GBT 43774-2024 平板顯示器基板玻璃應(yīng)力測試 點掃描法（正式版）

平板顯示器基板玻璃應(yīng)力測試點掃描法2024-03-15發(fā)布2024-10-01實施I本文件按照GB/T1.1—2020《標準化工作導則第1部分：標準化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機構(gòu)不承擔識別專利的責任。本文件由全國半導體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會(SAC/TC203)提出并歸口。本文件起草單位：蚌埠中光電科技有限公司、中建材玻璃新材料研究院集團有限公司、中國建筑材料科學研究總院有限公司、武漢理工大學、玻璃新材料創(chuàng)新中心(安徽)有限公司、成都中光電科技有限公司、中國電子技術(shù)標準化研究院、東旭集團有限公司、河北光興半導體技術(shù)有限公司、深圳市一諾成電子有限公司、深圳市思迪科科技有限公司。1GB/T43774—2024平板顯示器基板玻璃應(yīng)力測試點掃描法1范圍本文件給出了點掃描法測定平板顯示器基板玻璃應(yīng)力的試驗原理，描述了點掃描法的試驗裝置、試本文件適用于厚度為0.3mm～1.1mm、規(guī)格為11代及以下的平板顯示器基板玻璃應(yīng)力測試，其他玻璃材料參考使用。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。GB/T7962.5無色光學玻璃測試方法第5部分：應(yīng)力雙折射GB/T20919電子數(shù)顯外徑千分尺GB/T36405平板玻璃應(yīng)力檢測方法3術(shù)語和定義GB/T7962.5、GB/T36405界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件。點掃描法pointscanmethod按照一定間距設(shè)定測量點，對測量點逐點測試的方法。4試驗原理利用光彈調(diào)制器對線偏振光施加一定的相位差，經(jīng)過存在應(yīng)力的試樣形成光程差，試樣應(yīng)力為光程差與光彈常數(shù)的比值，見公式(1)。……(1)o——應(yīng)力值，單位為兆帕(MPa);δ——光程差，單位為納米每厘米(nm/cm);B——光彈常數(shù)，單位為納米每厘米兆帕[nm/(cm·MPa)]。5試驗裝置5.1應(yīng)力儀應(yīng)力儀由測試平臺、發(fā)射系統(tǒng)、探測系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、移動導軌、數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)、計算機組成，如圖12所示。a)測試平臺：承載11代及以下的基板玻璃，由平行的鋼絲構(gòu)成，鋼絲間距宜為50mm～100mm。b)發(fā)射系統(tǒng)：推薦氦氖激光光源(波長λ=632.8nm)、45°偏振片、0°光彈調(diào)制器[頻率為50kHz、相位差范圍為(0～1/2波長)、精度為0.001nm]。振片。e)移動導軌：安裝發(fā)射系統(tǒng)和探測系統(tǒng)，進行定位，定位精度為0.1mm。f)數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)：將探測系統(tǒng)接收的光信號進行放大，處理探測器A和探測器B輸出的光信號。g)計算機：用于測試軟件的安裝、參數(shù)設(shè)定、結(jié)果計算與顯示。標引序號說明：1——測試平臺；2——發(fā)射系統(tǒng)；3——探測系統(tǒng)；4——電控系統(tǒng)；5——移動導軌；6——數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)；7——計算機。圖1應(yīng)力儀裝置示意圖5.2裝載裝置可承載試樣進行運送，應(yīng)具備旋轉(zhuǎn)功能，旋轉(zhuǎn)角度范圍宜為0°~72°,高度應(yīng)與測試平臺保持一致，長寬尺寸應(yīng)滿足試樣要求。6試驗條件試驗應(yīng)在下述環(huán)境條件下進行：b)相對濕度：不大于75%;c)隔振要求：隔振周期不大于3Hz,隔振振幅不大于0.15mm;d)氣流速度：不大于0.2m/s。37試樣要求試樣要求如下：a)試樣數(shù)量：同規(guī)格試樣2片(試樣1和試樣2);b)試樣規(guī)格應(yīng)滿足表1的要求，其他試樣規(guī)格可由供需雙方協(xié)商。表1平板顯示器基板玻璃常見尺寸世代寬(mm)×長(mm)3代3.5代4代4.5代5代1100×1200,1100×1250,5.5代6代7代7.5代8代8.5代8.6代8.7代10代2880×3130,2850×3050,2810.5代11代8試驗步驟按照以下步驟進行。a)儀器預(yù)熱：通電預(yù)熱應(yīng)不少于30min。b)儀器初始化：打開電控系統(tǒng)及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，進入測試系統(tǒng)初始化界面，確認發(fā)射系統(tǒng)和探測系統(tǒng)位于零點位置。在沒有試樣的情況下進行測試，測試結(jié)果應(yīng)不大于0.0085nm/cm,儀器處于正常狀態(tài)，否則重新進行初始化。c)厚度測量：應(yīng)采用符合GB/T20919要求的精度為0.001mm千分尺，垂直流向方向每隔10mm固定間距進行測量，測試終點距試樣邊緣距離不大于10mm,取平均值即為試樣1的厚度值，用于系統(tǒng)計算光程差δ。d)試樣放置：通過裝載裝置將試樣1水平放置于測試平臺上。試樣1測試前，在測量環(huán)境中放置時間應(yīng)不少于10min。e)掃描設(shè)定：推薦點陣掃描間距為20mm～60mm,沿鋼絲平行方向掃描。4f)測試：輸入試樣1厚度和光彈常數(shù)后進行測試，儀器自動計算出應(yīng)力值，取最大值作為試樣1的測試結(jié)果。測試結(jié)束后取下試樣1,將應(yīng)力儀發(fā)射系統(tǒng)和探測系統(tǒng)回歸零點位置。g)試樣2繼續(xù)重復c)～f)進行測量。9結(jié)果表示在兩片試樣中選取最大值作為測試結(jié)果，應(yīng)力單位為兆帕(MPa)