皂膜流量計法標準漏孔校準規(guī)范

1皂膜流量計法標準漏孔校準規(guī)范本規(guī)范適用于漏率范圍為1mL/min～10L/min,出口端為大氣的標準漏孔(以下簡稱漏孔》的校準。進氣端壓力在1kPa～1.5MPa,2引用文件本規(guī)范引用了下列文件；JJG586—2006皂膜流量計GB/T3163—2007真空技術(shù)術(shù)語EN13192:2001無損檢驗泄漏試驗氣體基準泄漏的校準(NomDestruetiveTesting-LenkTesting—CalibrationofReferenceLeaksforGases)ASTME908—98(Reapproved2012)氣體基準泄漏量校準標準規(guī)程(StandardPmeticeforCalibratingGaseo凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本規(guī)范；凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本規(guī)范。3術(shù)語和計量單位在壓力或濃度差作用下，使氣體從壁的一側(cè)通到另一側(cè)的孔洞、孔隙、滲透元件或一個封閉器壁上的其他結(jié)構(gòu)。3.2標準漏referenceleak在規(guī)定條件下(入口壓力、出口壓力，溫度為23℃±5℃),漏率是已知的一種校準用的漏孔。在規(guī)定條件下。一種特定氣體通過漏孔的流量，計量單位為mL/min或L/min。3.4黏滯流viscousflow[GB氣體分子平均自由程遠小于導(dǎo)管最小截面尺寸時氣體通過導(dǎo)管的流動，流動取決于氣體的黏滯性。流動可以是層流或淄流。3.5皂膜流量計soapfilmflowmeter[JJG586—2006,定義3.1]測量微小氣體流量的流量計。由一根帶有刻度的皂膜管，通過計算皂膜經(jīng)過皂膜管上下刻度的時間和皂膜管兩刻度間的容積來計算流過流量計的瞬時流量。3.6電子皂膜流量計electronicsoapfilmflowmeter[JJG586—2006,定義3.1]在皂膜管上安裝一對電子傳感器，并能夠由顯示儀表直接顯示出瞬間流量的皂膜流量計。6校準記錄格式實測漏率值()123456環(huán)境溫度：校準地點：校準結(jié)果；實測漏率值：氣源壓力值：氣源：標稱漏率：大氣壓力：本次測量相對擴展不確定度；Um=環(huán)境濕度：8n,(k)=√a;(k?)+u;(kr)+a;(kp)+a;(kg)+a;(kp)(C.5)C.2.2.1m,(k?)皂膜流量計引入的相對標準不確定度依據(jù)電子皂膜流量計校準證書直接引入，此處按6.2.1.2引入，則此C.2.2.2m,(kr)溫度波動引入的相對標準不確定度C.2.2.3m,(kpn)前級氣源壓力波動引入式進行計算[詳情請參閱達道安主編的《真空設(shè)計手冊》(第三版)],計算復(fù)雜，故在此通過實驗數(shù)據(jù)進行簡化，在滿足第6.2.1.3規(guī)定條件下，由此項引入的相對標準不確標準不確定度。在同一量程下，壓力值越小，引入的相對標準不確定度越大，以0.05級量程(0～16)kPa的數(shù)字壓力計測量1kPa氣源