JBT 9328-2024《分辨力板》規(guī)范

ICS17.180.30CCSN30JB代替JB/T9328-1999ResolvingpowertesttaIJB/T9328—XXXX前言 2規(guī)范性引用文件 3術(shù)語和定義 4類型 5圖案和尺寸 5.1A型分辨力板的圖案和尺寸 15.2B型分辨力板的圖案和尺寸 4 55.3C型分辨力板的圖案和尺寸 56材料和結(jié)構(gòu) 67技術(shù)要求 67.1A型分辨力板圖案的尺寸公差 67.2B型分辨力板圖案的尺寸公差 67.3C型分辨力板圖案的尺寸公差 77.4圖案缺陷 77.5圖案的光密度 77.6圖案面疵病 77.7運輸、貯存基本環(huán)境試驗 78試驗方法 錯誤！未定義書簽。8.1試驗條件 88.2A型分辨力板明、暗線條的線寬、線距偏差 88.3測量器具 88.4A型分辨力板的相鄰單元暗線條線距偏差的一致性 98.5A型分辨力板的基線間距偏差和x,y方向基線間距一致性 98.6A型分辨力板的十字線相對于基線的對稱度 8.7A型分辨力板的十字線中心位置與坯料幾何中心位置的偏差 118.8B型分辨力板明、暗輻射線的角寬度β的偏差 118.9B型分辨力板圖案中心位置與坯料幾何中心位置的偏差 128.10C型分辨力板圖案尺寸偏差 8.11圖案缺陷 8.12圖案的光密度 8.13圖案面疵病 8.14運輸、貯存基本環(huán)境條件試驗 9檢驗規(guī)則 9.1檢驗分類 JB/T9328—XXXX9.2出廠檢驗（即交貨檢驗） 9.3型式檢驗 10標(biāo)志、包裝、運輸及貯存 10.1標(biāo)志 10.2包裝 10.3運輸 10.4貯存 圖1A型分辨力板的圖案 2圖2復(fù)合式B型分辨率板 5圖3檢驗A型分辨力板的線寬和線距 9圖4檢驗基線間距 10圖5檢驗十字線中心與坯料幾何中心的偏差 圖6調(diào)整分辨力板輻射線中心與米字線中心重合 圖7檢驗B型分辨力板的輻射線角寬度 圖8檢驗C型分辨力板一個單元的圖案尺寸 表1A型分辨力板的線條長度單位為毫米 2表2A型分辨力板的線條寬度單位為微米 2表3A型分辨力板的圖案尺寸單位為毫米 3表4B型分辨力板的圖案尺寸 4表5C型分辨力板的圖案尺寸和公差 5表6A型分辨力板圖案的尺寸公差 6表7B型分辨力板的圖案尺寸公差 7表8分辨力板圖案的光密度要求 7表9分辨力板疵病檢驗有效范圍單位為毫米 7表10檢驗的溫度條件 8表11要求檢驗線寬、線距的單元號 8表12檢驗A型分辨力板使用的物鏡放大率 8表13檢驗線條缺陷和表面疵病所需要的顯微鏡物鏡放大率 13JB/T9328—XXXX本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。本文件代替JB/T9328-1999《分辨力板》。本文件與JB/T9328-1999相比，除結(jié)構(gòu)調(diào)整和編輯性改動外，主要技術(shù)變化如下：——更改了標(biāo)準(zhǔn)的適用范圍（見第1章）；——增加了“術(shù)語和定義”一章（見第3章——增加了“類型”一章（見第4章）；——增加了C型分辨力板的圖案和尺寸（見5.3）、尺寸公差（見7.3）和試驗方法（見8.9）；——將A型分辨力板相鄰兩單元線寬的公比1/1（見1999年版的3.2.1.3）更改為1/122（見5.1.1——將B3型分辨力板（見1999年版的3.2.2.2改為復(fù)合式B型分辨力板（見5.2.4——增加了B型分辨力板圖案中心暗斑直徑的規(guī)定（見5.2.2）；——將A1號分辨力板線寬、線距的抽檢規(guī)定（見1999年版的5.3.2）更改為全部檢驗（見8.2.1.2并更改了試驗方法（見7.2，見1999年版的5.3）；——將B型分辨力板輻射線角寬度的抽檢規(guī)定（見1999年版的5.5.2）更改為全部檢驗（見8.7.2并更改了試驗方法（見8.7，見1999年版的5.5）；——增加對檢驗溫度條件的要求（見8.1）。請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任。本文件由中國機械工業(yè)聯(lián)合會提出。本文件由全國光學(xué)和光子學(xué)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會（SAC/TC103）歸口。本文件起草單位：貴陽新天光電科技有限公司、上海理工大學(xué)、南京東利來光電實業(yè)有限責(zé)任公司、貴州省光學(xué)測量工程技術(shù)研究中心、河南省計量科學(xué)研究院、蘇州慧利儀器有限責(zé)任公司、寧波永新光學(xué)股份有限公司、寧波湛京光學(xué)儀器有限公司、廣州粵顯光學(xué)儀器有限責(zé)任公司、南京江南永新光學(xué)有限公司、寧波舜宇儀器有限公司、寧波市教學(xué)儀器有限公司、梧州奧卡光學(xué)儀器有限公司、麥克奧迪實業(yè)集團公司、寧波華光精密儀器有限公司、重慶奧特光學(xué)儀器有限責(zé)任公司。本文件主要起草人：胡清、章慧賢、洪宜萍、羅武勇、張衛(wèi)東、韓森、毛磊、鮑金權(quán)、徐濤、李晞、胡森虎、張琪、張景華、章光偉、徐利明、吳國民。本文件及其所代替文件的歷次版本發(fā)布情況為：——1989年首次發(fā)布為ZBN35003-89；——1999年第一次修訂，發(fā)布為JB/T9328—1999；——本次為第二次修訂。JB/T9328—XXXX分辨力板通過檢驗光學(xué)系統(tǒng)分辨力來評定光學(xué)系統(tǒng)及光學(xué)零部件成像質(zhì)量，廣泛用于光學(xué)儀器制造業(yè)和有關(guān)科研單位、高等院校測試實驗室，是保證產(chǎn)品質(zhì)量和科學(xué)實驗不可缺少的測量器具。本文件規(guī)定了分辨力板的類型、圖案和尺寸和技術(shù)要求，描述了相應(yīng)的試驗方法，規(guī)定了檢驗規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運輸及貯存。為分辨力板的設(shè)計、制造、檢驗提供了依據(jù)，其目的是促使分辨力板產(chǎn)品實現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)化、規(guī)范化，同時為分辨力板量值準(zhǔn)確和產(chǎn)品質(zhì)量提供可靠保證。JB/T9328-1999《分辨力板》發(fā)布實施已二十余年，由于技術(shù)的發(fā)展、產(chǎn)品市場的變化和相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的更新，已不能適應(yīng)產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀，有必要修訂完善，以不斷適應(yīng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展新需求。本次對JB/T9328的修訂，將新出現(xiàn)的C型分辨力板納入標(biāo)準(zhǔn)，并調(diào)整了分辨力板類型的命名，補充和完善了分辨力板的試驗方法。修訂后，對滿足市場及科研需求、指導(dǎo)產(chǎn)品生產(chǎn)、提高產(chǎn)品技術(shù)性能和質(zhì)量水平，促進產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展提供可靠的技術(shù)支撐。1JB/T9328—XXXX分辨力板本文件規(guī)定了分辨力板的類型、圖案和尺寸和技術(shù)要求，描述了相應(yīng)的試驗方法，規(guī)定了檢驗規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運輸及貯存。本文件適用于檢驗望遠物鏡、顯微物鏡和投影物鏡等以及光學(xué)零部件的光學(xué)成像像質(zhì)的分辨力板的制造。本文件不適用于檢驗數(shù)字圖像像質(zhì)的分辨力板。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T191包裝儲運圖示標(biāo)志GB/T6388運輸包裝收發(fā)標(biāo)志GB/T9969工業(yè)產(chǎn)品使用說明書總則GB/T14436工業(yè)產(chǎn)品保證文件總則GB/T15464儀器儀表包裝通用技術(shù)條件GB/T25480-2010儀器儀表運輸、貯存基本環(huán)境條件及試驗方法3術(shù)語和定義本文件沒有需要界定的術(shù)語和定義。4類型4.1分辨力板按其圖案型式，可分為A型、B型和C型。4.2每種型式的分辨力板，按對其圖案對比度的要求，可分為高對比度分辨力板和低對比度分辨力板，前者圖案的對比度大于32:1；后者圖案的對比度為3:1；兩類分辨力板的圖案完全相同。5圖案和尺寸5.1A型分辨力板的圖案和尺寸5.1.1A型分辨力板的圖案含有25個線條單元。如圖1所示，自左上角第1單元開始，各單元線條寬度（簡稱線寬）按順時針方向遞減排列；圖案的外圍為第1~16單元，中部為第17~25單元，第25單元位于圖案中心。相鄰兩單元線寬的公比為1/122(近似0.94)。5.1.2A型分辨力板圖案的每一單元（例如圖1中的④)由4組平行線條組成。各組所含線條數(shù)以及線條寬度（簡稱線寬）、長度完全相同，但線條方向互差45°,依據(jù)線條方向，各組名稱分別為：x方向組、y方向組、+45。方向組和-45。方向組，每組所含明、暗線條總數(shù)n如表1所示。一條暗線條的幾何中心線到同組相鄰暗線條幾何中心線的距離，稱為線距。由于暗線條與明線條的寬度相等，因此，線距與線寬的關(guān)系如公式（1）所示。......................................................................................式中：t——線距；b——線寬。2JB/T9328—XXXX標(biāo)引序號說明:圖1A型分辨力板的圖案5.1.3在A型分辨力板上，應(yīng)按圖1所示位置標(biāo)注20個單元編號（例如圖1中的③)。單元編號的字符高度等于該單元線條的長度。5.1.4A型分辨力板圖案的上、下、左、右各有一條用于確定圖案比例的基線（見圖1中的①),其寬度、長度和位置應(yīng)符合表3的規(guī)定。5.1.5A型分辨力板圖案的中心有一組十字線（見圖1中的②),其線寬與基線相同，線長以不與所在單元內(nèi)的圖案連通為原則，其位置應(yīng)符合表3的規(guī)定。5.1.6A型分辨力板上的菱形圖案（見圖1中的⑤)用于測量圖案不透光部分的光密度，其位置和尺寸可參照表3的規(guī)定。5.1.7A型分辨力板共有7種規(guī)格，圖案尺寸按一定倍數(shù)遞減，其板號為A1、A2、A3、A4、A5、A6、A7。各板號分辨力板上的各單元的線條長度、寬度如表1和表2所示。表1A型分辨力板的線條長度單位為毫米表2A型分辨力板的線條寬度單位為微米3JB/T9328—XXXX127345697895.1.8A型分辨力板上，各單元的位置和尺寸應(yīng)符合表3的規(guī)定。表3A型分辨力板的圖案尺寸單位為毫米BHm4JB/T9328—XXXXSpfgΦ1.55.2B型分辨力板的圖案和尺寸5.2.1B型分辨力板的圖案由若干條明暗相間的輻射線組成，各條輻射線匯聚于圖案中心點（見表4）。明輻射線與暗輻射線的角寬度相等，輻射線的角寬度與明、暗輻射線總數(shù)的關(guān)系如公式（2）所示。β=...................................................................................(2)式中：β——輻射線的角寬度；n——明、暗輻射線總數(shù)。5.2.2B型分辨力板的輻射線圖案的外徑以D1表示，它也是分辨力板的有效直徑，其值依據(jù)所應(yīng)用的平行光管物方視場直徑D確定。D2為輻射線圖案中心的暗斑直徑，該暗斑將圖案中心附近過于密集的輻射線覆蓋。5.2.3B型分辨力板共有2種規(guī)格，其板號為B1、B2，圖案的尺寸見表4。表4B型分辨力板的圖案尺寸5JB/T9328—XXXXDDβn5.2.4一塊B型分辨力板上，可以排列多組圖案，組成復(fù)合式B型分辨力板，例如圖2所示。圖2復(fù)合式B型分辨率板5.3C型分辨力板的圖案和尺寸C型分辨力板也稱針孔分辨力板由9個圖案單元組成，其圖案和尺寸如表5所示。每個單元由一對小圓點和上方的數(shù)字組成；小圓點不透光，也被稱為針孔。上方標(biāo)注數(shù)字為單元標(biāo)識，其數(shù)值為該對針孔所代表的角分辨力，單位為秒。該數(shù)值僅適用于以焦距2500mm平行光管作為分辨力試驗工具，當(dāng)使用其它焦距不是2500mm的平行光管作為試驗工具時，標(biāo)注的角分辨力數(shù)值應(yīng)按公式（3）換算。...............................................................................式中：fC'——所用平行光管焦距，單位為毫米（mm2500——分辨力板針孔圖案上方標(biāo)注的數(shù)值；C——在所用平行光管條件下，分辨率板針孔圖案所代表的角分辨率，單位為秒（"）。表5C型分辨力板的圖案尺寸和公差6JB/T9328—XXXXLd6材料和結(jié)構(gòu)分辨力板用無色光學(xué)玻璃K9制造；其外形為圓片形。每塊分辨力板與一塊材料相同、直徑相同的保護玻璃膠合，以圖案面作為膠合面。膠合后，允許外包金屬鏡框。用于制造分辨力板的毛坯光學(xué)表面不允許有疵病，面形偏差N(ΔN）不應(yīng)超過5（1）；毛坯光學(xué)7技術(shù)要求7.1A型分辨力板圖案的尺寸公差A(yù)型分辨力板圖案的尺寸公差，如表6所示。表6A型分辨力板圖案的尺寸公差序號1234基線間距B的公差5x,y方向基線間距一致性的公差677.2B型分辨力板圖案的尺寸公差7JB/T9328—XXXXB型分辨力板圖案的尺寸公差，如表7所示表7B型分辨力板的圖案尺寸公差127.3C型分辨力板圖案的尺寸公差C型分辨力板圖案的尺寸公差，如表5所示。7.4圖案缺陷7.4.1A型分辨力板的同一線條不同部位的寬度變化和線條彎曲，應(yīng)在線寬公差范圍內(nèi)。7.4.2A型分辨力板的線條斷裂長度應(yīng)不大于線寬的一半；在一塊分辨力板上，線條斷裂不應(yīng)多于4處；在一個線條單元內(nèi)，線條斷裂不應(yīng)多于1處。7.4.3A型和B型分辨力板的線條局部缺陷（如缺口、凸起、凹進等），寬度方向不大于該局部線寬的1/3；長度方向不應(yīng)大于該局部線寬的2倍；一塊分辨力板上的線條局部缺陷不應(yīng)多于10處；在一個單元內(nèi)，線條局部缺陷不應(yīng)多于2處。7.4.4C型分辨力板的針孔局部缺陷（如缺口、凸起、凹進等），不大于該針孔直徑的的1/5；一塊分辨力板上的線條局部缺陷不應(yīng)多于10處；每對針孔局部缺陷不應(yīng)多于2處。7.4.5A型和B型分辨力板明、暗線條上的暗點或亮點直徑應(yīng)小于1/2線寬，且對于明線條不超過30μm；對于暗線條不超過10μm；一塊分辨力板上點數(shù)不超過10個；每個單元不超過2個。7.5圖案的光密度高對比度分辨力板和低對比度分辨力板圖案不透光部分與透光部分的光密度差，應(yīng)符合表8的規(guī)定。表8分辨力板圖案的光密度要求7.6圖案面疵病7.6.1已膠合保護玻璃的分辨力板圖案面的線狀疵?。l紋、劃痕等）其寬度應(yīng)小于1/5線寬，但最大不超過8μm；長度不大于線條長度，在一塊分辨力板上不多于4條，但在每一單元不多于1條。7.6.2不允許脫膠。明線條上的透光點狀疵病（如膠泡等），只要不在明暗線條邊界上，允許存在。7.6.3A、B、C型分辨力板疵病檢驗有效范圍如表9所示。表9分辨力板疵病檢驗有效范圍單位為毫米CDD7.7運輸、貯存基本環(huán)境試驗分辨力板在運輸包裝條件下的環(huán)境模擬試驗應(yīng)符合GB/T25480-2010表1中的所有要求。其中選用高溫+55℃,低溫-40℃,交變濕熱試驗相對濕度95%，自由跌落4次，跌落高度250mm。8JB/T9328—XXXX8試驗方法8.1試驗條件分辨力板檢驗應(yīng)在潔凈并遠離震動的室內(nèi)進行,室內(nèi)的相對濕度在60%以下；溫度條件應(yīng)符合表10的規(guī)定。表10檢驗的溫度條件1℃23h4h8.2A型分辨力板明、暗線條的線寬、線距偏差8.2.1試驗范圍8.2.1.1如果提交檢驗的是成套的A1~A7號分辨力板，且其圖案用同一模板采用縮放復(fù)制工藝制造，則其中每塊分辨率板要求檢驗線寬和線距的單元號如表11所示。8.2.1.2如果提交檢驗的是A1~A7號中的部分分辨力板，且其圖案用同一模板采用縮放復(fù)制工藝制造，則其中號數(shù)最大的分辨率板要求檢驗全部線寬和線距，其余各板要求檢驗的單元號如表11所示。表11要求檢驗線寬、線距的單元號18.2.1.3如果提交檢驗的分辨力板屬7.2.1.1和7.2.1.2以外的情況，則每塊分辨率板要求檢驗所有單元的線寬和線距。8.2.1.4對于每一個要求檢驗的單元，4組不同方向線條的線寬和線距均須檢驗。8.2.1.5對于每一組線條，應(yīng)在線條中部和兩端進行檢驗。所有明、暗線條的所有位置的線寬和線距偏差均應(yīng)滿足表6要求。8.3測量器具測量器具如下：a)檢驗A1~A5號分辨力板時，使用萬能工具顯微鏡（以下簡稱儀器）。所用萬能工具顯微鏡的長度測量系統(tǒng)的細分誤差應(yīng)不大于0.5μm；b)檢驗A6和A7號分辨力板時，使用裝有激光長度測量系統(tǒng)的萬能工具顯微鏡(以下簡稱儀器)。所用激光長度測量系統(tǒng)在10mm測量范圍內(nèi)的示值誤差應(yīng)不大于0.1μm；c)以上儀器，采用雙像目鏡或測角目鏡進行瞄準(zhǔn)，顯微鏡物鏡放大率可參照表12選擇。表12檢驗A型分辨力板使用的物鏡放大率8.3.1每一組線條的試驗程序9JB/T9328—XXXX將分辨力板放在儀器工作臺上，使被測組的線條與儀器Y坐標(biāo)平行；用儀器的顯微鏡瞄準(zhǔn)線條組的第1根線條的左輪廓（如圖3所示），讀取儀器示值a1；然后移動儀器X坐標(biāo)，依次瞄準(zhǔn)后續(xù)線條輪廓，讀取儀器示值a2、a3、……ai、……an+1。8.3.2每一組線條的線寬偏差的計算按公式（4）計算本組線條的線寬偏差，當(dāng)式中i為奇數(shù)時，得到的是暗線條的線寬偏差；當(dāng)式中i為偶數(shù)時，得到的是明線條的線寬偏差。Δbi=ai-ai+1-b..........................................................................(4)式中：ai、ai+1——瞄準(zhǔn)線條輪廓時，讀取的儀器X坐標(biāo)示值；b——線寬標(biāo)稱值；Δbi——第i條線的線寬偏差。當(dāng)采用具有圖像采集功能的儀器作為檢驗工具時，可以直接采集線條圖像，通過軟件按（4）式計算，得到檢驗結(jié)果。圖3檢驗A型分辨力板的線寬和線距8.3.3每一組線條的暗線條線距偏差的計算本項檢驗利用7.2.3試驗程序讀取的儀器示值a2、a3、……ai、……an+1，按（5）式計算得本組所有相鄰暗線條的線距偏差。計算時，i的取值范圍為1~(n-2)，并且僅取奇數(shù)。Δti,i+2=-t.............................................................式中：i,i+2——第i條線與第i+2條線的線距偏差；ai、ai+1、ai+2、ai+3——瞄準(zhǔn)線條輪廓時，讀取的儀器示值；t——線距標(biāo)稱值。當(dāng)采用具有圖像采集功能的儀器作為檢驗工具時，可以直接采集線條圖像，通過軟件按（5）式計算，得到檢驗結(jié)果。8.4A型分辨力板的相鄰單元暗線條線距偏差的一致性取8.2.5中各單元暗線條線距偏差的平均值，相鄰單元的該平均值之差，即為A型分辨力板的相鄰單元暗線條線距偏差的一致性。8.5A型分辨力板的基線間距偏差和x,y方向基線間距一致性8.5.1測量器具JB/T9328—XXXX萬能工具顯微鏡（以下簡稱儀器）。8.5.2試驗程序在儀器上安裝5×物鏡和測角目鏡。將分辨力板放在儀器工作臺上；將被測兩基線的線端調(diào)整至與儀器X坐標(biāo)平行。移動儀器X坐標(biāo)工作臺，用目鏡中的米字線瞄準(zhǔn)分辨力左側(cè)基線，讀取儀器X坐標(biāo)示值x1（參見圖4）；再移動儀器X坐標(biāo)工作臺，用目鏡中的米字線瞄準(zhǔn)分辨力當(dāng)中十字線的豎線，讀取儀器X坐標(biāo)示值x0；再移動儀器X坐標(biāo)工作臺，用目鏡中的米字線瞄準(zhǔn)分辨力右側(cè)基線，讀取儀器X坐標(biāo)示值x2，按公式（6）計算基線間距偏x。ΔBx=x1-x2-B..............................................................................(6)式中：x1、x2——瞄準(zhǔn)基線時，讀取的儀器X坐標(biāo)示值；B——基線間距標(biāo)稱值；x——基線間距偏差。利用儀器的Y坐標(biāo)測量分辨力板上另一對基線的基線間距。移動儀器Y坐標(biāo)工作臺，用目鏡中的米字線依次瞄準(zhǔn)分辨力上方基線，十字線的橫線，下方基線，讀取儀器Y坐標(biāo)示值y1、y0、y2（參見圖4按（7）式計算基線間距偏差ΔBy。按（8）式計算x,y方向基線間距一致性。x1圖4檢驗基線間距ΔBy=y1-y2-B x-yxy 式中：x-y——x,y方向基線間距一致性；y1、y2——瞄準(zhǔn)基線時，讀取的儀器Y坐標(biāo)示值；y——基線間距偏差；B——基線間距標(biāo)稱值。當(dāng)采用具有圖像采集功能的儀器作為檢驗工具時，可以直接采（8）式計算，得到檢驗結(jié)果。A1~A7號分辨力板，均應(yīng)按上述程序進行檢驗。JB/T9328—XXXX8.6A型分辨力板的十字線相對于基線的對稱度根據(jù)8.4.2讀取的坐標(biāo)示值，按（910）式計算十字線相對于基線的對稱度，以其中較大值作為檢驗結(jié)果。Δx=2............................................................................Δy=2.........................................................................式中：x0、y0——瞄準(zhǔn)十字線的豎線和橫線時，讀取的儀器X、Y坐標(biāo)示值；Δx、Δy——十字線相對于基線在X和Y方向上的對稱度。A1~A7號分辨力板，均應(yīng)按上述程序進行檢驗。8.7A型分辨力板的十字線中心位置與坯料幾何中心位置的偏差8.7.1測量器具同8.4.1。8.7.2試驗程序在儀器上安裝3×物鏡和測角目鏡。將分辨力板放在儀器工作臺上；將被測兩基線的線端調(diào)整至與儀器X坐標(biāo)平行。移動儀器X、Y坐標(biāo)，使測角目鏡米字線分別于分辨力板坯料的上、下、左、右相切，讀取儀器坐標(biāo)示值ya、yb、xa、xb（參見圖5）。移動儀器X、Y坐標(biāo)，使測角目鏡米字線瞄準(zhǔn)分辨力板的十字線，讀取儀器坐標(biāo)示值x0、y0，按（11）式計算分辨力板的十字線中心位置與坯料幾何中心位置的偏差。xab、ya、yb——瞄準(zhǔn)分辨力板外圓時,讀圖5檢驗十字線中心與坯料幾何中心的偏差 ΔeA=·[(xa-x0)-(x0-xb)]2+[(ya-y0)-(y0-yb)]2......................................(11)式中：ya、yb、xa、xb——瞄準(zhǔn)分辨力板外圓的上、下、左、右時，讀取的儀器坐標(biāo)示值；x0、x0——分辨力板十字線坐標(biāo)；A——分辨力板的十字線中心位置與坯料幾何中心位置的偏差。8.8B型分辨力板明、暗輻射線的角寬度β的偏差8.8.1測量器具帶有分度臺的萬能工具顯微鏡（以下簡稱儀器）。JB/T9328—XXXX8.8.2試驗程序在儀器上安裝3×物鏡、分度臺和測角目鏡。移動儀器X、Y坐標(biāo)，使測角目鏡的米字線瞄準(zhǔn)分度臺中心上的十字線；保持儀器X、Y坐標(biāo)不動。將B型分辨力板用橡皮泥固定在萬能工具顯微鏡分度臺上；手推橡皮泥并在目鏡中觀察，使分辨力板輻射線中心與米字線中心重合（參見圖6）。圖6調(diào)整分辨力板輻射線中心與米字線中心重合圖7檢驗B型分辨力板的輻射線角寬度移動儀器Y坐標(biāo)，用米字線瞄準(zhǔn)第1根暗輻射線半徑的1/2處的右輪廓（如圖7所示），讀取儀器分度臺角度示值b1；然后轉(zhuǎn)動分度臺，瞄準(zhǔn)該線的左輪廓，讀取儀器分度臺角度示值b2；此后轉(zhuǎn)動分度臺，依次瞄準(zhǔn)每一輻射線輪廓，讀取儀器分度臺示值b3、b4、……bi、……bn，按（12）式計算輻射線的角寬度偏差；當(dāng)式中i為奇數(shù)時，得到的是暗輻射線的角寬度偏差；當(dāng)式中i為偶數(shù)時，得到的是明輻射線的角寬度偏差。Δβi=bi-bi+1-β..........................................................................(12)式中：bi、bi+1——瞄準(zhǔn)幅射線輪廓時，讀取的儀器分度臺角度示值；β——輻射線的角寬度標(biāo)稱值；Δβi——第i條輻射線的角寬度偏差。8.9B型分辨力板圖案中心位置與坯料幾何中心位置的偏差8.9.1測量器具同8.4.1。8.9.2試驗程序采用與8.6和圖5類似的方法進行檢驗。JB/T9328—XXXX將分辨力板放在儀器工作臺上；移動儀器X、Y坐標(biāo)，使測角目鏡米字線分別于分辨力板坯料的上、下、左、右相切，讀取儀器坐標(biāo)示值ya、yb、xa、xb。移動儀器X、Y坐標(biāo)，使測角目鏡米字線分別于分辨力板圖案外圓的上、下、左、右相切，讀取儀器坐標(biāo)示值y1、y2、x1、x2。按（13）式計算B型分辨力板的圖案中心位置與坯料幾何中心位置的偏差。ΔeB=.........................................式中：ya、yb、xa、xb——瞄準(zhǔn)分辨力板外圓的上、下、左、右時，讀取的儀器坐標(biāo)示值；y1、y2、x1、x2——瞄準(zhǔn)分辨力板圖案外圓的上、下、左、右時，讀取的儀器坐標(biāo)示值；B——分辨力板的圖案中心位置與坯料幾何中心位置的偏差。8.10C型分辨力板圖案尺寸偏差8.10.1測量器具同8.2.2的b項。8.10.2試驗程序在儀器上安裝10×物鏡和測角目鏡。注：將C型分辨力板放在儀器工作臺上；使1.0和2.0單元的兩對針孔與儀器X坐標(biāo)相平行。使測角目鏡米字線的豎線與標(biāo)識為1.0的針孔外圓左側(cè)相切，如圖8所示，讀取儀器X坐標(biāo)示值a1；然后移動儀器X坐標(biāo)，依次瞄準(zhǔn)各針孔的外圓切點，讀取儀器X坐標(biāo)示值a2、a3、a4（參見圖10）,按（1415）（16）式計算針孔直徑和針孔中心距。dl=a1-a2 dr=a3-a4 .........................................................................式中：a1、a2、a3、a4——瞄準(zhǔn)針孔外圓切點時，讀取的儀器X坐標(biāo)示值；dl、dr——左、右針孔直徑；L——針孔中心距。按相同程序檢驗其它單元針孔圖案尺寸。圖8檢驗C型分辨力板一個單元的圖案尺寸8.11圖案缺陷分辨力板的圖案缺陷,采用表13