《真空計+四極質(zhì)譜儀的定義與規(guī)范gbt+40333-2021》詳細解讀

《真空計四極質(zhì)譜儀的定義與規(guī)范gb/t40333-2021》詳細解讀contents目錄1范圍2術(shù)語和定義2.1部組件2.2物理參數(shù)3符號和縮略語4四極質(zhì)譜儀的原理5制造商提供的四極質(zhì)譜儀說明書5.1質(zhì)量范圍contents目錄5.2離子源類型5.3離子檢測器類型5.4質(zhì)量分辨率5.5質(zhì)量數(shù)穩(wěn)定性5.6靈敏度5.7線性響應(yīng)范圍5.8最小可檢分壓力5.9最小可檢濃度5.10最大工作壓力contents目錄5.11掃描參數(shù)5.12信號輸出5.13電位5.14檢測器技術(shù)規(guī)范5.15設(shè)定值5.16最高烘烤溫度5.17標稱工作環(huán)境5.18預(yù)熱時間5.19燈絲材料contents目錄5.20電子放射電流5.21更換燈絲5.22更換檢測器5.23腔室接口5.24安裝方向5.25尺寸5.26內(nèi)部容積5.27傳感器頭和電控單元的質(zhì)量5.28電控單元的輸入電源contents目錄5.29電纜5.30軟件5.31接口關(guān)系5.32貯存和運輸條件6制造商另給出的四極質(zhì)譜儀的說明6.1質(zhì)量分辨率6.2圖形系數(shù)6.3靈敏度的溫度系數(shù)6.4四極質(zhì)譜儀傳感器清洗contents目錄6.5去氣6.6去氣電源6.7圖片6.8檢測記錄6.9放氣率參考文獻011范圍該文件詳細定義了四極質(zhì)譜儀的相關(guān)術(shù)語、技術(shù)要求、測試方法等，確保其性能和質(zhì)量符合國家標準。規(guī)范涉及了真空計的測量范圍、準確度、穩(wěn)定性等關(guān)鍵參數(shù)，為真空計的生產(chǎn)和使用提供了統(tǒng)一的指導(dǎo)。四極質(zhì)譜儀真空計1范圍022術(shù)語和定義03分類根據(jù)測量原理和使用范圍的不同，真空計可分為多種類型，如電阻真空計、電離真空計、熱偶真空計等。01定義用于測量真空度（包括低真空、中真空、高真空和超高真空）的儀器。02組成真空計由傳感器、測量電路和顯示單元等組成，能夠連續(xù)或間歇地測量和顯示真空度。2術(shù)語和定義032.1部組件用于產(chǎn)生離子束的組件，通過電離樣品產(chǎn)生帶電離子。離子源根據(jù)離子的質(zhì)荷比進行分離和檢測的組件，確保不同質(zhì)量的離子能夠按照特定軌道運動。質(zhì)量分析器用于捕獲和記錄通過質(zhì)量分析器的離子信號，轉(zhuǎn)換為電信號輸出。離子檢測器2.1部組件042.2物理參數(shù)確定質(zhì)譜儀能夠檢測的質(zhì)量上限和下限，保證儀器在特定質(zhì)量范圍內(nèi)具有準確的測量能力。根據(jù)實際需求選擇合適的質(zhì)量范圍，確保分析結(jié)果的準確性和可靠性。定期對質(zhì)量范圍進行校準，確保儀器長期穩(wěn)定運行。2.2物理參數(shù)053符號和縮略語真空度符號用來描述真空狀態(tài)的符號，包括壓力、真空度等。電氣參數(shù)符號表示質(zhì)譜儀的電氣特性，如電壓、電流等。性能參數(shù)符號用于描述質(zhì)譜儀的性能，如分辨率、靈敏度等。3符號和縮略語064四極質(zhì)譜儀的原理四極質(zhì)譜儀利用電磁場對氣體分子進行質(zhì)量分析。通過改變電磁場的強度和頻率，實現(xiàn)對不同質(zhì)量氣體分子的篩選和檢測。檢測到的氣體分子信號經(jīng)放大和處理后，輸出質(zhì)譜圖進行定性和定量分析。4四極質(zhì)譜儀的原理075制造商提供的四極質(zhì)譜儀說明書儀器簡介四極質(zhì)譜儀是一種高精度、高靈敏度的氣體分析儀器，廣泛應(yīng)用于真空技術(shù)、材料科學(xué)、環(huán)境監(jiān)測等領(lǐng)域。工作原理通過電離氣體分子并測量其質(zhì)量-電荷比，實現(xiàn)對氣體成分的定性和定量分析。技術(shù)參數(shù)包括質(zhì)量范圍、分辨率、靈敏度等關(guān)鍵性能指標。5制造商提供的四極質(zhì)譜儀說明書085.1質(zhì)量范圍定義01質(zhì)量范圍是指質(zhì)譜儀能夠檢測和分析的質(zhì)量數(shù)值區(qū)間，通常以質(zhì)量數(shù)（即相對原子質(zhì)量或相對分子質(zhì)量的整數(shù)值）表示。重要性02質(zhì)量范圍是評價質(zhì)譜儀性能的重要指標之一，它決定了儀器能夠分析的物質(zhì)種類和范圍，對于不同領(lǐng)域的應(yīng)用具有關(guān)鍵意義。影響因素03質(zhì)量范圍受到質(zhì)譜儀設(shè)計、制造工藝、電離源類型、檢測器靈敏度等多個因素的影響。為實現(xiàn)更寬的質(zhì)量范圍，需要在儀器設(shè)計和制造過程中進行綜合考慮和優(yōu)化。5.1質(zhì)量范圍095.2離子源類型工作原理利用高能電子束轟擊氣體分子，使其電離成離子。特點結(jié)構(gòu)簡單，電離效率高，適用于大多數(shù)氣體分析。應(yīng)用范圍廣泛應(yīng)用于真空系統(tǒng)、氣體分析等領(lǐng)域。5.2離子源類型105.3離子檢測器類型利用離子流在金屬杯上產(chǎn)生的電流進行測量，具有高靈敏度和穩(wěn)定性。法拉第杯檢測器通過離子撞擊產(chǎn)生的二次電子進行放大，實現(xiàn)離子信號的檢測，適用于微弱信號的檢測。電子倍增器檢測器結(jié)合法拉第杯和電子倍增器的原理，既能檢測強信號，又能檢測弱信號，具有較寬的動態(tài)范圍。轉(zhuǎn)換打拿極檢測器5.3離子檢測器類型115.4質(zhì)量分辨率計算公式通常使用質(zhì)量分辨率的數(shù)值來表示，該數(shù)值等于質(zhì)量數(shù)除以相應(yīng)的峰寬。影響因素質(zhì)量分辨率受到離子源、質(zhì)量分析器以及檢測器等多個因素的影響。質(zhì)量分辨率的含義指質(zhì)譜儀能夠分辨相鄰質(zhì)量數(shù)的能力，是評價質(zhì)譜儀性能的重要指標。5.4質(zhì)量分辨率125.5質(zhì)量數(shù)穩(wěn)定性5.5質(zhì)量數(shù)穩(wěn)定性定義質(zhì)量數(shù)穩(wěn)定性是指四極質(zhì)譜儀在規(guī)定條件下，對同一質(zhì)量數(shù)信號進行長期或短期測量時，信號強度的相對變化程度。重要性質(zhì)量數(shù)穩(wěn)定性是四極質(zhì)譜儀性能的重要指標，它直接影響到儀器測量結(jié)果的準確性和可靠性。135.6靈敏度靈敏度描述了四極質(zhì)譜儀對于給定樣品的響應(yīng)程度，即樣品中微小成分變化所引起的儀器信號變化的大小。儀器響應(yīng)程度靈敏度是衡量四極質(zhì)譜儀性能的重要指標之一，尤其在定量分析中，高靈敏度意味著能夠檢測到更低濃度的樣品成分。定量分析關(guān)鍵指標5.6靈敏度145.7線性響應(yīng)范圍指真空計在規(guī)定的工作條件下，其輸出信號與真空度之間呈線性關(guān)系的范圍。線性響應(yīng)范圍定義線性度要求重要性在該范圍內(nèi)，真空計的輸出信號應(yīng)與實際真空度成線性關(guān)系，且偏差應(yīng)在規(guī)定的限值內(nèi)。線性響應(yīng)范圍是評價真空計性能的重要指標之一，它決定了真空計在測量過程中的準確性和可靠性。0302015.7線性響應(yīng)范圍155.8最小可檢分壓力指質(zhì)譜儀能夠檢測并準確識別的最低氣體分壓力值。最小可檢分壓力該參數(shù)是衡量質(zhì)譜儀性能的重要指標之一，體現(xiàn)了儀器對于微量氣體的檢測能力。反映儀器靈敏度最小可檢分壓力受儀器本身噪聲水平影響，噪聲越低，最小可檢分壓力越小。與儀器噪聲相關(guān)5.8最小可檢分壓力165.9最小可檢濃度評估儀器性能最小可檢濃度是評價四極質(zhì)譜儀靈敏度的重要指標，有助于了解儀器在極低濃度氣體檢測方面的能力。實際應(yīng)用價值在實際應(yīng)用中，最小可檢濃度決定了質(zhì)譜儀能夠檢測到的微弱信號，對于痕量氣體分析、環(huán)境監(jiān)測等領(lǐng)域具有重要意義。定義最小可檢濃度是指質(zhì)譜儀在規(guī)定條件下能夠檢測到的最低氣體濃度。5.9最小可檢濃度175.10最大工作壓力03正確理解和遵守最大工作壓力規(guī)范對于保證儀器安全、穩(wěn)定運行具有重要意義。01最大工作壓力是指四極質(zhì)譜儀在正常工作條件下，各部件所能承受的最大壓力值。02這個壓力值通常受到儀器材料強度、密封性能以及制造工藝等因素的限制。5.10最大工作壓力185.11掃描參數(shù)根據(jù)實際需求設(shè)定，通常覆蓋從低質(zhì)量數(shù)到高質(zhì)量數(shù)的廣泛區(qū)間。單位時間內(nèi)掃描過的質(zhì)量數(shù)，根據(jù)實驗需求進行調(diào)整，實現(xiàn)快速或精細掃描。5.11掃描參數(shù)掃描速度質(zhì)量范圍195.12信號輸出5.12信號輸出穩(wěn)定性信號輸出應(yīng)保持穩(wěn)定，確保測量結(jié)果的可靠性和準確性。分辨率信號輸出應(yīng)具備一定的分辨率，能夠反映真空計四極質(zhì)譜儀測量值的微小變化?？垢蓴_能力信號輸出應(yīng)具有較強的抗干擾能力，以減小外部干擾對測量結(jié)果的影響。205.13電位123電位是指電場中某一點相對于某一參考點的電勢能差，通常用于描述電場中各點之間的電勢關(guān)系。電位的基本概念電位是標量，具有相對性，其大小與所選取的參考點有關(guān)，但電場中各點之間的電位差是絕對的，與參考點的選擇無關(guān)。電位的物理意義在電場中，兩點之間的電位差等于這兩點之間的電壓，因此電位和電壓在本質(zhì)上是相同的物理量。電位與電壓的關(guān)系5.13電位215.14檢測器技術(shù)規(guī)范明確檢測器類型規(guī)定檢測器的靈敏度、穩(wěn)定性、響應(yīng)時間等關(guān)鍵性能指標，確保檢測器的準確性和可靠性。性能參數(shù)要求檢測器互換性同一型號的真空計四極質(zhì)譜儀應(yīng)能互換使用同類型的檢測器，便于維修與更換。根據(jù)真空計四極質(zhì)譜儀的應(yīng)用需求，選擇適當(dāng)?shù)臋z測器類型，如電子倍增器、法拉第杯等。5.14檢測器技術(shù)規(guī)范225.15設(shè)定值通過實驗測定得到關(guān)鍵參數(shù)，并結(jié)合實際操作需求確定合適的設(shè)定值?；趯嶒灁?shù)據(jù)借鑒類似四極質(zhì)譜儀的設(shè)定值，并根據(jù)本儀器的特點進行適當(dāng)調(diào)整。參考類似儀器依據(jù)理論計算得出初始設(shè)定值，再在實際應(yīng)用中不斷優(yōu)化調(diào)整。理論與實際相結(jié)合5.15設(shè)定值235.16最高烘烤溫度03在選擇和使用質(zhì)譜儀時，需根據(jù)實際需求確定最高烘烤溫度，以確保儀器在最佳狀態(tài)下工作。01最高烘烤溫度指質(zhì)譜儀在正常工作條件下所能承受的最高烘烤溫度。02該參數(shù)是評估質(zhì)譜儀性能的重要指標之一，對于保證儀器穩(wěn)定運行具有重要意義。5.16最高烘烤溫度245.17標稱工作環(huán)境

5.17標稱工作環(huán)境標稱工作環(huán)境的描述指質(zhì)譜儀在規(guī)定的條件下能夠達到最佳性能的工作環(huán)境。包括一系列參數(shù)如溫度、濕度、氣壓、電源等，這些參數(shù)對質(zhì)譜儀的穩(wěn)定性和性能具有重要影響。與實際工作環(huán)境區(qū)別標稱工作環(huán)境是理想條件下的參數(shù)設(shè)置，實際工作環(huán)境可能因各種因素而偏離這些理想條件。255.18預(yù)熱時間預(yù)熱時間指的是四極質(zhì)譜儀在開機后，為達到穩(wěn)定工作狀態(tài)所需的時間。定義預(yù)熱時間受多種因素影響，包括儀器結(jié)構(gòu)、材料性質(zhì)以及環(huán)境溫度等。影響因素預(yù)熱時間是評估四極質(zhì)譜儀性能的重要指標之一，對于確保測量結(jié)果的準確性和穩(wěn)定性具有重要意義。重要性5.18預(yù)熱時間265.19燈絲材料高溫穩(wěn)定性燈絲材料需要能夠承受高溫環(huán)境，保持結(jié)構(gòu)穩(wěn)定和電氣性能。高發(fā)射能力為了獲得良好的離子流，燈絲材料需要具備較高的電子發(fā)射能力。耐腐蝕性在真空環(huán)境中，燈絲材料需要能夠抵抗殘余氣體或蒸汽的腐蝕。5.19燈絲材料275.20電子放射電流電子放射指的是從加熱的燈絲中放出的電子流。電流大小電子放射電流通常使用微安（μA）作為單位進行衡量。影響因素?zé)艚z溫度、材料性質(zhì)以及真空度等都會對電子放射電流產(chǎn)生影響。5.20電子放射電流285.21更換燈絲拆卸舊燈絲根據(jù)設(shè)備結(jié)構(gòu)和燈絲類型，按照規(guī)定的拆卸步驟，小心地將舊燈絲從真空計或四極質(zhì)譜儀中拆卸下來。安裝新燈絲選擇合適的新燈絲，并按照規(guī)定的安裝步驟，將其正確地安裝到設(shè)備中。關(guān)閉燈絲電源在進行更換燈絲操作前，必須先關(guān)閉燈絲電源，以確保操作安全。5.21更換燈絲295.22更換檢測器關(guān)閉電源在進行檢測器更換前，必須關(guān)閉質(zhì)譜儀的電源，確保操作安全。拆卸舊檢測器按照儀器操作手冊的指引，逐步拆卸舊檢測器，注意保護周圍部件不受損壞。安裝新檢測器將新檢測器按照規(guī)定的步驟和方法安裝到質(zhì)譜儀上，確保安裝牢固且位置準確。5.22更換檢測器305.23腔室接口標準接口尺寸根據(jù)不同型號的真空計四極質(zhì)譜儀，腔室接口分為不同尺寸，以確保連接的密封性和穩(wěn)定性。接口類型選擇根據(jù)具體應(yīng)用場景和需求，選擇合適的接口類型，如法蘭連接、螺紋連接等。5.23腔室接口315.24安裝方向正確的安裝方向可以最大程度地減少環(huán)境對測量結(jié)果的影響，提高數(shù)據(jù)的準確性。確保測量準確性遵循規(guī)范的安裝方向有助于降低設(shè)備在運行過程中出現(xiàn)故障或損壞的風(fēng)險。保障設(shè)備安全合理的安裝方向使得設(shè)備更易于日常維護、校準和操作。便于維護與使用5.24安裝方向325.25尺寸定義了四極質(zhì)譜儀各部件的尺寸參數(shù)。確保了儀器的互換性和通用性。為儀器的設(shè)計、制造和檢驗提供了依據(jù)。5.25尺寸335.26內(nèi)部容積內(nèi)部容積定義內(nèi)部容積是指真空計四極質(zhì)譜儀內(nèi)部的有效空間體積，包括分析器、離子源、檢測器等主要部件所占據(jù)的空間。影響因素內(nèi)部容積的大小會直接影響真空計四極質(zhì)譜儀的性能，如真空度、分辨率和靈敏度等。測定方法內(nèi)部容積通常采用幾何測量或氣體膨脹法進行測定，以確保數(shù)據(jù)的準確性。5.26內(nèi)部容積345.27傳感器頭和電控單元的質(zhì)量材料選擇傳感器頭應(yīng)采用高穩(wěn)定性、低放射性的材料制造，以確保測量結(jié)果的準確性和可靠性。加工工藝傳感器頭的加工工藝應(yīng)精細，確保各部件的尺寸精度和裝配質(zhì)量，從而提高其整體性能。密封性能傳感器頭應(yīng)具有良好的密封性能，防止氣體泄漏，確保真空度測量的準確性。5.27傳感器頭和電控單元的質(zhì)量030201355.28電控單元的輸入電源5.28電控單元的輸入電源電壓范圍電控單元應(yīng)能在指定的電壓范圍內(nèi)正常工作，一般要求為直流24V±10%。電源穩(wěn)定性輸入電源應(yīng)具有良好的穩(wěn)定性，以確保電控單元可靠運行。過流過壓保護電源應(yīng)具備過流、過壓保護功能，以防止設(shè)備損壞。365.29電纜絕緣性能電纜應(yīng)具有良好的絕緣性能，以確保電流傳輸?shù)陌踩院头€(wěn)定性。環(huán)保要求電纜應(yīng)滿足相關(guān)環(huán)保標準，不含有毒有害物質(zhì)，以降低對環(huán)境的影響。耐高溫性能電纜應(yīng)能在高溫環(huán)境下正常工作，而不出現(xiàn)性能下降或損壞的情況。5.29電纜375.30軟件模塊化設(shè)計軟件采用模塊化設(shè)計，各功能模塊相互獨立，便于開發(fā)和維護。擴展性考慮軟件架構(gòu)具備良好的擴展性，可支持未來功能的增加和升級。可靠性保障通過合理的軟件架構(gòu)設(shè)計，確保軟件系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性。5.30軟件385.31接口關(guān)系電氣接口明確質(zhì)譜儀與外部電源及控制系統(tǒng)的電氣連接方式和參數(shù)，確保安全穩(wěn)定的操作環(huán)境。氣路接口規(guī)定進樣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)以及檢測器之間的氣體連接接口，保證氣密性和高效傳輸。數(shù)據(jù)接口確立數(shù)據(jù)采集、傳輸和存儲的接口標準，便于信息的準確獲取與處理。5.31接口關(guān)系395.32貯存和運輸條件溫度控制5.32貯存和運輸條件貯存場所的溫度應(yīng)保持在設(shè)備規(guī)定的范圍內(nèi)，避免過高或過低的溫度對設(shè)備造成損害。濕度控制相對濕度應(yīng)控制在一定范圍內(nèi)，以防止設(shè)備受潮或過于干燥。設(shè)備應(yīng)存放在避免陽光直射的地方，以減緩設(shè)備老化。避免陽光直射406制造商另給出的四極質(zhì)譜儀的說明四極質(zhì)譜儀具有高靈敏度，能夠檢測非常低濃度的氣體成分。高靈敏度該儀器具備優(yōu)異的質(zhì)量分辨率，能夠有效區(qū)分不同氣體成分。高分辨率四極質(zhì)譜儀具有快速的響應(yīng)速度，能夠在短時間內(nèi)給出準確的檢測結(jié)果?？焖夙憫?yīng)6制造商另給出的四極質(zhì)譜儀的說明416.1質(zhì)量分辨率6.1質(zhì)量分辨率為提高質(zhì)量分辨率，可以采取優(yōu)化離子源設(shè)計、選用高質(zhì)量的四極桿材料、采用高精度電源以及提高檢測器靈敏度等措施。提高方法質(zhì)量分辨率是指四極質(zhì)譜儀能夠分辨相鄰質(zhì)量數(shù)的能力，是衡量質(zhì)譜儀性能的重要指標之一。定義質(zhì)量分辨率受多種因素影響，包括離子源的設(shè)計、四極桿的質(zhì)量、電源的穩(wěn)定性以及檢測器的靈敏度等。影響因素426.2圖形系數(shù)性能評估依據(jù)圖形系數(shù)作為評估四極質(zhì)譜儀性能的重要指標，其優(yōu)劣直接影響到儀器的分辨率、靈敏度等關(guān)鍵性能。標準化與規(guī)范通過制定統(tǒng)一的圖形系數(shù)標準，有助于確保不同廠家生產(chǎn)的四極質(zhì)譜儀具有可比性和一致性。幾何形狀描述圖形系數(shù)是用于描述四極質(zhì)譜儀中離子運動軌跡幾何形狀的關(guān)鍵參數(shù)，有助于理解離子在儀器中的行為。6.2圖形系數(shù)436.3靈敏度的溫度系數(shù)6.3靈敏度的溫度系數(shù)靈敏度溫度系數(shù)描述了四極質(zhì)譜儀在不同溫度條件下，靈敏度變化的情況。量化表達該系數(shù)可以定量地反映溫度每變化1℃，靈敏度相應(yīng)變化的百分比。重要性了解靈敏度的溫度系數(shù)有助于優(yōu)化儀器的工作條件，確保測量結(jié)果的準確性和穩(wěn)定性。溫度對靈敏度的影響程度446.4四極質(zhì)譜儀傳感器清洗確認傳感器型號與清洗要求根據(jù)四極質(zhì)譜儀的使用說明，了解所需清洗的傳感器型號及其特定的清洗要求。準備清洗工具和材料選用合適的清洗工具，如棉簽、無塵布等，并準備相應(yīng)的清洗劑，確保清洗過程的有效性和安全性。斷開電源并釋放真空在進行傳感器清洗前，必須先斷開四極質(zhì)譜儀的電源，并釋放其中的真空狀態(tài)，以確保操作過程的安全性。0102036.4四極質(zhì)譜儀傳感器清洗456.5去氣通過加熱樣品或真空室，使氣體從材料中釋放出來。加