(高清版)GBT 42837-2023 微波半導(dǎo)體集成電路 放大器

微波半導(dǎo)體集成電路放大器2023-08-06發(fā)布國家市場監(jiān)督管理總局國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會I本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任。本文件由中華人民共和國工業(yè)和信息化部提出。本文件由全國半導(dǎo)體器件標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC78)歸口。本文件起草單位：中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院、中國電子科技集團(tuán)公司第十三研究所、深圳微步信息股份有限公司、杭州電子科技大學(xué)、中國電子科技集團(tuán)公司第五十五研究所、廣東省中紹宣標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)研究院有限公司、成都亞光電子股份有限公司、惠州市睿鼎電子科技有限公司、青島金匯源電子有限公司、中國電子科技集團(tuán)公司第三十八研究所、中國航天科工集團(tuán)第三十五研究所。1微波半導(dǎo)體集成電路放大器本文件適用于采用半導(dǎo)體集成電路工藝設(shè)計制造放大器的設(shè)計、制造、采購和驗收。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于GB/T4589.1半導(dǎo)體器件第10部分：分立器件和集成電路總規(guī)范GB/T4937.3半導(dǎo)體器件機(jī)械和氣候試驗方法第3部分：外部目檢GB/T4937.4半導(dǎo)體器件機(jī)械和氣候試驗方法第4部分：強(qiáng)加速穩(wěn)態(tài)濕熱試驗(HAST)GB/T4937.11半導(dǎo)體器件機(jī)械和氣候試驗方法第11部分：快速溫度變化雙液槽法GB/T4937.13半導(dǎo)體器件機(jī)械和氣候試驗方法第13部分：鹽霧GB/T4937.14半導(dǎo)體器件機(jī)械和氣候試驗方法第14部分：引出端強(qiáng)度(引線牢固性)GB/T4937.15半導(dǎo)體器件機(jī)械和氣候試驗方法第15部分：通孔安裝器件的耐焊接熱GB/T4937.21半導(dǎo)體器件機(jī)械和氣候試驗方法第21部分：可焊性GB/T4937.23半導(dǎo)體器件機(jī)械和氣候試驗方法第23部分：高溫工作壽命GB/T4937.26半導(dǎo)體器件機(jī)械和氣候試驗方法第26部分：靜電放電(ESD)敏感度測試人體模型(HBM)GB/T4937.27半導(dǎo)體器件機(jī)械和氣候試驗方法第27部分：靜電放電(ESD)敏感度測試機(jī)器模型(MM)GB/T9178集成電路術(shù)語GB/T12750半導(dǎo)體器件集成電路第11部分：半導(dǎo)體集成電路分規(guī)范(不包括混合電路)GB/T19403.1半導(dǎo)體器件集成電路第11部分：第1篇：半導(dǎo)體集成電路內(nèi)部目檢(不包括混合電路)GB/T20870.1—2007半導(dǎo)體器件第16-1部分：微波集成電路放大器SJ/T10147集成電路防靜電包裝管SJ/T11587—2016電子產(chǎn)品防靜電包裝技術(shù)要求IEC60749-6半導(dǎo)體器件機(jī)械和氣候試驗方法第6部分：高溫貯存(Semiconductordevices—Mechanicalandclimatictestmethods—Part6:Storageathightemperature)IEC60749-8半導(dǎo)體器件機(jī)械和氣候試驗方法第8部分：密封(Semiconductordevices—Me-chanicalandclimatictestmetIEC60749-9半導(dǎo)體器件機(jī)械和氣候試驗方法第9部分：標(biāo)志耐久性(Semiconductordevices—Mechanicalandclimatictestmethods—Part9:Permanenceofmarking)IEC60749-24半導(dǎo)體器件機(jī)械和氣候試驗方法第24部分：加速耐濕無偏置強(qiáng)加速應(yīng)力試驗2(Semiconductordevices—Mechanicalandclimatictestmethods—Part24:Acceleratedmoistureresist-IEC60749-36半導(dǎo)體器件機(jī)械和氣候試驗方法第36部分：穩(wěn)態(tài)加速度(Semiconductorde-vices—Mechanicalandclimatictestmethods—Part36:Acceleration,steadyGB/T9178和GB/T20870.1—2007界定的術(shù)語和定義適用于本文件。4分類a)A型：低噪聲放大器，該器件是對微弱的微波信號進(jìn)行放大且在放大過程中引入低附加噪聲的b)B型：自動增益控制放大器，該器件是當(dāng)輸入微波信號幅度在一定范圍內(nèi)變化時，輸出信號保持穩(wěn)定的電路。c)C型：限幅放大器，該器件是當(dāng)輸入微波信號幅度超過一定電平時，輸出信號幅度達(dá)到限幅狀d)D型：功率放大器，該器件是對微波信號進(jìn)行功率放大的電路。5技術(shù)要求各類放大器至少應(yīng)規(guī)定的電源電流靜態(tài)特性參數(shù)。各類放大器至少應(yīng)規(guī)定的動態(tài)特性參數(shù)見表1。動態(tài)特性參數(shù)最小值最大值電路類型C型5.1.2.1線性增益×——××——×5.1.2.2線性增益平坦度 ×××——×5.1.2.3功率增益×————×——×5.1.2.4功率增益平坦度—×——×—×5.1.2.5增益控制范圍×————×———3表1動態(tài)特性參數(shù)(續(xù))動態(tài)特性參數(shù)最小值最大值電路類型A型5.1.2.6輸出功率×—××5.1.2.71dB增益壓縮輸出功率×——×—×5.1.2.8限幅輸出功率××——×—5.1.2.9限幅輸出功率平坦度—×———×——5.1.2.10交調(diào)失真 ×——××5.1.2.11截距點功率×××5.1.2.12噪聲系數(shù)——××5.1.2.13輸入發(fā)射系數(shù)的模(輸入回波損耗)×—××××5.1.2.14輸出發(fā)射系數(shù)的模(輸出回波損耗)X——××——5.1.2.15反向傳輸系數(shù)的模(隔離度)××××X5.1.2.16幅度調(diào)制對相位調(diào)制轉(zhuǎn)換系數(shù)(適用時)——×××5.1.2.17群延遲時間(適用時) 一×—×××5.1.2.18功率附加效率(適用時)X— —×5.1.2.19n階諧波失真比(適用時)—×————×5.1.2.20輸出噪聲功率(適用時)——×———×5.1.2.21在規(guī)定負(fù)載電壓駐波比下雜散度(適用時) 一————注：“×”表示必備要求，“—”表示不要求。B型和D型放大器應(yīng)選擇5.1.2.1、5.1.2.2和5.1.2.7的參數(shù)或5.1.2.3、5.1.2.4和5.1.2.6的參數(shù)。b任選。對于D型放大器，器件分為大信號、小信號兩種工作條件，應(yīng)規(guī)定不同的測試方法。a)輸入或輸出電路功能框圖；b)靜電放電敏感度(ESD)(人體模型、機(jī)械模型、帶電模型等);c)推薦工作條件；e)工作溫度。6電特性測試方法除另有規(guī)定外，試驗在下列環(huán)境條件下進(jìn)行：4a)相對濕度：25%～75%(適用時);c)試驗溫度：25℃±3℃。6.2靜態(tài)特性測試給放大器施加規(guī)定的工作電壓，使用電流表讀取電源電流。6.3動態(tài)特性測試按照GB/T20870.1—2007中5.2的規(guī)定。6.3.2線性增益平坦度按照GB/T20870.1—2007中5.3的規(guī)定。按照GB/T20870.1—2007中5.4的規(guī)定。6.3.4功率增益平坦度按照GB/T20870.1—2007中5.5的規(guī)定。6.3.5增益控制范圍按照GB/T20870.1—2007中5.6的規(guī)定。6.3.6限幅輸出功率、限幅輸出功率平坦度按照GB/T20870.1—2007中5.7的規(guī)定。按照GB/T20870.1—2007中5.8的規(guī)定。按照GB/T20870.1—2007中5.9的規(guī)定。6.3.9噪聲系數(shù)按照GB/T20870.1—2007中5.10的規(guī)定。6.3.10交調(diào)失真按照GB/T20870.1—2007中5.11的規(guī)定。按照GB/T20870.1—2007中5.12的規(guī)定。6.3.12輸入發(fā)射系數(shù)的模(輸入回波損耗)按照GB/T20870.1—2007中5.13的規(guī)定。56.3.13輸出發(fā)射系數(shù)的模(輸出回波損耗)按照GB/T20870.1—2007中5.14的規(guī)定。6.3.14反向傳輸系數(shù)的模(隔離度)按照GB/T20870.1—2007中5.15的規(guī)定。6.3.15幅度調(diào)制對相位調(diào)制轉(zhuǎn)換系數(shù)按照GB/T20870.1—2007中5.16的規(guī)定。按照GB/T20870.1—2007中5.17的規(guī)定。6.3.17功率附加效率按照GB/T20870.1—2007中5.18的規(guī)定。按照GB/T20870.1—2007中5.19的規(guī)定。6.3.19輸出噪聲功率按照GB/T20870.1—2007中5.20的規(guī)定。6.3.20在規(guī)定負(fù)載電壓駐波比下雜散度按照GB/T20870.1—2007中5.21的規(guī)定。7檢驗規(guī)則7.1一般要求放大器應(yīng)經(jīng)檢驗合格方能出廠，并附有證明產(chǎn)品質(zhì)量合格的文件或標(biāo)記。檢驗規(guī)則按GB/T12750的規(guī)定，與GB/T12750的要求不一致時，以本文件為準(zhǔn)。7.2檢驗分類本文件規(guī)定的檢驗分為：a)鑒定檢驗；b)質(zhì)量一致性檢驗；c)篩選。7.3質(zhì)量評定類別放大器的質(zhì)量評定類別，對各類別的最低要求如下。a)I類：該類的批符合A組和B組逐批檢驗要求以及C組周期檢驗要求。b)Ⅱ類：該類的批符合A組和B組逐批檢驗要求以及C組和D組周期檢驗要求。c)Ⅲ類：該類的批需進(jìn)行100%篩選，并符合A組和B組逐批檢驗要求以及C組和D組周期檢驗要求。6A組檢驗的抽樣按表2的規(guī)定進(jìn)行，B組、C組和D組檢驗的抽樣按表3的規(guī)定進(jìn)行。表2A組抽樣要求分組批允許不合格品率(LTPD)"接收質(zhì)量限(AQL)Ⅲ類Ⅲ類AQLAQLAQLAlA3A3aA3bA4A4aA4b75—32335773233577ⅡⅡ—ⅡⅡⅡⅡ批允許不合格品率，最大合格判定數(shù)為4。分組LTPD*Ⅲ類Ⅱ類和Ⅲ類B4b(不適用)555批允許不合格品率，最大合格判定數(shù)為2。指器件引出端數(shù)，分配給至少4只器件。7.5檢驗批構(gòu)成一個檢驗批應(yīng)由相同類別，在基本相同的條件下，采用相同原材料和工藝生產(chǎn)，并在同一時間內(nèi)提交檢驗的產(chǎn)品組成。77.6鑒定檢驗鑒定檢驗由本文件規(guī)定的A組、B組、C組檢驗和當(dāng)有規(guī)定時的D組檢驗組成。7.7質(zhì)量一致性檢驗質(zhì)量一致性檢驗由本文件規(guī)定的A組、B組、C組檢驗和當(dāng)有規(guī)定時的D組檢驗組成。A組、B組、C組和D組檢驗分別按表4、表5、表6和表7規(guī)定的檢驗項目和順序進(jìn)行。除另有規(guī)定外，試驗在25℃下進(jìn)行。標(biāo)有(D)的試驗是破壞性的。分組檢驗或試驗試驗條件極限值A(chǔ)1外部目檢見GB/T4937.3——A325℃下靜態(tài)特性見5.1.1——A3a最高工作溫度下靜態(tài)特性極限值可與A3分組不同A3b最低工作溫度下靜態(tài)特性TA=TA(min)或Tc=Tc(min)極限值可與A3分組不同A425℃下動態(tài)特性見5.1.2—A4a最高工作溫度下動態(tài)特性(不適用于I類)“極限值可與A4分組不同A4b最低工作溫度下動態(tài)特性(不適用TA=TA(min)或Tc=Tc(min)極限值可與A4分組不同如果制造廠能定期證明2個極限溫度下的試驗結(jié)果與25℃下的試驗結(jié)果相關(guān)，則可使用25℃下的結(jié)果。分組檢驗或試驗引用標(biāo)準(zhǔn)條件B1尺寸GB/T4589.1按規(guī)定B4可焊性(D)GB/T4937.21按規(guī)定B5(僅適用于空封器件)密封非空封器件和環(huán)氧封接的空封器件溫度快速變化隨后：●強(qiáng)加速穩(wěn)態(tài)濕熱(HAST)GB/T4937.11GB/T4937.3GB/T4937.4見6.2、6.3按產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定10次循環(huán)，貯存溫度范圍130℃,85%(相對濕度),96h/110℃,85%(相對濕度),264h同A3分組和A4分組8分組檢驗或試驗引用標(biāo)準(zhǔn)條件壽命電測試見6.2、6.3件按規(guī)定同A3分組和A4分組放行批證明記錄就B3、B4、B5和B8分組提供計數(shù)檢測結(jié)果。分組檢驗或試驗引用標(biāo)準(zhǔn)條件尺寸GB/T4589.1——ESD(D)人體模型(HBM)機(jī)械模型(MM)帶電模型(CDM)電測試GB/T4937.26GB/T4937.27見6.2、6.3按規(guī)定按規(guī)定按規(guī)定同A3分組和A4分組引出端強(qiáng)度(D)GB/T4937.14按相應(yīng)封裝的規(guī)定耐焊接熱GB/T4937.15按產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定溫度循環(huán)a)空封器件溫度快速變化隨后：電測試(A3和A4)密封b)非空封器件和環(huán)氧封接的空封器件(D)溫度快速變化隨后：外部目檢強(qiáng)加速穩(wěn)態(tài)濕熱(HAST)電測試GB/T4937.11見6.2、6.3GB/T4937.8GB/T4937.11GB/T4937.3GB/T4937.4見6.2、6.3100次循環(huán)，貯存溫度范圍同A3分組和A4分組按產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定500次循環(huán)，貯存溫度范圍按規(guī)定130℃,85%(相對濕度),96h/110℃,85%(相對濕度),264h同A3分組和A4分組鹽霧GB/T4937.13按規(guī)定恒定加速度(空封器件)GB/T4937.36按規(guī)定穩(wěn)態(tài)濕熱a)空封器件b)非空封器件和環(huán)氧封接的空封器件(D)隨后：電測試見6.2、6.3嚴(yán)酷等級：I類21d,Ⅱ類和Ⅲ類嚴(yán)酷等級：I類500h,Ⅱ類和Ⅲ類同A3分組和A4分組9分組檢驗或試驗引用標(biāo)準(zhǔn)條件壽命電測試見6.2、6.3最高工作溫度，時間：1000h,偏置條件按規(guī)定同A3分組和A4分組高溫貯存電測試見6.2、6.31000h,最高貯存溫度同A3分組和A4分組標(biāo)志耐久性—放行批證明記錄就C3、C4、C6、C7、C9和C11分組提供計數(shù)檢查結(jié)果。注：C組檢驗半年進(jìn)行一次。分組檢驗或試驗引用標(biāo)準(zhǔn)條件壽命I類：不適用Ⅱ類和Ⅲ類：按產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定電測試GB/T4937.23見6.2、6.3最高工作溫度，時間：4000h,偏置條件按規(guī)定同A3分組和A4分組注：D組檢驗一年進(jìn)行一次。D組試驗的時間是C組和D組電耐久性試驗的累加時間。7.8篩選當(dāng)進(jìn)行篩選時，應(yīng)按本文件表8規(guī)定的順序?qū)ιa(chǎn)批中所有放大器進(jìn)行。步驟檢驗或試驗引用標(biāo)準(zhǔn)條件順序ABD內(nèi)部目檢按規(guī)定×2高溫烘焙時間和溫度按產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定××3溫度快速變化GB/T4937.11按規(guī)定××4恒定加速度(對空封器件)按規(guī)定××5密封(對空封器件)按規(guī)定××6電測試(老煉前)見6.2、6.3A3、A4分組×××7老煉GB/T4937.23按規(guī)定×××8電測試(老煉后)見6.2、6.3A3、A4分組×××注：“×”表示必備要求，“—”表示不要求。8標(biāo)志放大器上的標(biāo)志：當(dāng)面積許可時，應(yīng)在放大器上標(biāo)出以下標(biāo)志：a)引出端識別標(biāo)志；b)