《真空技術(shù)+真空計(jì)+用于分壓力測量的四極質(zhì)譜儀特性gbz+42625-2023》詳細(xì)解讀

《真空技術(shù)真空計(jì)用于分壓力測量的四極質(zhì)譜儀特性gb/z42625-2023》詳細(xì)解讀contents目錄1范圍2規(guī)范性引用文件3術(shù)語和定義4符號和縮略語5不同應(yīng)用狀況下要求或推薦的特征參數(shù)5.1一般要求5.2QMS的一般特性5.3漏率測量與監(jiān)測(氦氣泄漏)contents目錄5.4漏率監(jiān)測(空氣泄漏)5.5漏率監(jiān)測(水泄漏)5.6殘余氣體分析5.7放氣率測試6表征QMS的真空系統(tǒng)6.1一般要求6.2用于表征的單一氣體真空系統(tǒng)6.3用于表征的混合氣體真空系統(tǒng)7表征與校準(zhǔn)程序contents目錄7.1一般要求7.2質(zhì)量分辨率7.3最小可檢分壓力(pMDPP)7.4最小可檢濃度(CMDC)7.5動態(tài)范圍7.6靈敏度與干擾效應(yīng)比7.7線性響應(yīng)范圍7.8相對靈敏度系數(shù)7.9圖形模式(裂解模式)contents目錄7.10QMS的放氣率7.11QMS的抽速8測量不確定度8.1一般要求8.2質(zhì)量分辨率的不確定度8.3pMDPP的不確定度8.4最小可檢濃度的不確定度(CMDC)8.5動態(tài)范圍的不確定度8.6靈敏度的不確定度contents目錄8.7線性響應(yīng)范圍的不確定度8.8相對靈敏度系數(shù)的不確定度8.9圖形系數(shù)的不確定度8.10放氣率和抽速的不確定度8.11QMS特性參數(shù)的長期穩(wěn)定性9報(bào)告結(jié)果附錄A(資料性)不同流動狀態(tài)下,由泄漏元件前置存儲容器內(nèi)的已知?dú)怏w混合物,估算測量室內(nèi)的氣體成分contents目錄參考文獻(xiàn)011范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用于分壓力測量的四極質(zhì)譜儀（以下簡稱質(zhì)譜儀）的術(shù)語和定義、技術(shù)要求、測試方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存。本標(biāo)準(zhǔn)適用于測量氣體成分分壓力的四極質(zhì)譜儀，其它類型的質(zhì)譜儀可參照使用。本標(biāo)準(zhǔn)不適用于有特殊要求的專用質(zhì)譜儀。1范圍022規(guī)范性引用文件詳細(xì)列出所引用的國家標(biāo)準(zhǔn)、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)以及國際標(biāo)準(zhǔn)。確保所引用文件的時(shí)效性，及時(shí)更新并替換過時(shí)的引用文件。對引用文件進(jìn)行歸類整理，便于使用者查找和參考。2規(guī)范性引用文件033術(shù)語和定義四極質(zhì)譜儀一種利用電場或磁場對氣體離子進(jìn)行質(zhì)量分析的真空計(jì)量儀器，可測量分壓力。分壓力混合氣體中某一組分所貢獻(xiàn)的壓力，通過四極質(zhì)譜儀可獨(dú)立測量。靈敏度四極質(zhì)譜儀對特定質(zhì)量數(shù)離子的響應(yīng)程度，影響分壓力的測量精度。3術(shù)語和定義044符號和縮略語P表示壓力或分壓力的符號，單位通常為帕斯卡（Pa）。V表示體積的符號，用于描述與壓力相關(guān)的容器或空間大小。T表示溫度的符號，常用于壓力測量中的溫度修正。4符號和縮略語055不同應(yīng)用狀況下要求或推薦的特征參數(shù)03穩(wěn)定性在連續(xù)工作過程中，四極質(zhì)譜儀應(yīng)保持良好的穩(wěn)定性，確保長時(shí)間分析結(jié)果的可靠性。01靈敏度四極質(zhì)譜儀應(yīng)具有高靈敏度，能夠檢測低濃度的氣體成分，確保準(zhǔn)確分析樣品中的微量組分。02分辨率儀器應(yīng)具備高分辨率，能夠區(qū)分不同質(zhì)量數(shù)的氣體分子，提高氣體分析的準(zhǔn)確性。5不同應(yīng)用狀況下要求或推薦的特征參數(shù)065.1一般要求儀器結(jié)構(gòu)與設(shè)計(jì)01四極質(zhì)譜儀應(yīng)符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范，確保機(jī)械結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性和可靠性。同時(shí)，應(yīng)合理設(shè)計(jì)各部件，以便于安裝、調(diào)試和維護(hù)。性能指標(biāo)02四極質(zhì)譜儀應(yīng)具備優(yōu)良的性能指標(biāo)，包括分辨率、靈敏度、穩(wěn)定性等。這些指標(biāo)應(yīng)滿足國家標(biāo)準(zhǔn)或行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的要求，以確保測量結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。安全防護(hù)03為確保操作人員的安全，四極質(zhì)譜儀應(yīng)配備相應(yīng)的安全防護(hù)裝置，如防護(hù)罩、接地線等。此外，使用前應(yīng)詳細(xì)閱讀產(chǎn)品說明書，并嚴(yán)格遵守操作規(guī)程，防止意外事故的發(fā)生。5.1一般要求075.2QMS的一般特性123QMS（四極質(zhì)譜儀）具有高靈敏度，能夠測量非常低的分壓力，這使得它在真空技術(shù)中具有重要的應(yīng)用價(jià)值?？蓽y量極低分壓力由于QMS的高靈敏度，它能夠準(zhǔn)確地檢測和識別不同的氣體成分，提供精確的測量結(jié)果。準(zhǔn)確度高高靈敏度確保了QMS在低分壓力環(huán)境下的穩(wěn)定性和可靠性，為真空系統(tǒng)的正常運(yùn)行提供有力支持。可靠性強(qiáng)5.2QMS的一般特性085.3漏率測量與監(jiān)測(氦氣泄漏)質(zhì)譜儀檢測利用四極質(zhì)譜儀對氦氣分子進(jìn)行高精度檢測，通過測量氦氣分子的分壓力來確定泄漏情況。泄漏率計(jì)算根據(jù)檢測到的氦氣分壓力變化，結(jié)合相關(guān)參數(shù)和公式，計(jì)算出泄漏率。靈敏度與準(zhǔn)確性高靈敏度的質(zhì)譜儀能夠檢測到微小的氦氣泄漏，確保測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。5.3漏率測量與監(jiān)測(氦氣泄漏)095.4漏率監(jiān)測(空氣泄漏)利用四極質(zhì)譜儀的高靈敏度，通過監(jiān)測空氣中特定氣體的分壓變化，從而確定系統(tǒng)的漏氣情況。真空計(jì)測量法向被檢系統(tǒng)充入氦氣，通過四極質(zhì)譜儀檢測氦氣濃度變化，以此判斷漏孔位置和漏率大小。氦質(zhì)譜檢漏法在系統(tǒng)達(dá)到一定真空度后，關(guān)閉所有閥門，記錄壓力上升情況，通過計(jì)算得出漏率。累積法5.4漏率監(jiān)測(空氣泄漏)105.5漏率監(jiān)測(水泄漏)氦質(zhì)譜檢漏法利用氦氣作為示蹤氣體，通過質(zhì)譜儀檢測氦氣濃度變化來確定漏孔位置和漏率大小，具有高靈敏度和準(zhǔn)確性。紅外熱像法通過紅外熱像儀捕捉泄漏點(diǎn)周圍溫度場的變化，從而確定水泄漏的位置和程度，適用于難以接觸或復(fù)雜結(jié)構(gòu)的真空系統(tǒng)。壓力變化法通過監(jiān)測真空系統(tǒng)內(nèi)壓力的變化來判斷是否有水泄漏，適用于較小漏率的情況。5.5漏率監(jiān)測(水泄漏)115.6殘余氣體分析

5.6殘余氣體分析定義殘余氣體是指在真空系統(tǒng)中，除了被測氣體外，由于各種因素（如漏氣、脫附等）而存在的其他氣體成分。影響系統(tǒng)真空度殘余氣體的存在會對系統(tǒng)的真空度造成影響，從而影響實(shí)驗(yàn)或生產(chǎn)工藝的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。氣體成分復(fù)雜殘余氣體可能包含多種氣體成分，如氫氣、氮?dú)狻⒀鯕?、水蒸氣等，這些氣體的性質(zhì)和濃度可能對實(shí)驗(yàn)或生產(chǎn)產(chǎn)生影響。125.7放氣率測試靜態(tài)升壓法在一定時(shí)間內(nèi)對真空系統(tǒng)抽真空后關(guān)閉閥門，通過測量壓力上升速率計(jì)算放氣率。動態(tài)流量法在真空系統(tǒng)中連續(xù)抽氣，通過測量穩(wěn)定狀態(tài)下的氣體流量來計(jì)算放氣率。氣體累積法收集一段時(shí)間內(nèi)從真空系統(tǒng)中放出的氣體，通過測量其總體積來計(jì)算放氣率。5.7放氣率測試136表征QMS的真空系統(tǒng)提供高真空環(huán)境，保證QMS的正常運(yùn)行和測量精度。真空室真空泵壓力傳感器抽取真空室中的氣體，維持所需的真空度。實(shí)時(shí)監(jiān)測真空室內(nèi)的壓力變化。0302016表征QMS的真空系統(tǒng)146.1一般要求四極質(zhì)譜儀的設(shè)計(jì)應(yīng)滿足真空計(jì)的要求，確保其能夠在真空環(huán)境中穩(wěn)定工作，并提供準(zhǔn)確的分壓力測量數(shù)據(jù)。儀器設(shè)計(jì)儀器應(yīng)具備一定的性能指標(biāo)，包括分辨率、靈敏度、測量范圍等，以保證在不同真空度條件下均能獲得可靠的測量結(jié)果。性能參數(shù)四極質(zhì)譜儀應(yīng)具備完善的安全防護(hù)措施，確保操作人員在使用過程中的安全性，如防電擊、防輻射等。安全防護(hù)6.1一般要求156.2用于表征的單一氣體真空系統(tǒng)提供高真空環(huán)境，用于放置四極質(zhì)譜儀及被測氣體。真空室確保真空室內(nèi)達(dá)到所需真空度，以排除其他氣體干擾。真空泵精確控制被測單一氣體進(jìn)入真空室，保持穩(wěn)定的分壓。氣體引入系統(tǒng)6.2用于表征的單一氣體真空系統(tǒng)166.3用于表征的混合氣體真空系統(tǒng)真空泵用于抽取真空室內(nèi)的氣體，以達(dá)到試驗(yàn)所需的真空度。氣體源提供試驗(yàn)所需的各類氣體，應(yīng)具備穩(wěn)定的流量控制和壓力調(diào)節(jié)功能。真空室具有足夠容積，以容納試驗(yàn)所需的混合氣體，并保持穩(wěn)定的真空度。6.3用于表征的混合氣體真空系統(tǒng)177表征與校準(zhǔn)程序確定測量范圍明確四極質(zhì)譜儀的測量范圍，包括可測量的最小分壓力和最大分壓力，以確保儀器的準(zhǔn)確使用。分析測量準(zhǔn)確性通過對比已知濃度的標(biāo)準(zhǔn)氣體，評估四極質(zhì)譜儀的測量準(zhǔn)確性，確保其測量結(jié)果的可靠性。評估穩(wěn)定性與重復(fù)性在連續(xù)工作條件下，觀察四極質(zhì)譜儀的測量結(jié)果是否穩(wěn)定，并評估其測量結(jié)果的重復(fù)性，以判斷儀器的性能穩(wěn)定性。7表征與校準(zhǔn)程序187.1一般要求設(shè)備結(jié)構(gòu)與材質(zhì)儀器應(yīng)滿足相關(guān)的電氣安全要求，包括絕緣電阻、接地電阻、耐壓等指標(biāo)，以確保操作人員和設(shè)備的安全。電氣安全電磁兼容性四極質(zhì)譜儀應(yīng)具有良好的電磁兼容性，能夠抵抗外界電磁干擾，確保測量結(jié)果的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。四極質(zhì)譜儀應(yīng)采用適當(dāng)?shù)慕Y(jié)構(gòu)和材料，以確保在真空環(huán)境中穩(wěn)定工作，同時(shí)減少對測量結(jié)果的干擾。7.1一般要求197.2質(zhì)量分辨率質(zhì)量分辨率指四極質(zhì)譜儀能夠分辨相鄰質(zhì)荷比離子的能力。定義高質(zhì)量分辨率可確保準(zhǔn)確識別不同氣體成分，提高分壓測量的準(zhǔn)確性。重要性質(zhì)量分辨率受儀器設(shè)計(jì)、制造工藝及操作條件等多因素影響。影響因素7.2質(zhì)量分辨率207.3最小可檢分壓力(pMDPP)010203定義及重要性最小可檢分壓力是指四極質(zhì)譜儀能夠檢測到的最小分壓力值，是衡量儀器靈敏度的重要指標(biāo)，對于保證測量結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性具有重要意義。影響因素最小可檢分壓力受多種因素影響，包括質(zhì)譜儀的本身性能、測量環(huán)境的干擾以及操作人員的技能水平等。因此，在使用四極質(zhì)譜儀進(jìn)行分壓力測量時(shí)，需綜合考慮各種因素，以獲得最佳的測量結(jié)果。優(yōu)化方法為提高最小可檢分壓力的測量效果，可采取一系列優(yōu)化措施，如改進(jìn)儀器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、提高制造工藝水平、加強(qiáng)測量環(huán)境的屏蔽與接地以及提升操作人員的專業(yè)技能等。這些措施的實(shí)施將有助于降低測量誤差，提升四極質(zhì)譜儀在分壓力測量領(lǐng)域的應(yīng)用價(jià)值。7.3最小可檢分壓力(pMDPP)217.4最小可檢濃度(CMDC)定義及重要性最小可檢濃度是指四極質(zhì)譜儀能夠可靠檢測到的最小氣體濃度。這一指標(biāo)對于評估儀器的靈敏度和性能至關(guān)重要，尤其在高純度氣體分析或微量氣體檢測等應(yīng)用場景中。影響因素影響最小可檢濃度的主要因素包括質(zhì)譜儀的真空度、電離源強(qiáng)度、檢測器效率以及信號處理技術(shù)等。這些因素共同決定了儀器對微量氣體的檢測能力。優(yōu)化方法為了降低最小可檢濃度，可以采取一系列優(yōu)化措施，如提高真空系統(tǒng)的抽氣速率和極限真空度，優(yōu)化電離源結(jié)構(gòu)和提高電離效率，采用高靈敏度的檢測器以及改進(jìn)信號處理技術(shù)等。這些措施有助于提高四極質(zhì)譜儀對微量氣體的檢測靈敏度和準(zhǔn)確性。7.4最小可檢濃度(CMDC)227.5動態(tài)范圍定義與說明動態(tài)范圍是指四極質(zhì)譜儀能夠測量的最小分壓力與最大分壓力之間的比值。它反映了儀器在不同分壓力條件下的測量能力。影響因素動態(tài)范圍受多種因素影響，包括質(zhì)譜儀的靈敏度、穩(wěn)定性、分辨率以及信號處理技術(shù)等。這些因素共同決定了儀器在測量過程中對于不同分壓力的響應(yīng)和準(zhǔn)確性。重要性及應(yīng)用動態(tài)范圍是評價(jià)四極質(zhì)譜儀性能的重要指標(biāo)之一。一個(gè)具有較寬動態(tài)范圍的儀器能夠更好地適應(yīng)不同分壓力環(huán)境下的測量需求，為科研、工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域提供更可靠的數(shù)據(jù)支持。7.5動態(tài)范圍237.6靈敏度與干擾效應(yīng)比7.6靈敏度與干擾效應(yīng)比靈敏度定義指四極質(zhì)譜儀在規(guī)定條件下，對待測氣體分壓力變化的響應(yīng)能力。影響因素包括質(zhì)譜儀的本身設(shè)計(jì)、制造工藝、檢測器性能等。提高方法優(yōu)化儀器結(jié)構(gòu)，選用高性能檢測器，提高信噪比等。247.7線性響應(yīng)范圍要點(diǎn)三定義與說明線性響應(yīng)范圍是指四極質(zhì)譜儀在測量分壓力時(shí)，其輸出信號與輸入壓力之間呈線性關(guān)系的范圍。在該范圍內(nèi)，儀器能夠準(zhǔn)確地測量和反映壓力變化。0102影響因素線性響應(yīng)范圍受多種因素影響，包括儀器本身的靈敏度、穩(wěn)定性、校準(zhǔn)方法等。此外，被測氣體的性質(zhì)、壓力范圍以及測量環(huán)境的干擾等也會對線性響應(yīng)范圍產(chǎn)生影響。重要性及應(yīng)用線性響應(yīng)范圍是評價(jià)四極質(zhì)譜儀性能的重要指標(biāo)之一。在真空技術(shù)領(lǐng)域，四極質(zhì)譜儀被廣泛用于分壓力的精確測量。線性響應(yīng)范圍的確定有助于確保測量結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性，為科研實(shí)驗(yàn)、工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域提供有力支持。037.7線性響應(yīng)范圍257.8相對靈敏度系數(shù)描述不同氣體組分對四極質(zhì)譜儀響應(yīng)程度的比值。用于比較不同氣體在相同條件下的信號強(qiáng)度。是四極質(zhì)譜儀重要的性能指標(biāo)之一。7.8相對靈敏度系數(shù)267.9圖形模式(裂解模式)與其他模式的區(qū)別與常規(guī)的掃描模式不同，裂解模式更注重于分子裂解過程的研究，能夠提供更深入的樣品組分信息。應(yīng)用領(lǐng)域的特殊性裂解模式在材料科學(xué)、化學(xué)分析等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用，為科研人員提供了強(qiáng)有力的分析手段。描述質(zhì)譜儀的特定工作方式裂解模式是指四極質(zhì)譜儀在特定條件下，通過裂解樣品分子來獲得分壓力測量數(shù)據(jù)的工作模式。7.9圖形模式(裂解模式)277.10QMS的放氣率指在規(guī)定條件下，四極質(zhì)譜儀內(nèi)部材料釋放出的氣體分子數(shù)占總氣體分子數(shù)的比例。指在規(guī)定條件下，四極質(zhì)譜儀在工作過程中，內(nèi)部材料持續(xù)釋放出的氣體分子造成的分壓變化。靜態(tài)放氣率動態(tài)放氣率7.10QMS的放氣率287.11QMS的抽速抽速定義QMS（四極質(zhì)譜儀）的抽速是指在一定條件下，單位時(shí)間內(nèi)從被測真空容器中抽出氣體分子數(shù)量的能力。抽速重要性抽速是評價(jià)QMS性能的關(guān)鍵指標(biāo)，直接影響真空系統(tǒng)的真空度和測量準(zhǔn)確性。7.11QMS的抽速298測量不確定度測量不確定度是表征測量結(jié)果分散性的參數(shù)，反映了測量結(jié)果的可靠性。根據(jù)來源，測量不確定度可分為A類不確定度和B類不確定度。8測量不確定度分類定義308.1一般要求儀器應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定，并按照經(jīng)規(guī)定程序批準(zhǔn)的圖樣及設(shè)計(jì)文件制造。四極質(zhì)譜儀的分壓力測量范圍應(yīng)覆蓋10^-10至1Pa，且測量準(zhǔn)確度等級不應(yīng)低于1.5級。儀器應(yīng)具有穩(wěn)定的抽氣系統(tǒng)，以確保在測量過程中，測試腔內(nèi)壓力的穩(wěn)定控制。同時(shí)，抽氣系統(tǒng)應(yīng)具有足夠大的抽速，以便在短時(shí)間內(nèi)將被測氣體抽入測試腔，提高測量效率。8.1一般要求318.2質(zhì)量分辨率的不確定度質(zhì)量分辨率的不確定度是指測量結(jié)果中，質(zhì)量分辨率的變動范圍或誤差范圍。定義影響質(zhì)量分辨率不確定度的因素包括質(zhì)譜儀自身的穩(wěn)定性、校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)器的準(zhǔn)確性、測量環(huán)境的干擾等。影響因素8.2質(zhì)量分辨率的不確定度328.3pMDPP的不確定度由四極質(zhì)譜儀自身電子噪聲、離子源噪聲等引起的測量誤差。測量噪聲校準(zhǔn)過程中標(biāo)準(zhǔn)氣體、校準(zhǔn)曲線等因素引入的不確定度。校準(zhǔn)誤差環(huán)境溫度、濕度、壓力等變化對測量結(jié)果的影響。環(huán)境影響8.3pMDPP的不確定度338.4最小可檢濃度的不確定度(CMDC)不確定度含義表示測量結(jié)果的可靠程度，反映了測量值的分散性。最小可檢濃度定義指質(zhì)譜儀能夠檢測到的最低氣體濃度，是評價(jià)質(zhì)譜儀靈敏度的重要指標(biāo)。CMDC計(jì)算方法通過特定的測試程序和數(shù)據(jù)處理，得出最小可檢濃度的不確定度。8.4最小可檢濃度的不確定度(CMDC)348.5動態(tài)范圍的不確定度不確定度是表征測量值分散性的參數(shù)，反映測量結(jié)果的可靠程度。定義不確定度可分為A類不確定度（隨機(jī)誤差引起）和B類不確定度（系統(tǒng)誤差引起）。分類8.5動態(tài)范圍的不確定度358.6靈敏度的不確定度不確定度的概念表示測量結(jié)果變動性的參數(shù)，即合理賦予被測量值的分散性。靈敏度不確定度的意義評估四極質(zhì)譜儀在分壓力測量過程中，靈敏度這一性能指標(biāo)的穩(wěn)定性和可靠性。8.6靈敏度的不確定度368.7線性響應(yīng)范圍的不確定度線性響應(yīng)范圍的不確定度描述了四極質(zhì)譜儀在測量分壓力時(shí)，其輸出信號與真實(shí)分壓力之間線性關(guān)系的穩(wěn)定程度。它是評價(jià)四極質(zhì)譜儀性能的重要指標(biāo)之一。線性響應(yīng)范圍的不確定度受多種因素影響，包括質(zhì)譜儀自身的穩(wěn)定性、校準(zhǔn)氣體的純度、測量環(huán)境的干擾等。這些因素可能導(dǎo)致測量結(jié)果的偏差，因此需要在使用過程中加以注意和控制。為了確定線性響應(yīng)范圍的不確定度，需要采用專業(yè)的測試與校準(zhǔn)方法。通常包括使用已知分壓力的標(biāo)準(zhǔn)氣體進(jìn)行校準(zhǔn)，以及通過多次重復(fù)測量來評估測量結(jié)果的穩(wěn)定性和可靠性。這些方法有助于確保四極質(zhì)譜儀在測量分壓力時(shí)具有足夠的準(zhǔn)確性和可信度。定義與意義影響因素測試與校準(zhǔn)方法8.7線性響應(yīng)范圍的不確定度378.8相對靈敏度系數(shù)的不確定度123相對靈敏度系數(shù)是描述四極質(zhì)譜儀性能的關(guān)鍵指標(biāo)之一，它反映了儀器對不同氣體分壓測量的敏感程度。通過相對靈敏度系數(shù)，可以評估儀器在測量過程中的準(zhǔn)確性和可靠性，為科研和工業(yè)生產(chǎn)提供有力支持。了解相對靈敏度系數(shù)的不確定度，有助于用戶更加全面地掌握儀器的性能，從而在實(shí)際應(yīng)用中發(fā)揮出最佳效果。8.8相對靈敏度系數(shù)的不確定度388.9圖形系數(shù)的不確定度描述測量結(jié)果變化程度的一個(gè)參數(shù)，即合理賦予被測量值的分散性。圖形系數(shù)不確定度不確定度反映的是整個(gè)測量過程的分散性，誤差則是測量值與真值之間的差異。不確定度與誤差的區(qū)別分為A類評定（統(tǒng)計(jì)分析法）和B類評定（非統(tǒng)計(jì)分析法）。不確定度的評定方法8.9圖形系數(shù)的不確定度398.10放氣率和抽速的不確定度測量過程中的環(huán)境干擾如溫度、濕度等環(huán)境因素的變化，會對放氣率的測量結(jié)果產(chǎn)生影響，從而引入不確定度。測量設(shè)備的精度限制放氣率的測量設(shè)備自身存在一定的精度限制，這也是放氣率不確定度的一個(gè)重要來源。材料本身的不均勻性和不穩(wěn)定性不同材料、不同工藝制作的真空系統(tǒng)，其放氣率會有較大的差異，這種差異會導(dǎo)致放氣率測量值的不確定度。8.10放氣率和抽速的不確定度408.11