(高清版)GBT 40344.2-2021 真空技術(shù) 真空泵性能測量標(biāo)準(zhǔn)方法 第2部分：容積真空泵

GB/T40344.2—2021/ISO21360-2:2020真空技術(shù)真空泵性能測量標(biāo)準(zhǔn)方法第2部分：容積真空泵國家市場監(jiān)督管理總局國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會 I Ⅱ 25測試方法 35.1體積流率的測量 35.1.1測量方法 35.1.2流量法 35.1.3抽氣法 35.1.4運(yùn)行條件 35.2基礎(chǔ)壓力的測量 35.3水蒸氣容限的測量 4 45.4.1概述 45.4.2測量條件 45.4.3測量步驟 45.5最低啟動溫度 45.6測量不確定度 4附錄A(資料性附錄)水蒸氣容限的測量 5 附錄C(資料性附錄)水的飽和蒸氣壓表 IGB/T40344.2—2021/ISO本部分為GB/T40344的第2部分。本部分使用翻譯法等同采用ISO21360-22:2020《真空技術(shù)真空泵性能測量標(biāo)準(zhǔn)方法第2部ⅡGB/T40344.2—2021/ISO21360-2:2020本部分規(guī)定了容積真空泵性能數(shù)據(jù)的測量方法。GB/T40344.1給出了真空泵性能數(shù)據(jù)測量的總1下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引GB/T40344.1—2021真空技術(shù)真空泵性能測量標(biāo)準(zhǔn)方法第1部分：總體要求(ISO21360-21:2GB/T40344.2—2021/ISO21360-2:2020ps4符號表1中所列符號適用于本文件。說明α空氣的相對濕度%KLWWWRK℃℃3表1(續(xù))說明KK與p?相關(guān)的排氣飽和溫度K工作容積W絕熱壓縮功J水蒸氣絕熱壓縮功J空氣絕熱壓縮功J對于變?nèi)菪驼婵毡茫绻肟诜ㄌm直徑D、小于測試罩的內(nèi)徑D,則泵的入口法蘭應(yīng)通過4GB/T40344.2—2021/ISO2136的一個(gè)換算范例見參考文獻(xiàn)[1]第331頁。同樣見參考文獻(xiàn)[1]第329～333頁和參考文獻(xiàn)[2]第60頁。首先，泵內(nèi)注入制造商規(guī)定的潤滑油，并在進(jìn)氣閥和氣鎮(zhèn)閥都關(guān)閉的狀態(tài)下運(yùn)行1h。然后，在制造商規(guī)定的潤滑油的泵冷卻至制造商規(guī)定的最低啟動溫度。如果沒有規(guī)定啟動溫度，則冷卻至測量的不確定度應(yīng)按GB/T40344.1的要求來測定。5GB/T40344.2—2021/ISO21360-2:2020A.1.2試驗(yàn)裝置見圖A.1和圖A.2。6GB/T40344.2—2021/ISO21360-2圖A.1水蒸氣容限的測量裝置70至0.5D圖A.2測量泵溫度和排氣壓力的彎管(示例)A.1.3水蒸氣容限的測定水蒸氣容限的公式是：設(shè)因數(shù)1+(pa/pB)和apo/pB之值為1,由此而得通用公式(A.2):為了獲得更好的不確定度，按如下所述使用公式(A.1)。的排氣溫度T?視不同的入口壓力p?而定。在泵的壓縮過程中，沒有與環(huán)境發(fā)生熱交換。這就意味著壓縮是絕熱的。因?yàn)榭諝馀c水蒸氣有著不同的絕熱指數(shù)k,也就會消耗不同的壓縮功。壓縮能量由公式(A.3)給出(參考文獻(xiàn)[1]第249頁):8GB/T40344.2—2021/ISO21360-2:2020泵的溫升與壓縮功率消耗成正比，而且對于空氣與水蒸氣是不同的。因此，測得的泵溫T?應(yīng)用比值Wad,H?o/W進(jìn)行修正。飽和蒸氣壓p。與相關(guān)溫度T?.之間的關(guān)系，可見蒸氣壓方程式(A.4):式中：T。的值宜在接近泵溫的范圍內(nèi)選取。公式(A.1)中的pH?o能用入口壓力p?替代：整理公式(A.5)得p:從而得出了入口壓力p?與飽和溫度T?。之間的關(guān)系。因而能畫出計(jì)算得到的排氣飽和溫度對應(yīng)于入口壓力的曲線。重要提示——公式(A.7)僅對所使用溫度范圍內(nèi)恒定的蒸發(fā)能量有效。此時(shí)，兩條曲線即測得的泵溫曲線T?(p?)和算得的飽和溫度曲線T?s(p?)能夠被繪制在一個(gè)圖上(見圖A.3)。9T123p圖A.3排氣溫度與水蒸氣飽和溫度對應(yīng)入口壓力(范例)內(nèi)溫升<0.5K。然后測量排氣溫度T?o和氣鎮(zhèn)量qvs(ps+pa),并在所有后續(xù)的測量中保持它們的值度φH?0,以%表示。泵的體積流率qv,宜提前測量(見第5章),且只有在大氣壓力po<107kPa時(shí)才可以開始測量。測得的溫度T?應(yīng)根據(jù)k=1.3333的水蒸氣絕熱壓縮功Wd,H?o[公式(A.3)給出]和k=1.4的空氣絕熱壓縮功Wad的比值減少。修正系數(shù)We由下式給出：W.值列于表A.1中。表A.1W.值與入口壓力p?對應(yīng)的T?減去T?o得溫差T?-T?0,再乘以Wc。然后修正后的溫差再加T?o,得：T2cr=Wc(T?—T20)+T20…………(A.9)po=pb+pa表C.1列舉了ps(T?)值。從而得：pB=po一pa。系數(shù)α可設(shè)定約為1.1。用這些值通過公式(A.6)計(jì)算全部入口壓力p?下的ps。設(shè)T。為323K,相應(yīng)的飽和蒸氣壓pr。為12.34kPa。在重要的溫度區(qū)間50℃~100℃內(nèi)，摩爾蒸發(fā)能量L是41922J/mol,通用氣體常數(shù)R是8.3143J/(K·mol)。繪制對應(yīng)于入口壓力p?計(jì)算所得的排氣飽和溫度曲線，例如圖A.3。兩GB/T40344.2—2021/ISO(資料性附錄)對氣鎮(zhèn)空氣部分的Boyle-MariopBVB=p?V?apo=p?十p.(T?)或水蒸氣容限的公式為(參考文獻(xiàn)[1]第247頁):公式(B.5)包含的系數(shù)1+(pa/pB),它近似于1,此外apo/pb>1.1,公式(B.6)則不是。兩個(gè)系數(shù)GB/T40344.2—2021/ISO21360-2:2020KKGB/T40344.2—2021/ISOKK[1]JOUSTEN,K.,editor.Handbookofvacuumtechnology,BENJAMINNAKHOSTEEN,C.,translator.Weinheim:Wiley-VCH,2008