2024有質(zhì)量評定的射頻體聲波濾波器第1部分總規(guī)范

1II目 次前言 III112范引文件 13語定、位號 2術(shù)和義 2單和號 84稱特的薦值 94.1一性 9標頻率 9工溫范，度（°C） 9氣類別 94.5碰度 94.6振度 94.7沖度 104.8良的漏率 105105.1濾器志 105.2包標記 116量定序 116.1總則 11初的造 11結(jié)相的件 116.4分包 116.5合組件 116.6制商批準 116.7審程序 11能批程序 12鑒批程序 126.10測程序 136.11篩要求 13返和理作。 13已布次認記錄 13發(fā)的效性 136.15版交付 136.16未檢的數(shù) 13IIII7驗測程序 137.1總則 137.2測和量件 137.3視檢查 14尺和量序 15電測程序 15機和境試序 22壽試程序 25IVIV引 言第1序；第2部分：使用指南，目的在于給出射頻體聲波濾波器基本結(jié)構(gòu)和工作原理，從而為使用者合理選擇濾波器、滿足使用需求提供指導(dǎo)。PAGEPAGE10有質(zhì)量評定的射頻(RF)體聲波(BAW)濾波器第1部分:總規(guī)范范圍本文件規(guī)定了用于能力批準程序或鑒定批準程序評定質(zhì)量的射頻體聲波濾波器的試驗方法和通用性要求。（GB/T2421-2020環(huán)境試驗概述和指南（IEC60068-1：2013）GB/T2423.1——20082低溫(IEC60068——2——1：2007，IDT)GB/T2423.2——20082高溫(IEC60068——2——2：2007，IDT)GB/T2423.10——19952Fc(IEC60068——2——6——1982，IDT)GB/T2423.15——20082Ga(IEC60068——2——7——1986，IDT)GB/T223.—2082M（E60068——2——13：1983，IDT）GB/T2423.22——20022（IEC60068——2——14：2009，IDT)GB/T2423.23——2013電工電子產(chǎn)品環(huán)境試驗第2部分：試驗方法試驗Q：密封(IEC60068——2——17:1994，IDT)GB/T2423.60——20082U(IEC60068——2——21：2006，IDT)GB/T2423.5——1995電工電子產(chǎn)品環(huán)境試驗第2部分：試驗方法試驗Ea和導(dǎo)則：沖擊（IEC60068——2——27：1987，IDT）GB/T2423.4——20082（12h+12h循環(huán)IE6———0：20，DGB/T2423.7——1995電工電子產(chǎn)品環(huán)境試驗第2部分：試驗方法試驗Ec和導(dǎo)則：傾跌和翻倒（主要用于設(shè)備型樣品）(IEC60068——2——31:1982,IDT)GB/T2423.30——20132XAGB/T2423.18——20122氯化EC—2—52199，IGB/T2423.56——20062Fh（數(shù)）（IEC68——2——64：1993，IDT）GB/T2423.3——2016268——2——78：2012，IDT）IEC60122——1有質(zhì)量評定的石英晶體單元第1部分：總規(guī)范（Quartzcrystalunitsofassessedquality——Part1:Genericspecification）IEC60027電氣術(shù)語用文字符號（Lettersymbolstobeusedinelectricaltechnology）IEC60050——561國際電工詞匯（IEV）——第561部分：用于頻率控制，選擇和檢測的壓電，介(InternationalElectrotechnicalVocabulary(IEV561:Piezoelectric,dielectricandelectrostaticdevicesandassociatedmaterialsforfrequencycontrol,selectionanddetection)IEC60068——1:2013環(huán)境試驗第1（EnvironmentalTestingPart1:GeneralandGuidance）IEC60068——2——582Td：(Environmentaltesting——Part2——58:Tests——TestTd:Testmethodsforsolderability,resistancetodissolutionofmetallizationandtosolderingheatofsurfacemountingdevice(SMDIEC60617圖表圖解符號（GraphicalsymbolsforDiagrams）IEC6064212unitsforfrequencycontrolandselectionCHAPTERI:standardvaluesandcondition——CHAPTERII:Measuringandtestcondition）IEC60749——2828(Semiconductordevices——Mechanicalandclimatictestmethods——Part28:Eletrostaticdischarge(ESD)sensitivitytestingdirectcontactchargeddevicemodel(DC——CDM))IEC60695——11——511——52(FirehazardtestingPart11——5:Testflames—Needle——flametestmethod——Apparatusconfirmatorytestarrangementandguidance）IEC61340——3——13——13——1：Methodsforsimulationofelectrostaticeffects——Humanbodymodel(HBM)electrostaticdischargetestwaveforms）IEC61340——3——22——2（Electrostatics——Partforsimulationofelectrostaticeffects——Machinemodel(MM)electrostaticdischargetestwaveforms）ISO80000——1，量和單位——第1部分：總則（Quantitiesandunits——Part1:General）下列術(shù)語和定義適用本文件。3.1.1體聲波 bulkacousticBAW聲波在壓電層的頂部和底部表面之間傳播，并且穿過整個壓電層。注：聲波是通過壓電層兩側(cè)的金屬電極激勵的。3.1.2體聲濾器 bulkacousticwaveBAWfilter體聲波濾波器的特征是通過一對電極產(chǎn)生體聲波并沿薄膜厚度方向傳播。3.1.3薄膜聲諧器 filmbulkacousticFBAR下電極支撐襯底上電極壓電材料h薄膜BAW）下電極支撐襯底上電極壓電材料h上電極壓電材料h上電極壓電材料h空氣隙下電極下電極圖1 FBAR結(jié)構(gòu)3.1.4固態(tài)配諧器 solidlymountedSMRBAW諧振器，通過一系列交替的低和高聲阻抗薄膜層Za（每層厚度為四分之一波長）來支撐電極/壓電層/電極結(jié)構(gòu)，這些層的作用類似于聲學(xué)反射器，將諧振器和襯底進行聲學(xué)隔離，如圖2所示。hh上電極下電極低聲阻抗層高聲阻抗層上電極下電極低聲阻抗層高聲阻抗層支撐襯底壓電材料3.1.5響應(yīng)性 responsecharacteristicsBAW濾波器的頻率響應(yīng)如圖3所示。3.1.6截止率 cut——offfrequency通帶頻率的相對衰減達到特定值3.1.7輸入抗 inputimpedance當輸出接特定負載阻抗時，濾波器到信號源的阻抗。3.1.8輸入平 inputlevel濾波器輸入端子對的功率，電壓或電流值。3.1.9插入耗 insertionattenuation濾波器插入前后直接傳輸?shù)截撦d阻抗的功率對數(shù)比。3.1.10互調(diào) inter——modulation由于濾波器的非線性，使輸入信號與某些不同頻率的信號產(chǎn)生非必要的幅度調(diào)制。3.1.11最大入耗 maximuminsertionattenuation通帶內(nèi)插損的最大值。3.1.12最小入耗 minimuminsertionattenuation通帶內(nèi)插損的最小值。3.1.13標稱入耗 nominalinsertionattenuation特定參考頻率的插損。3.1.14標稱值 nominallevel特定點測量的功率，電壓或電流值。3.1.15可操溫范圍 operabletemperaturerange在可操作溫度范圍內(nèi)，體聲波濾波器可提供規(guī)定的特性曲線，但不一定在規(guī)定的公差范圍內(nèi)。3.1.16工作度圍 operatingtemperaturerange在工作溫度范圍內(nèi)，BAW濾波器正常工作并在指定公差內(nèi)保持規(guī)定的特性曲線。3.1.17輸出抗 outputimpedance當輸入端接指定的源阻抗時，濾波器到負載的阻抗。3.1.18輸出平 outputlevel傳輸?shù)截撦d的功率，電壓或電流值。3.1.19通帶 passband相對衰減等于或小于指定值的頻帶。3.1.20通帶寬 passbandwidth相對衰減等于或小于特定值的頻率間隔。3.1.21帶內(nèi)動 passbandripple指定通帶內(nèi)衰減變化的最大值。3.1.22參考率 referencefrequency定義一個特定的頻率，可供其他頻率參考。3.1.23反射率 reflectivity兩個阻抗Za和Zb之間失配度的無量綱測量，即ZaZb (1)ZaZb式中：Za和Zb分別表示輸入阻抗（源阻抗）和輸出阻抗（負載阻抗）注1：反射率的絕對值稱為反射系數(shù)3.1.24相對減 relativeattenuation指定頻率與參考頻率的衰減差值3.1.25回波耗 returnattenuation用分貝的形式表達反射系數(shù)：

ZaZaZbZaZb

dB (2)式中：Za和Zb分別表示輸入阻抗（源阻抗）和輸出阻抗（負載阻抗）3.1.26矩形數(shù) shapefactor兩個特定相對衰減值下帶寬的比值。3.1.27阻帶 stopband相對衰減等于或大于特定值的頻帶。3.1.28阻帶寬 stopbandwidthdB,dB,衰減相對衰減等于或大于特定值的頻率間隔。3.1.29阻帶制 stopbandwidth特定阻帶處的最小相對衰減。3.1.30儲存度圍 storagetemperaturerange外殼上測量的最小和最大溫度，BAW濾波器可以在此溫度下存儲，且不會惡化或損壞其性能。3.1.31終端抗 terminatingimpedance由信號源或負載引起的阻抗。3.1.32過渡帶 transitionband截止頻率和最近阻帶點之間的頻帶。3.1.33電壓波比 voltagestandingwaveVSWR0最小插入損耗標稱點插入損耗通帶波動通帶相對衰減阻帶標稱頻率頻率,GHz截止 中心 0最小插入損耗標稱點插入損耗通帶波動通帶相對衰減阻帶標稱頻率頻率,GHz截止 中心 截止頻率 頻率 頻率傳輸線中最大駐波的電壓幅值與相鄰最小電壓幅值的比值。1Γ (3)1Γ式中：——反射系數(shù)。單位，圖形符號，字母符號和術(shù)語應(yīng)盡可能采用以下標準：——IEC60027,——IEC60050-561,——IEC60617,——IEC60642,——IEC60122-1,——ISO80000。一般性除非詳細規(guī)范中另有說明，否則應(yīng)從以下段落中選擇數(shù)值：表1為典型UMTS頻段的頻率分配。表1 典型UMTS頻的率配頻帶發(fā)射頻率(MHz)接收頻率(MHz)I1920——19802110——2170II1850——19101930——1990III1710——17851805——1880IV1710——17552110——2155V824——849869——894VIII880——915925——960（°C）溫度范圍，BAW濾波器在規(guī)定的公差范圍內(nèi)保持其特定特征：——45～125，——40～85，——30～85，——20～75，——20～70，——10～60，——0～60?？梢栽谄渌麥囟确秶褂?，但最低溫度應(yīng)不低于——60°C，最高溫度不超過125°C。BAW40/085/56（A——GB/T2421-2020）——40°C——+85°CBAWBAW20/085/21（A——GB/T2421-2020）碰撞測試（400m/s2峰值加速度，4000±10）應(yīng)沿每個軸線方向(三個相互垂直的軸線)進行（見7.6.6）6ms。振動嚴酷度應(yīng)符合下列規(guī)定。1表2 正弦動酷度條件頻率范圍，振動幅值振動方向，持續(xù)時間110Hz～55Hz，位移幅值為0.75mm（峰值）301oct/min（7.5.7）55Hz～500Hz或者55Hz～2000Hz，加速度幅值為100m/s2（峰值）210Hz～55Hz，位移幅值為1.5mm（峰值）三個相互垂直軸的每個方向上30min，1oct/min（見本部分7.5.7）55Hz～2000Hz，加速度幅值為200m/s2（峰值）2表3 隨機動酷度條件頻率范圍，振動量值振動方向，持續(xù)時間120Hz～2000Hz19.2m/s2)2/Hzm/s2三個相互垂直軸的每個方向上30in1c/i（.57220Hz～2000Hz48m/s2)2/Hz314m/s2三個相互垂直軸的每個方向上30in1c/i（.57320Hz～2000Hz19.2m/s2)2/Hz，62m/s2三個相互垂直軸的每個方向上30in1c/i（.57除非在詳細規(guī)范中另有說明，否則對于持續(xù)時間為6ms，加速度峰值為1000m/s2的測試(半正弦波脈沖)應(yīng)沿每個軸線方向（見7.5.8）執(zhí)行三次。除非詳細規(guī)范中另有說明，否則最大泄漏率應(yīng)在下文中說明：——10——1Pacm3/s(10——6barcm3/s)；——10——3Pacm3/s(10——8barcm3/s標志體聲波濾波器上應(yīng)清楚地、永久性地給出下列a）—j）項內(nèi)容（見7.6.18），）序列號如果微型BAW濾波器的可用表面積對標記項目數(shù)量有實際限制，則應(yīng)在詳細規(guī)范中給出有關(guān)標記的說明。放有BAW濾波器的初級包裝應(yīng)清楚地標注5.1所列的信息，g)項和靜電敏感元件（ESD）標識根據(jù)需要標注?？倓t有質(zhì)量評定的BAW濾波器的批準有兩種方法：能力批準和鑒定批準。BAW濾波器制造的最初階段是基片的最終表面清洗。供鑒定批準、能力批準和質(zhì)量一致性檢驗用的結(jié)構(gòu)相似的BAW濾波器的劃分應(yīng)在相關(guān)的分規(guī)范中規(guī)定。分包分包程序應(yīng)按照質(zhì)量評定體系的規(guī)定。但是，基片表面最后的清洗和所有后續(xù)的工序應(yīng)由獲得認證的制造商進行。為獲得制造商批準，制造商應(yīng)滿足規(guī)定的質(zhì)量評定體系的要求?？倓t為鑒定BAW濾波器，可以采用能力批準程序或鑒定批準程序。這些程序符合質(zhì)量評定體系中的相應(yīng)規(guī)定。BAW每種能力鑒定元件應(yīng)制定詳細規(guī)范。詳細規(guī)范應(yīng)能識別CQC的目的，并包括所有相關(guān)應(yīng)力等級和試驗限值。c）BAW。產(chǎn)品和性能合格部件（CQC）在已驗證并給與批準的設(shè)計規(guī)則，工藝和質(zhì)量控制程序的基礎(chǔ)上，按組合形式試驗。更詳細的內(nèi)容在在6.8和有關(guān)分規(guī)范中規(guī)定。鑒定批準適用于標準設(shè)計所生產(chǎn)的元件，并且已確立了生產(chǎn)過程且遵守已發(fā)布的詳細規(guī)范。要鑒定的體聲波濾波器按6.9和有關(guān)分規(guī)范的規(guī)定，直接采用適合的評定水平和嚴酷等級，按詳細規(guī)范確定試驗大綱。概述制造商應(yīng)遵守規(guī)定的質(zhì)量評定體系和本規(guī)范“6.2初始制造階段”中規(guī)定的要求制造商為獲得能力批準應(yīng)遵守規(guī)定的質(zhì)量評定體系的程序。在成功地完成質(zhì)量評定體系所規(guī)定的程序后，應(yīng)授予能力批準。能力手冊的內(nèi)容應(yīng)符合分規(guī)范的要求。概述鑒定批準程序應(yīng)質(zhì)量評定體系的規(guī)定。6.2制造商為獲得鑒定批準應(yīng)遵守規(guī)定的質(zhì)量評定體系的程序。在成功地完成質(zhì)量評定體系所規(guī)定的程序后，應(yīng)授予鑒定批準。與分規(guī)范一起使用的空白詳細規(guī)范應(yīng)規(guī)定質(zhì)量一致性檢驗一覽表。所采用的試驗程序應(yīng)從本規(guī)范第8章中選取。若要求的試驗未包括在其中，則應(yīng)在詳細規(guī)范中規(guī)定。用戶要求對BAW濾波器進行篩選時，應(yīng)在詳細規(guī)范中規(guī)定篩選要求。返工返工是指對加工錯誤的糾正，BAW濾波器不允許返工。。返修返修是元件交給用戶后對其缺陷的修正保存期限超過兩年的BAW濾波器，以后的交貨檢驗在放行前應(yīng)按7.5規(guī)定的電氣試驗重新檢驗。BAW濾波器應(yīng)按質(zhì)量評定體系的規(guī)定放行。（AQLs）總則試驗與測試程序應(yīng)按照相關(guān)的詳細規(guī)范進行。IEC60069——1：2013中4.3溫度25℃～35℃45%～75%氣壓86kPa～106kPa(860mbarto1060mbar)溫度25±1℃48%～52%氣壓86kPa～106kPa(860mbarto1060mbar)在進行測量之前，應(yīng)將射頻BAW濾波器儲存在測量溫度下，以使射頻BAW濾波器達到熱平衡。在IEC60068—1:2013年的4.4.2和4.4中給出了輔助干燥的控制恢復(fù)條件和標準條件。測量期間的環(huán)境溫度應(yīng)記錄并在測試報告中說明。詳細規(guī)范給出的限制是真實值。評估結(jié)果時應(yīng)考慮測量不準確性。應(yīng)采取預(yù)防措施將測量誤差降至最低。測量顯示用于特定電氣測試的測量電路是優(yōu)選的電路。在測量設(shè)備修改被檢測特性的情況下，應(yīng)對任何負載效應(yīng)給予適當?shù)难a償。見61000——4——2）總則如果不進行目視檢查，以確保條件、工藝和完成情況令人滿意。標記應(yīng)清晰。ABAW濾波器應(yīng)進行目視檢查，以確保條件，工藝和表面質(zhì)量令人滿意。標記應(yīng)清晰可見。BBAW濾波器應(yīng)在10倍的放大倍率下目視檢查。玻璃上不應(yīng)有裂紋或終端損壞。彎月面周圍的薄片剝落不應(yīng)被視為裂紋。CBAW濾波器應(yīng)目視檢查。不應(yīng)有腐蝕或其他惡化可能損害滿意的操作。標記應(yīng)清晰可見。A應(yīng)檢查引出端的尺寸、間距和對準情況，并應(yīng)符合規(guī)定值。B應(yīng)測量外形尺寸，并應(yīng)符合規(guī)定值?？倓t測試RFBAW50Ω插入損耗是信號通過直線饋送時所測得的值與通過濾波器饋送時所測得的信號電平之比。B/R測試裝置的輸出端應(yīng)與輸入端完全隔離。信號源矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀信號源矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀端口1端口2測試線纜待測濾波器BAW濾波器注：R信道用于檢測源功率，以用作參考值。A信道用于檢測濾波器輸入端端口2的反射功率。B通道用于檢測濾波器通過端口2的傳輸功率。圖4 插入耗量—該值通常為50Ω，并通過測試電纜連接器端口處的標準值和存儲測量值，來校正濾波器阻抗測量的值）。校準后，連接濾波器測試裝置。參考電平的衰減便是插入損耗。(ZSZL)2式中：

TPLIA10

4ZSZL

(4)TPL是以分貝為單位的總功率損耗；IA是以分貝為單位的插入損耗；ZSZL裝置內(nèi)校準標準值應(yīng)當是眾所周知或被明確規(guī)范的。測量示意圖如圖5所示。輸入阻抗變化器BAW 輸出濾波器 阻抗變化器矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀輸入阻抗ZS輸出阻抗ZL圖5 總功損測量/R信號源矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀信號源矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀RAB端口1端口2待測濾波器BAW濾波器注：可以使用其他測量設(shè)備代替網(wǎng)絡(luò)分析儀。此類設(shè)備中有一些會在史密斯圖表顯示出測量結(jié)果。阻抗和回波損耗可以直接讀取。圖6 回波耗量50Ω。裝置連接器的反射率由以下等式表示：γγjφ) (5)式中：γ是反射率；|γ|是其絕對值，即反射系數(shù)；φ是以弧度表示的反射相移。濾波器的阻抗可以通過以下公式計算：0ZZ1γ (6)01γ式中：Z是濾波器的阻抗，Z0是測試設(shè)備的系統(tǒng)阻抗。ZZZtZZtRA20log

(7)式中：RA是以分貝為單位的回波損耗；Zt是指定的終端阻抗。在這種情況下，電壓駐波比（VSWR）可由回波損耗計算，如下所示：式中：

VSWR

11

(ΓRA20)(8)是指定終端阻抗Zt的反射率。BAW注：二階互調(diào)失真出現(xiàn)在頻率f1——f0和f1+f0處，而三階互調(diào)失真出現(xiàn)在頻率2f1——f0和2f0——f1處，其中饋入濾波器的兩個頻率信號被設(shè)置為f0和f1。6RF應(yīng)使用7.5.2.3中規(guī)定的測試裝置。衰減器RF信號發(fā)生器Fc±衰減器RF信號發(fā)生器

SG1頻譜儀待測濾波器功率合成器頻譜儀待測濾波器RF信號發(fā)生器Fc±2△RF信號發(fā)生器

SG2圖7 互調(diào)真量RFRF濾波器應(yīng)插入7.5.2.2的測試電路中，并使用相關(guān)規(guī)范中給出的規(guī)定終端阻抗。插入損耗特性應(yīng)在相關(guān)規(guī)范中規(guī)定的限制范圍內(nèi)。濾波器應(yīng)插入7.5.2.2的測試電路中，并使用相關(guān)規(guī)范中給出的規(guī)定終端阻抗。插入損耗特性應(yīng)在相關(guān)規(guī)范中規(guī)定的限制范圍內(nèi)。濾波器應(yīng)插入7.5.3.2的測試電路中，并使用相關(guān)規(guī)范中給出的規(guī)定的終端阻抗。回波損耗應(yīng)在相關(guān)規(guī)范中規(guī)定的限值內(nèi)。濾波器應(yīng)插入7.5.4.2的測試電路中，并使用相關(guān)規(guī)范中給出的規(guī)定的終端阻抗。互調(diào)失真應(yīng)在相關(guān)規(guī)范中規(guī)定的范圍內(nèi)。BAW圖7S（50Ω（×3）測量不平衡是因為兩個平衡端子之間插入損耗的差異以及180度相位差產(chǎn)生的相位誤差。矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀信號源矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀信號源端口1端口2端口3端口4BAW濾波器圖8 用于衡——衡接波器四口絡(luò)析的測量矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀信號源端口1端口2端口3端口4BAW濾波器圖9 用于平衡——平連濾波的端網(wǎng)分儀的量絕緣電阻應(yīng)用詳細規(guī)范中規(guī)定的直流電壓進行測量。這個電壓施加在：絕緣電阻應(yīng)不小于相關(guān)詳細規(guī)范中規(guī)定的值。耐電壓5）試驗應(yīng)按照IEC60068——2——21中的試驗Ue2（剝離強度和推力）進行。試驗應(yīng)按照IEC60068——2——21中的試驗Ue1（彎曲）進行詳細規(guī)范中，應(yīng)規(guī)定施加的加載力和開始彎曲的位置。）該測試應(yīng)按照IEC60068——2——17：1994中，測試QC的方法1或方法2中規(guī)定的步驟進行。8.5詳細規(guī)范中，應(yīng)規(guī)定液體應(yīng)保持的溫度。浸沒時間應(yīng)為30秒，除非相關(guān)的詳細規(guī)范中另有規(guī)定。RFBAW試驗后，濾波器不應(yīng)有明顯的損壞。試驗應(yīng)按照6.4中，IEC60068——2——17：1994試驗Qk的方法1進行。除非在詳細規(guī)范中另有說明，壓力容器內(nèi)的壓力應(yīng)為200kpa（2bar）。但應(yīng)確保所選壓力不會對被測設(shè)備造成機械損傷。IEC60068——2——17：1994中，6.焊接）（）可焊性該測試應(yīng)按照IEC60068——2——58中的測試Td進行。應(yīng)檢查終端是否有良好的潤濕性。該測試應(yīng)按照IEC60068——2——58中的測試Td進行。）IEC60068——2——14Nc(98±3)℃15s到(1±15s）測試應(yīng)按照IEC60068——2——14中的測試Na進行。，RFBAW30RFBAW濾波器應(yīng)經(jīng)受五次完整的熱循環(huán)，然后暴露在標準的大氣條件下恢復(fù)，不少于2小時。碰撞）試驗應(yīng)按照IEC60068——2——27的試驗Ea進行。RFBAW濾波器應(yīng)按照詳細規(guī)范的要求安裝或夾緊。其中應(yīng)用凸點的三個相互垂直的軸應(yīng)包括：——與終端平行的軸；——平行于RFBAW濾波器底座的軸。嚴重程度應(yīng)符合詳細說明中的規(guī)定。振動）振動）（RFBAW）測試應(yīng)按照IEC60068——2——6的測試Fc進行。RFBAW濾波器應(yīng)按要求安裝或夾緊按詳細規(guī)范。要施加加速度的三個相互垂直的軸應(yīng)包括：——與終端平行的軸——平行于RFBAW濾波器底座的軸。嚴重程度應(yīng)在詳細規(guī)范中說明。振動）（RFBAW）測試應(yīng)符合7.6.6.7.1的規(guī)定，除非在測試過程中濾波器通電，并應(yīng)執(zhí)行詳細規(guī)范中所定義的電氣測試。嚴重程度應(yīng)在詳細規(guī)范中說明（RFBAW）測試應(yīng)按照IEC60068——2——64的測試Fh進行。RFBAW濾波器應(yīng)按照詳細規(guī)范的要求進行安裝或夾緊，三種相互垂直的坐標軸應(yīng)包括：——與終端平行的軸——平行于RFBAW填充物底部的軸。詳細規(guī)范應(yīng)規(guī)定加速度譜密度（ASD），頻率范圍和持續(xù)時間。（RFBAW）7673沖擊）測試應(yīng)按照IEC60068——2——27的測試Ea執(zhí)行。RFBAW濾波器應(yīng)按照詳細規(guī)范的要求安裝或夾緊。