XB/T 524-2023 高純金屬釔靶材 （正式版）

ICS.77.150.99CCSH65XB中華人民共和國(guó)稀土行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)XB/T524-2023中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部發(fā)布1本文件按照GB/T1.1-2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。請(qǐng)注意本文件的有些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任。本文件由全國(guó)稀土標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC229)提出并歸口。本文件起草單位：有研稀土新材料股份有限公司、湖南稀土金屬材料研究院有限責(zé)任公司、虔東稀土集團(tuán)股份有限公司、包頭稀土研究院、有研稀土高技術(shù)有限公司、福建省長(zhǎng)汀金龍稀土有限公司、贛州晨光稀土新材料有限公司、有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院有限責(zé)任公司。本文件主要起草人：鐘嘉珉、吳道高、楊宏博、張小偉、王志強(qiáng)、陳德宏、賈帥廣、申凌燕、姚南紅、趙二雄、王爽、徐會(huì)兵、張艷嶺、鐘蘭英、李雅民、劉榮麗、張先恒、章立志、陳燕、劉鑫、宋冠禹、申立漢。1XB/T524-2023高純金屬釔靶材本文件規(guī)定了高純金屬釔靶材的分類、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存及隨行文件。本文件適用于真空熔鑄法、粉末冶金法制得的高純金屬釔靶材，主要用于電子信息、涂層和顯示等領(lǐng)域。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T1031產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)表面結(jié)構(gòu)輪廓法表面粗糙度參數(shù)及其數(shù)值GB/T1423貴金屬及其合金密度的測(cè)試方法GB/T1804一般公差未注公差的線性和角度尺寸的公差GB/T6394金屬平均晶粒度測(cè)定方法GB/T7734復(fù)合鋼板超聲波檢測(cè)方法GB/T8170數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定GB/T8651金屬板材超聲板波探傷方法GB/T12690（所有部分）稀土金屬及其氧化物中非稀土雜質(zhì)化學(xué)分析方法GB/T18115.12稀土金屬及其氧化物中稀土雜質(zhì)化學(xué)分析方法第12部分：釔中鑭、鈰、鐠、釹、釤、銪、釓、鋱、鏑、鈥、鉺、銩、鐿和镥量的測(cè)定GB/T20967-2007無損檢測(cè)目視檢測(cè)總則GB39176稀土產(chǎn)品的包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸和貯存XB/T628高純稀土金屬化學(xué)分析方法痕量元素含量的測(cè)定輝光放電質(zhì)譜法3術(shù)語和定義本文件沒有需要界定的術(shù)語和定義。2XB/T524-20234分類4.1產(chǎn)品分類產(chǎn)品按化學(xué)成分分為HT-Y-4Na、HT-Y-3Na5、HT-Y-3Na三個(gè)牌號(hào)。4.2產(chǎn)品牌號(hào)高純金屬釔靶材牌號(hào)共分三個(gè)層次，其中第一層次表示高純靶，用高純靶的英文首字母“HT”表示；第二層次表示產(chǎn)品金屬釔靶，用元素符號(hào)“Y”表示；第三層次表示絕對(duì)純度，當(dāng)產(chǎn)品稀土純度（質(zhì)量分?jǐn)?shù)）不小于99%時(shí)，“X”表示質(zhì)量分?jǐn)?shù)中“9”的個(gè)數(shù)，“N”表示數(shù)字9的英文字母，“Z”表示質(zhì)量分?jǐn)?shù)最后一位的值（當(dāng)值為0時(shí)省略“a”為absolute首字母，“Na”表示絕對(duì)純度。具體表示方法如下：示例：HT-Y-3Na5表示純度為99.95%的高純金屬釔靶材產(chǎn)品。5技術(shù)要求5.1化學(xué)成分產(chǎn)品的化學(xué)成分應(yīng)符合表1的規(guī)定。如需方有特殊要求，供需雙方可另行協(xié)商。表1產(chǎn)品的化學(xué)成分HT-Y-4NHT-Y-3N5HT-Y-3NY，不小于質(zhì)K3XB/T524-2023HT-Y-4NHT-Y-3N5HT-Y-3NUCNOS5.2致密度產(chǎn)品致密度不小于99%。如需方有特殊要求，供需雙方可另行協(xié)商。5.3平均晶粒尺寸產(chǎn)品平均晶粒尺寸不大于300μm。如需方有特殊要求，供需雙方可另行協(xié)商。5.4內(nèi)部質(zhì)量產(chǎn)品內(nèi)部不應(yīng)有分層、疏松、夾雜和氣孔等缺陷。5.5表面粗糙度產(chǎn)品表面粗糙度不大于1.6μm。如需方有特殊要求，供需雙方可另行協(xié)商。5.6幾何尺寸和允許公差產(chǎn)品尺寸、規(guī)格及結(jié)構(gòu)方式宜由需方提供圖紙。幾何尺寸及允許公差由供需雙方協(xié)商確定。如需方未提供允許公差，則靶材尺寸允許公差應(yīng)符合GB/T1804要求。5.7外觀質(zhì)量5.7.1產(chǎn)品為銀灰色。5.7.2產(chǎn)品表面應(yīng)光滑，無指痕、油污和銹蝕，無拉伸潤(rùn)滑痕跡、顆粒附加物。5.7.3產(chǎn)品應(yīng)無凹坑、劃傷、裂紋、凸起等缺陷。5.8焊接質(zhì)量4XB/T524-2023焊接結(jié)合面積占總面積的比例不低于95%，單個(gè)未結(jié)合面積占總面積的比例不高于2%。如需方有特殊要求，供需雙方可另行協(xié)商。6試驗(yàn)方法6.1化學(xué)成分6.1.1產(chǎn)品中稀土雜質(zhì)含量的分析方法按GB/T18115.12和XB/T628的規(guī)定進(jìn)行，分析范圍交叉時(shí)以XB/T628為仲裁方法。6.1.2產(chǎn)品中非稀土雜質(zhì)含量的分析方法按GB/T12690和XB/T628的規(guī)定進(jìn)行，分析范圍交叉時(shí)以XB/T628為仲裁方法。6.1.3產(chǎn)品中釔（Y）的絕對(duì)純度由計(jì)算得出，即[100%-∑表1所列雜質(zhì)含量(不包含C、N、O、S氣體元素)]6.2致密度按GB/T1423的規(guī)定進(jìn)行。6.3平均晶粒尺寸按GB/T6394的規(guī)定進(jìn)行。6.4內(nèi)部質(zhì)量按GB/T8651的規(guī)定進(jìn)行。6.5表面粗糙度按GB/T1031的規(guī)定進(jìn)行。6.6幾何尺寸和允許公差采用相應(yīng)精度的量具進(jìn)行檢測(cè)，按GB/T1804的規(guī)定進(jìn)行。6.7外觀質(zhì)量采用目視檢查，按GB/T20967-2007第5章的規(guī)定進(jìn)行。6.8焊接質(zhì)量按GB/T7734的規(guī)定進(jìn)行。6.9數(shù)值修約按GB/T8170的規(guī)定進(jìn)行。7檢驗(yàn)規(guī)則7.1檢查和驗(yàn)收5XB/T524-20237.1.1產(chǎn)品由供方檢驗(yàn)部門或第三方進(jìn)行檢驗(yàn)，保證產(chǎn)品質(zhì)量符合本文件或訂貨單（或合同）的規(guī)定，并填寫質(zhì)量證明書。7.1.2需方對(duì)收到的產(chǎn)品按本文件的規(guī)定進(jìn)行檢驗(yàn)。如檢驗(yàn)結(jié)果與本文件或訂貨單（或合同）的規(guī)定不符時(shí)，應(yīng)在收到產(chǎn)品之日起2個(gè)月內(nèi)向供方提出，由供需雙方協(xié)商解決。如需仲裁，應(yīng)由供需雙方協(xié)商確定。7.2組批產(chǎn)品應(yīng)成批提交驗(yàn)收。每批應(yīng)由同一坯料、規(guī)格的產(chǎn)品組成。7.3檢驗(yàn)項(xiàng)目每批產(chǎn)品均應(yīng)進(jìn)行化學(xué)成分、致密度、平均晶粒尺寸、內(nèi)部質(zhì)量、表面粗糙度、幾何尺寸、允許公差、外觀質(zhì)量、焊接質(zhì)量的檢驗(yàn)。7.4取樣7.4.1產(chǎn)品的取樣應(yīng)符合表2的規(guī)定。如需方有特殊要求，供需雙方可另行協(xié)商。表2檢測(cè)項(xiàng)目、取樣位置及數(shù)量7.4.2致密度、平均晶粒尺寸在靶坯的邊緣位置進(jìn)行垂直取樣，樣品尺寸為10mm×10mm×釔靶坯厚度，取樣位置如圖1所示。圖1取樣位置示意圖6XB/T524-20237.5檢驗(yàn)結(jié)果判定7.5.1化學(xué)成分分析結(jié)果與本文件時(shí)，則從該批產(chǎn)品中取雙倍試樣對(duì)不合格項(xiàng)目進(jìn)行重復(fù)試驗(yàn)，若仍有一項(xiàng)結(jié)果不合格，則判定該批產(chǎn)品不合格。7.5.2致密度、平均晶粒尺寸、內(nèi)部質(zhì)量、表面粗糙度、幾何尺寸、允許公差、外觀質(zhì)量、焊接質(zhì)量任何一項(xiàng)檢測(cè)不合格時(shí)，則判該件產(chǎn)品不合格。8標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存及隨行文件8.1標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存產(chǎn)品的標(biāo)志