GB∕T 43772-2024 電子氣體 二氧化碳（正式版）

電子氣體二氧化碳2024-03-15發(fā)布2024-10-01實(shí)施國家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)I本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任。本文件由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC203)提出并歸口。本文件起草單位：河南心連心深冷能源股份有限公司、昊華氣體有限公司西南分公司、浙江泓芯半導(dǎo)體有限公司、中船(邯鄲)派瑞特種氣體股份有限公司、華測(cè)檢測(cè)認(rèn)證集團(tuán)股份有限公司、浙江海暢氣體股份有限公司、福建德爾科技股份有限公司、廣東華特氣體股份有限公司、金宏氣體股份有限公司、江西華特電子化學(xué)品有限公司、重慶瑞信氣體有限公司、北京高麥克儀器科技有限公司、大連華邦化學(xué)有限公司、湖南凱美特氣體股份有限公司、三峽大學(xué)、湖北和遠(yuǎn)氣體股份有限公司、重慶同輝氣體有限公司、蘭州裕隆氣體股份有限公司、深圳高發(fā)氣體股份有限公司、上海啟元?dú)怏w發(fā)展有限公司、浙江省計(jì)量與標(biāo)準(zhǔn)化學(xué)會(huì)、浙江省標(biāo)準(zhǔn)化研究院、浙江中硝康鵬化學(xué)有限公司、杭氧集團(tuán)股份有限公司、液化空氣(中國)投資有限公司、玉門大洋天慶石化有限責(zé)任公司、惠州市華達(dá)通氣體制造股份有限公司、上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司、上海凡偉儀器設(shè)備有限公司、大連大特氣體有限公司、聯(lián)雄投資(上海)有限公司、布魯克(北京)科技有限公司、浙江省化工研究院有限公司、中昊光明化工研究設(shè)計(jì)院有限公司、大連光明化學(xué)工業(yè)氣體質(zhì)量監(jiān)測(cè)中心有限公司、中國計(jì)量科學(xué)研究院、上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院、大連中匯達(dá)科學(xué)儀器有限公司、沈陽中復(fù)科金壓力容器有限公司、杭州新世紀(jì)混合氣體有限公司、中國測(cè)試技術(shù)研究院化學(xué)研究所、四川高精檢測(cè)服務(wù)有限公司、中國計(jì)量測(cè)試學(xué)會(huì)、北京睿信捷環(huán)?？萍加邢薰尽⒐枮I黎明氣體有限公司、眉山麥克在線設(shè)備股份有限公司、空氣化工產(chǎn)品(中國)投資有限公司、西南化工研究設(shè)計(jì)院有限公司。1電子氣體二氧化碳的要求。本文件適用于由高純二氧化碳經(jīng)純化制備的電子用二氧化碳。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。GB190危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志GB/T5099(所有部分)鋼質(zhì)無縫氣瓶GB/T5275.7氣體分析動(dòng)態(tài)體積法制備校準(zhǔn)用混合氣體第7部分：熱式質(zhì)量流量控制器GB/T5832.3氣體中微量水分的測(cè)定第3部分：光腔衰蕩光譜法GB/T7144氣瓶顏色標(biāo)志GB/T8979純氮、高純氮和超純氮GB/T8984氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳?xì)浠衔锏臏y(cè)定氣相色譜法GB/T11446.1電子級(jí)水GB/T14193液化氣體氣瓶充裝規(guī)定GB15258化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定GB15603危險(xiǎn)化學(xué)品倉庫儲(chǔ)存通則GB/T16804氣瓶警示標(biāo)簽GB/T25915.1潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第1部分：按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)GB/T28726氣體分析氦離子化氣相色譜法GB/T28727氣體分析硫化物的測(cè)定火焰光度氣相色譜法GB/T33145大容積鋼質(zhì)無縫氣瓶GB/T34972電子工業(yè)用氣體中金屬含量的測(cè)定電感耦合等離子體質(zhì)譜法GB/T43306氣體分析采樣導(dǎo)則TSGR0005移動(dòng)式壓力容器安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程TSG23氣瓶安全技術(shù)規(guī)程3術(shù)語和定義本文件沒有需要界定的術(shù)語和定義。4技術(shù)要求二氧化碳的技術(shù)要求應(yīng)符合表1的規(guī)定。離子及金屬元素的要求宜符合表2、表3的規(guī)定，也可供2需雙方協(xié)商。表1技術(shù)要求指標(biāo)二氧化碳(CO?)純度(摩爾分?jǐn)?shù))/10-2氫(H?)含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-6(氧十氬)(O?+Ar)含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-6氮(N?)含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-6一氧化碳(CO)含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10~6甲烷(CH?)含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-6非甲烷總烴(以甲烷計(jì))含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-6總硫(以硫計(jì))含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-6<0.01<0.01一氧化氮(NO)含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-6<0.25<0.25二氧化氮(NO?)(摩爾分?jǐn)?shù))/10-6<0.25<0.25水分(H?O)含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-6雜質(zhì)總含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-6氨(NH?)含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-6供需協(xié)商供需協(xié)商表2離子技術(shù)要求項(xiàng)目名稱指標(biāo)銨根離子(NH?+)含量(質(zhì)量分?jǐn)?shù))/10~9氟離子(F-)含量(質(zhì)量分?jǐn)?shù))/10-9氯離子(Cl-)含量(質(zhì)量分?jǐn)?shù))/10-9溴離子(Br~)含量(質(zhì)量分?jǐn)?shù))/10~9亞硝酸根離子(NO?-)含量(質(zhì)量分?jǐn)?shù))/10~9硝酸根離子(NO?-)含量(質(zhì)量分?jǐn)?shù))/10-9硫酸根離子(SO?~)含量(質(zhì)量分?jǐn)?shù))/10~9甲酸根離子(HCOO~)含量(質(zhì)量分?jǐn)?shù))/10-9乙酸根離子(CH?COO~)含量(質(zhì)量分?jǐn)?shù))/10-9表3金屬元素技術(shù)要求項(xiàng)目名稱指標(biāo)鋁(Al)含量(質(zhì)量分?jǐn)?shù))/10-9鈣(Ca)含量(質(zhì)量分?jǐn)?shù))/10-9鈷(Co)含量(質(zhì)量分?jǐn)?shù))/10-9鉻(Cr)含量(質(zhì)量分?jǐn)?shù))/10-93表3金屬元素技術(shù)要求(續(xù))項(xiàng)目名稱指標(biāo)銅(Cu)含量(質(zhì)量分?jǐn)?shù))/10-9鐵(Fe)含量(質(zhì)量分?jǐn)?shù))/10-9鋅(Zn)含量(質(zhì)量分?jǐn)?shù))/10-9鉬(Mo)含量(質(zhì)量分?jǐn)?shù))/10-鉀(K)含量(質(zhì)量分?jǐn)?shù))/10-9鎂(Mg)含量(質(zhì)量分?jǐn)?shù))/10-9鈉(Na)含量(質(zhì)量分?jǐn)?shù))/10-9鎳(Ni)含量(質(zhì)量分?jǐn)?shù))/10-9鈦(Ti)含量(質(zhì)量分?jǐn)?shù))/10~9鎢(w)含量(質(zhì)量分?jǐn)?shù))/10-9錳(Mn)含量(質(zhì)量分?jǐn)?shù))/10-95采樣二氧化碳的采樣應(yīng)符合GB/T43306的規(guī)定。6試驗(yàn)方法警示——本文件規(guī)定的一些試驗(yàn)過程可能導(dǎo)致危險(xiǎn)情況，使用者應(yīng)采取適當(dāng)?shù)陌踩徒】捣雷o(hù)措施。6.1二氧化碳純度6.1.1雜質(zhì)總含量雜質(zhì)總含量按公式(1)計(jì)算：x?=x?+x?+x?+x?+xs+x?+x?+xg+xg+x10x?——?dú)浜?摩爾分?jǐn)?shù)),10-;x?——(氧+氬)含量(摩爾分?jǐn)?shù)),10-6;xa——氮含量(摩爾分?jǐn)?shù)),10-?;x?——一氧化碳含量(摩爾分?jǐn)?shù)),10-6;xs——甲烷含量(摩爾分?jǐn)?shù)),10-?;xg——非甲烷總烴含量(摩爾分?jǐn)?shù)),10-?;xr——總硫含量(摩爾分?jǐn)?shù)),10-6;xg——一氧化氮含量(摩爾分?jǐn)?shù)),10-?;xg——二氧化氮含量(摩爾分?jǐn)?shù)),10-6;xio——水分含量(摩爾分?jǐn)?shù)),10-?;xn——雜質(zhì)總含量(摩爾分?jǐn)?shù)),10-??！?二氧化碳純度按公式(2)計(jì)算：式中：x——二氧化碳純度(摩爾分?jǐn)?shù)),10-2。按GB/T28726規(guī)定的切割進(jìn)樣的方法測(cè)定二氧化碳中氫、氧+氬、氮、甲烷、一氧化碳含量。可采用其他等效的方法測(cè)定。當(dāng)對(duì)測(cè)定結(jié)果有異議時(shí)，以本文件規(guī)定的方法為仲裁方法。長約0.6m,內(nèi)徑約2mm的不銹鋼管，內(nèi)裝粒徑為0.18mm～0.25mm的改性碳分子篩，或其他等效色譜柱。長約2m,內(nèi)徑約2mm的不銹鋼管，內(nèi)裝粒徑為0.18mm～0.25mm的5A分子篩，或其他等效色譜柱。組分含量的摩爾分?jǐn)?shù)為(1～5)×10-6,平衡氣為氦氣。6.3非甲烷總烴含量的測(cè)定按GB/T8984規(guī)定方法測(cè)定的二氧化碳中總烴含量?？刹捎闷渌刃У姆椒y(cè)定。當(dāng)對(duì)測(cè)定結(jié)果有異議時(shí)，以本文件規(guī)定的方法為仲裁方法。長約3m、內(nèi)徑3mm的不銹鋼管，內(nèi)裝粒徑為0.18mm～0.25mm的硅烷化玻璃微球載體，或其他等效色譜柱。甲烷含量的摩爾分?jǐn)?shù)為(1～5)×10-6,平衡氣為氮?dú)?。非甲烷總烴含量按公式(3)計(jì)算：式中：x?2——總烴含量(摩爾分?jǐn)?shù)),10-2。xs=x12—xs……6.3.5氣路流程示意圖及典型色譜圖參考的氣路流程示意圖及典型色譜圖見附錄A。56.4總硫含量的測(cè)定按GB/T28727規(guī)定的方法測(cè)定二氧化碳中總硫含量?？刹捎闷渌刃У姆椒y(cè)定二氧化碳中總硫含量。當(dāng)測(cè)定結(jié)果有異議時(shí)，以GB/T28727規(guī)定的方法為仲裁方法。柱長約4m、內(nèi)徑3mm的不銹鋼柱，內(nèi)裝高分子聚合物(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物),或其他等效色譜柱。柱長約3m、內(nèi)徑3mm的不銹鋼柱，內(nèi)裝硅烷化玻璃微球載體。或其他等效色譜柱。6.4.4氣路流程示意圖參考的氣路流程圖見附錄A。羰基硫含量的摩爾分?jǐn)?shù)為(1～5)×10-?,平衡氣為氮?dú)狻?.5—氧化氮及二氧化氮含量的測(cè)定采用配備相應(yīng)氣體池的傅立葉紅外光譜儀測(cè)定二氧化碳中的一氧化氮及二氧化氮含量。參考的測(cè)定條件：—一氧化氮特征峰波數(shù)：(1826～1837)cm-1;——二氧化氮特征峰波數(shù)：(2840～2940)cm-1;——環(huán)境溫度：18℃~25℃;——環(huán)境相對(duì)濕度：≤60%。其他測(cè)定條件按照儀器說明書執(zhí)行。6.5.3.1氣體池：池體材質(zhì)宜為石英或者不銹鋼。66.5.4.1一氧化氮含量約為1×10-6(摩爾分?jǐn)?shù)),水分含量低于0.5×10-?(摩爾分?jǐn)?shù)),平衡氣為氮?dú)狻?.5.4.2二氧化氮含量約為1×10-5(摩爾分?jǐn)?shù)),平衡氣為氮?dú)?。按傅立葉紅外光譜儀說明書開啟儀器，調(diào)整儀器各部件達(dá)到測(cè)定條件，待儀器穩(wěn)定后即可測(cè)定。測(cè)定一氧化氮前，宜用超純氮吹掃光腔和氣路系統(tǒng)，宜吹掃至水分含量低于0.5×10-5(摩爾分?jǐn)?shù))。按照GB/T5275.7規(guī)定的方法將標(biāo)準(zhǔn)樣品稀釋，稀釋后至少應(yīng)有4種不同組分含量的氣體標(biāo)準(zhǔn)樣品，一氧化氮或二氧化氮的含量分別約為0.1×10-6(摩爾分?jǐn)?shù))、0.3×10-6(摩爾分?jǐn)?shù))、0.5×10-6(摩爾分?jǐn)?shù))、1.0×10-6(摩爾分?jǐn)?shù)),平衡氣為氮?dú)?。將稀釋后的各?biāo)準(zhǔn)樣品通入儀器。分別記錄標(biāo)準(zhǔn)樣品中一氧化氮或二氧化氮在特征峰波數(shù)處的吸收響應(yīng)值。每種標(biāo)準(zhǔn)樣品至少重復(fù)進(jìn)樣兩次，直至兩次響應(yīng)值的相對(duì)偏差不大于5%,取其平均值，制作以吸光度信號(hào)的響應(yīng)值為縱坐標(biāo)，以含量為橫坐標(biāo)的工作曲線。以建立標(biāo)準(zhǔn)曲線同樣的測(cè)定條件測(cè)定樣品。重復(fù)進(jìn)樣至少兩次，直至兩次平行測(cè)定的相對(duì)偏差不大于5%,取平均值?？刹捎闷渌刃У姆椒y(cè)定二氧化碳中的一氧化氮及二氧化氮含量。當(dāng)對(duì)測(cè)定結(jié)果有異議時(shí)，以本文件規(guī)定的方法為仲裁方法。6.6離子含量的測(cè)定使試樣氣化，鼓泡進(jìn)入盛有水的多孔式氣體洗瓶中，吸收樣品中的銨根離子及陰離子，用離子色譜儀對(duì)吸收液中的銨根離子及陰離子進(jìn)行測(cè)定，采用外標(biāo)法進(jìn)行定量。6.6.2.1溶液的配制、稀釋及轉(zhuǎn)移所處場(chǎng)所的潔凈度應(yīng)不低于GB/T25915.1中規(guī)定的5級(jí)，其他測(cè)定所處場(chǎng)所的潔凈度應(yīng)不低于GB/T25915.1中規(guī)定的6級(jí)。6.6.2.2全部器皿在使用前均應(yīng)在試驗(yàn)用水中浸泡12h以上。6.6.3試劑和材料76.6.3.3銨根離子標(biāo)準(zhǔn)溶液：銨根離子含量為100mg/L。6.6.3.5試驗(yàn)用水：符合GB/T11446.1中EW-I級(jí)的要求。采用配備電導(dǎo)檢測(cè)器的離子色譜儀，儀器對(duì)離子的檢測(cè)限應(yīng)符合本文件的要求。長約250mm、內(nèi)徑約4mm的柱，內(nèi)裝粒徑為0.009mm的以烷醇季為功能基的乙基乙烯基苯-二乙烯基苯聚合物樹脂?；蚱渌刃ш庪x子分離柱。長約250mm、內(nèi)徑約4mm的柱，內(nèi)裝粒徑為0.008mm的采用以膦酸和羧酸基團(tuán)為功能基的乙基乙烯基苯-二乙烯苯聚合物樹脂?；蚱渌刃ш栯x子分離柱。樣品預(yù)處理裝置示意圖見圖1,采樣管路上串聯(lián)4個(gè)洗氣瓶，第一個(gè)為緩沖瓶，第二個(gè)和第三個(gè)分別為裝有200mL吸收液(6.6.3.5)的吸收瓶，第四個(gè)為緩沖瓶。8標(biāo)引序號(hào)說明：1——高純氮?dú)猓?——樣品氣；4——顆粒物過濾器；9、10——?dú)怏w吸收瓶；12——防腐流量計(jì)；13——尾氣處理；14——電子秤；15——吹掃氣出口。圖1樣品預(yù)處理裝置示意圖其他測(cè)定條件按照相應(yīng)的儀器說明書執(zhí)行。按離子色譜儀說明書開啟儀器。調(diào)整儀器各部件達(dá)到測(cè)定條件，待儀器穩(wěn)定后即可測(cè)定。6.6.6.2.1在取樣管線與緩沖瓶及吸收瓶連接前，打開圖1所示的高純氮?dú)馄块y，先用過濾后的高純氮?dú)庖?0L/min～20L/min的流量吹掃5min。6.6.6.2.2打開圖1所示的樣品氣瓶閥門，調(diào)節(jié)調(diào)壓閥，使流量控制在0.5L/min,二氧化碳樣品連續(xù)鼓泡通過2個(gè)氣體洗瓶120min左右，樣品通氣量約為60L,停止吸收。9量取1.0mL銨根標(biāo)準(zhǔn)溶液置于100mL容量瓶?jī)?nèi)，用水稀釋、定容，即得10mg/L銨根離子工作儲(chǔ)備液。用逐步稀釋法依次移取工作儲(chǔ)備液，配制濃度為0.05μg/kg、0.1μg/kg、0.5μg/kg、1.0μg/kg、2.0μg/kg的銨根離子標(biāo)準(zhǔn)溶液，此溶液現(xiàn)用現(xiàn)配。量取1.0mL其他陰離子標(biāo)準(zhǔn)溶液置于100mL容量瓶?jī)?nèi)，用水稀釋、定容，即得1.0mg/L離子工作儲(chǔ)備液。用逐步稀釋法依次移取工作儲(chǔ)備液，配制濃度為0.05μg/kg、0.1μg/kg、0.5μg/kg、1.0μg/kg的陰離子標(biāo)準(zhǔn)溶液，此溶液現(xiàn)用現(xiàn)配。待儀器穩(wěn)定后在符合規(guī)定的測(cè)定條件下進(jìn)樣，建立工作曲線。采用最小二乘法制作儀器響應(yīng)值對(duì)濃度值的線性方程，線性相關(guān)系數(shù)應(yīng)不小于0.999。以建立工作曲線同樣的測(cè)定條件測(cè)定樣品吸收溶液，從工作曲線可查得樣品吸收溶液中的離子含量。重復(fù)進(jìn)樣至少兩次，直至兩次平行測(cè)定的相對(duì)偏差不大于5%,取其算術(shù)平均值為測(cè)定值。按公式(4)計(jì)算二氧化碳中離子的含量。x;——離子的含量(質(zhì)量分?jǐn)?shù)),10-°;c?——第一瓶吸收液中離子濃度測(cè)定值，單位為微克每千克(μg/kg);c?——空白溶液中離子濃度測(cè)定值，單位為微克每千克(μg/kg);m?——第一瓶吸收液的質(zhì)量，單位為克(g);…………c?——第二瓶吸收液中各離子濃度測(cè)定值，單位為微克每千克(μg/kg);m?——第二瓶吸收液的質(zhì)量，單位為克(g);m——二氧化碳?xì)怏w的吸收質(zhì)量，單位為克(g)。6.7金屬元素含量的測(cè)定按照GB/T34972規(guī)定的方法測(cè)定二氧化碳中金屬元素含量?？刹捎闷渌刃У姆椒y(cè)定。當(dāng)對(duì)測(cè)定結(jié)果有異議時(shí)，以本文件規(guī)定的方法為仲裁方法。6.7.2.1硝酸：電子級(jí)，濃度為65.0%～68.0%,其中各金屬元素及其他元素含量低于10ng/L。6.7.2.2吸收液：2%硝酸溶液。6.7.3樣品預(yù)處理裝置應(yīng)符合6.6.4.4中的相關(guān)規(guī)定。吸收瓶中分別裝有100mL吸收液，其余按照6.6.6.2的規(guī)定執(zhí)行。按公式(5)計(jì)算二氧化碳中金屬元素的含量。 (5)式中：x;——金屬元素的含量(質(zhì)量分?jǐn)?shù)),10-°;ci;——第一瓶吸收液中金屬元素濃度測(cè)定值，單位為微克每千克(μg/kg);co;——空白溶液中金屬元素濃度測(cè)定值，單位為微克每千克(μg/kg);m;——第一瓶吸收液的質(zhì)量，單位為克(g);cz;——第二瓶吸收液中各金屬元素濃度測(cè)定值，單位為微克每千克(μg/kg);mz;——第二瓶吸收液的質(zhì)量，單位為克(g);m;——二氧化碳?xì)怏w的吸收質(zhì)量，單位為克(g)。6.8水分含量的測(cè)定按GB/T5832.3的規(guī)定執(zhí)行。可采用其他等效的方法測(cè)定。當(dāng)對(duì)測(cè)定結(jié)果有異議時(shí)，以GB/T5832.3規(guī)定的方法為仲裁方法。6.9尾氣處理測(cè)定時(shí)，應(yīng)防止二氧化碳在室內(nèi)的聚集。7檢驗(yàn)規(guī)則7.1組批同一生產(chǎn)線連續(xù)穩(wěn)定生產(chǎn)的瓶裝二氧化碳產(chǎn)品為一批；或以一集裝格、一槽車裝產(chǎn)品為一批。7.2瓶裝二氧化碳的抽樣、判定和復(fù)驗(yàn)7.2.1應(yīng)逐一檢驗(yàn)表1中的雜質(zhì)含量，當(dāng)檢驗(yàn)結(jié)果不符合表1技術(shù)要求時(shí)，則判該產(chǎn)品不合格。7.2.2應(yīng)按表4規(guī)定的抽樣數(shù)量隨機(jī)抽樣檢驗(yàn)離子含量。當(dāng)檢驗(yàn)結(jié)果符合表2的技術(shù)要求時(shí)，則判該批產(chǎn)品合格。當(dāng)檢驗(yàn)結(jié)果不符合表2技術(shù)要求時(shí)，則應(yīng)自同批產(chǎn)品中重新加倍隨機(jī)抽樣檢驗(yàn)，若檢驗(yàn)結(jié)果符合表2技術(shù)要求時(shí)，則判除不合格的那瓶產(chǎn)品外，該批產(chǎn)品合格；若檢驗(yàn)結(jié)果仍不符合表2技術(shù)要求時(shí)，則判該批產(chǎn)品不合格。表4抽樣表每批氣瓶數(shù)最少抽樣氣瓶數(shù)1257.2.3應(yīng)按表4規(guī)定的抽樣數(shù)量隨機(jī)抽樣檢驗(yàn)金屬元素含量。當(dāng)檢驗(yàn)結(jié)果符合表3的技術(shù)要求時(shí)，則判該批產(chǎn)品合格。當(dāng)檢驗(yàn)結(jié)果不符合表3技術(shù)要求時(shí)，則應(yīng)自同批產(chǎn)品中重新加倍隨機(jī)抽樣檢驗(yàn)，若檢驗(yàn)結(jié)果符合表3技術(shù)要求時(shí)，則判除不合格的那瓶產(chǎn)品外，該批產(chǎn)品合格；若檢驗(yàn)結(jié)果仍不符合表3技術(shù)要求時(shí)，則判該批產(chǎn)品不合格。7.3集裝格裝及槽車裝二氧化碳的抽樣、判定對(duì)于集裝格裝及槽車裝二氧化碳產(chǎn)品，應(yīng)逐一檢驗(yàn)并驗(yàn)收。當(dāng)檢驗(yàn)結(jié)果不符合表1～表3技術(shù)要求時(shí)，則判該產(chǎn)品不合格。8.1標(biāo)志8.1.1二氧化碳出廠時(shí)應(yīng)有產(chǎn)品質(zhì)量合格證，其內(nèi)容至少應(yīng)包括：——產(chǎn)品名稱、生產(chǎn)廠名稱；——生產(chǎn)日期或批號(hào)，以及保質(zhì)期；——充裝質(zhì)量(kg);——本文件編號(hào)及二氧化碳的純度。8.1.2包裝容器上應(yīng)涂刷“電子氣體二氧化碳”字樣。8.1.3二氧化碳的包裝標(biāo)志應(yīng)符合GB190的相關(guān)規(guī)定，顏色標(biāo)志應(yīng)符合GB/T7144的規(guī)定，包裝標(biāo)簽應(yīng)符合GB15258、GB/T16804規(guī)定的要求。8.2.1包裝二氧化碳的氣瓶應(yīng)符合GB/T5099(所有部分)或者GB/T33145的規(guī)定。8.2.2二氧化碳的充裝及貯運(yùn)應(yīng)符合GB/T14193、TSGR0005、TSG23的規(guī)定。充裝及貯運(yùn)的安全8.2.3二氧化碳的最大充裝量按公式(6)計(jì)算：式中：m——?dú)馄績(jī)?nèi)二氧化碳的質(zhì)量，單位為千克(kg);F,——二氧化碳的充裝系數(shù)，F(xiàn)=0.60kg/L(15.0MPa)、F=0.74kg/L(20.0MPa);V——?dú)馄繕?biāo)明的內(nèi)容積，單位為升(L)。8.2.4宜使用進(jìn)行內(nèi)表面處理的氣瓶，處理后的氣瓶應(yīng)滿足本文件的要求。瓶閥出氣口連接方式宜使8.2.5應(yīng)防止泄漏和瓶口被污染。8.2.6用戶返回的二氧化碳鋼瓶中的殘液量不宜低于充裝量的5%。8.2.7二氧化碳產(chǎn)品的貯存應(yīng)符合GB15603的規(guī)定，存放在陰涼、干燥、通風(fēng)的庫房?jī)?nèi)，不應(yīng)暴曬，遠(yuǎn)離熱源。8.3安全信息二氧化碳的安全信息見附錄B。(資料性)氣路流程示意圖及典型色譜圖測(cè)定二氧化碳中總烴含量時(shí)，參考的氣路流程示意圖見圖A.1。標(biāo)引序號(hào)說明：1——高純氮?dú)猓?——樣品氣進(jìn)口；3——樣品過濾器；4——定量管；5——樣品氣出口；6——流量計(jì)；7——十通閥；8——放空針閥；9——玻璃微球柱；10——高純氫氣；11——高純空氣；12—-氫火焰離子化檢測(cè)器；13——預(yù)分離柱。圖A.1測(cè)定總烴的氣路流程示意圖A.2測(cè)定總