平板顯示用彩色光刻膠測(cè)試方法 第2部分：光學(xué)性能-編制說(shuō)明

一.工作簡(jiǎn)況

1.任務(wù)來(lái)源

根據(jù)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)2021年第二批推薦性國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)計(jì)劃，國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《平板顯示

用彩色光刻膠測(cè)試方法第2部分：光學(xué)性能》（計(jì)劃編號(hào)20213352-T-469）由全國(guó)半導(dǎo)

體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)（SAC/TC203）負(fù)責(zé)歸口，由北京鼎材科技有限公司組織起

草。

2.主要工作過(guò)程

2019年11月，全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)（SAC/TC203）年會(huì)組織審議

了《平板顯示用彩色光刻膠測(cè)試方法第2部分光學(xué)性能》國(guó)標(biāo)立項(xiàng)匯報(bào)材料。

2020年12月，經(jīng)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)批準(zhǔn)立項(xiàng)。

2021年1月至11月，成立標(biāo)準(zhǔn)編制組，制定了工作計(jì)劃和方案。

2021年12月，進(jìn)入標(biāo)準(zhǔn)起草階段，形成標(biāo)準(zhǔn)草案（工作組討論稿）。

2022年1月6日，由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)（SAC/TC203）組織通

過(guò)網(wǎng)絡(luò)召開了標(biāo)準(zhǔn)的視頻起草討論會(huì)。來(lái)自固安鼎材科技有限公司、合肥鼎材科技有限公司、

北京欣奕華科技有限公司、彤程新材料集團(tuán)股份有限公司等單位的專家代表參會(huì)。

其中北京欣奕華科技有限公司、彤程新材料集團(tuán)股份有限公司是我國(guó)最主要的兩家光刻

膠生產(chǎn)廠家，2021年兩家光刻膠產(chǎn)品合并占據(jù)國(guó)產(chǎn)化份額90%以上。參會(huì)專家對(duì)標(biāo)準(zhǔn)草案規(guī)

定的范圍、規(guī)范性引用文件、術(shù)語(yǔ)與定義、一般要求、測(cè)試方法、精密度、質(zhì)量保證與控制、

實(shí)驗(yàn)報(bào)告8部分展開討論。

其中測(cè)試方法項(xiàng)目合理性進(jìn)行討論，并對(duì)測(cè)試設(shè)備、環(huán)境條件、試樣條件、色度、透光

率、膜厚測(cè)試步驟等逐一分析探討，對(duì)細(xì)節(jié)部分需要繼續(xù)完善、數(shù)據(jù)驗(yàn)證分工完成形成一致

意見(jiàn)。由主編單位進(jìn)行修改完善。

2022年10月，主編單體、參編單位完成測(cè)試項(xiàng)方法數(shù)據(jù)驗(yàn)證。

2022年12月，編制組依據(jù)啟動(dòng)會(huì)討論意見(jiàn)以及實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證結(jié)果修改標(biāo)準(zhǔn)文本，形成征求

意見(jiàn)稿。

1

…

3.標(biāo)準(zhǔn)編制的主要成員單位及其所做的工作

標(biāo)準(zhǔn)起草單位、起草人及承擔(dān)工作內(nèi)容見(jiàn)表1。

表1標(biāo)準(zhǔn)起草單位、起草人及承擔(dān)工作內(nèi)容

序號(hào)起草單位起草人工作內(nèi)容

1北京鼎材科技有限公司桑偉主要起草單位，組織編制單位，負(fù)責(zé)測(cè)

劉永祥試項(xiàng)目的確定、方法試驗(yàn)研究，標(biāo)準(zhǔn)草

孫濤案的起草，組織完成方法驗(yàn)證試驗(yàn)和數(shù)

任雪艷據(jù)統(tǒng)計(jì)分析，標(biāo)準(zhǔn)的起草、編寫以及修

改意見(jiàn)的整理和文本修改等工作。

2工業(yè)和信息化部電子第曹可慰參編單位，組織編制單位，落實(shí)測(cè)試項(xiàng)

四研究院吳怡然目的確定、數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析、方法驗(yàn)證試

驗(yàn)等工作。

3北京欣奕華科技有限公參編單位，負(fù)責(zé)測(cè)試項(xiàng)目的確定、數(shù)據(jù)

司統(tǒng)計(jì)分析、方法驗(yàn)證試驗(yàn)等工作。

4彤程新材料集團(tuán)股份有參編單位，負(fù)責(zé)測(cè)試項(xiàng)目的確定、數(shù)據(jù)

限公司統(tǒng)計(jì)分析、方法驗(yàn)證試驗(yàn)等工作。

二.標(biāo)準(zhǔn)編制原則和確定主要內(nèi)容的論據(jù)及解決的主要問(wèn)題

1.編制原則

本標(biāo)準(zhǔn)按照GB/T1.1-2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)

則》進(jìn)行編寫。

本標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)試項(xiàng)目以及方法制定以歸納國(guó)內(nèi)主要彩色光刻膠研究成果為基礎(chǔ)，這些成果

已經(jīng)在國(guó)內(nèi)外彩色濾光片得到驗(yàn)證，以科學(xué)、合理、可操作性為原則。

2.確定主要內(nèi)容的依據(jù)

彩色濾光片（ColorFilter）是FPD，尤其是LCD中最核心的部件之一，主要作用是將

白色雜背光分離提純?yōu)榉仙纫蟮募t、綠、藍(lán)三種純色原色光，LCD的色域、亮度、對(duì)

比度和飽和度均受彩色濾光片的控制。彩色濾光片的制備通常是將彩色光刻膠（Color

Resist,CR），涂于玻璃基板上成膜，經(jīng)紫外光光刻從而形成圖案。目前，國(guó)內(nèi)彩色光刻膠

2

材料產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)體系尚未建立，國(guó)際關(guān)于彩色光刻膠材料的檢測(cè)也缺乏統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)。光學(xué)性能是

彩色光刻膠材料的重要指標(biāo)，光學(xué)性能指標(biāo)包括彩色光刻膠材料的色度、輝度和對(duì)比度等參

數(shù)，是彩色光刻膠是否合格的決定因素。因此建立通過(guò)多通道光學(xué)檢測(cè)儀（MultiChannel

PhotoDetector，MCPD）和對(duì)比度儀測(cè)試彩色光刻膠色度、輝度和對(duì)比度的標(biāo)準(zhǔn)化方法，對(duì)

于彩色光刻膠材料在FPD中的應(yīng)用具有指導(dǎo)意義。

本文件的編制，參考了CIE1931《標(biāo)準(zhǔn)色度系統(tǒng)》、CIE1976《色度空間》、GB/T5698-2001

《顏色術(shù)語(yǔ)》、GB/T18910.4-2007/IEC61747-4:1998《液晶和固態(tài)顯示器件第4部分：液

晶顯示模塊和屏基本額定值和特性》、GB/T15609-2008《彩色顯示器色度測(cè)量方法》、GB/T

3979-2008《物體色的測(cè)量方法》、GB/T18910.11-2012《液晶顯示器件第1-1部分：術(shù)

語(yǔ)和符號(hào)》、GB/T18910.61-2012《液晶顯示器件第6-1部分：液晶顯示器件測(cè)試方法光

電參數(shù)》、GB/T31370.1-2015《平板顯示器（FPD）彩色濾光片測(cè)試方法第1部分：顏色

和透光率測(cè)試方法》。

北京欣奕華科技有限公司、彤程新材料集團(tuán)股份有限公司的彩色材料已經(jīng)在國(guó)內(nèi)外主流

液晶顯示面板廠量產(chǎn)，供應(yīng)品質(zhì)穩(wěn)定。目前對(duì)彩色光刻膠的分析測(cè)試項(xiàng)目、測(cè)試方法的研究

經(jīng)過(guò)了多年積累，已經(jīng)成熟，適合于國(guó)標(biāo)的編制。

3.編制過(guò)程中解決的主要問(wèn)題

CIE1931《標(biāo)準(zhǔn)色度系統(tǒng)》、CIE1976《色度空間》、GB/T5698-2001《顏色術(shù)語(yǔ)》、

GB/T18910.4-2007/IEC61747-4:1998《液晶和固態(tài)顯示器件第4部分：液晶顯示模塊和屏

基本額定值和特性》、GB/T15609-2008《彩色顯示器色度測(cè)量方法》、GB/T3979-2008《物

體色的測(cè)量方法》、GB/T18910.11-2012《液晶顯示器件第1-1部分：術(shù)語(yǔ)和符號(hào)》為

液晶顯示器和色度的一般測(cè)試方法和術(shù)語(yǔ)。GB/T18910.61-2012《液晶顯示器件第6-1部

分：液晶顯示器件測(cè)試方法光電參數(shù)》、GB/T31370.1-2015《平板顯示器（FPD）彩色濾

光片測(cè)試方法第1部分：顏色和透光率測(cè)試方法》只規(guī)定了彩色濾光片的光學(xué)性能測(cè)試方

法。尚無(wú)一個(gè)完整的彩色光刻膠測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)。

彩色光刻膠供應(yīng)商與采購(gòu)商都需要對(duì)彩色光刻膠分析測(cè)試及品質(zhì)控制，上下游采購(gòu)銷售

對(duì)接交流也需要一個(gè)完整的標(biāo)準(zhǔn)支撐。

北京鼎材科技有限公司對(duì)彩色光刻膠的色度、輝度和對(duì)比度測(cè)試方法進(jìn)行過(guò)多年研究，

已經(jīng)形成穩(wěn)定的分析方法，從而起草了本標(biāo)準(zhǔn)文件，并確定了本標(biāo)準(zhǔn)的主要技術(shù)內(nèi)容：1.

范圍、2.規(guī)范性引用文件、3.術(shù)語(yǔ)與定義、4.原理、5.儀器、6.環(huán)境條件、7.試驗(yàn)條件和樣

品狀態(tài)調(diào)節(jié)、8.操作步驟、9.結(jié)果表示、10、試驗(yàn)報(bào)告。

3

三.主要試驗(yàn)情況分析

北京鼎材科技對(duì)提供的彩色光刻膠材料做《平板顯示用彩色光刻膠測(cè)試方法第2部分：

光學(xué)性能》的驗(yàn)證試驗(yàn)，彩色光刻膠的光學(xué)性能測(cè)定結(jié)果符合北京鼎材對(duì)于平板顯示用彩色

光刻膠使用要求。試驗(yàn)數(shù)據(jù)見(jiàn)下面圖表。

表2彩色光刻膠色度試驗(yàn)數(shù)據(jù)

NameYxy

R-119.130.65500.3282

R-218.540.66130.3279

R-318.020.66570.3273

G-159.820.27260.5869

G-261.280.27570.5790

G-362.920.27900.5695

B-112.620.13590.1044

B-210.680.13610.0936

B-39.250.13660.0856

表3彩色光刻膠對(duì)比度試驗(yàn)數(shù)據(jù)

NameYxyLmaxLminCR

R-117.570.66520.3238311.10.03628594

R-217.960.66110.3237312.00.03718410

R-318.480.65460.3230309.30.0388139

G-157.300.26750.595311120.12838667

G-258.850.27120.588011360.12519081

G-360.080.27390.581511680.12349465

B-19.830.13670.0882107.60.01169276

B-212.670.13660.1039136.30.01618466

B-315.260.13780.1179192.80.02437934

四.知識(shí)產(chǎn)權(quán)情況說(shuō)明

4

本標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)內(nèi)容不涉及相關(guān)專利。

五.產(chǎn)業(yè)化情況、推廣應(yīng)用論證和預(yù)期達(dá)到的經(jīng)濟(jì)效果

過(guò)去十年，我國(guó)LCD面板顯示產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)了跨越式發(fā)展，產(chǎn)業(yè)整體規(guī)模已躋身全球第一。

中國(guó)大陸面板產(chǎn)能急速擴(kuò)張，日本韓國(guó)面板廠商雖掌握大批關(guān)鍵技術(shù)，但是逐漸失去價(jià)格競(jìng)

爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，面板產(chǎn)能向中國(guó)臺(tái)灣和大陸集中。至2019年底，中國(guó)大陸已成為全球最大的液晶

面板生產(chǎn)基地。目前中國(guó)大陸面板廠商如京東方、華星光電、中國(guó)電子、天馬微電子、東旭

光電等已有自己的彩色濾光片生產(chǎn)線，但作為彩色濾光片的原料——彩色光刻膠卻長(zhǎng)期依賴

進(jìn)口。為此，國(guó)內(nèi)的彩色濾光片生產(chǎn)商，如鼎材科技、欣奕華科技、彤程新材等公司均在彩

色光刻膠研發(fā)和生產(chǎn)上投入大量精力。國(guó)內(nèi)彩色光刻膠材料產(chǎn)品的廣泛應(yīng)用，對(duì)相關(guān)產(chǎn)品標(biāo)

準(zhǔn)的制定顯得尤為迫切。測(cè)定方法標(biāo)準(zhǔn)關(guān)系到彩色光刻膠供應(yīng)商、面板制造商，但是至今沒(méi)

有統(tǒng)一合理的測(cè)試方法，因此，制定彩色光刻膠的測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，以形成統(tǒng)一的依據(jù)。

本次標(biāo)準(zhǔn)制定，對(duì)于控制保障產(chǎn)品質(zhì)量促進(jìn)相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展，有著重要的現(xiàn)實(shí)意義和科學(xué)

價(jià)值。

六.采用國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)和國(guó)外先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)情況

無(wú)。

七.與現(xiàn)行相關(guān)法律、法規(guī)、規(guī)章及相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的協(xié)調(diào)性

本標(biāo)準(zhǔn)符合國(guó)家有關(guān)法律、法規(guī)的要求，與現(xiàn)行國(guó)家強(qiáng)制性標(biāo)準(zhǔn)協(xié)調(diào)一致。

彩色光刻膠沒(méi)有已發(fā)布的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)、行軍標(biāo)和地方標(biāo)準(zhǔn)0項(xiàng)，有已發(fā)布的團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)3

項(xiàng)，與本標(biāo)準(zhǔn)關(guān)系見(jiàn)表5。

表5已發(fā)布的標(biāo)準(zhǔn)及與本標(biāo)準(zhǔn)關(guān)系

序號(hào)標(biāo)準(zhǔn)號(hào)名稱適用范圍與本標(biāo)準(zhǔn)關(guān)系

1T/ICMTIA5.3-2020集成電路用ArF光刻規(guī)定了ArF光刻膠的光刻不同，互為補(bǔ)

檢測(cè)要求及方法、檢測(cè)標(biāo)充

膠光刻檢測(cè)方法準(zhǔn)及包裝、運(yùn)輸、存儲(chǔ)及

環(huán)保要求。

2T/ICMTIA5.2-2020集成電路用ArF浸沒(méi)適用于集成電路用ArF浸不同，互為補(bǔ)

沒(méi)式光刻膠。充

式光刻膠

3T/ICMTIA5.1-2020集成電路用ArF干式規(guī)定了ArF干式光刻膠不同，互為補(bǔ)

的要求、試驗(yàn)方法、檢測(cè)充

光刻膠標(biāo)準(zhǔn)及包裝、運(yùn)輸、存儲(chǔ)

要求。

5

八.重大分歧意見(jiàn)的處理經(jīng)過(guò)和依據(jù)

無(wú)。

九.標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)的建議

建議本標(biāo)準(zhǔn)作為推薦性標(biāo)準(zhǔn)。

十.貫徹標(biāo)準(zhǔn)的要求和措施建議

建議發(fā)布后3個(gè)月正式實(shí)施。

十一.替代或廢止現(xiàn)行相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的建議

無(wú)。

十二.其它應(yīng)予說(shuō)明的事項(xiàng)

無(wú)。

6

一.工作簡(jiǎn)況

1.任務(wù)來(lái)源

根據(jù)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)2021年第二批推薦性國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)計(jì)劃，國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《平板顯示

用彩色光刻膠測(cè)試方法第2部分：光學(xué)性能》（計(jì)劃編號(hào)20213352-T-469）由全國(guó)半導(dǎo)

體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)（SAC/TC203）負(fù)責(zé)歸口，由北京鼎材科技有限公司組織起

草。

2.主要工作過(guò)程

2019年11月，全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)（SAC/TC203）年會(huì)組織審議

了《平板顯示用彩色光刻膠測(cè)試方法第2部分光學(xué)性能》國(guó)標(biāo)立項(xiàng)匯報(bào)材料。

2020年12月，經(jīng)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)批準(zhǔn)立項(xiàng)。

2021年1月至11月，成立標(biāo)準(zhǔn)編制組，制定了工作計(jì)劃和方案。

2021年12月，進(jìn)入標(biāo)準(zhǔn)起草階段，形成標(biāo)準(zhǔn)草案（工作組討論稿）。

2022年1月6日，由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)（SAC/TC203）組織通

過(guò)網(wǎng)絡(luò)召開了標(biāo)準(zhǔn)的視頻起草討論會(huì)。來(lái)自固安鼎材科技有限公司、合肥鼎材科技有限公司、

北京欣奕華科技有限公司、彤程新材料集團(tuán)股份有限公司等單位的專家代表參會(huì)。

其中北京欣奕華科技有限公司、彤程新材料集團(tuán)股份有限公司是我國(guó)最主要的兩家光刻

膠生產(chǎn)廠家，2021年兩家光刻膠產(chǎn)品合并占據(jù)國(guó)產(chǎn)化份額90%以上。參會(huì)專家對(duì)標(biāo)準(zhǔn)草案規(guī)

定的范圍、規(guī)范性引用文件、術(shù)語(yǔ)與定義、一般要求、測(cè)試方法、精密度、質(zhì)量保證與控制、

實(shí)驗(yàn)報(bào)告8部分展開討論。

其中測(cè)試方法項(xiàng)目合理性進(jìn)行討論，并對(duì)測(cè)試設(shè)備、環(huán)境條件、試樣條件、色度、透光

率、膜厚測(cè)試步驟等逐一分析探討，對(duì)細(xì)節(jié)部分需要繼續(xù)完善、數(shù)據(jù)驗(yàn)證分工完成形成一致

意見(jiàn)。由主編單位進(jìn)行修改完善。

2022年10月，主編單體、參編單位完成測(cè)試項(xiàng)方法數(shù)據(jù)驗(yàn)證。

2022年12月，編制組依據(jù)啟動(dòng)會(huì)討論意見(jiàn)以及實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證結(jié)果修改標(biāo)準(zhǔn)文本，形成征求

意見(jiàn)稿。

1

…

3.標(biāo)準(zhǔn)編制的主要成員單位及其所做的工作

標(biāo)準(zhǔn)起草單位、起草人及承擔(dān)工作內(nèi)容見(jiàn)表1。

表1標(biāo)準(zhǔn)起草單位、起草人及承擔(dān)工作內(nèi)容

序號(hào)起草單位起草人工作內(nèi)容

1北京鼎材科技有限公司桑偉主要起草單位，組織編制單位，負(fù)責(zé)測(cè)

劉永祥試項(xiàng)目的確定、方法試驗(yàn)研究，標(biāo)準(zhǔn)草

孫濤案的起草，組織完成方法驗(yàn)證試驗(yàn)和數(shù)

任雪艷據(jù)統(tǒng)計(jì)分析，標(biāo)準(zhǔn)的起草、編寫以及修

改意見(jiàn)的整理和文本修改等工作。

2工業(yè)和信息化部電子第曹可慰參編單位，組織編制單位，落實(shí)測(cè)試項(xiàng)

四研究院吳怡然目的確定、數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析、方法驗(yàn)證試

驗(yàn)等工作。

3北京欣奕華科技有限公參編單位，負(fù)責(zé)測(cè)試項(xiàng)目的確定、數(shù)據(jù)

司統(tǒng)計(jì)分析、方法驗(yàn)證試驗(yàn)等工作。

4彤程新材料集團(tuán)股份有參編單位，負(fù)責(zé)測(cè)試項(xiàng)目的確定、數(shù)據(jù)

限公司統(tǒng)計(jì)分析、方法驗(yàn)證試驗(yàn)等工作。

二.標(biāo)準(zhǔn)編制原則和確定主要內(nèi)容的論據(jù)及解決的主要問(wèn)題

1.編制原則

本標(biāo)準(zhǔn)按照GB/T1.1-2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)

則》進(jìn)行編寫。

本標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)試項(xiàng)目以及方法制定以歸納國(guó)內(nèi)主要彩色光刻膠研究成果為基礎(chǔ)，這些成果

已經(jīng)在國(guó)內(nèi)外彩色濾光片得到驗(yàn)證，以科學(xué)、合理、可操作性為原則。

2.確定主要內(nèi)容的依據(jù)

彩色濾光片（ColorFilter）是FPD，尤其是LCD中最核心的部件之一，主要作用是將

白色雜背光分離提純?yōu)榉仙纫蟮募t、綠、藍(lán)三種純色原色光，LCD的色域、亮度、對(duì)

比度和飽和度均受彩色濾光片的控制。彩色濾光片的制備通常是將彩色光刻膠（Color

Resist,CR），涂于玻璃基板上成膜，經(jīng)紫外光光刻從而形成圖案。目前，國(guó)內(nèi)彩色光刻膠

2

材料產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)體系尚未建立，國(guó)際關(guān)于彩色光刻膠材料的檢測(cè)也缺乏統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)。光學(xué)性能是

彩色光刻膠材料的重要指標(biāo)，光學(xué)性能指標(biāo)包括彩色光刻膠材料的色度、輝度和對(duì)比度等參

數(shù)，是彩色光刻膠是否合格的決定因素。因此建立通過(guò)多通道光學(xué)檢測(cè)儀（MultiChannel

PhotoDetector，MCPD）和對(duì)比度儀測(cè)試彩色光刻膠色度、輝度和對(duì)比度的標(biāo)準(zhǔn)化方法，對(duì)

于彩色光刻膠材料在FPD中的應(yīng)用具有指導(dǎo)意義。

本文件的編制，參考了CIE1931《標(biāo)準(zhǔn)色度系統(tǒng)》、CIE1976《色度空間》、GB/T5698-2001

《顏色術(shù)語(yǔ)》、GB/T18910.4-2007/IEC61747-4:1998《液晶和固態(tài)顯示器件第4部分：液

晶顯示模塊和屏基本額定值和特性》、GB/T15609-2008《彩色顯示器色