘自JamesJanesick“DuelingDetectors”CCD的性能很大程度上是由電荷圖像的生成決定的,CCD電荷圖像的生成是CCD工作最重要的過程之一。電荷的生成CCD電荷圖像的生成過程就是光電轉(zhuǎn)換的過程;CCD電荷圖像的生成機(jī)理是半導(dǎo)體的光電效應(yīng);CCD電荷圖像的生成理論是固體物理的能帶理論。

通過加熱或光照,處于價(jià)帶的電子可以被激發(fā)到導(dǎo)帶。把電子由價(jià)帶激發(fā)到導(dǎo)帶所需的能量要超過價(jià)帶與導(dǎo)帶之間的能隙Eg(硅的Eg=1.12eV,砷化鎵的Eg=1.42eV)。photonphoton空穴電子電荷的生成能帶理論復(fù)習(xí)電荷的生成

如果一個(gè)入射光子的能量(Eph)大于或等于這種材料導(dǎo)帶與價(jià)帶之間的能隙(Eg),就可以把一個(gè)電子激發(fā)到導(dǎo)帶而成為自由電子。用公式表示如下:其中h為普朗克常數(shù),為頻率,為波長(zhǎng),c是光速。2-12-2電荷的生成

光電效應(yīng)中有一個(gè)臨界波長(zhǎng)(),定義為:當(dāng)時(shí),光子沒有足夠的能量將電子由價(jià)帶激發(fā)到導(dǎo)帶。這時(shí)光子只是穿過這個(gè)材料。對(duì)于本征(intrinsic)硅有:這是CCD長(zhǎng)波限制,短波如何?2-3電荷的生成能帶理論復(fù)習(xí)

電子一旦被激發(fā)到導(dǎo)帶,它就可以在單晶硅的晶格附近自由運(yùn)動(dòng)了。 電子離開后所形成的空穴成為一個(gè)帶正電的載流子。 在沒有外電場(chǎng)的情況下,這樣的一對(duì)電子和空穴會(huì)在一定時(shí)間(復(fù)合壽命)內(nèi)將復(fù)合并湮滅。在CCD中,利用一個(gè)電場(chǎng)把這些載流子收集起來,防止他們的復(fù)合。如何收集電荷?電荷的生成有關(guān)參數(shù) 與CCD電荷生成過程有關(guān)的參數(shù)是量子效率(QE)和暗電流。 影響QE的因素有吸收(absorption)、反射(reflection)和穿越(transmission)等。

影響暗電流的因素主要是溫度。電荷的生成

理想情況下,電極材料應(yīng)該是完全透明的,實(shí)際上這些材料對(duì)光都有一些吸收和反射。如多晶硅電極對(duì)短波光有較強(qiáng)的吸收和反射,減少了最終到達(dá)硅片的光子數(shù)量,如圖中λ1和λ2所表示的情況。x:吸收y:復(fù)合材料的吸收系數(shù)和反射率與波長(zhǎng)有關(guān),在可見光波段,波長(zhǎng)越短吸收系數(shù)和反射率越大。圖中光線的顏色只是示意,不代表光譜!CCD短波限制與結(jié)構(gòu)及材料有關(guān)厚型前照明CCD光在表面電極產(chǎn)生反射和吸收,使這種CCD的量子效率比較低,對(duì)藍(lán)光的響應(yīng)非常差。其電極結(jié)構(gòu)不容許采用提高性能的增

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